JPH0478154B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、真空鏡体内から発生したＸ線をガス
雰囲気又は大気側へ取り出すためのＸ線透過膜へ
導電性物質を蒸着する方法に関する。

［従来の技術］ Ｘ線マイクロアナライザーにおいては、真空に
保持された鏡筒内で試料に電子線を照射し、その
結果試料より発生した特性Ｘ線を検出して試料の
分析を行なつている。このＸ線の検出のため、例
えばガスフロー型の計数管を使用する装置におい
ては、鏡筒に窓を設け、この窓を通過させてＸ線
を大気側に配置されたガスフロー型計数管に導く
ようにしている。第３図はこのような場合に使用
される、鏡筒側とガス雰囲気にある計数管内を遮
断するためのＸ線透過膜ユニツトＵを示すもの
で、図中１はポリプロピレン、マイラー等の耐真
空性を有しＸ線の吸収減衰効果の少ない材質より
成る薄膜であり、この薄膜１は座金２に接着剤３
により接着されて保持されており、又、座金２に
はＸ線通過用の開口２ａが設けられている。

ところで、試料への電子線の照射に伴つて、試
料よりＸ線の他に反射電子等も発生する。上記薄
膜１は導電性を有していないため、そのままでは
反射電子等の照射によつてチヤージアツプを起
し、特に低濃度の超軽元素を検出する際に測定が
不安定になることが知られている。そのため、こ
のようなＸ線透過膜ユニツトを真空蒸着を行なう
ためのベルジヤー内に配置し、薄膜に金属等の導
電性物質を蒸着するようにしている。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、従来においてはこのようにして
蒸着を行なつた膜を耐真空Ｘ線透過膜として装置
に装着すると、薄膜を境界として一方の側は真空
なのに対して、他方の側はガス雰囲気にあるた
め、薄膜はガス圧によつて第３図において１′で
示すように弛んでしまう。その結果、薄膜の表面
に付着していた導電性蒸着膜が島状に細かく分離
してしまい、チヤージアツプを防げなくなり、比
較的短い期間で膜を交換しなければならない。

本発明はこのような従来の問題を解決し、導電
性物質膜の分離を抑制することのできるＸ線透過
膜の蒸着方法を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため、本発明は耐真
空性を有しＸ線透過特性の良好な薄膜に導電性物
質を蒸着させる方法において、該薄膜によつて真
空空間とガスが存在する空間とを遮断し、該薄膜
の一方の面からのみ該薄膜に該ガスの圧力を印加
して該膜を弛ました後、該薄膜に該導電性物質を
蒸着するようにしたことを特徴としている。

［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。

第１図は本発明を実施するための装置の一例を
示すもので、図中第３図と同一の構成要素に対し
ては同一番号を付している。図中４は上部４ａと
底部４ｂとより成る真空ベルジヤーであり、真空
ベルジヤー４内は排気管５により排気できるよう
になつている。真空ベルジヤー４内にはタングス
テン等より成るフイラメント６が備えられてお
り、フイラメント６には金属性の被蒸着物質より
成るワイヤー７が巻回されている。ベルジヤーの
底部４ｂの大気側には筒状の凹部９が設けられて
おり、この凹部９は開口１０を介してベルジヤー
内に連通できるようになつている。この凹部９の
側面には雌ネジ１１が刻設されており、この雌ネ
ジ１１には押え金具１２が螺合できるようになつ
ている。１３は膜１を熱的に保護するためのシヤ
ツター板であり、シヤツター板１３は移動軸１４
を介して摘子１５に接続されており、摘子１５を
移動させることにより矢印Ｋの方向に移動できる
ようになつている。シヤツター板１３には前記座
金２に設けられた開口２ａと略同一大きさの通過
孔１３ａが設けられている。８，１６，１７は真
空シール用のＯリングである。

このような構成の装置を用いて、まず、押え金
具１２を外し、薄膜１を張つたＸ線透過膜ユニツ
トＵをその薄膜１がＯリング１７と接触するよう
にして凹部９内に配置した後、押え金具１２をネ
ジ込み、Ｘ線透過膜ユニツトＵとＯリング１７の
接触によつて開口１０が大気側と完全に遮断され
るようにする。その結果、膜１を境界として一方
の側は真空雰囲気にあり他方の側は大気圧にある
ため、膜１は大気圧によりベルジヤー４側へ押さ
れて弛む。そこで摘子１５を操作して、シヤツタ
ー板１３を図示のように開口１３ａが開口１０の
位置に一致するまで移動させる。その結果、フイ
ラメント６への通電によつてワイヤー７から蒸発
した粒子がシヤツター板１３の開口１３ａ及び開
口１０を通過して膜１まで飛来して被着し、膜１
には前記金属の蒸着膜が形成される。このように
して蒸着を終えた後、押え金具１２を凹部９より
外してＸ線透過膜ユニツトＵを装置に装着すれ
ば、膜１は既にガス圧によつて伸び切つているた
め、膜１にガス圧あるいは大気圧が印加されて
も、膜の伸びは緩慢となるため、蒸着膜が島状に
細かく分離することを抑制できる。

尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎ
ず幾多の他の態様を取り得る。

例えば、第２図に示すように筒状容器１８内に
Ｘ線透過膜ユニツトを配置した後、容器１８の側
面に設けられた雌ネジ部に蓋体部材１９を螺合し
て、容器１８と膜１との接触部をＯリング２０に
よつて真空シールすると共に、容器１８と部材１
９との接触部をＯリング２１によつて真空シール
すれば、膜１と部材１９で囲まれた開口２ａの部
分は気密な空間となる。そこで、この状態でユニ
ツトを蒸着用ベルジヤー内に配置すれば気密な空
間に閉じ込められた空気の圧力により膜１が弛む
ため、この段階で蒸着を行なうようにしても良
い。

更に又、上述した一実施例においては、膜の一
方の面からのみ大気圧を印加して膜を弛ますため
の作業を蒸着用真空ベルジヤーを利用して行なう
ようにしたが、別個の装置により膜の一方の面か
らのみ大気圧を印加して膜を予め弛ました後、真
空蒸着装置内に配置して蒸着を行なうようにして
も良い。

又、上述した実施例においては、座金に取り付
けられた薄膜から成るユニツトＵを真空ベルジヤ
ーの凹部に配置し、薄膜の一方の側からのみ大気
圧が印加されるようにしたが、ガスフロー型計数
管にユニツトＵが取り付けられた状態のまま凹部
に配置して蒸着を行なうようにしても良い。

更に又、上述した実施例においては、鏡筒内と
ガスフロー型Ｘ線計数管との境界となるＸ線透過
膜に蒸着を施す場合について説明したが、鏡筒内
からＸ線を大気側に取り出すためのＸ線透過膜に
蒸着を施す場合にも本発明は同様に適用できる。

［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明にお
いては膜の一方の側からのみガスあるいは大気圧
を印加して膜を予め弛ました後、蒸着を行なうよ
うにしているため、Ｘ線透過膜を装置に装着して
も膜の伸びは緩慢になり蒸着膜が島状に細かく分
離することを抑制でき、Ｘ線透過膜ユニツトの交
換間隔を延ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を実施するための装置の一例を
示すための図、第２図は本発明を実施するための
他の装置を説明するための図、第３図は従来の欠
点を説明するための図である。 １，１′：薄膜、２：座金、２ａ：開口、３：
接着剤、４：ベルジヤー、４ａ：上部、４ｂ：底
部、５：排気管、６：フイラメント、７：ワイヤ
ー、８，１６，１７，２０，２１：Ｏリング、
９：凹部、１０：開口、１１：雌ネジ、１２：押
え金具、１３：シヤツター板、１３ａ：開口、１
４：移動軸、１５：摘子、１８：筒状容器、１
９：蓋体部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 耐真空性を有しＸ線透過特性の良好な薄膜に
   導電性物質を蒸着させる方法において、該薄膜に
   よつて真空空間とガスが存在する空間とを遮断
   し、該薄膜の一方の面からのみ該薄膜に該ガスの
   圧力を印加して該薄膜を弛ました後、該薄膜に該
   導電性物質を蒸着するようにしたことを特徴とす
   るＸ線透過膜の蒸着方法。