JPH069285B2 - 周波数変調通信システムのための分散フィードバックレーザー - Google Patents
周波数変調通信システムのための分散フィードバックレーザーInfo
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- JPH069285B2 JPH069285B2 JP2015128A JP1512890A JPH069285B2 JP H069285 B2 JPH069285 B2 JP H069285B2 JP 2015128 A JP2015128 A JP 2015128A JP 1512890 A JP1512890 A JP 1512890A JP H069285 B2 JPH069285 B2 JP H069285B2
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は単一周波数フィードバック レーザーを採用す
る周波数変調を行なうための光波システムの分野に関す
る。
る周波数変調を行なうための光波システムの分野に関す
る。
発明の背景 将来の光波システムは、小さなガード バンドにて分離
された多数の伝送チャネルを収容することが期待され
る。高データ速度にて動作する伝送チャネルは網の配達
のため及び他のサービス、例えば、娯楽テレビのため
に、単一モード光ファイバーの現存のバンド幅をより完
全に活用できるように計画される。システム設計者は、
設計パラメータ間、例えば、コヒーレント対ノンコヒー
レント アプローチ、直接対ヘテロダイン検出方法など
の間で妥協を行なうことになるわけであるが、光波送信
機設計に対しては、単一周波数光源、例えば、分散フィ
ードバック(distributed feedback、DBF)レーザー
がますます魅力的なアプローチとなってきている。
された多数の伝送チャネルを収容することが期待され
る。高データ速度にて動作する伝送チャネルは網の配達
のため及び他のサービス、例えば、娯楽テレビのため
に、単一モード光ファイバーの現存のバンド幅をより完
全に活用できるように計画される。システム設計者は、
設計パラメータ間、例えば、コヒーレント対ノンコヒー
レント アプローチ、直接対ヘテロダイン検出方法など
の間で妥協を行なうことになるわけであるが、光波送信
機設計に対しては、単一周波数光源、例えば、分散フィ
ードバック(distributed feedback、DBF)レーザー
がますます魅力的なアプローチとなってきている。
周波数変調は、高ビット速度においては、通常、振幅変
調或は強度変調よりも好ましい。これは、光源への電流
の変動から発生するチャーピング(chirping)及び電流
スイッチング(curret switching)問題から振幅及び強
度及び強度変調システムが不利となるためである。強度
変調では、多量の電流が光源に素早くスイッチされなけ
ればならない。半導体レーザーに対するドライブ電流の
量は、典型的には、30−60mAのレンジである。半
導体レーザーへの電流が変動すると、これは、レーザー
内にチャープと呼ばれる小さいが有意な量の周波数変調
を引き起こす。このチャーピングは放射されるスペクト
ルのライン幅を広げる原因となる。明らかに、スペクト
ルがこのように広げられると、最も良好な単一光源でさ
えも影響を受ける。半導体レーザー、特に、DFBレー
ザーは、より低いライン幅エンハンスメント係数を持
ち、従って、チャーピングに対してより強くなるような
より良い製造技術の採用によって改良されている。この
うよに改良された光源でさえも、振幅及び強度変調を採
用する光波システムは周波数変調光波システムと比較す
るとかなりの短所を持つ。
調或は強度変調よりも好ましい。これは、光源への電流
の変動から発生するチャーピング(chirping)及び電流
スイッチング(curret switching)問題から振幅及び強
度及び強度変調システムが不利となるためである。強度
変調では、多量の電流が光源に素早くスイッチされなけ
ればならない。半導体レーザーに対するドライブ電流の
量は、典型的には、30−60mAのレンジである。半
導体レーザーへの電流が変動すると、これは、レーザー
内にチャープと呼ばれる小さいが有意な量の周波数変調
を引き起こす。このチャーピングは放射されるスペクト
ルのライン幅を広げる原因となる。明らかに、スペクト
ルがこのように広げられると、最も良好な単一光源でさ
えも影響を受ける。半導体レーザー、特に、DFBレー
ザーは、より低いライン幅エンハンスメント係数を持
ち、従って、チャーピングに対してより強くなるような
より良い製造技術の採用によって改良されている。この
うよに改良された光源でさえも、振幅及び強度変調を採
用する光波システムは周波数変調光波システムと比較す
るとかなりの短所を持つ。
光波通信システムに対する周波数変調の魅力は、これが
簡単な送信機設計を可能なするという事実と関係があ
る。半導体レーザーを直接に変調することによって、或
は半導体レーザーへの注入電流を変化させることによっ
て、レーザーの周波数を変調することが可能である。単
一周波数半導体レーザーに対しては、注入電流に伴う周
波数の変化、Δf/Δiを示すキャリア密度効果は、殆
どのFMシステムによって要求される周波数逸脱に対す
る残留強度変調効果を最小にするために十分に大きく、
通常、数百Mhz/mAの大きさを持つ。但し、レーザ
ー周波数への温度とキャリア密度効果の競争のために変
調バンド幅を通じてこれらレーザーのFM応答が不均一
になる。
簡単な送信機設計を可能なするという事実と関係があ
る。半導体レーザーを直接に変調することによって、或
は半導体レーザーへの注入電流を変化させることによっ
て、レーザーの周波数を変調することが可能である。単
一周波数半導体レーザーに対しては、注入電流に伴う周
波数の変化、Δf/Δiを示すキャリア密度効果は、殆
どのFMシステムによって要求される周波数逸脱に対す
る残留強度変調効果を最小にするために十分に大きく、
通常、数百Mhz/mAの大きさを持つ。但し、レーザ
ー周波数への温度とキャリア密度効果の競争のために変
調バンド幅を通じてこれらレーザーのFM応答が不均一
になる。
不均一FM応答は、単一周波数レーザーの熱遮断との関
係で見ることができる。熱遮断周波数以下においては、
FM応答は、規模において極端に大きく、Ghz/mA
のオーダーを持ち、一方、位相においては、熱遮断周波
数より上のFM応答と反対の位相を持つ。熱遮断周波数
よりも非常に上においては、FM応応答は数百Mhz/
mAに接近し、一方、熱遮断周波数以下の位相に対し
て、次第に位相を反転して行く。結果として、変調され
た光学信号の低い周波数成分は、主に、レーザーのアク
ティブ領域への温度或は熱変調効果のために大きな波形
の歪を受ける。
係で見ることができる。熱遮断周波数以下においては、
FM応答は、規模において極端に大きく、Ghz/mA
のオーダーを持ち、一方、位相においては、熱遮断周波
数より上のFM応答と反対の位相を持つ。熱遮断周波数
よりも非常に上においては、FM応応答は数百Mhz/
mAに接近し、一方、熱遮断周波数以下の位相に対し
て、次第に位相を反転して行く。結果として、変調され
た光学信号の低い周波数成分は、主に、レーザーのアク
ティブ領域への温度或は熱変調効果のために大きな波形
の歪を受ける。
不均一なFM応答を持つレーザーを使用する周波数変調
をベースとする光波通信システムは劣化を受ける。M−
アレイFSKシステム内においては、不均一なFM応答
は、レーザーがその周波数にレーザーの熱時間定数と比
較して十分に長い時間留まる度にMレベル/シンボルの
一つを表わす伝送周波数のドリフトを起こす。周波数が
ドリフトすると、クロストークが増加し、結果として、
ビット エラー率性能が低下し、終極的には、この光波
システムに対する影響を受けたリンクが完全に故障する
こととなる。
をベースとする光波通信システムは劣化を受ける。M−
アレイFSKシステム内においては、不均一なFM応答
は、レーザーがその周波数にレーザーの熱時間定数と比
較して十分に長い時間留まる度にMレベル/シンボルの
一つを表わす伝送周波数のドリフトを起こす。周波数が
ドリフトすると、クロストークが増加し、結果として、
ビット エラー率性能が低下し、終極的には、この光波
システムに対する影響を受けたリンクが完全に故障する
こととなる。
これら問題は、データ シーケンスの低周波数成分を結
果として排除するために非交代データ パターン(non-
alternating data pattern)の長さを制限することによ
ってある程度は解消できる。一般的に使用される他のア
プローチにおいては、これを低周波数変調領域を避ける
ために、変調フォーマット或はデータ符号化スキームを
採用する方法がレーザーの不均一FM応答に対処するた
めに使用される。一例としては、マンチェスター符号化
が使用されるが、これは同時に、システム バンド幅要
件を増加させるという代償を伴う。これに加えて、パワ
ー消費及びデバイスの複雑さなどの問題から、殆どの符
号化及び変調技術の使用は現実的ではない。アクティブ
とパシィブ等化網がDFBレーザーの不均一FM応答に
よって起こされる歪を克服するためにDFBレーザーと
組合わせられている。理論的には、これら網は、DFB
レーザーの不均一FM応答をプレ歪、ポスト歪及びフィ
ードバック制御の組合わせられた方法を使用することに
よって補償し、ある程度均一なFM応答を実現する。ア
クティブ及びパシィブ等化技術は、通常、両者とも比較
的小さなFM応答を与え、従って、ドライブ電流要件を
増す。この結合は均一なFM応答を持つように見える
が、DFBレーザー自体が完全に不均一なFM応答を示
すことを認識することが重要である。
果として排除するために非交代データ パターン(non-
alternating data pattern)の長さを制限することによ
ってある程度は解消できる。一般的に使用される他のア
プローチにおいては、これを低周波数変調領域を避ける
ために、変調フォーマット或はデータ符号化スキームを
採用する方法がレーザーの不均一FM応答に対処するた
めに使用される。一例としては、マンチェスター符号化
が使用されるが、これは同時に、システム バンド幅要
件を増加させるという代償を伴う。これに加えて、パワ
ー消費及びデバイスの複雑さなどの問題から、殆どの符
号化及び変調技術の使用は現実的ではない。アクティブ
とパシィブ等化網がDFBレーザーの不均一FM応答に
よって起こされる歪を克服するためにDFBレーザーと
組合わせられている。理論的には、これら網は、DFB
レーザーの不均一FM応答をプレ歪、ポスト歪及びフィ
ードバック制御の組合わせられた方法を使用することに
よって補償し、ある程度均一なFM応答を実現する。ア
クティブ及びパシィブ等化技術は、通常、両者とも比較
的小さなFM応答を与え、従って、ドライブ電流要件を
増す。この結合は均一なFM応答を持つように見える
が、DFBレーザー自体が完全に不均一なFM応答を示
すことを認識することが重要である。
この不均一なFM応答問題を克服する為に位相チューナ
ブルDFBレーザーが提案されている。これらデバイス
は、通常、二つの異なる領域、つまり、標準なDFBレ
ーザーとして動作するDFB領域及びDBFレーザー信
号を変調するための別個にコンタクトされた格子を持た
ない変調領域を含むように製造される。こうしてキャリ
ア密度の影響が電極の分離を通じて人工的に制御され、
疑似均一FM応答及びチャープの抑制が達成される。2
−電極DBFレーザーに対する疑似均一FM応答が数百
メガヘルツまで報告されている。但し、このデバイスに
使用されるDBF領域は望ましくない不均一FM応答を
示し、これらは主に、チャープ抑制のために本質的に低
いライン幅エンハンスメント係数を持つように設計され
る。更に、多重セクション構造の設計及び製造の複雑さ
から将来の光波システムに使用するためにはあまり適当
でない。
ブルDFBレーザーが提案されている。これらデバイス
は、通常、二つの異なる領域、つまり、標準なDFBレ
ーザーとして動作するDFB領域及びDBFレーザー信
号を変調するための別個にコンタクトされた格子を持た
ない変調領域を含むように製造される。こうしてキャリ
ア密度の影響が電極の分離を通じて人工的に制御され、
疑似均一FM応答及びチャープの抑制が達成される。2
−電極DBFレーザーに対する疑似均一FM応答が数百
メガヘルツまで報告されている。但し、このデバイスに
使用されるDBF領域は望ましくない不均一FM応答を
示し、これらは主に、チャープ抑制のために本質的に低
いライン幅エンハンスメント係数を持つように設計され
る。更に、多重セクション構造の設計及び製造の複雑さ
から将来の光波システムに使用するためにはあまり適当
でない。
上に説明の代替は直接変調レーザー、特に、DFBレー
ザーの不均一なFM応答に対処するために提案及び実演
されたものであるが、最近になって、潜在的に最も有望
な解決法は、本質的に均一なFM応答を持つレーザーを
構成することであることが解ってきた。これに関して
は、J.of Lightwave Tech.Vol.7、No.1、ページ1
1−23(1989年1月)を参照すること。上の説明
から解るように、各々のレーザー要素はまだ本質的に不
均一なFM応答を示す。この事実を認識し、上に引用の
論文の著者は、“残念なことに、単一モード動作、高出
力パワー、狭バンド幅、長寿、並びに均一FM応答を、
様々な波長の広範囲の市販デバイスにおいて達成すると
いう目標は、いまだに捕らえどころがない”と嘆いてい
る。
ザーの不均一なFM応答に対処するために提案及び実演
されたものであるが、最近になって、潜在的に最も有望
な解決法は、本質的に均一なFM応答を持つレーザーを
構成することであることが解ってきた。これに関して
は、J.of Lightwave Tech.Vol.7、No.1、ページ1
1−23(1989年1月)を参照すること。上の説明
から解るように、各々のレーザー要素はまだ本質的に不
均一なFM応答を示す。この事実を認識し、上に引用の
論文の著者は、“残念なことに、単一モード動作、高出
力パワー、狭バンド幅、長寿、並びに均一FM応答を、
様々な波長の広範囲の市販デバイスにおいて達成すると
いう目標は、いまだに捕らえどころがない”と嘆いてい
る。
発明の要旨 単一モード動作及び均一なFM応答が本発明の原理に従
う光波システムに対する周波数変調送信機によってモー
ダル或は有効屈折率 を持つ分解フィードバック レーザーを周波数変調する
ことによって達成される。このフィードバック レーザ
ーは、特性波長を利得媒体及びフィードバック構造、例
えば、この利得媒体に結合された格子を持ち、このフィ
ードバック構造が、レーザーが特性波長よりも大きなブ
ラッグ波長λBの所の光波信号を放射するように制御す
る。周波数変調信号の結果としての光波送信機内におい
ては、分散フィードバック レーザーが増加されたキャ
リア密度効果にて動作し、これによって、実質的に利得
ピーク波長の所よりも高いライン幅エンハンスメント係
数を示す。この結果、レーザーは均一なFM応答を持つ
一方において、単一モード動作を保持する。
う光波システムに対する周波数変調送信機によってモー
ダル或は有効屈折率 を持つ分解フィードバック レーザーを周波数変調する
ことによって達成される。このフィードバック レーザ
ーは、特性波長を利得媒体及びフィードバック構造、例
えば、この利得媒体に結合された格子を持ち、このフィ
ードバック構造が、レーザーが特性波長よりも大きなブ
ラッグ波長λBの所の光波信号を放射するように制御す
る。周波数変調信号の結果としての光波送信機内におい
ては、分散フィードバック レーザーが増加されたキャ
リア密度効果にて動作し、これによって、実質的に利得
ピーク波長の所よりも高いライン幅エンハンスメント係
数を示す。この結果、レーザーは均一なFM応答を持つ
一方において、単一モード動作を保持する。
本発明の一つの実施態様によると、分散フィードバック
レーザー内のこの集積フィードバック構造は、波形格
子を含み、ここで、この格子は、フラッグ波長と、 という関係にある有効格子周期Λeffを持ち、ここで、
Mは1以上の格子の次数を同定する整数である。本発明
の原理によると、このブラッグ波長λBは利得媒体の特
性波長よりも大きく選択される。
レーザー内のこの集積フィードバック構造は、波形格
子を含み、ここで、この格子は、フラッグ波長と、 という関係にある有効格子周期Λeffを持ち、ここで、
Mは1以上の格子の次数を同定する整数である。本発明
の原理によると、このブラッグ波長λBは利得媒体の特
性波長よりも大きく選択される。
詳細な説明 本発明は、本発明の一例としての実施態様の以下の説明
を図面に参照しながら読むことによって一層明白となる
ものである。
を図面に参照しながら読むことによって一層明白となる
ものである。
第1図は、送信機位置において周波数変調を採用する光
波通信システム10の略図を示す。光波通信システム1
0は周波数変調された信号14を生成し、これを伝送媒
体15に供給するための送信機、ローカル位置から遠隔
位置への光波信号の伝播をサポートするための伝送媒体
15、及び伝送媒体15から光波信号16を得るための
受信機17を含む。遠隔とは、微視的な意味例えば、同
一半導体チップ上に位置する、或は巨視的な意味、例え
ば、地理的に離れているという両方において、送信機か
ら離れた位置を示すために用いられる。
波通信システム10の略図を示す。光波通信システム1
0は周波数変調された信号14を生成し、これを伝送媒
体15に供給するための送信機、ローカル位置から遠隔
位置への光波信号の伝播をサポートするための伝送媒体
15、及び伝送媒体15から光波信号16を得るための
受信機17を含む。遠隔とは、微視的な意味例えば、同
一半導体チップ上に位置する、或は巨視的な意味、例え
ば、地理的に離れているという両方において、送信機か
ら離れた位置を示すために用いられる。
送信機は経路13を通じて分散フィードバック(distri
buted feedback、DFB)レーザー12に接続された変
調器11を含む。変調器11はDFBレーザー12の周
波数変調を行ない、光波信号14が周波数変調信号とし
て生成される。変調器11は、レーザーに加えられる電
流を変化することによって直接変調するためにDFBレ
ーザー12に電気的に接続することもできる。別の方法
として、変調器11は、DFBレーザー12によって生
成された光波信号を周波数変調するためのイン ライン
要素としてDFBレーザー12に光学的に接続すること
もできる。
buted feedback、DFB)レーザー12に接続された変
調器11を含む。変調器11はDFBレーザー12の周
波数変調を行ない、光波信号14が周波数変調信号とし
て生成される。変調器11は、レーザーに加えられる電
流を変化することによって直接変調するためにDFBレ
ーザー12に電気的に接続することもできる。別の方法
として、変調器11は、DFBレーザー12によって生
成された光波信号を周波数変調するためのイン ライン
要素としてDFBレーザー12に光学的に接続すること
もできる。
周波数変調は、アナログ、デジタルを問わず、全ての形
式の周波数変調を含むものと解釈される。従って、ここ
で使用される特定の用語、例えば、FM(frequency mo
dulation)あるいはFSK(frequency-shift-keying)
は、本発明の範囲を制限するためではなく、本発明の実
施態様の原理を理解することを助ける目的で使用され
る。更に、用語FSKには、二進FSK及びM−アレイ
FSKなどのようなバリエーションも含まれる。最後に
他の変調技術、例えば、連続(AM或はIM)或は離散
(M−アレイASK、M=2、3、・・・)の強度変
調、及び連続(PM)或は離散(M−アレイPSK、M
=2、3、・・・)の位相変調も本発明の原理の精神及
び範囲から逸脱することなく周波数変調とともに使用で
きるものである。
式の周波数変調を含むものと解釈される。従って、ここ
で使用される特定の用語、例えば、FM(frequency mo
dulation)あるいはFSK(frequency-shift-keying)
は、本発明の範囲を制限するためではなく、本発明の実
施態様の原理を理解することを助ける目的で使用され
る。更に、用語FSKには、二進FSK及びM−アレイ
FSKなどのようなバリエーションも含まれる。最後に
他の変調技術、例えば、連続(AM或はIM)或は離散
(M−アレイASK、M=2、3、・・・)の強度変
調、及び連続(PM)或は離散(M−アレイPSK、M
=2、3、・・・)の位相変調も本発明の原理の精神及
び範囲から逸脱することなく周波数変調とともに使用で
きるものである。
伝送媒体15は光波送信機と光波受信機との間の光波信
号に対する伝播経路を提供する。一般に、伝送媒体15
は誘電導波路、例えば光学ファイバー、半導体導波路、
金属−非拡散(metal-indiffused)ニオブ酸リチウム或
はタンタル酸リチウム導波路要素等を含むものと理解さ
れるべきである。勿論、他の要素、例えばコンバイナ
ー、カップラー、星形分散網、スイッチング要素、光学
増幅器、信号再生生器、リコンバイナー、及びリピータ
ー等も伝送媒体15内に本発明の原理の一般性及び適用
性を損なうことなく存在できる。この最も単純な実施態
様においては、伝送媒体15が入力信号、つまり光波信
号14の光学伝播を、出力信号、つまり光波信号16が
最終的にこの伝槽媒体の遠隔端の所の受信機に配達され
るまでサポートする。
号に対する伝播経路を提供する。一般に、伝送媒体15
は誘電導波路、例えば光学ファイバー、半導体導波路、
金属−非拡散(metal-indiffused)ニオブ酸リチウム或
はタンタル酸リチウム導波路要素等を含むものと理解さ
れるべきである。勿論、他の要素、例えばコンバイナ
ー、カップラー、星形分散網、スイッチング要素、光学
増幅器、信号再生生器、リコンバイナー、及びリピータ
ー等も伝送媒体15内に本発明の原理の一般性及び適用
性を損なうことなく存在できる。この最も単純な実施態
様においては、伝送媒体15が入力信号、つまり光波信
号14の光学伝播を、出力信号、つまり光波信号16が
最終的にこの伝槽媒体の遠隔端の所の受信機に配達され
るまでサポートする。
受信機17は伝送媒体からの光波信号16の受信する。
システム アーキテクチュア及び受信機の実際の機能に
基づいて、受信機17は受信された光波信号16を所定
の方法にて処理する。例えば、受信機は、光波信号16
のホモダイン或はヘテロダイン受信を介してコヒーレン
ト検出を提供する。受信機の所のローカル発振器の必要
性は、光波信号14内に含まれるM−1個の異なる波長
にチューニングされたM−1個の帯域光学フィルター、
例えば、ファブリペロ フィルター内に、M−アレイF
SK信号を含まることによって排除される。後者の構成
においては、MアレイFSK信号が検出され、M−アレ
イASK信号として出力される。
システム アーキテクチュア及び受信機の実際の機能に
基づいて、受信機17は受信された光波信号16を所定
の方法にて処理する。例えば、受信機は、光波信号16
のホモダイン或はヘテロダイン受信を介してコヒーレン
ト検出を提供する。受信機の所のローカル発振器の必要
性は、光波信号14内に含まれるM−1個の異なる波長
にチューニングされたM−1個の帯域光学フィルター、
例えば、ファブリペロ フィルター内に、M−アレイF
SK信号を含まることによって排除される。後者の構成
においては、MアレイFSK信号が検出され、M−アレ
イASK信号として出力される。
光波通信システム10をより大きな光波システム、例え
ば、波長分割多重(wavelegth division multip lexe
d、WDM)システム内に一般性を失うことなく含める
ことができることは当業者において容易に理解できるこ
とである。
ば、波長分割多重(wavelegth division multip lexe
d、WDM)システム内に一般性を失うことなく含める
ことができることは当業者において容易に理解できるこ
とである。
上に説明の変調器、伝送媒体及び受信機の実施態様は、
当業者において周知である。従って、以下においては、
送信機、特に、DFBレーザー12について説明する。
DFBレーザーのバックグラウンドについては、ここに
参考のために編入された合衆国特許第3,760,292号にお
いて詳細に述べられている。
当業者において周知である。従って、以下においては、
送信機、特に、DFBレーザー12について説明する。
DFBレーザーのバックグラウンドについては、ここに
参考のために編入された合衆国特許第3,760,292号にお
いて詳細に述べられている。
第2図は本発明の原理に従う光波システム10内におい
てDFBレーザー12として使用される一例としての分
散フィードバック半導体レーザーの断面図を示す。第2
図に示されるDFBレーザーは逆バイアスされたp−n
ブロッキング領域を持つ埋め込みヘテロ構造を持つ。他
の構造、例えば、埋め込み峰、三日月形或はV溝ダブル
チャネル プレーナー埋め込みヘテロ構造、半絶縁ブ
ロッキング領域プレーナー埋め込みヘテロ構造等をDF
Bレーザー12の実施態様として使用することもでき
る。
てDFBレーザー12として使用される一例としての分
散フィードバック半導体レーザーの断面図を示す。第2
図に示されるDFBレーザーは逆バイアスされたp−n
ブロッキング領域を持つ埋め込みヘテロ構造を持つ。他
の構造、例えば、埋め込み峰、三日月形或はV溝ダブル
チャネル プレーナー埋め込みヘテロ構造、半絶縁ブ
ロッキング領域プレーナー埋め込みヘテロ構造等をDF
Bレーザー12の実施態様として使用することもでき
る。
第2図に示されるように半導体構造は、液相エピタキシ
ー、分子ビーム エピタキシー、化学ビーム エピタキ
シー及び気相エピタキシーなどのようなエピタキシャル
成長技術を使用て成長される。これら技術は文献におい
て説明されており、当業者には周知である。これに関し
ては、例えば、H.C.ケーシー(H.C.Casey)らによ
るヘテロ構造レーザー(Heterostructure Lasers)、Vo
l.A及びB、アカデミック プレス(1978年)を参
照すること。又図面に示されるレーザー ヘテロ構造に
類似する分散フィードバック レーザーを製造する為の
方法の説明に関しては、合衆国特許第4,023,993号を参
照すること。
ー、分子ビーム エピタキシー、化学ビーム エピタキ
シー及び気相エピタキシーなどのようなエピタキシャル
成長技術を使用て成長される。これら技術は文献におい
て説明されており、当業者には周知である。これに関し
ては、例えば、H.C.ケーシー(H.C.Casey)らによ
るヘテロ構造レーザー(Heterostructure Lasers)、Vo
l.A及びB、アカデミック プレス(1978年)を参
照すること。又図面に示されるレーザー ヘテロ構造に
類似する分散フィードバック レーザーを製造する為の
方法の説明に関しては、合衆国特許第4,023,993号を参
照すること。
第2図に示されるように、DFBレーザーはn−タイプ
Sn:InP基板23を含み、この上に逆バイアスn−
pブロッキング領域及び埋め込みヘテロ構造が成長され
る。コンタクト層24及び25がバイアス及び電流注入
のためのDFBレーザーの裏側面上に堆積された広い領
域の金属コンタクトとして示される。標準のオーミック
コンタクト製造技術、例えば、金属膜の多層蒸着、合
金蒸着、スパッタリング及びアニーリングなどをこのD
FBレーザーに対するオーミック コンタクトを実現す
るために使用することができる。第2図に示されるレー
ザーにおいては、コンタクト24は標準のAu−Zuコ
ンタクトであり、一方、コンタクト25は、蒸着Au−
Ge−Niコンタクトである。
Sn:InP基板23を含み、この上に逆バイアスn−
pブロッキング領域及び埋め込みヘテロ構造が成長され
る。コンタクト層24及び25がバイアス及び電流注入
のためのDFBレーザーの裏側面上に堆積された広い領
域の金属コンタクトとして示される。標準のオーミック
コンタクト製造技術、例えば、金属膜の多層蒸着、合
金蒸着、スパッタリング及びアニーリングなどをこのD
FBレーザーに対するオーミック コンタクトを実現す
るために使用することができる。第2図に示されるレー
ザーにおいては、コンタクト24は標準のAu−Zuコ
ンタクトであり、一方、コンタクト25は、蒸着Au−
Ge−Niコンタクトである。
標準のエピタキシャル成長技術を使用して、ヘテロ構造
が基板23上に、以下の順番に成長される。つまり、約
5μm厚の追加のn−タイプSn−InPバッフアー層
(図示無し);約0.15μm厚を持ち、実質的に要求
される利得プロフィル曲線のピークの所に、この例にお
いては、約1.51μmに選択される特性波長λpを生
成するのに適当なモル分率x及びyを持つアンドープ4
元素(InxGa1-xAsyP1-y)アクティブ層26;
約1.5μmの厚さ、及び約1.3μmに対して適当な
モル分率x、yを持つZn:InxGa1-xAsyP1-y
から成るp−タイプ ガイド層27;約3μmの厚さの
p−タイプZn:InPクラッド層28;及び0.7μ
mの厚さのp−タイプ4元素キャップ層29が順に成長
される。フォトリソグラフィー及びエッチング技術(例
えば、臭素メタノール エッチング剤)を使用する標準
ストリップ マスキングがこのヘテロ構造メサを製造す
るために使用される。
が基板23上に、以下の順番に成長される。つまり、約
5μm厚の追加のn−タイプSn−InPバッフアー層
(図示無し);約0.15μm厚を持ち、実質的に要求
される利得プロフィル曲線のピークの所に、この例にお
いては、約1.51μmに選択される特性波長λpを生
成するのに適当なモル分率x及びyを持つアンドープ4
元素(InxGa1-xAsyP1-y)アクティブ層26;
約1.5μmの厚さ、及び約1.3μmに対して適当な
モル分率x、yを持つZn:InxGa1-xAsyP1-y
から成るp−タイプ ガイド層27;約3μmの厚さの
p−タイプZn:InPクラッド層28;及び0.7μ
mの厚さのp−タイプ4元素キャップ層29が順に成長
される。フォトリソグラフィー及びエッチング技術(例
えば、臭素メタノール エッチング剤)を使用する標準
ストリップ マスキングがこのヘテロ構造メサを製造す
るために使用される。
ヘテロ構造メサが形成された後に、p−ブロッキング層
22及びn−ブロッキング層21に対する一連の成長ス
テップが基板25上に遂行される。ブロッキング層22
は約0.5μmの厚さのZn:InPから成り、ブロッ
キング層21は、コンタクトのために半導体構造全体を
実質的に平坦化するための十分な厚さまで成長されたS
n:InPから成る。
22及びn−ブロッキング層21に対する一連の成長ス
テップが基板25上に遂行される。ブロッキング層22
は約0.5μmの厚さのZn:InPから成り、ブロッ
キング層21は、コンタクトのために半導体構造全体を
実質的に平坦化するための十分な厚さまで成長されたS
n:InPから成る。
上に説明のDFBレーザーのこれらの層内のSn及びZ
nドーパントに対する適当なドーパント濃度は約1017
から1018cm-3が適当である。最終的な準備の後に、
レーザーがこのヘテロ構造内にサポートされる光の伝播
の方向に対して垂直のプレーン内に少なくとも二つの端
面を形成するために切り開かれる。示されるレーザーは
この端面間の集積フィードバック構造として波形格子を
持つため、通常、端面反射を最小限に押えるために、こ
の少なくとも二つの端面に反射防止コーティングが塗ら
れる。
nドーパントに対する適当なドーパント濃度は約1017
から1018cm-3が適当である。最終的な準備の後に、
レーザーがこのヘテロ構造内にサポートされる光の伝播
の方向に対して垂直のプレーン内に少なくとも二つの端
面を形成するために切り開かれる。示されるレーザーは
この端面間の集積フィードバック構造として波形格子を
持つため、通常、端面反射を最小限に押えるために、こ
の少なくとも二つの端面に反射防止コーティングが塗ら
れる。
第2図及び第3図に示されるように、DFBレーザーの
集積フィードバック構造は波形格子31を含むが、これ
はガイド層27内にアクティブ層26との界面の反対側
に形成される。この格子の形状、深さ及びピッチ、つま
り周期は変数であり、格子の位置及びそれから要求され
る結果に依存する。
集積フィードバック構造は波形格子31を含むが、これ
はガイド層27内にアクティブ層26との界面の反対側
に形成される。この格子の形状、深さ及びピッチ、つま
り周期は変数であり、格子の位置及びそれから要求され
る結果に依存する。
原則として、DFBレーザーの集積フィードバック構造
は、レーザー導波路内の光波の伝播の方向に沿って実質
的に連続的に、そしてこの導波路内の光学エネルギーの
伝播の方向を実質的に横断して形成されるレーザー導波
路の伝送特性内に空間的周期摂動を含む。この導波路の
伝送特性の空間的周期摂動は、このレーザーに対する導
波路媒体の利得、屈折率、伝播定数、或は他のパラメー
タの変動の形式をとる。
は、レーザー導波路内の光波の伝播の方向に沿って実質
的に連続的に、そしてこの導波路内の光学エネルギーの
伝播の方向を実質的に横断して形成されるレーザー導波
路の伝送特性内に空間的周期摂動を含む。この導波路の
伝送特性の空間的周期摂動は、このレーザーに対する導
波路媒体の利得、屈折率、伝播定数、或は他のパラメー
タの変動の形式をとる。
本発明の原理によると、ブラッグ反射器領域内のレーザ
ーのガイド領域上で有効な格子周期は、 によつて与えられるが、ここで、λpは半導体構造の利
得領域に対する実質的に利得ピーク或は利得最大の所の
特性波長を示し、Mは1以上の整数として表わされる格
子のオーダーであり、そして、 はこの半導体レーザーの導波路モードに対するモーダル
或は有効屈折率である。格子ラインの横方向の位置決め
が要求されるが、格子ラインの角度変位(ねじれ)が発
生し、格子ラインがDFBレーザーに対する光波伝播の
方向に対して実質的に横たわる結果となる。
ーのガイド領域上で有効な格子周期は、 によつて与えられるが、ここで、λpは半導体構造の利
得領域に対する実質的に利得ピーク或は利得最大の所の
特性波長を示し、Mは1以上の整数として表わされる格
子のオーダーであり、そして、 はこの半導体レーザーの導波路モードに対するモーダル
或は有効屈折率である。格子ラインの横方向の位置決め
が要求されるが、格子ラインの角度変位(ねじれ)が発
生し、格子ラインがDFBレーザーに対する光波伝播の
方向に対して実質的に横たわる結果となる。
一次(M=1)或は高次(M=2、3、・・・)集積フ
ィードバック構造、例えば、波形格子の使用が考えられ
る。これら格子は、標準の電子ビーム、フォトリソグラ
フィツク及び/或はホログラフィック パターニング技
術及びその後必要とされる湿式或は乾式エッチング ス
テッブを使用して製造される。格子の形状は、第2図及
び第3図に示されるように正弦であっても、或は、三角
形、長方形、台形、半円形、或は他の周知の複雑な関係
であってもよい。様々な格子プロフィル及び製造技術に
関しては、エレクト.レター(Elect.Lett.,)、Vol.1
9No.25/26、ページ1076−7(1983年)
を参照すること。
ィードバック構造、例えば、波形格子の使用が考えられ
る。これら格子は、標準の電子ビーム、フォトリソグラ
フィツク及び/或はホログラフィック パターニング技
術及びその後必要とされる湿式或は乾式エッチング ス
テッブを使用して製造される。格子の形状は、第2図及
び第3図に示されるように正弦であっても、或は、三角
形、長方形、台形、半円形、或は他の周知の複雑な関係
であってもよい。様々な格子プロフィル及び製造技術に
関しては、エレクト.レター(Elect.Lett.,)、Vol.1
9No.25/26、ページ1076−7(1983年)
を参照すること。
カイド層に対する格子の位置は、格子がガイド層の下の
基板上に、或はガイド層上に、或はブラッグ反射器領域
内のガイド層に接近した他の層上に置かれるような様々
なバリエーションが考えられる。勿論、格子位置の選択
に当っては格子結合強度を考慮する必要がある。これ
は、格子結合強度が格子位置対導波路モード、ピークか
ら谷に向かって測定された格子或は波形の深さ、及び格
子或は波形の境界を作る材料間の屈折率の差によって決
定されるためである。
基板上に、或はガイド層上に、或はブラッグ反射器領域
内のガイド層に接近した他の層上に置かれるような様々
なバリエーションが考えられる。勿論、格子位置の選択
に当っては格子結合強度を考慮する必要がある。これ
は、格子結合強度が格子位置対導波路モード、ピークか
ら谷に向かって測定された格子或は波形の深さ、及び格
子或は波形の境界を作る材料間の屈折率の差によって決
定されるためである。
この格子構造の一つの追加の修正バージョンとして、こ
の格子内にλ/4シフト領域を含めることが知られてい
る。これらλ/4シフト領域はDFBレーザーに対する
追加の周波数安定性を提供することが知られている。一
例としてのλ/4シフトが第3図に領域30として示さ
れる。これら領域は格子構造の中心に置かれる必要はな
い。合衆国特許第4,096,446号、第4,648,096号、第4,66
5,528号及び第4,701,930号において開示されているよう
な他のタイプのシフト領域、例えば、ガイド層内のステ
ップ的な屈折率の変化、或はガイド層の厚さの線型的増
加などを使用することも考えられる。DFBレーザー及
び集積フィードバック(格子)構造に関するこれら特許
の教示はここにも参照の目的で明示的に示される。
の格子内にλ/4シフト領域を含めることが知られてい
る。これらλ/4シフト領域はDFBレーザーに対する
追加の周波数安定性を提供することが知られている。一
例としてのλ/4シフトが第3図に領域30として示さ
れる。これら領域は格子構造の中心に置かれる必要はな
い。合衆国特許第4,096,446号、第4,648,096号、第4,66
5,528号及び第4,701,930号において開示されているよう
な他のタイプのシフト領域、例えば、ガイド層内のステ
ップ的な屈折率の変化、或はガイド層の厚さの線型的増
加などを使用することも考えられる。DFBレーザー及
び集積フィードバック(格子)構造に関するこれら特許
の教示はここにも参照の目的で明示的に示される。
第2図及び第3図の一例として実施態様においては、一
次格子は、上に数学的に記述される利得ピーク或は利得
最大波長より長い波長の所に格子をデチューニングする
ための上に説明の基準を満す有効外格子周期Λeffを持
つように示される。図面に示される波長格子は、約23
84Åのピッチ及び約800Åの深さを持つ。この格子
は、約1.51μm(λp)の利得ピーク波長から1.
55μm(λB)の動作波長への約400Åのデチュー
ニングを達成するように選択される。
次格子は、上に数学的に記述される利得ピーク或は利得
最大波長より長い波長の所に格子をデチューニングする
ための上に説明の基準を満す有効外格子周期Λeffを持
つように示される。図面に示される波長格子は、約23
84Åのピッチ及び約800Åの深さを持つ。この格子
は、約1.51μm(λp)の利得ピーク波長から1.
55μm(λB)の動作波長への約400Åのデチュー
ニングを達成するように選択される。
このデチューニングを達成するためには、要求されるデ
チューニングの波長の量を選択することが必要である。
当業者に周知標準の計算技術を使用して、このレーザー
構造のモーダル屈折率がDFBレーザーに対する組成及
び層の寸法を使用して決定される。屈折率の値はIEEE
J.of Quant.Elect.,QE−21,ページ1887以降
(1985年)から得られる。
チューニングの波長の量を選択することが必要である。
当業者に周知標準の計算技術を使用して、このレーザー
構造のモーダル屈折率がDFBレーザーに対する組成及
び層の寸法を使用して決定される。屈折率の値はIEEE
J.of Quant.Elect.,QE−21,ページ1887以降
(1985年)から得られる。
ブラッグ波長がその半導体材料に対する利得ピークの波
長よりも長くなるように格子周期をデチューニングする
と、結果としてのDFBレーザーは通常ではない大きな
ライン幅エンハンスメント係数αを持つようになる。ラ
イン幅エンハンスメント係数の測定の一般的議論に関し
ては、IEEE J.of Quant.Elect.,QE−18,ページ2
59以降(1982年);Appl.Phys.Lett.,42
(8)、ページ631以降(1983年);Elect.Let
t.,23、ページ393−4(1987年);及びElec
t.Lett.,22、ページ580−1(1986年)を参照
すること。本発明の原理に従っての正しいデチューニン
グの結果として、結果としてのDFBレーザーは電流ド
ライブ隣要件を低減し、又FM応答を実質的に均一にな
るように平坦化する大きなキャリア調節(large carrie
r-mediated)FM応答を提供する。
長よりも長くなるように格子周期をデチューニングする
と、結果としてのDFBレーザーは通常ではない大きな
ライン幅エンハンスメント係数αを持つようになる。ラ
イン幅エンハンスメント係数の測定の一般的議論に関し
ては、IEEE J.of Quant.Elect.,QE−18,ページ2
59以降(1982年);Appl.Phys.Lett.,42
(8)、ページ631以降(1983年);Elect.Let
t.,23、ページ393−4(1987年);及びElec
t.Lett.,22、ページ580−1(1986年)を参照
すること。本発明の原理に従っての正しいデチューニン
グの結果として、結果としてのDFBレーザーは電流ド
ライブ隣要件を低減し、又FM応答を実質的に均一にな
るように平坦化する大きなキャリア調節(large carrie
r-mediated)FM応答を提供する。
第4図はライン幅エンハンスメント係数と波長の関係
(曲線42及び43)並びに利得と波長の関係(曲線4
1)の両者が組合わせられた図面である。アクティブ層
は4元素III−V族半導体材料、InGaAsPから成
り、λpが1.3μmよりも少し小さくなるように、モ
ル分率x=0.74,y=0.6の値とされる。ライン
幅エンハンスメント係数は、曲線42の埋め込みヘテロ
構造DFBレーザーに対して、及び曲線43の多重量子
井戸DFBレーザーに対して、波長の増加とともに増加
することが示される。つまり、両者のDFBレーザーは
波長の増加とともにより多くのチャープを示す。影を与
えられた領域44は、集積フィードバック構造、例え
ば、ブラッグ格子が、レーザーの動作波長(λB)がよ
り大きなライン幅エンハンスメント及び優れた直接電流
周波数変調動作を達成するために利得ピーク波長よりも
大きくなるようにDFBレーザーに対してチューニング
されるべき波長を示す。
(曲線42及び43)並びに利得と波長の関係(曲線4
1)の両者が組合わせられた図面である。アクティブ層
は4元素III−V族半導体材料、InGaAsPから成
り、λpが1.3μmよりも少し小さくなるように、モ
ル分率x=0.74,y=0.6の値とされる。ライン
幅エンハンスメント係数は、曲線42の埋め込みヘテロ
構造DFBレーザーに対して、及び曲線43の多重量子
井戸DFBレーザーに対して、波長の増加とともに増加
することが示される。つまり、両者のDFBレーザーは
波長の増加とともにより多くのチャープを示す。影を与
えられた領域44は、集積フィードバック構造、例え
ば、ブラッグ格子が、レーザーの動作波長(λB)がよ
り大きなライン幅エンハンスメント及び優れた直接電流
周波数変調動作を達成するために利得ピーク波長よりも
大きくなるようにDFBレーザーに対してチューニング
されるべき波長を示す。
実験からのもう一例においては、正しく設計された格子
及び導波路構造を持つDFBレーザーが4mAの最高最
低電流ドライブにてNRZデータ シーケンスを用いて
直接に周波数変調された。残留強度変調は7%以下であ
り、負均一なFM応答に起因する明らかな劣化は見られ
なかった。これは、本発明によるレーザー構造が先行技
術の持つ問題を実質的に不均一のFM応答をを排除する
ことによって克服することを示す。劣化が存在するとす
れば、これは、この疑似ランダム シーケンスが2Gb
psのデータ速度においては長さ223−1を持ち、これ
が熱遮断周波数よりも十分に低い1KHz以下のスペク
トル成分を与え、これが旧来の不均一FM応答として同
定されためである。
及び導波路構造を持つDFBレーザーが4mAの最高最
低電流ドライブにてNRZデータ シーケンスを用いて
直接に周波数変調された。残留強度変調は7%以下であ
り、負均一なFM応答に起因する明らかな劣化は見られ
なかった。これは、本発明によるレーザー構造が先行技
術の持つ問題を実質的に不均一のFM応答をを排除する
ことによって克服することを示す。劣化が存在するとす
れば、これは、この疑似ランダム シーケンスが2Gb
psのデータ速度においては長さ223−1を持ち、これ
が熱遮断周波数よりも十分に低い1KHz以下のスペク
トル成分を与え、これが旧来の不均一FM応答として同
定されためである。
材料系InGaAsP/InPが上の説明では分散フィ
ードバック レーザーを製造するための材料として説明
されたが、他の材料の組合わせを他の半導体グループII
I−V系、例えば、GaAs/AlGaAs、InGa
As/InAlAs、InGaAs/GaAlAs、G
aAsSb/GaAlAsSb及びGaAs/AlAs
から選択することもできる。これら半導体系において
は、層は適当なGaAs或はInP基板に対して格子マ
ッチングされる。基板材料上に歪を持つ層が成長される
場合のようなミスマッチングも考えられる。最後に、デ
バイス構造のII−XI族の半導体化合物への拡張も考えら
れる。
ードバック レーザーを製造するための材料として説明
されたが、他の材料の組合わせを他の半導体グループII
I−V系、例えば、GaAs/AlGaAs、InGa
As/InAlAs、InGaAs/GaAlAs、G
aAsSb/GaAlAsSb及びGaAs/AlAs
から選択することもできる。これら半導体系において
は、層は適当なGaAs或はInP基板に対して格子マ
ッチングされる。基板材料上に歪を持つ層が成長される
場合のようなミスマッチングも考えられる。最後に、デ
バイス構造のII−XI族の半導体化合物への拡張も考えら
れる。
第1図は周波数変調光波通信システムの略図; 第2図は本発明の原理に従う第1図の光波システム内に
使用するための分散フィードバック半導体レーザーの断
面を示す図; 第3図は第2図のレーザーの代替実施態様の線X−Xに
沿って切断した断面を示す図;そして 第4図はライン幅エンハンスメント係数及び利得包絡線
を波長の関数として示す図である。 <主要部分の符号の説明>10 ……光波通信システム 14……周波数変調された信号 15……伝送媒体 16……光波信号
使用するための分散フィードバック半導体レーザーの断
面を示す図; 第3図は第2図のレーザーの代替実施態様の線X−Xに
沿って切断した断面を示す図;そして 第4図はライン幅エンハンスメント係数及び利得包絡線
を波長の関数として示す図である。 <主要部分の符号の説明>10 ……光波通信システム 14……周波数変調された信号 15……伝送媒体 16……光波信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロバート ダブリュ.テカッチ アメリカ合衆国 07739 ニュージャーシ ィ,リットル シルヴァー,ウェストウッ ド ロード 27
Claims (4)
- 【請求項1】分散フィードバック レーザー及び該レー
ザーを周波数変調するための手段を含む光波送信機にお
いて、該レーザーが特性波長λP及びモーダル屈折率 を持つ利得媒体及び該利得媒体に光学的に結合された集
積フィードバック手段を含む半導体ヘテロ構造からな
り、該集積フィードバック手段が半導体ヘテロ構造の伝
送特性の空間的周期摂動を含み、また、有効格子周期Λ
effを持ち、 該有効格子周期が該特性波長に対して、 の関係を持ち、ここでMが集積フィードバック手段の次
数を特性化する1以上の整数からなることを特徴とする
光波送信機。 - 【請求項2】分散フィードバック レーザー及び該レー
ザーを周波数変調するための手段を含む光波送信機にお
いて、該レーザーが導波路及びこの中に含まれる利得媒
体を含み、該導波路が特性波長λPを持ち、該レーザー
が更に該利得媒体に光学的に結合された集積フィードバ
ック手段を含み、該集積フィードバック手段が該導波路
の伝送特性の空間的周期摂動を含み、又レーザーをブラ
ッグ波長λBにて動作させる有効格子周期を持ち、 該ブラッグ波長が該特性波長よりも大きなことを特徴と
する光波送信機。 - 【請求項3】光波送信機、光波受信機及び該光波送信機
と該光波受信機にこれらの間で光波信号伝播をサポート
するために光学的連帯的に結合された伝送媒体を含む光
波通信システムにおいて、該光波送信機が分散フィード
バック レーザー及び該レーザーを周波数変調するため
の手段を含み、該レーザーが特性波長λP及びモーダル
屈折率 を持つ利得媒体及び該利得媒体に光学的に結合された集
積フィードバック手段を含む半導体ヘテロ構造からな
り、該集積ィードバック手段が該半導体ヘテロ構造の伝
送特性の空間的周期摂動を含み、また、有効格子周期Λ
effを持ち、 該有効格子周期が該特性波長に対して、 の関係を持ち、ここで Mが集積フィードバック手段の次数を特性化する1以上
の整数からなることを特徴とする光波送信機。 - 【請求項4】光波送信機、光波受信機及び該光波送信機
と該光波受信機にこれらの間で光波信号伝播をサポート
するために光学的連帯的に結合された伝送媒体を含む光
波通信システムにおいて、該光波送信機が分散フィード
バック レーザー及び該レーザーを周波数変調するため
の手段を含み、該レーザーが導波路及びその中に含まれ
る利得媒体を含み、該導波路が特性波長λpを持ち、 該レーザーが更に該利得媒体に光学的に結合された集積
フィードバック手段を含み、該集積フィードバック手段
が該導波路の伝送特性の空間的周期摂動を含み、又レー
ザーをブラッグ波長λBにて動作させる有効格子周期を
持ち、 該ブラッグ波長が該特性波長よりも大きなことを特徴と
する光波通信システム。
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