JPH0693376B2 - 高周波誘導加熱装置における温度測定方法 - Google Patents
高周波誘導加熱装置における温度測定方法Info
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- JPH0693376B2 JPH0693376B2 JP13532986A JP13532986A JPH0693376B2 JP H0693376 B2 JPH0693376 B2 JP H0693376B2 JP 13532986 A JP13532986 A JP 13532986A JP 13532986 A JP13532986 A JP 13532986A JP H0693376 B2 JPH0693376 B2 JP H0693376B2
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Landscapes
- General Induction Heating (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は高周波誘導加熱装置における温度測定方法に
関するものである。
関するものである。
プラズマ浸炭を行なう場合等では、被処理物の温度を測
定することが必要となっている。
定することが必要となっている。
従来、非接触にて前記の様な被処理物の温度を測定する
場合、輻射温度計などが用いられていたが輻射率のばら
つきにより温度が正確に測定出来なかった。
場合、輻射温度計などが用いられていたが輻射率のばら
つきにより温度が正確に測定出来なかった。
そこでこの発明は、前記の様な従来の温度測定法を改良
して温度測定の精度を上げることのできる高周波誘導加
熱装置における温度測定法を提供することを目的とす
る。
して温度測定の精度を上げることのできる高周波誘導加
熱装置における温度測定法を提供することを目的とす
る。
この高周波誘導加熱装置における温度測定方法は非接触
にて温度を測定する際に、磁気変態点を温度定点として
検出することにより、非接触式温度計の校正を行い、温
度測定の精度を上げる点に特徴がある。
にて温度を測定する際に、磁気変態点を温度定点として
検出することにより、非接触式温度計の校正を行い、温
度測定の精度を上げる点に特徴がある。
以下、図示するこの発明の実施例により説明する。第１
図に、この発明による温度測定方法を採用した高周波誘
導加熱装置を示した。
図に、この発明による温度測定方法を採用した高周波誘
導加熱装置を示した。
ここで、スペーサー７を介して２段に積まれた強磁性体
である被処理物１の周囲を加熱用コイル２が取り囲むよ
うに配置され、この加熱用コイル２への通電により発生
する磁束６で被処理物１が誘導加熱される。
である被処理物１の周囲を加熱用コイル２が取り囲むよ
うに配置され、この加熱用コイル２への通電により発生
する磁束６で被処理物１が誘導加熱される。
また、被処理物１の近傍には誘導起電力を測定する磁束
検出用コイル３が設けられ、さらに加熱用コイル２の外
側には非接触にて被処理物１の温度を測定する赤外線温
度計４が設けられている。
検出用コイル３が設けられ、さらに加熱用コイル２の外
側には非接触にて被処理物１の温度を測定する赤外線温
度計４が設けられている。
ここで、被処理物１は温度を上げていくと材質に固有の
磁気変態温度Tcにおいて、強磁性から常磁性に相転移
し、磁束検出用コイル３に発生する誘導起電力が急激に
減少する。
磁気変態温度Tcにおいて、強磁性から常磁性に相転移
し、磁束検出用コイル３に発生する誘導起電力が急激に
減少する。
この誘導起電力の減少から、磁気変態温度Tcを検出し、
赤外線温度計４の指示値を較正する事により温度測定精
度を高める。
赤外線温度計４の指示値を較正する事により温度測定精
度を高める。
すなわち、強磁性体を高周波誘導加熱すると被処理物１
内の磁束６は第２図に示すように、近似的に表皮深さδ
FeWの表皮効果５の部分のみを真空の磁束密度のμｒ倍
（μｒは比透磁率）の密度で分布する。
内の磁束６は第２図に示すように、近似的に表皮深さδ
FeWの表皮効果５の部分のみを真空の磁束密度のμｒ倍
（μｒは比透磁率）の密度で分布する。
被処理物１が磁気変態温度Tcにて強磁性体から常磁性体
に相転移を起こすと被処理物１内の磁束６の分布は比透
磁率μｒ＞＞１からμｒ＝１に減少するのに伴い第２図
から第３図に示した様に磁束検出用コイル３と交鎖する
磁束６が減少する。
に相転移を起こすと被処理物１内の磁束６の分布は比透
磁率μｒ＞＞１からμｒ＝１に減少するのに伴い第２図
から第３図に示した様に磁束検出用コイル３と交鎖する
磁束６が減少する。
従って、磁束検出用コイル３に発生する誘導起電力は第
４図の様になり、この変化から被処理物１の材質に固有
の磁気変態温度Tcを検出し、赤外線温度計４の指示値を
較正する。
４図の様になり、この変化から被処理物１の材質に固有
の磁気変態温度Tcを検出し、赤外線温度計４の指示値を
較正する。
この発明による高周波誘導加熱装置における温度測定方
法の実施例は以上の通りであり次に述べる効果を挙げる
ことができる。
法の実施例は以上の通りであり次に述べる効果を挙げる
ことができる。
温度測定方法を改良して温度測定の精度を上げることの
できる高周波誘導加熱装置における温度測定方法とな
る。
できる高周波誘導加熱装置における温度測定方法とな
る。
第１図はこの発明による温度測定方法を採用した高周波
誘導加熱装置の全体図、第２図は被処理物が強磁性金属
の場合における磁束線図、第３図は常磁性金属の磁束線
図、第４図は検出コイルの誘導起電力特性図である。 １……被処理物、２……加熱用コイル、 ３……磁束検出用コイル、 ４……赤外線温度計、５……表皮効果、 ６……磁束、７……スペーサー。
誘導加熱装置の全体図、第２図は被処理物が強磁性金属
の場合における磁束線図、第３図は常磁性金属の磁束線
図、第４図は検出コイルの誘導起電力特性図である。 １……被処理物、２……加熱用コイル、 ３……磁束検出用コイル、 ４……赤外線温度計、５……表皮効果、 ６……磁束、７……スペーサー。
Claims (1)
- 【請求項１】強磁性体を被処理物とする誘導加熱装置に
おいて、 磁束検出コイルを用いて前記強磁性体内の磁束による誘
導起電力を検出し、当該誘導起電力の変化から前記強磁
性体内の磁気変態点を検出し、非接触温度計の指示値を
較正することを特徴とする高周波誘導加熱装置における
温度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13532986A JPH0693376B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 高周波誘導加熱装置における温度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13532986A JPH0693376B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 高周波誘導加熱装置における温度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62291891A JPS62291891A (ja) | 1987-12-18 |
| JPH0693376B2 true JPH0693376B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=15149217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13532986A Expired - Lifetime JPH0693376B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 高周波誘導加熱装置における温度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0693376B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3724857B2 (ja) * | 1995-09-18 | 2005-12-07 | 株式会社瀬田技研 | 電磁誘導加熱装置の温度制御装置及び始動方法 |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP13532986A patent/JPH0693376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62291891A (ja) | 1987-12-18 |
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