JPH069498Y2 - スピンドライヤ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ａ．産業上の利用分野 本考案は、被乾燥物を回転駆動するためのロータと、こ
のロータを囲むチャンバと、このチャンバ内に挿通され
て前記ロータに連結された回転駆動軸とをそれぞれ具備
するスピンドライヤに関するものである。

ｂ．従来の技術とその問題点 この種のスピンドライヤは液体洗浄後の半導体材料等の
乾燥に利用されるが、半導体材料等の被乾燥物はゴミや
塵の付着を非常にきらうため、スピンドライヤの各部に
防塵のための工夫が必要である。特に、被乾燥物への塵
埃の付着はロータの回転駆動軸の軸受け部で発生する粉
塵がチャンバと回転駆動軸との間の隙間を通って侵入す
ることが最大の要因となることから、この隙間のシール
が重要な課題となっている。

上述の課題を解決するためには、空気軸受けや磁気軸受
け等の如き非接触式の軸受けを用いれば、粉塵の発生そ
のものを防ぐことができるが、そのような軸受けを採用
すると極めて高価なものとなり実用に供し得なくなる。
しかも、このような構成を採ったとしても、チャンバの
周囲には常に塵埃が浮遊しているため、既述の隙間のシ
ールを確実に行なうようにする必要がある。

このような事情から、従来より各種の工夫がなされてき
たが、ロータの回転駆動軸とチャンバの間の隙間からチ
ャンバ内への塵埃の侵入を効果的に防ぐことは決めて困
難であり、現在でも被乾燥物へ塵埃が付着する最大の要
因となっている。

本考案は、上述の如き実状に鑑みてなされたものであっ
て、その目的は、構成が極めて簡単でかつ安価な防塵シ
ール機構であるにも拘わらず、この防塵シール機構を設
けることによって、ロータの回転駆動軸とチャンバとの
間の隙間を介してのチャンバ内への塵埃の侵入を効果的
に防止でき、被乾燥物への塵埃の付着を防ぐことができ
るようなスピンドライヤを提供することにある。

ｃ．問題点を解決するための手段 既述の問題点を解決するために、本考案では、乾燥装物
を回転駆動するためのロータと、前記ロータを囲むチャ
ンバと、前記チャンバの貫通孔を通して前記チャンバ内
に挿入されて前記ロータに連結された回転駆動軸とをそ
れぞれ具備するスピンドライヤにおいて、上部に開口を
有しかつ内部にシール液が注入されて貯蔵される環状の
液体容器と、前記液体容器内に前記開口を介して挿入配
置されかつ先端部分が前記液体容器に対して非接触状態
で前記シール液中に浸漬される環状の仕切部材とを、前
記回転駆動軸に対して同軸状に配置し、前記液体容器及
び仕切部材のうちの一方を前記チャンバに取付けると共
に、他方を前記回転駆動軸に取付けて成る防塵シール機
構を設け、前記回転駆動軸の回転駆動に伴って発生する
遠心力にて前記シール液が前記液体容器の周壁面の側に
流動された場合にも、前記仕切部材の先端部分が前記シ
ール液中に浸漬した状態を維持するように構成し、前記
シール液及び仕切部材により、前記回転駆動軸とチャン
バの貫通孔との間の隙間をシールするようにしている。

以下、本考案の実施例に付き図面を参照して説明する。

第１図は本考案を適用したスピンドライヤ１を示すもの
であって、同図において、２はケーシング、３はケーシ
ング２の底面2a上に固定部材４にて固定配置されたモー
タ、５はケーシング２の上部に固定配置されたチャン
バ、６はチャンバ５内に回転自在の状態で配置されたロ
ータ、７はチャンバ５の蓋板である。

上述のモータ３の回転駆動軸3aは、垂直状に配置される
と共に、チャンバ５の底壁5aの中央部に形成された貫通
孔８内に遊嵌状態で貫通配置されている。そして、この
回転駆動軸3aの上端にロータ６が取付けられている。

また、回転駆動軸3aとチャンバ５の貫通孔８との間の隙
間Ａに関連して防塵シール機構９が設けられている。こ
の防塵シール機構９は、第２図に明示する如く（但し、
左右同形なので右半分は省略）、容器本体10及びこの容
器本体10の上部開口の外周部分を覆う蓋体11から成る円
環状の液体容器12と、この液体容器12の容器本体10内に
注入されて貯蔵されたシール液（例えば超純水）13と、
円筒部14a及びこの円筒部14aの一端から末広がり状に延
びる円錐台形の仕切部14bを有する環状の仕切部材14と
で構成されている。すなわち、上述の容器本体12は回転
駆動軸3aを取り囲むように同軸状に配置されると共に、
チャンバ５の底壁5aに固定されている。なお、回転駆動
軸3aは容器本体10の中心孔10a内に遊嵌状態で挿入され
ており、これら両部材は互いに非接触状態の下に置かれ
ている。一方、上述の仕切部材14は、円筒部14aが回転
駆動軸3aに嵌着されて固定され、円錐台形の仕切部14b
が液体容器12の上部開口12aを介して容器本体10内に挿
通されている。そして、この仕切部14bの先端部分が、
容器本体10内に注入されて貯蔵されているシール液13中
に浸漬されている。なお、仕切部14bの先端部分と容器
本体10とは互いに非接触状態となっている。

次に、上述の如き構成のスピンドライヤ１の動作並びに
防塵シール機構９のシール機能に付き述べる。

まず、蓋板７を外すことによってチャンバ５を開蓋して
ロータ６に被乾燥物を載置固定し、モータ３を作動す
る。これに伴い、ロータ６及び被乾燥物がモータ３の回
転駆動軸3aと共にチャンバ５内において高速回転され、
その際の遠心力にて被乾燥物に付着している液滴が取り
払われて乾燥される。なお、取り払われた液滴はチャン
バ５の周面にて受けられ、チャンバ５の排出口5bを介し
て外部に放出される。

ここで、本例のスピンドライヤ１のシール機能に付いて
説明する。

まず、非作動時すなわ回転駆動軸3aが停止している時に
は、第２図に示すように液体容器12内のシール液13とこ
のシール液中に先端部分が挿入された仕切部材14とによ
り、回転駆動軸3aとチャンバ５の貫通孔８との間の隙間
Ａがシールされ、チャンバ５の内外は防塵シール機構９
にて完全に遮断される。また、動作時すなわち回転駆動
軸の回転時には、回転駆動軸3aと一緒に高速回転する仕
切部材14の仕切部14bに伴ってシール液13が液体容器12
内で回動するためにその遠心力にて容器本体の周壁面10
bに押しつけられ、その液面13aが第３図に示す如くにな
る。しかし、このシール液１３は液体容器12の蓋体11に
て、液体容器12外への流出は阻止される。なおこの場合
にも、前記仕切部材14bの先端部分はシール液13中に浸
漬されたままの状態が維持されるように構成されている
ので、前記隙間Ａのシール状態は維持される。

以上のようなスピンドライヤ１によれば、構成が簡単で
安価な防塵シール機構９を回転駆動軸3aの周面に設け
て、前記隙間Ａをシールするようにしたものであるか
ら、回転駆動軸3aの軸受け部（図示せず）から発生する
粉塵やチャンバ５の周囲に浮遊する塵埃等が前記隙間Ａ
を通ってチャンバ５内に侵入するのを効果的に防止でき
る。すなわち、回転駆動軸3aの軸受け部で発生した粉塵
等がチャンバ５内腔に侵入するには液体容器12内のシー
ル液13を通過しなければならないが、一度シール液13中
に入った粉塵はシール液13の表面張力によってシール液
13中に閉じ込められ、このシール液13を離脱してチャン
バ５内に入ることはできない。従って、チャンバ５内に
粉塵等が侵入して被乾燥物に付着してしまうような不都
合を生じるおそれは皆無となる。

以上、本考案の一実施例に付き説明したが、本考案は既
述の実施例に限定されるものではなく、本考案の技術的
思想に基づいて各種の変形及び変更が可能である。

例えば、既述の実施例では液体容器12をチャンバ５の底
壁5aに取付けると共に、仕切部材14を回転駆動軸3aに取
り付けるようにしたが、第４図及び第５図にそれぞれ示
すように既述の実施例の場合とは逆の構成を採ることも
可能である。第４図の例は、容器本体15及び蓋体16から
成る液体容器17を取付けると共に、仕切部材18をチャン
バ５に取付け、この仕切部材18の先端の仕切部19を液体
容器17の上部開口17aを介して液体容器17内に挿入し、
仕切部19の先端部分を液体容器17内のシール液20中に浸
漬するようにしたものである。第５図の例は、回転駆動
軸3aに取付けられた容器本体23と、蓋体24と、回転駆動
軸3aの一部とによって液体容器25を構成し、チャンバ５
に取付けた仕切部材26の仕切部27を液体容器25の上部開
口25aを介してその内部に挿入し、仕切部27の先端部分
を液体容器25内のシール液29中に浸漬するようにしたも
のである。

第４図及び第５図のように構成した場合にも、既述の実
施例の場合と同様に、構成が簡単であるにも拘わらず完
全なシール効果を得ることができる。

ｄ考案の効果 以上の如く本考案は、液体容器及び仕切部材のうちの一
方をチャンバに取付け、他方を回転駆動軸に取付けて、
仕切部材の先端部分を前記液体容器内に注入されて貯蔵
されたシール液中に浸漬して成る防塵シール機構を設
け、回転駆動軸の回転駆動に伴って発生する遠心力にて
前記シール液が前記液体容器の周壁面の側に流動された
場合にも、前記仕切部材の先端部分が前記シール液中に
浸漬した状態を維持するように構成し、前記シール液及
び仕切部材により、前記回転駆動軸とチャンバの貫通孔
との間の隙間をシールするようにしたものであるから、
構成が極めて簡単で安価であるにも拘わらず、シール液
による遮蔽作用にて良好な防塵効果を得ることができ、
非常に実用的である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案を適用したスピンドライヤの縦断面図、
第２図はシール機構の右半分を省略して示す拡大断面
図、第３図はスピンドライヤの作動時におけるシール液
の状態を示す第２図と同様の拡大断面図、第４図及び第
５図はシール機構の別例をそれぞれ示す第２図と同様の
拡大断面図である。 １……スピンドライヤ、３……モータ、 3a……回転駆動軸、５……チャンバ、 ６……ロータ、８……貫通孔、 ９……防塵シール機構、10,15,23……容器本体、 11,16,24……蓋体、12,17,25……液体容器、 12a,17a,25a……上部開口、13,20,29……シール液、 13a……液面、14,18,26……仕切部材、 Ａ……隙間。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】被乾燥物を回転駆動するためのロータと、
   前記ロータを囲むチャンバと、前記チャンバの貫通孔を
   通して前記チャンバ内に挿入されて前記ロータに連結さ
   れた回転駆動軸とをそれぞれ具備するスピンドライヤに
   おいて、上部に開口を有しかつ内部にシール液が注入さ
   れて貯蔵される環状の液体容器と、前記液体容器内に前
   記開口を介して挿入配置されかつ先端部分が前記液体容
   器に対して非接触状態で前記シール液中に浸漬される環
   状の仕切部材とを、前記回転駆動軸に対して同軸状に配
   置し、前記液体容器及び仕切部材のうちの一方を前記チ
   ャンバに取付けると共に、他方を前記回転駆動軸に取付
   けて成る防塵シール機構を設け、前記回転駆動軸の回転
   駆動に伴って発生する遠心力にて前記シール液が前記液
   体容器の周壁面の側に流動された場合にも、前記仕切部
   材の先端部分が前記シール液中に浸漬した状態を維持す
   るように構成し、前記シール液及び仕切部材により、前
   記回転駆動軸とチャンバの貫通孔との間の隙間をシール
   するようにしたことを特徴とするスピンドライヤ。