JPH0696767B2 - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
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- JPH0696767B2 JPH0696767B2 JP61135332A JP13533286A JPH0696767B2 JP H0696767 B2 JPH0696767 B2 JP H0696767B2 JP 61135332 A JP61135332 A JP 61135332A JP 13533286 A JP13533286 A JP 13533286A JP H0696767 B2 JPH0696767 B2 JP H0696767B2
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- guide roll
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 33
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、鋼帯等金属帯板（以下単にストリップとい
う。）の片面に亜鉛等金属メッキを施すための連続真空
蒸着装置に関するものである。
う。）の片面に亜鉛等金属メッキを施すための連続真空
蒸着装置に関するものである。
（従来の技術） 従来、所定の真空度に圧力調整された蒸着室内に、スト
リップを挟んでストリップ進行方向に沿う平行２枚の板
ガイドを設け、該板ガイド先端に設けたガイドにストリ
ップの両端エッジを当接させ、該ストリップ表面にだけ
金属蒸気が付着するようにした連続真空蒸着装置は知ら
れている（特開昭58−133375号公報参照）。
リップを挟んでストリップ進行方向に沿う平行２枚の板
ガイドを設け、該板ガイド先端に設けたガイドにストリ
ップの両端エッジを当接させ、該ストリップ表面にだけ
金属蒸気が付着するようにした連続真空蒸着装置は知ら
れている（特開昭58−133375号公報参照）。
（発明が解決しようとする問題点） しかし、ストリップの両端部には圧延で発生した波打ち
形状部等が存在しており、装置の稼働中、ストリップの
両端エッジをガイドに一定の箇所で線接触させることは
不可能であるから、ガイドはストリップの両端エッジで
損傷してしまうと共に、これに加えてストリップ両端部
の波打ち形状部等があってガイドとストリップとの間に
隙間が必ず発生し、ガイドによる蒸気シールドが不完全
となるから、金属蒸気はガイドとストリップとの間から
洩れ、無効蒸気が発生し、さらにこの蒸気がメッキを必
要としないストリップ表面等に付着するという不都合を
免れない。
形状部等が存在しており、装置の稼働中、ストリップの
両端エッジをガイドに一定の箇所で線接触させることは
不可能であるから、ガイドはストリップの両端エッジで
損傷してしまうと共に、これに加えてストリップ両端部
の波打ち形状部等があってガイドとストリップとの間に
隙間が必ず発生し、ガイドによる蒸気シールドが不完全
となるから、金属蒸気はガイドとストリップとの間から
洩れ、無効蒸気が発生し、さらにこの蒸気がメッキを必
要としないストリップ表面等に付着するという不都合を
免れない。
（発明の目的） 本発明は、前記従来の問題点を解決するためになしたも
ので、ストリップ表面に限られた幅で金属蒸気を効率良
く付着させることができると共に、無効蒸気の発生及び
蒸着範囲外のストリップ表面等への付着を確実に防止で
きるようにすることを目的とする。
ので、ストリップ表面に限られた幅で金属蒸気を効率良
く付着させることができると共に、無効蒸気の発生及び
蒸着範囲外のストリップ表面等への付着を確実に防止で
きるようにすることを目的とする。
（問題点を解決するための手段） 本発明の連続真空蒸着装置は、蒸着室１内のストリップ
２をガイドロール４で転向させると共に、金属蒸気をガ
イドロール４へ導くダクト６の先端部に、ガイドロール
４上に巻き付いたストリップ表面に臨ませて開口させ、
かつ、微小間隔23をおいて摺接させた金属蒸気口を設
け、該金属蒸気口を、ガイドロール４のロール軸と平行
に、所定の間隔をおいて対向するように前記ダクト６に
設けられた一対のガイドレール7,7と、前面がガイドロ
ール４の周面に沿う円弧状の凹面に形成され、前記ガイ
ドレール7,7の対向する内面に係合されてガイドロール
４のロール軸方向に摺動し得る一対の蒸気遮蔽板8,8
と、前記ガイドレール7,7間でダクト６に取付けられ、
前記蒸気遮蔽板8,8の後面に当接するシール体（シール
バー）９とで構成したことを特徴とするものである。
２をガイドロール４で転向させると共に、金属蒸気をガ
イドロール４へ導くダクト６の先端部に、ガイドロール
４上に巻き付いたストリップ表面に臨ませて開口させ、
かつ、微小間隔23をおいて摺接させた金属蒸気口を設
け、該金属蒸気口を、ガイドロール４のロール軸と平行
に、所定の間隔をおいて対向するように前記ダクト６に
設けられた一対のガイドレール7,7と、前面がガイドロ
ール４の周面に沿う円弧状の凹面に形成され、前記ガイ
ドレール7,7の対向する内面に係合されてガイドロール
４のロール軸方向に摺動し得る一対の蒸気遮蔽板8,8
と、前記ガイドレール7,7間でダクト６に取付けられ、
前記蒸気遮蔽板8,8の後面に当接するシール体（シール
バー）９とで構成したことを特徴とするものである。
蒸気遮蔽板８の位置調整には、モータとスクリュネジに
よる方式や流体圧シリンダによる方式などの一般的な方
式を採用することができる。
よる方式や流体圧シリンダによる方式などの一般的な方
式を採用することができる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を図面に沿い説明する。図中１
は蒸気室で、ストリップ２をガイドしつつシールする差
圧式の図示しない真空シール装置によりハウジング３の
ストリップ入側および出側をシールされると共に、図示
しない真空ポンプによる真空吸引により真空度１〜10-4
Torrに圧力調整されている。
は蒸気室で、ストリップ２をガイドしつつシールする差
圧式の図示しない真空シール装置によりハウジング３の
ストリップ入側および出側をシールされると共に、図示
しない真空ポンプによる真空吸引により真空度１〜10-4
Torrに圧力調整されている。
ストリップ２は、この蒸気室１内でガイドロール４の第
１図に示す左側部に巻き付けられ側面視くの字状に転向
している。
１図に示す左側部に巻き付けられ側面視くの字状に転向
している。
５は蒸発ツルボで、該ルツボ５の上部にはダクト６が接
続され、下部にはハウジング３外の図示しない溶解槽が
ポンプを介して接続されている。
続され、下部にはハウジング３外の図示しない溶解槽が
ポンプを介して接続されている。
ダクト６の先端部は、ガイドロール４上に巻付いたスト
リップ２の表面に臨んで開口して金属蒸気口となってお
り、上下のダクト壁先端部内面には、ガイドロール４の
ロール軸方向に沿ってシール材製ガイドレール７が対向
して設けられ、該ガイドレール７間にはガイドロール４
の周面に沿う円弧状の凹面が形成されたシール材製蒸気
遮蔽板８が左右のダクト壁の前を横切って摺動可能に係
合されると共に、左右のダクト壁先端部には、前記ガイ
ドレール７に連結し、かつ、前記蒸気遮蔽板８の裏面に
摺接したシールバー９が設けられている。
リップ２の表面に臨んで開口して金属蒸気口となってお
り、上下のダクト壁先端部内面には、ガイドロール４の
ロール軸方向に沿ってシール材製ガイドレール７が対向
して設けられ、該ガイドレール７間にはガイドロール４
の周面に沿う円弧状の凹面が形成されたシール材製蒸気
遮蔽板８が左右のダクト壁の前を横切って摺動可能に係
合されると共に、左右のダクト壁先端部には、前記ガイ
ドレール７に連結し、かつ、前記蒸気遮蔽板８の裏面に
摺接したシールバー９が設けられている。
さらに、上下ダクト壁先端には、ガイドロール４に巻付
いたストリップ２の表面に摺接可能なロール軸方向に沿
う入側シール板10と出側シール板11が蒸気遮蔽板８を挟
んで設けられている。
いたストリップ２の表面に摺接可能なロール軸方向に沿
う入側シール板10と出側シール板11が蒸気遮蔽板８を挟
んで設けられている。
蒸気遮蔽板８は、該板裏面に突設した支持片12にて、左
右のダクト壁間に架設したガイドバー13に摺動可能に嵌
合されると共に、左右のダクト壁にモータ14等で回転可
能に設けたスクリュネジ15と螺合しており、該スクリュ
ネジ15の正逆回転によりガイドバー13に沿い移動しガイ
ドレール７及びシールバー９との摺接シール状態を保持
する。
右のダクト壁間に架設したガイドバー13に摺動可能に嵌
合されると共に、左右のダクト壁にモータ14等で回転可
能に設けたスクリュネジ15と螺合しており、該スクリュ
ネジ15の正逆回転によりガイドバー13に沿い移動しガイ
ドレール７及びシールバー９との摺接シール状態を保持
する。
16はロールチョックで、ハウジング３の相対する外側面
に沿って第１図の左右方向にスライド可能にスライドベ
ース17上に支持されており、該ロールチョック16の第１
図に示す右側部（反金属蒸気口側部）には固定ナット18
が内蔵されている。一方、スライドベース17上には、各
ロールチョック16内の固定ナット18と螺合したスクリュ
ネジ19が軸受20を介して回転可能に支持されており、両
スクリュネジ19は駆動装置21により連動機構22を介して
同調回転可能に連結されている。
に沿って第１図の左右方向にスライド可能にスライドベ
ース17上に支持されており、該ロールチョック16の第１
図に示す右側部（反金属蒸気口側部）には固定ナット18
が内蔵されている。一方、スライドベース17上には、各
ロールチョック16内の固定ナット18と螺合したスクリュ
ネジ19が軸受20を介して回転可能に支持されており、両
スクリュネジ19は駆動装置21により連動機構22を介して
同調回転可能に連結されている。
ガイドロール４は、前記ロールチョック16に支持されて
おり、第１図に示す左側（金属蒸気口側）に進退して該
ガイドロール４に巻付けたストリップ２と金属蒸気口及
びシール板10,11との間の間隙23を調整可能となってい
る。
おり、第１図に示す左側（金属蒸気口側）に進退して該
ガイドロール４に巻付けたストリップ２と金属蒸気口及
びシール板10,11との間の間隙23を調整可能となってい
る。
ガイドロール４のかかる移動性を保ちつつ蒸気室１内の
真空を保持するために、ハウジング３とロールチョック
16との間には図示しないシール装置が設けられている。
真空を保持するために、ハウジング３とロールチョック
16との間には図示しないシール装置が設けられている。
尚、本実施例は金属蒸気口を固定側、ガイドロール４を
可動側とした例であったが、反対にガイドロール４を固
定側、金属蒸気口を可動側としても、ストリップ２と金
属蒸気口との間の間隙23を調整できる点で同効である。
可動側とした例であったが、反対にガイドロール４を固
定側、金属蒸気口を可動側としても、ストリップ２と金
属蒸気口との間の間隙23を調整できる点で同効である。
（作用） 蒸気室１内を一定の真空度１〜10-4Torrに圧力調整して
あるため、蒸発ルツボ５内の溶融金属は蒸発する。この
金属蒸気は、ダクト６により、移送されるストリップ２
の表面に導かれて該ストリップ表面に付着する。
あるため、蒸発ルツボ５内の溶融金属は蒸発する。この
金属蒸気は、ダクト６により、移送されるストリップ２
の表面に導かれて該ストリップ表面に付着する。
ダクト６の先端に設けた上下のガイドレール７及び該ガ
イドレール７に案内されて移動可能な左右の蒸気遮蔽板
８は、ストリップ２の表面に対向した金属蒸気口を構成
すると共に、該金属蒸気口には、ストリップ２の移動方
向の前後においてストリップ２の表面に対向した入側，
出側シール板10,11が設けられており、ストリップ２と
金属蒸気口及びシール板10,11との間の間隙23は駆動装
置21による金属蒸気口へのガイドロール４の前進操作で
調整できるから、この間隙23を極小に調整しておけば、
金属蒸気は周囲にリークすることなく金属蒸気口に臨ん
だストリップ表面にだけ付着することになる。
イドレール７に案内されて移動可能な左右の蒸気遮蔽板
８は、ストリップ２の表面に対向した金属蒸気口を構成
すると共に、該金属蒸気口には、ストリップ２の移動方
向の前後においてストリップ２の表面に対向した入側，
出側シール板10,11が設けられており、ストリップ２と
金属蒸気口及びシール板10,11との間の間隙23は駆動装
置21による金属蒸気口へのガイドロール４の前進操作で
調整できるから、この間隙23を極小に調整しておけば、
金属蒸気は周囲にリークすることなく金属蒸気口に臨ん
だストリップ表面にだけ付着することになる。
左右の蒸気遮蔽板８をモータ14によるストリップ幅方向
移動操作でストリップ２の両端位置等に設置して金属蒸
気口の開口横幅を調整できるから、この開口横幅調整装
置12〜14によりストリップ２の板幅寸法に対応して金属
蒸気の付着範囲を適宜調節できることになる。
移動操作でストリップ２の両端位置等に設置して金属蒸
気口の開口横幅を調整できるから、この開口横幅調整装
置12〜14によりストリップ２の板幅寸法に対応して金属
蒸気の付着範囲を適宜調節できることになる。
（発明の効果） 以上の通り本発明は、蒸着室内のストリップをガイドロ
ールで転向させると共に、ガイドロール上に巻付いたス
トリップ表面に臨ませて開口させた金属蒸気口を設け、
該金属蒸気口をストリップ表面に微小間隔をおいて摺接
させてあり、ガイドロールによるガイドでストリップか
ぶれないため、ストリップと金属蒸気口との間の前記微
小間隔は変動せず、シール性が安定しているから、金属
蒸気を周囲にリークさせることなく金属蒸気口が臨んだ
ストリップ表面にだけ効率良く付着させることができる
と共に、従来のような損傷部分は生ぜず、メンテナンス
性を向上させることができる。さらに、金属蒸気口の開
口横幅を調整できるから、ストリップの板幅に確実に対
応できる。
ールで転向させると共に、ガイドロール上に巻付いたス
トリップ表面に臨ませて開口させた金属蒸気口を設け、
該金属蒸気口をストリップ表面に微小間隔をおいて摺接
させてあり、ガイドロールによるガイドでストリップか
ぶれないため、ストリップと金属蒸気口との間の前記微
小間隔は変動せず、シール性が安定しているから、金属
蒸気を周囲にリークさせることなく金属蒸気口が臨んだ
ストリップ表面にだけ効率良く付着させることができる
と共に、従来のような損傷部分は生ぜず、メンテナンス
性を向上させることができる。さらに、金属蒸気口の開
口横幅を調整できるから、ストリップの板幅に確実に対
応できる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は、第
３図は第１図のII−II線,III−III線に沿う断面図、第
４図はガイドロール進退機構を示す側面図である。 １……蒸着室、２……ストリップ、３……ハウジング、
４……ガイドロール ５……蒸発ルツボ、６……ダクト、７……ガイドレー
ル、８……蒸気遮蔽板 ９……シールバー、10……入側シール板、11……出側シ
ール板 12……支持片、13……ガイドバー、14……モータ、 15,19……スクリュネジ、16……ロールチョック、 17……スライドベース、18……固定ナット、20……軸
受、 21……駆動装置、22……連動機構、23……間隙。
３図は第１図のII−II線,III−III線に沿う断面図、第
４図はガイドロール進退機構を示す側面図である。 １……蒸着室、２……ストリップ、３……ハウジング、
４……ガイドロール ５……蒸発ルツボ、６……ダクト、７……ガイドレー
ル、８……蒸気遮蔽板 ９……シールバー、10……入側シール板、11……出側シ
ール板 12……支持片、13……ガイドバー、14……モータ、 15,19……スクリュネジ、16……ロールチョック、 17……スライドベース、18……固定ナット、20……軸
受、 21……駆動装置、22……連動機構、23……間隙。
Claims (1)
- 【請求項１】蒸着室（１）内のストリップ（２）をガイ
ドロール（４）で転向させると共に、金属蒸気をガイド
ロール（４）へ導くダクト（６）の先端部に、ガイドロ
ール（４）上に巻き付いたストリップ表面に臨ませて開
口させ、かつ、微小間隔（23）をおいて摺接させた金属
蒸気口を設け、該金属蒸気口を、ガイドロール（４）の
ロール軸と平行に、所定の間隔をおいて対向するように
前記ダクト（６）に設けられた一対のガイドレール（7,
7）と、前面がガイドロール（４）の周面に沿う円弧状
の凹面に形成され、前記ガイドレール（7,7）の対向す
る内面に係合されてガイドロール（４）のロール軸方向
に摺動し得る一対の蒸気遮蔽板（8,8）と、前記ガイド
レール（7,7）間でダクト（６）に取付けられ、前記蒸
気遮蔽板（8,8）の後面に当接するシール体（９）とで
構成したことを特徴とする連続真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61135332A JPH0696767B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 連続真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61135332A JPH0696767B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62290868A JPS62290868A (ja) | 1987-12-17 |
| JPH0696767B2 true JPH0696767B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=15149289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61135332A Expired - Lifetime JPH0696767B2 (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0696767B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06102828B2 (ja) * | 1990-10-23 | 1994-12-14 | 日本鋼管株式会社 | 帯板の皮膜形成装置 |
| CN107034437B (zh) * | 2017-05-27 | 2024-01-30 | 郑州华晶新能源科技有限公司 | 一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6021377A (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-02 | Nisshin Steel Co Ltd | 付着量分布制御手段つき真空蒸着めつき装置 |
| JPS60197876A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP61135332A patent/JPH0696767B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62290868A (ja) | 1987-12-17 |
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