JPH069705Y2 - 金型搬送台車 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば半導体装置の製造工程で用いるモール
ドブレス装置等の所謂プレス装置における金型の脱着及
び搬送に供する金型搬送台車に関する。

〔考案の概要〕

本考案は、プレス装置における金型の脱着および搬送に
使用される金型搬送台車において、搬送台車本体上に上
下動機構を介して金型支持テーブルを設け、このテーブ
ル上に金型を移動可能ならしめ且つローラ配置面を基準
に上下動可能なローラを配し、上下動機構及びテーブル
の周囲にスライド式安全カバーを設けると共に、この安
全カバー内及び搬送台車本体の車輪の近傍に夫々集塵機
を配し、さらに、搬送台車本体にテーブルの高さ位置を
決める磁気スケールを設けることによって半導体製造作
業室のような所謂クリーンルーム内での使用を可能にし
金型の着脱及び搬送を安全、正確、迅速に行えるように
したものである。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程では、リードフレームにマウント
した半導体素子を樹脂モールドする工程があり、モール
ドプレス装置が用いられる。従来、このようなモールド
プレス装置における金型の着脱及び搬送は、フォークリ
フト等種々の方法で行われていた。第１１図はフォーク
リフト(1)を使用して金型(2)をモールドプレス装置(3)
に搬送する場合の例であり、フォークリフト(1)からの
モールドプレス装置(3)へ金型(2)を移す際には、ころ
(4)等を用いて行なわれる。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来のフォークリフト等の種々の搬送手段に、いずれも
安全、正確、迅速等に欠けており、特に700Kg〜1.5tの
重量のある金型の場合には危険が非常に高く熟練を要す
るものであった。

例えば金型(2)を第１１図に示すフォークリフト(1)に積
むときには金型(2)の下にころ(4)等を敷き、転がして移
動させる。金型(2)が前方に傾むくので、絶えず傾き調
整や高さ調整が行われる。また傾き調整が出来ない場合
は金型(2)が前方に転がり出ない様に、又落下しない様
にたえず押えたりしなければならない。一方、第11図に
示す如く金型(2)をフォークリフト(1)からモールドプレ
ス装置(3)に移す際には、金型(2)の前進と共にフォーク
(5)が前傾するため（(5′)の位置）、チルトを修正して
高さを合わせる。そして、金型(2)がフォーク(5)からモ
ールドプレス装置(3)内に移動しフォーク(5)が金型(2)
より離れる時にフォーク(5)にかかる荷重が急激に減少
する為、フォーク(5)が反動で激しく浮き上がる（(5″)
の位置）。この動作を防ぐ為には金型(2)が離れる手前
よりチルト修正及び高さ合せ等を繰り返し、荷重をモー
ルドプレス装置(3)に移動し替えてから積み替えを行う
ようにしていた。従って、危険が伴うと同時に非常に時
間を費やしていた。

また半導体製造作業室のようなクリーンルームでは僅か
なごみも許されない。従って、搬送手段の運転時に車輪
と床との摩擦で発生するごみをも確実に防ぐ必要があ
る。

本考案は、上述の点に鑑み、プレス装置に対する金型の
脱着及び搬送を安全に、正確に、迅速に行うことがで
き、且つクリーンルームでの使用を可能にした金型搬送
台車を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、半導体装置製造用の金型をクリーンルーム内
で搬送する金型搬送台車において、搬送台車本体(12)上
に例えば油圧シリンダ(36)にて上下動可能な上下動機構
(31)を介して金型支持テーブル(13)を設け、このテーブ
ル(13)上に金型を移動可能ならしめ且つローラ配置面を
基準に上下動可能なローラ(23)を設けて成る。上下動機
構(31)及びテーブル(13)の周囲にはスライド式安全カバ
ー(43)が設けられると共に、安全カバー(43)内に集塵機
が配される。また、搬送台車本体(12)には夫々近傍に集
塵機(45)を配した駆動車輪(14)及び車輪(15)が設けら
れ、これによって自在に移動できる。テーブル(13)及び
上下動機構(31)と対向する搬送台車本体(12)の側面にテ
ーブルの高さ位置を決める磁気スケール(42)が設けられ
る。

テーブル(13)は本体(12)に対して上下動機構(31)の支持
体(34)(35)で強固に支持されている。ローラ(23)は少な
くとも２本の平行なレール(25)上に臨むように配され、
この場合、ローラ(23)はレール(25)の面を基準に上下移
動し（即ち突出、引き込み）できるように配される。テ
ーブル(13)上には金型(2)を積み込んだときに金型(2)が
移動しないように金型の左右を位置規制する１対のガイ
ドレール(27)と、前後を位置規制する１対のストッパ部
材(28)が設けられるを可とするも、ローラ(23)が上下移
動可能な構成であるのでストッパ部材(28)は省略可能と
なる。

一方、金型(2)を配置するプレス装置(3)においては、金
型(2)の配置面に同様のローラ(61)が配され、この場合
ローラ(61)は配置面を基準に上下移動できるように配さ
れる。

〔作用〕

金型(2)は金型搬送台車(11)のテーブル(13)上に積み込
まれて後、プレス装置(3)の傍らに運搬される。そし
て、油圧シリンダ(36)によってテーブル(13)を上昇さ
せ、スケール(42)によってテーブル(13)の高さを調整
し、テーブル(13)とプレス装置(3)の面を同一にした
後、金型(2)がプレス装置(3)側に移送される。このと
き、ローラ(23)がその配置面より上方に突出し、金型
(2)がローラ(23)上を移動するので、移送は軽く行え
る。スケールとして磁気スケール(42)を用いるので自動
的にテーブル(13)を所定高さに持ち来すことができる。
また、荷重の移動に対してもテーブル(13)は傾くことが
なく、水平状態に維持される。金型(2)をプレス装置(3)
から搬送台車(11)に移すときも同様の操作で行える。金
型(2)を搬送台車(11)に積み込む場合もローラ(23)によ
って容易に行える。金型(2)が搬送台車(11)の所定位置
に積み込まれると、ローラ(25)がその配置面より引込む
ことにより、金型(2)はそのローラ配置面に密着し、金
型(2)の重量でその位置に安定する。また、金型(2)が搬
送台車上に安定して保持されるので、搬送台車の運転中
に金型(2)が移動することはなく金型(2)とその載置面と
の移動摩擦によるごみの発生はない。

一方、スライド式安全カバー(43)により、上下動機構(3
1)に触て怪我する等の事故は防止され、作業者は安全に
作業できる。さらに上下動機構(31)のスライド部から発
生するごみは安全カバー(43)内の集塵機により集塵され
外に出ない。また、駆動車輪(14)及び車輪(15)と床(46)
との摩擦で発生する僅かなごみも集塵機(45)により集塵
される。

従って、プレス装置(3)に対する金型(2)の着脱及び搬送
は安全、確実、迅速に行える。同時に室内は汚染され
ず、清浄な状態に維持される。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本考案による金型搬送台車の実施
例を説明する。

第１図〜第３図は本考案の一例であり、同図中、(3)は
モールドプレス装置、(2)はその金型である。(11)は本
考案の金型搬送台車の全体を示し、(12)はその搬送台車
本体、(13)はこの本体(12)に上下動可能に取付けられた
金型支持テーブルを示す。

搬送台車本体(12)はウレタン製の駆動車輪(14)及び車輪
(15)を備え、本搬送台車(11)の前進、後退がハンドル部
(16)のレバー操作で行われる。ハンドル部(16)には前進
・後退切換用スイッチ(17)、高速・低速切換用スイッチ
(18)、キースイッチ(19)が設けられる。(20)はバッテリ
ーである。金型支持テーブル(13)上にはテーブル全幅に
わたる様に多数のローラ(23)〔(23a)，(23b)，(23c)〕
を配列して成る２本の平行するローラ部(24)が配され
る。ローラ部(24)は表面が平坦である２本のレール(25)
に埋置するように配される。この場合、ローラ部(24)に
おいては例えば３つに分割され、中央のローラ部(24b)
のローラ(23b)は金型(2)を全方向に移動可能なように全
方向回転のローラで構成され、両端部のローラ部(24a)
(24c)のローラ(23a)(23c)は金型(2)を一方向（レール(2
5)の延長方向）に移動可能なように一方向回転のローラ
で構成される。３つに分割された夫々のローラ部(24a)
(24b)(24c)はレール(25)内に対して着脱可能に配され
る。各ローラ部(24a)(24b)(24c)は固定（第６図参照）
又は上下動可能（第５図参照）に配することができる
も、本例では油圧シリンダ(26)を介して上下動可能に配
される。即ち、上動したときにはローラ(23a)(23b)(23
c)がレール(25)の面より上方に突出し、下動したときに
はレール(25)の面より内方に引込むようになさる。また
各ローラ部(24a)及び(24c)は連動して上下動し、ローラ
部(24b)はローラ部(24a)(24c)とは独立に上下動する。
テーブル(13)上には金型(2)を載せたときに所定位置に
保持させるため、金型(2)の左右を位置規制する１対の
ガイドレール(27)と、金型(2)の前後を位置規制する１
対のストッパ部材(28)とが設けられる。ガイドレール(2
7)は２本のローラ部(24)を挟む両側にネジ(29)で取付け
られ、ストッパ部材(28)はレール(25)上にガイドレール
(27)と直交する方向にネジ(30)で取付けられる。これら
ガイドレール(27)及びストッパ部材(28)は金型(2)の大
きさに応じてその取付位置をずらすことにより、両ガイ
ドレール(27)間の間隔、両ストッパ部材(28)間の間隔が
調整される。

一方、テーブル(13)は上下動機構(31)を介して本体(12)
に支持される。この上下動機構(31)は２つの部材(32)及
び(33)が交叉するように中央部で互に回転可能に軸支し
てなる１対の支持体(34)及び(35)と、油圧シリンダ(36)
で構成される。即ち支持体(34)及び(35)は夫々テーブル
(13)と本体(12)間で両側に設けられ、その一方の部材(3
2)の上端がテーブル(13)下面の一端に回動自在に固定さ
れると共に、その下端がローラ(37)を介して本体(12)の
他端側に転接され、また他方の部材(33)の下端が本体(1
2)の一端に回動自在に固定されると共に、その上端がロ
ーラ(38)を介してテーブル(13)下面に転接される。そし
て一方の両部材(32)間に差渡る軸(39)と他方の両部材(3
3)間に差渡る軸（(40)間に油圧シリンダ(36)が配され、
この油圧シリンダ(36)により支持体(34)(35)を伸縮させ
て上下動が行われる。このテーブル(13)の上下動はスイ
ッチ(42)で操作する。

上下動機構(31)及びテーブル(13)と対向する本体(11)の
側面には金型着脱時にテーブル(13)とモールドプレス装
置(3)との高さを合わせる場合に用いる所謂リフトスケ
ール(42)が設けられる。このスケール(42)は磁気スケー
ルを使用する。また、テーブル(13)及び上下動機構(31)
の全周囲にスライド式安全カバー(43)が設けられる。同
時にこの安全カバー(43)内には集塵機が配され、上下動
機構(31)のスライド部から発生するごみを集塵し外部に
出さないように構成される。安全カバー(43)の外側には
さらに二重の安全対策として全周を囲うように安全枠(4
4)を配するを可とする。この安全枠(44)はテーブル(13)
を一番下までおろしたときのテーブル(13)の上部の高さ
より少し高くなるように形成される。これによって仮に
ストッパ部材(28)が破損されても金型(2)の落下が防止
される。金型(2)の積み込み、積み下しのときはテーブ
ル(13)を安全枠(44)より上の位置に移動させて行う。安
全カバー(43)及び安全枠(44)は本体(12)に固定されてい
る。

本体(12)においては、駆動車輪(14)及び車輪(15)の近傍
に集塵機(45)が配され、床(46)と両車輪(14)(15)との摩
擦で発生するごく僅かなごみをもこの集塵機(45)で集塵
するようになされる。また床(46)が不安定な場所等でも
本搬送台車(11)を床(46)に安定に固定できるように、本
体(12)の４個所に固定用アジャストネジ(47)が設けられ
る。(21)は上下動機構(31)の油圧ポンプ、(22)はこの油
圧ポンプ(21)に直結したモータである。油圧ポンプ(21)
はローラ部(24)の油圧シリンダ(26)の油圧ポンプを兼ね
ることができ、この場合には切換用の電磁弁が設けられ
る。

さらに、テーブル(13)の少なくとも一方の端部、本例で
は両端部にはローラ部(24)に対応して補助ローラ部(50)
の取付部(51)が設けられる。補助ローラ部(50)は第４図
に示すように一方向に回転する複数のローラ(49)を備
え、取付部(51)に対して着脱自在の構成をなし、例えば
モールドプレス装置(3)と本搬送台車(11)間が広い場合
に、補助ローラ部(50)を取付部(51)に嵌着して間隔を埋
めるようになす。なお、この取付部(51)はモールドプレ
ス装置(3)側に取付けることも出来る。

一方、金型(2)を設置するモールドプレス装置(3)におい
ては、第１図に示すように金型(2)の配置面に一方向転
の複数のローラ(61)を形成したローラ部(62)が配され
る。このローラ部(62)は油圧シリンダによって配置面を
基準に上下移動できるように配される。

而して、かかる金型搬送台車(11)に金型(2)を積み込む
際には、上下動機構(31)を操作してテーブル(13)を所定
高さにして後、ローラ(23a)(23b)(23c)がレール(25)の
面上より突出するように各ローラ部(24)を油圧シリンダ
(26)によって上昇させる。そして金型(2)をガイドレー
ル(27)に案内させながらローラ部(24)上を一方向に移送
し、テーブル(13)の中央位置に積み込む。その後、ガイ
ドレール(27)上に１対のストッパ部材(28)を取付けて金
型(2)をその位置に固定する。尚、金型を所定位置に置
いた状態でローラ部(24)を油圧シリンダ(26)を介して下
方に移動し、ローラ(23a)(23b)(23c)をレール(25)の面
より下方に引込ませれば、金型(2)は平坦なレール(25)
の面に接し、ストッパ部材(28)が無くとも金型(2)の重
量で安定にその位置に保持することができる。金型(2)
を搬送台車(11)に積み込んだ後は一旦テーブル(13)を最
下位置まで下降するを可とする。次に、搬送台車(11)を
運転して金型(2)をモールドプレス装置(3)に横付けす
る。金型(2)は平坦なレール(25)の面に密接して安定に
保持されるので搬送台車(11)の運転中に移動することが
なく、金型(2)とその載置面との移動摩擦によるごみの
発生もない。そして、上下動機構(31)を操作してテーブ
ル(13)をモールドプレス装置(3)の高さに合わせる。こ
のとき磁気スケール(42)により、設定した高さ位置でテ
ーブル(13)は自動的に止まり、テーブル(13)とモールド
プレス装置(3)の高さは正確に且つ容易に合わせられ
る。床(46)が悪い場合には４個所の固定用アジャストネ
ジ(47)を床面に当接して搬送台車(11)を安定に固定す
る。モールドプレス装置(3)ではローラ部(62)を上昇さ
せてローラ(61)を金型(2)の配置面上に臨ましめる。
又、搬送台車(11)においてもテーブル(13)面のローラ部
(24)を上昇させローラ(23a)〜(23c)をレール(25)面上に
臨ませる。この状態で一方のストッパ部材(28)を外し、
金型(2)を軽く押せば金型(2)はローラ部(24)上を通って
モールドプレス装置(3)内に収容される。モールドプレ
ス装置(3)への収容に先立って、仮りに金型(2)が逆向き
で搬送台車(11)上に積まれていても、全方向回転のロー
ラ部(24b)上で金型(2)を方向回転することができ、金型
(2)を容易に正しい向きでモールドプレス装置(3)に移し
替えることができる。ここで、モールドプレス装置(3)
と搬送台車(11)間の間隔が広いときには補助ローラ(50)
をテーブル(13)の端部の取付部(51)に嵌着させる。これ
により金型(2)の移し替えが容易に行える。そして、こ
の搬送台車(11)からモールドプレス装置(3)に金型(2)を
移す際に荷重が移動するが、テーブル(13)は両側の支持
体(34)(35)で支えられているので、テーブル(13)自体が
傾むくことがなく、水平状態に維持されるため、金型の
移し替えは楽に行える。ローラ部(24)は油圧シリンダ(2
6)で上下動でき、従って、金型(2)の搬送時、移し替え
時の安定が確保される。金型搬送時、駆動車輪(14)及び
車輪(15)と床(46)との摩擦でごみが発生しても集塵機(4
5)により集塵されるので、半導体製造作業室のような所
謂クリーンルームでの使用にも対応できる。またテーブ
ル(13)の上下動のスピードが油圧弁の可変により作業に
合わせて容易に出来るので、安全に作業ができる。

尚、ローラ部(24)の構成としては、上例の他に例えば第
７図に示すようにテーブル(13)の全幅にわたって一方向
回転のローラ(23a)で構成することができ、この場合
も、ローラ部(24)を固定、又は上下動可能とすることが
できる。この構成ではテーブル(13)上で金型(2)を方向
転換することはできない。さらにローラ部(24a)の構成
としては、第８図に示すように一方向回転のローラ(23
a)を有した２本のローラ部(24a)間の中央部分に全方向
回転のローラ(23b)を有したローラ部(24b)を配した構成
とすることもできる。この場合、各ローラ部(24a)(24b)
は上下動可能とすることができるが、一方向回転の２つ
のローラ部(24a)と全方向回転のローラ部(24b)とは互い
に独立に駆動できるようになす。そして、各実施例では
ローラ部(24)を複数に分割して形成するときは部品交換
が少なくて済む利点がある。

上例のローラ部(24)の構成においては、必要に応じて各
分割した夫々の領域毎に独立に駆動するように構成する
こともできる。

第９図及び第１０図は本考案の他の実施例を示す。但
し、第１図及び第２図と対応する部分には同一符号を付
して重複説明を省略する。本例においては、搬送台車本
体(12)上に前述と同様の構成をとる複数例えば２組のテ
ーブル(13)(13′)及び上下動機構(31)(31′)を設けて構
成した場合である。この搬送台車(71)には金型(2)の予
想加熱用に電源コントロール(72)及び温度調整装置(73)
が内蔵される。

この搬送台車(72)においては２組のテーブル(13)及び(1
3′)が設けられることにより、一方のテーブル(13′)上
に交換すべき金型(2)を積み込み、モールドプレス装置
(3)まで搬送した後、先ずモールドプレス装置(3)内の金
型(2)を他方のテーブル(13)に移し、次に一方のテーブ
ル(13′)上の金型(2)をモールドプレス装置に移し替え
る。これにより金型の着脱作業が一往復で終了させるこ
とができる。又、金型には加熱手段が組込まれている。
従って交換すべき金型(2)を一方のテーブル(13′)上に
載せた状態で金型(2)の加熱手段のソケットを電源コン
トロール(72)に接続し、電源コントロール(72)よりの電
源ソケットを室内の外部電源に差し込み、かつ温度調整
装置(72)で所定の温度に設定することによって、待期中
に金型(2)を予備加熱することができる。従って、この
予備加熱された金型(2)をモールドプレス装置(3)に配し
た後の加熱時間を短縮でき、作業の開始を早めることが
できる。通常、モールドプレス装置での金型の作業温度
は175℃±５℃であり、予備加熱も175℃±５℃程度とす
ることができる。

尚、金型の予備加熱用の電源コントロール(72)、温度調
整装置(73)は第２図及び第３図の搬送台車(11)にも内蔵
することができる。

上例ではモールドプレス装置の金型の着脱及び搬送に適
用したが、本搬送台車はその他のプレス装置の金型の着
脱及び搬送にも適用できる。

〔考案の効果〕

本考案の金型搬送台車によれば、プレス装置に対する金
型の着脱及び搬送が安全に、正確に且つ迅速に行えるも
のであり、重量のある金型でも危険なく扱える。

また、安全カバー、安全カバー内及び車輪の近傍に配し
た集塵機により、運転中に発生する僅かなごみをも集塵
され、清掃な室内を汚染することがなく、所謂クリーン
ルーム内での使用が可能となる。さらに磁気スケールに
よってテーブルの高さを容易且つ正確に所定の高さに設
定することができるので、クリーンルーム内での金型の
着脱及び搬送の作業能率が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の金型搬送台車を使用して金型の着脱交
換の状態を示す構成図、第２図は本考案の金型搬送台車
の一例を示す正面図、第３図はその平面図、第４図は要
部の斜視図、第５図及び第６図は夫々本考案のローラ部
を含む要部の断面図、第７図及び第８図は夫々ローラ部
の他の構成例を示す平面図、第９図及び第10図は本考案
の金型搬送台車の他の例を示す正面図及びその平面図、
第11図は従来のフォークリフトを使用して金型の着脱交
換の状態を示す構成図である。 (2)は金型、(3)はモールドプレス装置、(11)(71)は金型
搬送台車、(12)は台車本体、(13)はテーブル、(14)は駆
動車輪、(15)は車輪、(24)はローラ部、(31)は上下動機
構、(42)は磁気スケール、(43)は安全カバー、(45)は集
塵機である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体装置製造用の金型をクリーンルーム
   内で搬送する金型搬送台車において、 搬送台車本体上に上下動機構を介して金型支持テーブル
   が設けられ、 該テーブル上に金型を移動可能ならしめ且つローラ配置
   面を基準に上下動可能なローラが配され、 上記上下動機構及びテーブルの周囲にスライド式安全カ
   バーが設けられ、 該安全カバー内及び上記搬送台車本体の車輪の近傍に夫
   々集塵機が配され、 上記搬送台車本体に上記テーブルの高さ位置を決める磁
   気スケールが設けられて成る金型搬送台車。