JPH0697208B2 - 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 - Google Patents
液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置Info
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- JPH0697208B2 JPH0697208B2 JP60271956A JP27195685A JPH0697208B2 JP H0697208 B2 JPH0697208 B2 JP H0697208B2 JP 60271956 A JP60271956 A JP 60271956A JP 27195685 A JP27195685 A JP 27195685A JP H0697208 B2 JPH0697208 B2 JP H0697208B2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 薄膜トランジスタや非線形抵抗素子などのスイッチング
素子の形成された基板を備えるアクティブマトリクス型
の液晶セルが、コンピュータ等の機器やテレビの表示部
として多く用いられるが、本発明はそのような液晶セル
の構成要素であるアクティブ基板を検査する方法、およ
いその装置に関するものである。
素子の形成された基板を備えるアクティブマトリクス型
の液晶セルが、コンピュータ等の機器やテレビの表示部
として多く用いられるが、本発明はそのような液晶セル
の構成要素であるアクティブ基板を検査する方法、およ
いその装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来、アクティブ基板の検査は第５図に見るような方法
で行われていた。すなわち、透明電極を有する基板２の
電極形成面と被検査物のアクティブ基板１のスイッチン
グ素子形成面を、スペーサ３を挟んで向き合わせて固定
し、両基板の間に液晶４を浸透させる。これにより両基
板とその間の液晶で、周辺が封止されていない一種の液
晶セルが形成される。図では省略されているが、この液
晶セルの上面と下面にはそれぞれ偏光板が配置されてい
る。コネクタ７、８を用いて両基板の電極端子を液晶セ
ル駆動装置５に接続し、液晶セル駆動装置５から両基板
に駆動電圧を加えて、両基板とその間の液晶を、完成し
た液晶セルのごとく動作させる。全画素に所定の信号電
圧を加え、透明電極基板２の下方から照明灯６で照明す
ると、ある画素のスイッチング素子に欠陥があれば、そ
の画素は他の正常な画素と違って高輝度になったり、あ
るいは暗点になったりするので、外見から識別できる。
で行われていた。すなわち、透明電極を有する基板２の
電極形成面と被検査物のアクティブ基板１のスイッチン
グ素子形成面を、スペーサ３を挟んで向き合わせて固定
し、両基板の間に液晶４を浸透させる。これにより両基
板とその間の液晶で、周辺が封止されていない一種の液
晶セルが形成される。図では省略されているが、この液
晶セルの上面と下面にはそれぞれ偏光板が配置されてい
る。コネクタ７、８を用いて両基板の電極端子を液晶セ
ル駆動装置５に接続し、液晶セル駆動装置５から両基板
に駆動電圧を加えて、両基板とその間の液晶を、完成し
た液晶セルのごとく動作させる。全画素に所定の信号電
圧を加え、透明電極基板２の下方から照明灯６で照明す
ると、ある画素のスイッチング素子に欠陥があれば、そ
の画素は他の正常な画素と違って高輝度になったり、あ
るいは暗点になったりするので、外見から識別できる。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら上記の方法には次のような問題があった。
1.アクティブ基板が液晶で濡れてしまうので、検査後、
必ず洗浄しなければならない。
必ず洗浄しなければならない。
2.測定の度に液晶を取り扱わなければならないので、測
定に時間がかかる。
定に時間がかかる。
3.測定の度に高価な液晶が消費される。
4.透明電極基板の電極が露出していて傷つき易い。
本発明は、これらの問題が解決された液晶ディスプレイ
用アクティブ基板の検査方法と装置を提供するものであ
る。
用アクティブ基板の検査方法と装置を提供するものであ
る。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため、本発明においては、透明電
極を形成した基板と、この基板より薄く、電極を設けて
ない透明なガラス板やプラスチック板等の誘電体薄板の
間に、スペーサを配置して液晶を充填、封止し、液晶セ
ルを構成する。この液晶セルの透明誘電体薄板に、被検
査物のアクティブ基板のスイッチング素子形成面を向き
合わせて重ね、真空を用いた密着手段によりアクティブ
基板と液晶セルを密着させる。密着させたアクティブ基
板と液晶セルの両側にそれぞれ偏光板を配置し、これら
の積層物の一方の側に照明灯を設ける。コネクタを用い
てアクティブ基板と透明電極基板の電極端子を液晶セル
の駆動電圧に接続し、所定の駆動電圧を加えると、アク
ティブ基板のスイッチング素子が動作して、アクティブ
基板上の透明画素電極と液晶セルの透明電極の間に電圧
を生じ、液晶セルの透明誘電体薄板を通して液晶に電界
が作用し、液晶の光学的性質を変化させる。前記の照明
灯で照明して積層物の反対側から透過光を観察すると、
画素のスイッチング素子に欠陥があるものは、その画素
の状態が他の正常な画素と異なるので発見できる。
極を形成した基板と、この基板より薄く、電極を設けて
ない透明なガラス板やプラスチック板等の誘電体薄板の
間に、スペーサを配置して液晶を充填、封止し、液晶セ
ルを構成する。この液晶セルの透明誘電体薄板に、被検
査物のアクティブ基板のスイッチング素子形成面を向き
合わせて重ね、真空を用いた密着手段によりアクティブ
基板と液晶セルを密着させる。密着させたアクティブ基
板と液晶セルの両側にそれぞれ偏光板を配置し、これら
の積層物の一方の側に照明灯を設ける。コネクタを用い
てアクティブ基板と透明電極基板の電極端子を液晶セル
の駆動電圧に接続し、所定の駆動電圧を加えると、アク
ティブ基板のスイッチング素子が動作して、アクティブ
基板上の透明画素電極と液晶セルの透明電極の間に電圧
を生じ、液晶セルの透明誘電体薄板を通して液晶に電界
が作用し、液晶の光学的性質を変化させる。前記の照明
灯で照明して積層物の反対側から透過光を観察すると、
画素のスイッチング素子に欠陥があるものは、その画素
の状態が他の正常な画素と異なるので発見できる。
このように、本発明の方法では、液晶が透明電極基板と
透明誘電体薄板で構成される液晶セルに封入されてお
り、従来のように露出した液晶を用いることがないか
ら、前記の諸問題が解消する。
透明誘電体薄板で構成される液晶セルに封入されてお
り、従来のように露出した液晶を用いることがないか
ら、前記の諸問題が解消する。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は、本発明の液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査
装置の概略説明図である。透明電極基板11およびガラス
等の透明誘電体薄板12を、スペーサ13を挟んで重ね合わ
せ、液晶14を充填し、破線で示されるように周囲を封止
して、液晶セル15を形成する。この液晶セル15の透明誘
電体薄板12に、被検査物のアクティブ基板１のスイッチ
ング素子形成面を向き合わせて重ねる。第２図はその状
態を示す断面図である。透明電極基板11上に、透明誘電
体薄板12を取り囲むゴム環24を設けてある。液晶セル15
とゴム環24の斜視図を第３図に示す。第２図にて、ゴム
環24の厚さは、液晶セル15のスペーサ13と透明誘電体薄
板12の厚さの合計よりやや大きく選んであるので、アク
ティブ基板１の下に僅かな空間ができる。液晶セル15を
貫通して排気孔23が設けてあり、上記の空間に通じてい
る。図示していない真空ポンプ等の排気手段により、排
気孔23から排気を行うと、上記の空間が真空状態になっ
て、ゴム環24がアクティブ基板１と透明電極基板11の間
で押しつぶされ、アクティブ基板１と透明誘電体薄板12
が密着する。密着した液晶セル15とアクティブ基板１の
両面に、偏光板18、19をそれぞれ配置する。第１図に示
すように、コネクタ７、８等を用いてアクティブ基板１
および透明電極基板８の電極端子を液晶セル駆動装置５
に接続し、アクティブ基板と透明電極基板の電極に所定
の電圧を加える。第２図に見るごとく、アクティブ基板
透明電極16と液晶セル透明電極17が透明誘電体薄板12と
液晶14を挟んで対向しているので、両電極間に電圧が加
わると、透明誘電体薄板12のアクティブ基板側表面にア
クティブ基板透明電極16と逆極性の電荷が集まり、液晶
側表面にアクティブ基板透明電極16と同極性の電荷が集
まる。これにより透明誘電体薄板12と液晶セル透明電極
17の間に電界を生じ、液晶14が駆動されて光学的性質が
変化する。第１図にて、液晶セル15側から照明灯６で照
明して、アクティブ基板１側から透過光を観察すること
により、アクティブ基板１のスイッチング素子に欠陥の
ある箇所を識別できる。逆に照明灯６をアクティブ基板
１側に配置して、液晶セル15側から観察するように構成
しても、もとより差し支えない。
図は、本発明の液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査
装置の概略説明図である。透明電極基板11およびガラス
等の透明誘電体薄板12を、スペーサ13を挟んで重ね合わ
せ、液晶14を充填し、破線で示されるように周囲を封止
して、液晶セル15を形成する。この液晶セル15の透明誘
電体薄板12に、被検査物のアクティブ基板１のスイッチ
ング素子形成面を向き合わせて重ねる。第２図はその状
態を示す断面図である。透明電極基板11上に、透明誘電
体薄板12を取り囲むゴム環24を設けてある。液晶セル15
とゴム環24の斜視図を第３図に示す。第２図にて、ゴム
環24の厚さは、液晶セル15のスペーサ13と透明誘電体薄
板12の厚さの合計よりやや大きく選んであるので、アク
ティブ基板１の下に僅かな空間ができる。液晶セル15を
貫通して排気孔23が設けてあり、上記の空間に通じてい
る。図示していない真空ポンプ等の排気手段により、排
気孔23から排気を行うと、上記の空間が真空状態になっ
て、ゴム環24がアクティブ基板１と透明電極基板11の間
で押しつぶされ、アクティブ基板１と透明誘電体薄板12
が密着する。密着した液晶セル15とアクティブ基板１の
両面に、偏光板18、19をそれぞれ配置する。第１図に示
すように、コネクタ７、８等を用いてアクティブ基板１
および透明電極基板８の電極端子を液晶セル駆動装置５
に接続し、アクティブ基板と透明電極基板の電極に所定
の電圧を加える。第２図に見るごとく、アクティブ基板
透明電極16と液晶セル透明電極17が透明誘電体薄板12と
液晶14を挟んで対向しているので、両電極間に電圧が加
わると、透明誘電体薄板12のアクティブ基板側表面にア
クティブ基板透明電極16と逆極性の電荷が集まり、液晶
側表面にアクティブ基板透明電極16と同極性の電荷が集
まる。これにより透明誘電体薄板12と液晶セル透明電極
17の間に電界を生じ、液晶14が駆動されて光学的性質が
変化する。第１図にて、液晶セル15側から照明灯６で照
明して、アクティブ基板１側から透過光を観察すること
により、アクティブ基板１のスイッチング素子に欠陥の
ある箇所を識別できる。逆に照明灯６をアクティブ基板
１側に配置して、液晶セル15側から観察するように構成
しても、もとより差し支えない。
第４図はアクティブ基板１と液晶セル15のそれぞれの電
極の関係を示す斜視図で、第４図（ａ）はアクティブ基
板のスイッチング素子が非線形抵抗素子25である場合、
第３図（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジスタ26
である場合を示す。
極の関係を示す斜視図で、第４図（ａ）はアクティブ基
板のスイッチング素子が非線形抵抗素子25である場合、
第３図（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジスタ26
である場合を示す。
第４図（ａ）のように、スイッチング素子が非線形抵抗
素子25の場合、実際の液晶セルと同様の構成を模擬する
には、液晶セル15の透明電極基板11上の透明電極27を、
アクティブ基板１上の電極線28に直交する複数の帯状電
極にして、アクティブ基板１と液晶セル15を密着させた
時、アクティブ基板１の画素パターン29と透明電極基板
11の帯状透明電極27が整列するようにするが、アクティ
ブ基板１の検査だけが目的なら、透明電極基板11上の透
明電極27を多条でなく単一の全面電極にしてもよい。
素子25の場合、実際の液晶セルと同様の構成を模擬する
には、液晶セル15の透明電極基板11上の透明電極27を、
アクティブ基板１上の電極線28に直交する複数の帯状電
極にして、アクティブ基板１と液晶セル15を密着させた
時、アクティブ基板１の画素パターン29と透明電極基板
11の帯状透明電極27が整列するようにするが、アクティ
ブ基板１の検査だけが目的なら、透明電極基板11上の透
明電極27を多条でなく単一の全面電極にしてもよい。
第４図（ｂ）のように、スイッチング素子が薄膜トラン
ジスタ26の場合は、液晶セル15の透明電極基板11上の透
明電極30は単一の全面電極であり、アクティブ基板１の
画素パターン29の全部と向き合う。
ジスタ26の場合は、液晶セル15の透明電極基板11上の透
明電極30は単一の全面電極であり、アクティブ基板１の
画素パターン29の全部と向き合う。
［発明の効果］ 本発明の方法によれば、前掲の問題がいずれも解消す
る。すなわち、 1.液晶が液晶セル内に封入されているのでアクティブ基
板と接触せず、検査後の基板の洗浄が不要である。
る。すなわち、 1.液晶が液晶セル内に封入されているのでアクティブ基
板と接触せず、検査後の基板の洗浄が不要である。
2.アクティブ基板と検査装置の液晶セルを重ね、真空を
用いて密着させるだけで検査でき、液晶を供給する等の
手間がかからない。
用いて密着させるだけで検査でき、液晶を供給する等の
手間がかからない。
3.液晶が液晶セルに封入されているから消耗しない。
4.透明電極基板の透明電極が液晶セルの内側にあるから
傷つかない。
傷つかない。
これによってアクティブ基板の検査の能率が向上し、費
用が節約される。
用が節約される。
第１図は本発明のアクティブ基板検査装置の概略説明
図、第２図は本発明のアクティブ基板検査装置の液晶セ
ルとアクティブ基板の積層状態を示す断面図、第３図は
本発明のアクティブ基板検査装置にて液晶セルへのゴム
環の装着状態を示す斜視図、第４図は本発明のアクティ
ブ基板検査装置の液晶セルとアクティブ基板の各電極の
関係を示す斜視図で、第４図（ａ）はアクティブ基板の
スイッチング素子が非線形抵抗素子の場合、第４図
（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジスタの場合、
第５図は従来のアクティブ基板検査装置の概略説明図で
ある。 １……アクティブ基板 ２、11……透明電極基板 ３、13……スペーサ ４、14……液晶 ５……液晶セル駆動装置 ６……照明灯 12……透明誘電体薄板 15……液晶セル 18、19……偏光板 23……排気孔 24……ゴム環
図、第２図は本発明のアクティブ基板検査装置の液晶セ
ルとアクティブ基板の積層状態を示す断面図、第３図は
本発明のアクティブ基板検査装置にて液晶セルへのゴム
環の装着状態を示す斜視図、第４図は本発明のアクティ
ブ基板検査装置の液晶セルとアクティブ基板の各電極の
関係を示す斜視図で、第４図（ａ）はアクティブ基板の
スイッチング素子が非線形抵抗素子の場合、第４図
（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジスタの場合、
第５図は従来のアクティブ基板検査装置の概略説明図で
ある。 １……アクティブ基板 ２、11……透明電極基板 ３、13……スペーサ ４、14……液晶 ５……液晶セル駆動装置 ６……照明灯 12……透明誘電体薄板 15……液晶セル 18、19……偏光板 23……排気孔 24……ゴム環
Claims (2)
- 【請求項１】透明電極基板とこれより薄い透明誘電体薄
板の間に液晶を充填し封止した液晶セルを用い、被検査
物であるスイッチング素子を形成したアクティブ基板の
スイッチング素子形成面を前記液晶セルの透明誘電体薄
板に向き合わせて重ね、 真空を用いた密着手段によりアクティブ基板と液晶セル
を密着させ、 該アクティブ基板と液晶セルを重ねたものの両側に偏光
板を配置して、一方の偏光板側から照明し、 液晶セル駆動装置から前記透明電極基板とアクティブ基
板の電極端子に駆動電圧を与えることにより、アクティ
ブ基板のスイッチング素子を動作させて液晶に電界を加
え、透過光を観察してアクティブ基板の良否を判定する
こと を特徴とする液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方
法。 - 【請求項２】透明電極基板とこれより薄い透明誘電体薄
板の間に液晶を充填し封止した液晶セルを設け、該液晶
セルには被検査物であるスイッチング素子を形成したア
クティブ基板が、スイッチング素子形成面と前記透明誘
電体薄板を向き合わせて重ねられ、 該アクティブ基板の素子形成面側に空間を作る部材と該
空間に通じる排気孔と該排気孔を通じ該空間から排気す
る排気手段からなるアクティブ基板と液晶セルの密着手
段を設け、 アクティブ基板と液晶セルを重ねたものの両面に偏光板
を配置し、 これらの積層物の一方の偏光板側に照明装置を設け、 前記透明電極基板とアクティブ基板の電極端子に駆動電
圧を与えてアクティブ基板のスイッチング素子を動作さ
せ、液晶に電界を加える液晶セル駆動装置を設けたこと を特徴とする液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60271956A JPH0697208B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60271956A JPH0697208B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62130346A JPS62130346A (ja) | 1987-06-12 |
| JPH0697208B2 true JPH0697208B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17507152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60271956A Expired - Lifetime JPH0697208B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697208B2 (ja) |
-
1985
- 1985-12-03 JP JP60271956A patent/JPH0697208B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62130346A (ja) | 1987-06-12 |
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