JPH0697209B2 - 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 - Google Patents
液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置Info
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- JPH0697209B2 JPH0697209B2 JP60271957A JP27195785A JPH0697209B2 JP H0697209 B2 JPH0697209 B2 JP H0697209B2 JP 60271957 A JP60271957 A JP 60271957A JP 27195785 A JP27195785 A JP 27195785A JP H0697209 B2 JPH0697209 B2 JP H0697209B2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 薄膜トランジスタや非線形抵抗素子などのスイッチング
素子の形成された基板を備えるアクティブマトリクス型
の液晶セルが、コンピュータ等の機器やテレビの表示部
として多く用いられるが、本発明はそのような液晶セル
の構成要素であるアクティブ基板を検査する方法、およ
びその装置に関するものである。
素子の形成された基板を備えるアクティブマトリクス型
の液晶セルが、コンピュータ等の機器やテレビの表示部
として多く用いられるが、本発明はそのような液晶セル
の構成要素であるアクティブ基板を検査する方法、およ
びその装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来、アクティブ基板の検査は第４図に見るような方法
で行われていた。すなわち、透明電極を有する基板２の
電極形成面と被検査物のアクティブ基板１のスイッチン
グ素子形成面を、スペーサ３を挟んで向き合わせて固定
し、両基板の間に液晶４を浸透させる。これにより両基
板とその間の液晶で、周辺が封止されていない一種の液
晶セルが形成される。図では省略されているが、この液
晶セルの上面と下面にはそれぞれ偏光板が配置されてい
る。コネクタ７、８を用いて両基板の電極端子を液晶セ
ル駆動装置５に接続し、液晶セル駆動装置５から両基板
に駆動電圧を加えて、両基板とその間の液晶を、完成し
た液晶セルのごとく動作させる。全画素に所定の信号電
圧を加え、透明電極基板２の下方から照明灯６で照明す
ると、ある画素のスイッチング素子に欠陥があれば、そ
の画素は他の正常な画素と違って高輝度になったり、あ
るいは暗点になったりするので、外見から識別できる。
で行われていた。すなわち、透明電極を有する基板２の
電極形成面と被検査物のアクティブ基板１のスイッチン
グ素子形成面を、スペーサ３を挟んで向き合わせて固定
し、両基板の間に液晶４を浸透させる。これにより両基
板とその間の液晶で、周辺が封止されていない一種の液
晶セルが形成される。図では省略されているが、この液
晶セルの上面と下面にはそれぞれ偏光板が配置されてい
る。コネクタ７、８を用いて両基板の電極端子を液晶セ
ル駆動装置５に接続し、液晶セル駆動装置５から両基板
に駆動電圧を加えて、両基板とその間の液晶を、完成し
た液晶セルのごとく動作させる。全画素に所定の信号電
圧を加え、透明電極基板２の下方から照明灯６で照明す
ると、ある画素のスイッチング素子に欠陥があれば、そ
の画素は他の正常な画素と違って高輝度になったり、あ
るいは暗点になったりするので、外見から識別できる。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら上記の方法には次のような問題があった。
1.アクティブ基板が液晶で濡れてしまうので、検査後、
必ず洗浄しなければならない。
必ず洗浄しなければならない。
2.測定の為に液晶を取り扱わなければならないので、測
定に時間がかかる。
定に時間がかかる。
3.測定の度に高価な液晶が消費される。
4.透明電極基板の電極が露出していて傷つき易い。
本発明は、これらの問題が解決された液晶ディスプレイ
用アクティブ基板の検査方法と装置を提供するものであ
る。
用アクティブ基板の検査方法と装置を提供するものであ
る。
［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するため、本発明においては、透明電
極を形成した基板と、この基板より薄く、電極を設けて
ない透明なガラス板やプラスチック板等の誘電体薄板の
間に、スペーサを配置して液晶を充填、封止し、液晶セ
ルを構成する。
極を形成した基板と、この基板より薄く、電極を設けて
ない透明なガラス板やプラスチック板等の誘電体薄板の
間に、スペーサを配置して液晶を充填、封止し、液晶セ
ルを構成する。
この液晶セルの透明誘電体薄板に、被検査物のアクティ
ブ基板のスイッチング素子形成面を向き合わせて重ね、
密着手段によりアクティブ基板と液晶セルを密着させ
る。密着させたアクティブ基板と液晶セルの両側にそれ
ぞれ偏光板を配置し、これらの積層物の一方の側に照明
灯を設ける。コネクタを用いてアクティブ基板と透明電
極基板の電極端子を液晶セルの駆動装置に接続し、所定
の駆動電圧を加えると、アクティブ基板のスイッチング
素子が動作して、アクティブ基板上の透明画素電極と液
晶セルの透明電極の間に電圧を生じ、液晶セルの透明誘
電体薄板を通して液晶に電界が作用し、液晶の光学的性
質を変化させる。前記の照明灯で照明して積層物の反対
側から透過光を観察すると、画素のスイッチング素子に
欠陥があるものは、その画素の状態が他の正常な画素と
異なるので発見できる。
ブ基板のスイッチング素子形成面を向き合わせて重ね、
密着手段によりアクティブ基板と液晶セルを密着させ
る。密着させたアクティブ基板と液晶セルの両側にそれ
ぞれ偏光板を配置し、これらの積層物の一方の側に照明
灯を設ける。コネクタを用いてアクティブ基板と透明電
極基板の電極端子を液晶セルの駆動装置に接続し、所定
の駆動電圧を加えると、アクティブ基板のスイッチング
素子が動作して、アクティブ基板上の透明画素電極と液
晶セルの透明電極の間に電圧を生じ、液晶セルの透明誘
電体薄板を通して液晶に電界が作用し、液晶の光学的性
質を変化させる。前記の照明灯で照明して積層物の反対
側から透過光を観察すると、画素のスイッチング素子に
欠陥があるものは、その画素の状態が他の正常な画素と
異なるので発見できる。
このように、本発明の方法では、液晶が透明電極基板と
透明誘電体薄板で構成される液晶セルに封入されてお
り、従来のように露出した液晶を用いることがないか
ら、前記の諸問題が解消する。
透明誘電体薄板で構成される液晶セルに封入されてお
り、従来のように露出した液晶を用いることがないか
ら、前記の諸問題が解消する。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は、本発明の液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査
装置の概略説明図である。透明電極基板11およびガラス
等の透明誘電体薄板12を、スペーサ13を挟んで重ね合わ
せ、液晶14を充填し、破線で示されるように周囲を封止
して、液晶セル15を形成する。この液晶セル15の透明誘
電体薄板12に、被検査物のアクティブ基板１のスイッチ
ング素子形成面を向き合わせて重ねる。液晶セル15とア
クティブ基板１を密着させる手段は、第４図の従来例の
ように、ねじ等による固定具であってもよいが、本実施
例では真空による手段を用いている。すなわち、液晶セ
ル15とほぼ同平面の枠22の両端部に、ゴム製の真空ポケ
ット24が配置されている。第２図はそれらの状態を示す
断面図で、真空ポケット24はアクティブ基板１の下面に
当接している。枠22には真空ポケット24に通じる排気孔
23が設けてある。図示してない真空ポンプ等の排気手段
により、排気孔23から排気を行うと、真空ポケット24の
内側空間が真空状態になって高さが縮み、アクティブ基
板１が吸引されて透明誘電体薄板12に密着する。密着し
た液晶セル15とアクティブ基板１の両面に、偏光板18、
19をそれぞれ配置する。第１図に示すように、コネクタ
７、８等を用いてアクティブ基板１および透明電極基板
８の電極端子を液晶セル駆動装置５に接続し、アクティ
ブ基板と透明電極基板の電極に所定の電圧を加える。第
２図に見るごとく、アクティブ基板透明電極16と液晶セ
ル透明電極17が透明誘電体薄板12と液晶14を挟んで対向
しているので、両電極間に電圧が加わると、透明誘電体
薄板12のアクティブ基板側表面にアクティブ基板透明電
極16と逆極性の電荷が集まり、液晶側表面にアクティブ
基板透明電極16と同極性の電荷が集まる。これにより透
明誘電体薄板12と液晶セル透明電極17の間に電界を生
じ、液晶14が駆動されて光学的性質が変化する。第１図
にて、液晶セル15側から照明灯６で照明して、アクティ
ブ基板１側から透過光を観察することにより、アクティ
ブ基板１のスイッチング素子に欠陥のある箇所を識別で
きる。逆に照明灯６をアクティブ基板１側に配置して、
液晶セル15側から観察するように構成しても、もとより
差し支えない。
図は、本発明の液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査
装置の概略説明図である。透明電極基板11およびガラス
等の透明誘電体薄板12を、スペーサ13を挟んで重ね合わ
せ、液晶14を充填し、破線で示されるように周囲を封止
して、液晶セル15を形成する。この液晶セル15の透明誘
電体薄板12に、被検査物のアクティブ基板１のスイッチ
ング素子形成面を向き合わせて重ねる。液晶セル15とア
クティブ基板１を密着させる手段は、第４図の従来例の
ように、ねじ等による固定具であってもよいが、本実施
例では真空による手段を用いている。すなわち、液晶セ
ル15とほぼ同平面の枠22の両端部に、ゴム製の真空ポケ
ット24が配置されている。第２図はそれらの状態を示す
断面図で、真空ポケット24はアクティブ基板１の下面に
当接している。枠22には真空ポケット24に通じる排気孔
23が設けてある。図示してない真空ポンプ等の排気手段
により、排気孔23から排気を行うと、真空ポケット24の
内側空間が真空状態になって高さが縮み、アクティブ基
板１が吸引されて透明誘電体薄板12に密着する。密着し
た液晶セル15とアクティブ基板１の両面に、偏光板18、
19をそれぞれ配置する。第１図に示すように、コネクタ
７、８等を用いてアクティブ基板１および透明電極基板
８の電極端子を液晶セル駆動装置５に接続し、アクティ
ブ基板と透明電極基板の電極に所定の電圧を加える。第
２図に見るごとく、アクティブ基板透明電極16と液晶セ
ル透明電極17が透明誘電体薄板12と液晶14を挟んで対向
しているので、両電極間に電圧が加わると、透明誘電体
薄板12のアクティブ基板側表面にアクティブ基板透明電
極16と逆極性の電荷が集まり、液晶側表面にアクティブ
基板透明電極16と同極性の電荷が集まる。これにより透
明誘電体薄板12と液晶セル透明電極17の間に電界を生
じ、液晶14が駆動されて光学的性質が変化する。第１図
にて、液晶セル15側から照明灯６で照明して、アクティ
ブ基板１側から透過光を観察することにより、アクティ
ブ基板１のスイッチング素子に欠陥のある箇所を識別で
きる。逆に照明灯６をアクティブ基板１側に配置して、
液晶セル15側から観察するように構成しても、もとより
差し支えない。
第３図はアクティブ基板１と液晶セル15のそれぞれの電
極の関係を示す斜視図で、第３図（ａ）はアクティブ基
板のスイッチング素子が非線形抵抗素子25である場合、
第３図（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジスタ26
である場合を示す。
極の関係を示す斜視図で、第３図（ａ）はアクティブ基
板のスイッチング素子が非線形抵抗素子25である場合、
第３図（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジスタ26
である場合を示す。
第３図（ａ）のように、スイッチング素子が非線形抵抗
素子25の場合、実際の液晶セルと同様の構成を模擬する
には、液晶セル15の透明電極基板11上の透明電極27を、
アクティブ基板１上の電極線28に直交する複数の帯状電
極にして、アクティブ基板１と液晶セル15を密着させた
時、アクティブ基板１の画素パターン29と透明電極基板
11の帯状透明電極27が整列するようにするが、アクティ
ブ基板１の検査だけが目的なら、透明電極基板11上の透
明電極27を多条でなく単一の全面電極にしてもよい。
素子25の場合、実際の液晶セルと同様の構成を模擬する
には、液晶セル15の透明電極基板11上の透明電極27を、
アクティブ基板１上の電極線28に直交する複数の帯状電
極にして、アクティブ基板１と液晶セル15を密着させた
時、アクティブ基板１の画素パターン29と透明電極基板
11の帯状透明電極27が整列するようにするが、アクティ
ブ基板１の検査だけが目的なら、透明電極基板11上の透
明電極27を多条でなく単一の全面電極にしてもよい。
第３図（ｂ）のように、スイッチング素子が薄膜トラン
ジスタ26の場合は、液晶セル15の透明電極基板11上の透
明電極30は単一の全面電極であり、アクティブ基板１の
画素パターン29の全部と向き合う。
ジスタ26の場合は、液晶セル15の透明電極基板11上の透
明電極30は単一の全面電極であり、アクティブ基板１の
画素パターン29の全部と向き合う。
［発明の効果］ 本発明の方法によれば、前掲の問題がいずれも解消す
る。すなわち、 1.液晶が結晶セル内に封入されているのでアクティブ基
板と接触せず、検査後の基板の洗浄が不要である。
る。すなわち、 1.液晶が結晶セル内に封入されているのでアクティブ基
板と接触せず、検査後の基板の洗浄が不要である。
2.アクティブ基板と検査装置の液晶セルを重ねて密着さ
せるだけで検査でき、液晶を供給する等の手間がかから
ない。
せるだけで検査でき、液晶を供給する等の手間がかから
ない。
3.液晶が液晶セルに封入されているから消耗しない。
4.透明電極基板の透明電極が液晶セルの内側にあるから
傷つかない。
傷つかない。
これによってアクティブ基板の検査の能率が向上し、費
用が節約される。
用が節約される。
第１図は本発明のアクティブ基板検査装置の概略説明
図、第２図は本発明のアクティブ基板検査装置の液晶セ
ルとアクティブ基板の積層状態を示す断面図、第３図は
本発明のアクティブ基板検査装置の液晶セルとアクティ
ブ基板の各電極の関係を示す斜視図で、第３図（ａ）は
アクティブ基板のスイッチング素子が非線形抵抗素子の
場合、第３図（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジ
スタの場合、第４図は従来のアクティブ基板検査装置の
概略説明図である。 １……アクティブ基板 ２、11……透明電極基板 ３、13……スペーサ ４、14……液晶 ５……液晶セル駆動装置 ６……照明灯 12……透明誘電体薄板 15……液晶セル 18、19……偏光板 23……排気孔 24……真空ポケット
図、第２図は本発明のアクティブ基板検査装置の液晶セ
ルとアクティブ基板の積層状態を示す断面図、第３図は
本発明のアクティブ基板検査装置の液晶セルとアクティ
ブ基板の各電極の関係を示す斜視図で、第３図（ａ）は
アクティブ基板のスイッチング素子が非線形抵抗素子の
場合、第３図（ｂ）はスイッチング素子が薄膜トランジ
スタの場合、第４図は従来のアクティブ基板検査装置の
概略説明図である。 １……アクティブ基板 ２、11……透明電極基板 ３、13……スペーサ ４、14……液晶 ５……液晶セル駆動装置 ６……照明灯 12……透明誘電体薄板 15……液晶セル 18、19……偏光板 23……排気孔 24……真空ポケット
Claims (2)
- 【請求項１】透明電極基板とこれより薄い透明誘電体薄
板の間に液晶を充填し封止した液晶セルを用い、被検査
物であるスイッチング素子を形成したアクティブ基板の
スイッチング素子形成面を前記液晶セルの透明誘電体薄
板に向き合わせて重ね、 密着手段によりアクティブ基板と液晶セルを密着させ、 該アクティブ基板と液晶セルを重ねたものの両側に偏光
板を配置して、一方の偏光板側から照明し、 液晶セル駆動装置から前記透明電極基板とアクティブ基
板の電極端子に駆動電圧を与えることにより、アクティ
ブ基板のスイッチング素子を動作させて液晶に電界を加
え、透過光を観察してアクティブ基板の良否を判定する
こと を特徴とする液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方
法。 - 【請求項２】透明電極基板とこれより薄い透明誘電体薄
板の間に液晶を充填し封止した液晶セルを設け、該液晶
セルには被検査物であるスイッチング素子を形成したア
クティブ基板が、スイッチング素子形成面と前記透明誘
電体薄板を向き合わせて重ねられ、 該アクティブ基板と液晶セルを密着させる密着手段を設
け、 アクティブ基板と液晶セルを重ねたものの両面に偏光板
を配置し、 これらの積層物の一方の偏光板側に照明装置を設け、 前記透明電極基板とアクティブ基板の電極端子に駆動電
圧を与えてアクティブ基板のスイッチング素子を動作さ
せ、液晶に電界を加える液晶セル駆動装置を設けたこと を特徴とする液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60271957A JPH0697209B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60271957A JPH0697209B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62130347A JPS62130347A (ja) | 1987-06-12 |
| JPH0697209B2 true JPH0697209B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17507166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60271957A Expired - Lifetime JPH0697209B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697209B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100767378B1 (ko) * | 2001-10-25 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | 액정공정불량 검사장치 및 검사방법 |
-
1985
- 1985-12-03 JP JP60271957A patent/JPH0697209B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62130347A (ja) | 1987-06-12 |
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