JPH0697237B2 - センサ - Google Patents
センサInfo
- Publication number
- JPH0697237B2 JPH0697237B2 JP62258943A JP25894387A JPH0697237B2 JP H0697237 B2 JPH0697237 B2 JP H0697237B2 JP 62258943 A JP62258943 A JP 62258943A JP 25894387 A JP25894387 A JP 25894387A JP H0697237 B2 JPH0697237 B2 JP H0697237B2
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- JP
- Japan
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- superconductor
- magnetic
- sensor
- magnetic piece
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- Expired - Fee Related
Links
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims description 27
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は加速度、変位及び振動等を検知するセンサに関
するものである。
するものである。
従来の技術 従来、加速度センサとしては、第３図に示したようにハ
ウジング21内で可動鉄心22をバネ等からなる機械的支持
機構23を介して前記可動鉄心22が慣性力によって変位す
る量を作動トランス24で検出する方法が知られている
（実開昭58−27772号公報）。
ウジング21内で可動鉄心22をバネ等からなる機械的支持
機構23を介して前記可動鉄心22が慣性力によって変位す
る量を作動トランス24で検出する方法が知られている
（実開昭58−27772号公報）。
発明が解決しようとする問題点 前述のように、従来の構成の加速度センサの場合、慣性
力によって移動する可動鉄芯が機械的支持機構に支持さ
れているため検知可能な加速度の方向に制限があり、感
度が悪い。また前記機構部が複雑であるため損傷しやす
く、加速度センサの信頼性を阻害する。
力によって移動する可動鉄芯が機械的支持機構に支持さ
れているため検知可能な加速度の方向に制限があり、感
度が悪い。また前記機構部が複雑であるため損傷しやす
く、加速度センサの信頼性を阻害する。
問題点を解決するための手段 空間を形成する超電導体と、前記空間に磁界を発生させ
る磁界発生手段と、前記空間に配した超電導体片の相対
位置の変化に伴う磁界変化を検出することによって加速
度を求める。
る磁界発生手段と、前記空間に配した超電導体片の相対
位置の変化に伴う磁界変化を検出することによって加速
度を求める。
作用 本発明は上記した構成により、超電導体によって形成さ
れた前記空間内に配置された磁性体片は、周囲の超電導
体よりマイスナー効果により反発力を受け前記空間内に
浮遊する。前記磁性体に慣性力等の力が働くと、前記超
電導体との相対的な位置が変化し、それによって前記空
間内の磁場の状態が変化する。前記磁場の変化を検知し
前記磁性体片の動きを検知することによって加速度を検
出する。
れた前記空間内に配置された磁性体片は、周囲の超電導
体よりマイスナー効果により反発力を受け前記空間内に
浮遊する。前記磁性体に慣性力等の力が働くと、前記超
電導体との相対的な位置が変化し、それによって前記空
間内の磁場の状態が変化する。前記磁場の変化を検知し
前記磁性体片の動きを検知することによって加速度を検
出する。
実施例 以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例である。超電導体１によって
中空球を形成し、前記中空球によって形成された空間４
内に、磁性体片２を配置する。前記磁性体片２は周囲の
前記超電導体１より反発力を受け平衡状態で前記空間４
中で静止し、前記空間４内に一定の磁界を形成する。前
記磁性体片２が慣性力等の力によって移動すると前記超
電導体１との相対的位置が変化し前記空間４内の磁界が
変化する。この時、前記空間内では、前記超電導体１と
前記磁性体片２との位置が近づいた所は磁束密度が増加
し、逆にはなれたところでは磁束密度が減少する。この
磁束密度の変化を前記超電導体１の内壁に設置したホー
ル素子等の複数の磁界検出手段３によって検出すること
により加速度を求めることが可能となる。また超電導体
１として、基板材料の表面に超電導体物質をコーティン
グしても同様の効果が可能となる。また、磁性体片２と
しては永久磁石や磁性体を磁化させたものを用いる。
中空球を形成し、前記中空球によって形成された空間４
内に、磁性体片２を配置する。前記磁性体片２は周囲の
前記超電導体１より反発力を受け平衡状態で前記空間４
中で静止し、前記空間４内に一定の磁界を形成する。前
記磁性体片２が慣性力等の力によって移動すると前記超
電導体１との相対的位置が変化し前記空間４内の磁界が
変化する。この時、前記空間内では、前記超電導体１と
前記磁性体片２との位置が近づいた所は磁束密度が増加
し、逆にはなれたところでは磁束密度が減少する。この
磁束密度の変化を前記超電導体１の内壁に設置したホー
ル素子等の複数の磁界検出手段３によって検出すること
により加速度を求めることが可能となる。また超電導体
１として、基板材料の表面に超電導体物質をコーティン
グしても同様の効果が可能となる。また、磁性体片２と
しては永久磁石や磁性体を磁化させたものを用いる。
この様な構成にすることによって、簡単な構成であらゆ
る方向の加速度及び変位を検出ことが可能となる。ま
た、磁性体片は、支持体によって機械的に支持されてお
らず、非接触で保持されているため支持部の機械的損傷
や、支持部による感度の低下を来さない。このため、信
頼性の高い加速度センサーを提供しうる。また、磁性体
片２に押し棒を設置し外部物体と連結することによっ
て、変位センサ及び重量センサとして用いる事も可能で
ある。
る方向の加速度及び変位を検出ことが可能となる。ま
た、磁性体片は、支持体によって機械的に支持されてお
らず、非接触で保持されているため支持部の機械的損傷
や、支持部による感度の低下を来さない。このため、信
頼性の高い加速度センサーを提供しうる。また、磁性体
片２に押し棒を設置し外部物体と連結することによっ
て、変位センサ及び重量センサとして用いる事も可能で
ある。
第２図は本発明の他の実施例である。円筒形の超伝導体
５を形成し、前記超電導体５の内部の空間８内に、円盤
上の磁性体片６を配置する。前記磁性体片６は周囲の前
記超電導体５より反発力を受け平衡状態で前記空間８中
で静止し、前記空間８内に一定の磁界を形成する。前記
磁性体片６が慣性力等の力によって移動すると前記超電
導体５との相対的位置が変化し前記空間８内の磁界が変
化する。この時、前記空間８内では、前記超電導体５と
前記磁性体片６との位置が近づいた所は磁束密度が増加
し、逆に離れた所は磁束密度が減少する。この磁束密度
の変化を前記超電導体５の内壁に設置したホール素子等
の複数の磁界検出手段７によって検出することにより加
速度を求めることが可能となる。また超電導体５とし
て、非磁性体等の基板材料の表面に超電導物質をコーテ
ィングしても同様の効果が可能となる。また、磁性体片
６としては、永久磁石や磁性体を磁化させたものを用い
る。更に感度を上げるために、アルミニウムや、樹脂等
の非磁性体の基板表面に磁性体層を形成し、磁化させて
磁性体片６形成することも可能である。また、前記非磁
性体材料に磁性体を混入し、磁化させて磁性体片を形成
することも可能である。また、磁性体片を中空、または
中空にして内部に外部の気体よりも軽い気体を封入する
ことによって更に感度の向上が図れる。
５を形成し、前記超電導体５の内部の空間８内に、円盤
上の磁性体片６を配置する。前記磁性体片６は周囲の前
記超電導体５より反発力を受け平衡状態で前記空間８中
で静止し、前記空間８内に一定の磁界を形成する。前記
磁性体片６が慣性力等の力によって移動すると前記超電
導体５との相対的位置が変化し前記空間８内の磁界が変
化する。この時、前記空間８内では、前記超電導体５と
前記磁性体片６との位置が近づいた所は磁束密度が増加
し、逆に離れた所は磁束密度が減少する。この磁束密度
の変化を前記超電導体５の内壁に設置したホール素子等
の複数の磁界検出手段７によって検出することにより加
速度を求めることが可能となる。また超電導体５とし
て、非磁性体等の基板材料の表面に超電導物質をコーテ
ィングしても同様の効果が可能となる。また、磁性体片
６としては、永久磁石や磁性体を磁化させたものを用い
る。更に感度を上げるために、アルミニウムや、樹脂等
の非磁性体の基板表面に磁性体層を形成し、磁化させて
磁性体片６形成することも可能である。また、前記非磁
性体材料に磁性体を混入し、磁化させて磁性体片を形成
することも可能である。また、磁性体片を中空、または
中空にして内部に外部の気体よりも軽い気体を封入する
ことによって更に感度の向上が図れる。
この様な構成にすることによって、簡単な構成であらゆ
る方向の加速度及び変位を検出ことが可能となる。超伝
導体５を円筒形、磁性体片６を円盤形にすることによっ
て加工を容易にした。また、磁性体片は、支持体によっ
て機械的に支持されておらず非接触で保持されているた
め支持部の機械的損傷や、支持部による感度の低下を来
さない。このため、信頼性の高い加速度センサーを提供
しうる。また、磁性体片６に押し棒を設置し外部物体と
連結することによって、変位センサ及び重量センサとし
て用いる事も可能である。
る方向の加速度及び変位を検出ことが可能となる。超伝
導体５を円筒形、磁性体片６を円盤形にすることによっ
て加工を容易にした。また、磁性体片は、支持体によっ
て機械的に支持されておらず非接触で保持されているた
め支持部の機械的損傷や、支持部による感度の低下を来
さない。このため、信頼性の高い加速度センサーを提供
しうる。また、磁性体片６に押し棒を設置し外部物体と
連結することによって、変位センサ及び重量センサとし
て用いる事も可能である。
発明の効果 本発明のセンサは、簡単な構成で、可動部（磁性体片）
の機械的支持が不要であるため信頼性が高く、高感度で
ある。また、支持体によって可動部の自由度に制限を受
けないので、１つのセンサーで方向に制限なく加速度を
検知できる。また、本発明のセンサは、加速度センサ、
変位センサ、振動センサ等応用範囲が広い。
の機械的支持が不要であるため信頼性が高く、高感度で
ある。また、支持体によって可動部の自由度に制限を受
けないので、１つのセンサーで方向に制限なく加速度を
検知できる。また、本発明のセンサは、加速度センサ、
変位センサ、振動センサ等応用範囲が広い。
第１図は本発明の一実施例のセンサの断面図、第２図
（ａ），（ｂ）は本発明の異なる実施例のセンサの上面
断面図および正面断面図、第３図は従来例の加速度セン
サの断面図である。 1,5……超伝導体、2,6……磁性体片、3,7……磁界検出
手段、4,8……超伝導体によって形成された空間。
（ａ），（ｂ）は本発明の異なる実施例のセンサの上面
断面図および正面断面図、第３図は従来例の加速度セン
サの断面図である。 1,5……超伝導体、2,6……磁性体片、3,7……磁界検出
手段、4,8……超伝導体によって形成された空間。
Claims (3)
- 【請求項１】超電導体からなる容器と、マイスナー効果
により前記容器内に浮遊して配した磁性体片と、前記超
電導体と前記磁性体片との相対位置の変化に伴う磁化の
変化を検出する手段とを具備したセンサ。 - 【請求項２】超電導体からなる容器を中空球、もしくは
円筒形とし、前記容器内に配した磁性体片を、球もしく
は円板としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のセンサ。 - 【請求項３】磁性体片として、基体表面に磁性体層を形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のセ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62258943A JPH0697237B2 (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62258943A JPH0697237B2 (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01100462A JPH01100462A (ja) | 1989-04-18 |
| JPH0697237B2 true JPH0697237B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17327191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62258943A Expired - Fee Related JPH0697237B2 (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697237B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5957121A (ja) * | 1982-09-27 | 1984-04-02 | Fujitsu Ltd | 微小振動検出計 |
-
1987
- 1987-10-14 JP JP62258943A patent/JPH0697237B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01100462A (ja) | 1989-04-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |