JPH0697239B2 - プロ−ブ用同軸針の製造方法 - Google Patents
プロ−ブ用同軸針の製造方法Info
- Publication number
- JPH0697239B2 JPH0697239B2 JP8693687A JP8693687A JPH0697239B2 JP H0697239 B2 JPH0697239 B2 JP H0697239B2 JP 8693687 A JP8693687 A JP 8693687A JP 8693687 A JP8693687 A JP 8693687A JP H0697239 B2 JPH0697239 B2 JP H0697239B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core wire
- manufacturing
- insulating material
- cable
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウエハ上に完成された半導体装置と、
検査測定のために電気的接続を得る方法の一つであるプ
ローブカードとに取り付けて使用する同軸針の製造方法
に関するものである。
検査測定のために電気的接続を得る方法の一つであるプ
ローブカードとに取り付けて使用する同軸針の製造方法
に関するものである。
従来の技術 従来、この種の同軸針は、典型的には、添付図面の第２
図に示すような工程により行なわれていた。すなわち、 １）原材料である所定の外径を有する心線１を所望の長
さに切断する（同図ａ） ２）心線１の１端部を機械加工により鋭角に研削し、テ
ーパ２を作成する（同図ｂ） ３）心線１の１端部に形成された鋭角に研削されたテー
パ部２を、更に鋭くするために、このテーパ部２をエッ
チング法により仕上げ、針３に加工する（同図ｃ） ４）針３の直線状部の外周面に円筒状の絶縁材料４を被
覆する（同図ｄ） ５）絶縁材料４により被覆された針３を外部導体となる
管５の中に挿入し、絶縁材料４の外周面と、管５の内周
面との間の空間（50〜100μｍ）内に接着剤６を流し込
む（同図ｅ） の工程である。
図に示すような工程により行なわれていた。すなわち、 １）原材料である所定の外径を有する心線１を所望の長
さに切断する（同図ａ） ２）心線１の１端部を機械加工により鋭角に研削し、テ
ーパ２を作成する（同図ｂ） ３）心線１の１端部に形成された鋭角に研削されたテー
パ部２を、更に鋭くするために、このテーパ部２をエッ
チング法により仕上げ、針３に加工する（同図ｃ） ４）針３の直線状部の外周面に円筒状の絶縁材料４を被
覆する（同図ｄ） ５）絶縁材料４により被覆された針３を外部導体となる
管５の中に挿入し、絶縁材料４の外周面と、管５の内周
面との間の空間（50〜100μｍ）内に接着剤６を流し込
む（同図ｅ） の工程である。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、このような典型的な工程には、次のよう
な問題点がある。すなわち １）工程４（同図ｄ）において、絶縁材料４の厚さを均
一とすることが困難であること ２）工程５（同図ｅ）において、絶縁材料４と、管５と
の間の間隔が、50〜100μｍの間においてばらつくこと ３）以上のような原因により、心線１の中心線と、管５
の中心線とを正確に一致させて接着剤６により接着する
ことが困難であり、両中心線の間には、大きな偏心が生
ずること（この偏心のために、電気的に重要な性能の一
つである特性インピーダンスが、１本の同軸針の中にお
いても、位置によりばらつきが生じ、また、固体別のば
らつきも生ずる） などである。そこで、本発明は、従来の典型的な製造方
法により製造された同軸針における上記のような問題点
を解消し １）製品としての同軸針において、長手方向の外部導体
により被覆された部分において、特性インピーダンスが
どこでも同一であること ２）製品ごとの特性インピーダンスの差が無く、いずれ
も同一であること などを満足させることができる同軸針の製造方法を得る
ことを、その目的とするものである。
な問題点がある。すなわち １）工程４（同図ｄ）において、絶縁材料４の厚さを均
一とすることが困難であること ２）工程５（同図ｅ）において、絶縁材料４と、管５と
の間の間隔が、50〜100μｍの間においてばらつくこと ３）以上のような原因により、心線１の中心線と、管５
の中心線とを正確に一致させて接着剤６により接着する
ことが困難であり、両中心線の間には、大きな偏心が生
ずること（この偏心のために、電気的に重要な性能の一
つである特性インピーダンスが、１本の同軸針の中にお
いても、位置によりばらつきが生じ、また、固体別のば
らつきも生ずる） などである。そこで、本発明は、従来の典型的な製造方
法により製造された同軸針における上記のような問題点
を解消し １）製品としての同軸針において、長手方向の外部導体
により被覆された部分において、特性インピーダンスが
どこでも同一であること ２）製品ごとの特性インピーダンスの差が無く、いずれ
も同一であること などを満足させることができる同軸針の製造方法を得る
ことを、その目的とするものである。
問題点を解決するための手段 本発明は、この目的を達成するために、 １）所要外径を有すると共に所要の長さの数倍の長さを
有する１本の心線の外周面に絶縁材料をほぼ一様の厚さ
に被覆すること ２）この絶縁材料を被覆した心線を、所要の長さの及び
寸法を有する管に挿入すること ３）この絶縁材を被覆した心線を管内に挿入した状態に
おいて線引き加工を施すことにより細長いケーブルにす
ること ４）このケーブルを所要の長さ寸法に切断すること ５）切断された各ケーブルの両端部に心線を露出させる
こと ６）このケーブルの一端部に露出された心線を鋭角に機
械加工をし、テーパ部を形成すること ７）心線のテーパ部をエッチング法により仕上げ加工を
すること の工程から成ることを特徴とするものである。
有する１本の心線の外周面に絶縁材料をほぼ一様の厚さ
に被覆すること ２）この絶縁材料を被覆した心線を、所要の長さの及び
寸法を有する管に挿入すること ３）この絶縁材を被覆した心線を管内に挿入した状態に
おいて線引き加工を施すことにより細長いケーブルにす
ること ４）このケーブルを所要の長さ寸法に切断すること ５）切断された各ケーブルの両端部に心線を露出させる
こと ６）このケーブルの一端部に露出された心線を鋭角に機
械加工をし、テーパ部を形成すること ７）心線のテーパ部をエッチング法により仕上げ加工を
すること の工程から成ることを特徴とするものである。
なお、上記の工程５）の次に、露出された心線の端部に
電気伝導度が大きく、硬度の高い接点材を溶接した後、
工程６）以降の工程を行うことも、本発明の要旨に入る
ものである。
電気伝導度が大きく、硬度の高い接点材を溶接した後、
工程６）以降の工程を行うことも、本発明の要旨に入る
ものである。
実 施 例 以下、本発明方法をその工程を示す添付図面の第１図に
基づいて詳細に説明する。
基づいて詳細に説明する。
すなわち、第１図に示すように、 １）所要の外径及び所要の長さの数倍の長さを有するタ
ングステン、ロジウム、ベリウム銅、リン青銅などから
成る心線10を、ポリテトラフルオロエチレン（商標名
「テフロン」）、シリコン、エポキシ、ポリエチレンな
どの合成樹脂を含む溶融状態の絶縁材料に浸し、これを
ダイスを介して押し出し、成形することにより、均一長
さの絶縁材料11を被覆する（同図ａ）。
ングステン、ロジウム、ベリウム銅、リン青銅などから
成る心線10を、ポリテトラフルオロエチレン（商標名
「テフロン」）、シリコン、エポキシ、ポリエチレンな
どの合成樹脂を含む溶融状態の絶縁材料に浸し、これを
ダイスを介して押し出し、成形することにより、均一長
さの絶縁材料11を被覆する（同図ａ）。
２）この絶縁材料11を被覆された心線10を、所要の長さ
及び所要寸法を有する銅、黄銅、ベリリウム銅、ニッケ
ル、ステンレス鋼などから成る管12の中に挿入し、数段
階に冷間引抜きを、絶縁材料11の外周面と、管12の内周
面とが密着するまで施し、長し同軸ケーブル13に成形す
る（同図ｂ）。
及び所要寸法を有する銅、黄銅、ベリリウム銅、ニッケ
ル、ステンレス鋼などから成る管12の中に挿入し、数段
階に冷間引抜きを、絶縁材料11の外周面と、管12の内周
面とが密着するまで施し、長し同軸ケーブル13に成形す
る（同図ｂ）。
３）この同軸ケーブル13を、所要の長さに切断して、所
要長さを有するプローブ針の素材14を多数個作る（同図
ｃ及びその拡大図である同図ｄ）。
要長さを有するプローブ針の素材14を多数個作る（同図
ｃ及びその拡大図である同図ｄ）。
４）このプローブ針の各素材14の両端部の心線10を露出
させ、心線露出素材15を作成する（同図ｅ）。
させ、心線露出素材15を作成する（同図ｅ）。
５）この心線露出素材15の一方の露出心線10の端部を鋭
角に機械加工をし、テーパ状先端部16を有する素材17を
作成する（同図ｆ）。
角に機械加工をし、テーパ状先端部16を有する素材17を
作成する（同図ｆ）。
６）更に、このテーパ状先端部16を機械加工された素材
17のテーパ状先端部16をエッチング仕上げをし、エッチ
ング仕上げ部18を形成し、完成品19とする（同図ｇ）。
17のテーパ状先端部16をエッチング仕上げをし、エッチ
ング仕上げ部18を形成し、完成品19とする（同図ｇ）。
本発明方法による同軸針は、上記のような工程を経て製
造されるが、これらの工程の内の工程ｅ）,f）及びｇ）
の変形として、第１図にｅ′）,f′）及びｇ′）に示す
ような、次の工程４′）,5′）及び６′）を行うことも
できる。
造されるが、これらの工程の内の工程ｅ）,f）及びｇ）
の変形として、第１図にｅ′）,f′）及びｇ′）に示す
ような、次の工程４′）,5′）及び６′）を行うことも
できる。
４′）工程３）により、素材14の両端に心線10を露出さ
れた素材15の、心線10の一端部に、電気伝導度が大きく
且つ硬度の高い材質であるオスミウムなどの接点材20を
溶接した素材15′を作成する（同図ｅ′）。
れた素材15の、心線10の一端部に、電気伝導度が大きく
且つ硬度の高い材質であるオスミウムなどの接点材20を
溶接した素材15′を作成する（同図ｅ′）。
５′）この素材15′の心線10を接点材20をも含めて鋭角
に機械加工をし、テーパ状先端部16′,20′を形成した
素材17′を作成する（同図ｆ′）。
に機械加工をし、テーパ状先端部16′,20′を形成した
素材17′を作成する（同図ｆ′）。
６′）最後に、この素材17′のテーパ状先端部16′,2
0′をエッチング仕上げ加工し、エッチング仕上げ部2
0″,16″を形成し、完成品19′とする（同図ｇ′）。こ
のようにして、露出された心線10の１反部に接点材20″
を備えた製品19′が得られる。
0′をエッチング仕上げ加工し、エッチング仕上げ部2
0″,16″を形成し、完成品19′とする（同図ｇ′）。こ
のようにして、露出された心線10の１反部に接点材20″
を備えた製品19′が得られる。
本発明方法により、上記のような工程を経て同軸針19な
いしは19′が得られるが、ここで、本発明方法により製
造された同軸針と、第２図に基づいて説明をした従来の
製造方法により製造された同軸針との間における品質及
び精度上の比較試験を行った結果について説明をする
と、次のようである。比較試験は、設計値の一例とし
て、心線の直径が0.16mm、管（外部導体）の内径が0.53
mm、誘電率εが2.1とした場合に、特性インピーダンスZ
0＝49.5Ωとなる同軸針を製作した場合における、両製
造方法における偏心度、特性インピーダンス及び特性イ
ンピーダンスのばらつきの最悪値を示すと、表のとおり
となった。
いしは19′が得られるが、ここで、本発明方法により製
造された同軸針と、第２図に基づいて説明をした従来の
製造方法により製造された同軸針との間における品質及
び精度上の比較試験を行った結果について説明をする
と、次のようである。比較試験は、設計値の一例とし
て、心線の直径が0.16mm、管（外部導体）の内径が0.53
mm、誘電率εが2.1とした場合に、特性インピーダンスZ
0＝49.5Ωとなる同軸針を製作した場合における、両製
造方法における偏心度、特性インピーダンス及び特性イ
ンピーダンスのばらつきの最悪値を示すと、表のとおり
となった。
表から分かるように、本発明方法によると、従来方法に
比べ、特性インピーダンスのばらつき精度が13％から0.
4％と飛躍的に向上しているが、この効果は、絶縁材料
の外径及び心線の外径が、小さいもの程大きいことが確
認されている。
比べ、特性インピーダンスのばらつき精度が13％から0.
4％と飛躍的に向上しているが、この効果は、絶縁材料
の外径及び心線の外径が、小さいもの程大きいことが確
認されている。
また、半径体ウエハーの上の半導体装置をプローブカー
ドを使用して測定する場合、本発明方法により製造され
た同軸針を使用することにより、高い周波数の信号も正
確に測定することのできることも、同様に、確認され
た。
ドを使用して測定する場合、本発明方法により製造され
た同軸針を使用することにより、高い周波数の信号も正
確に測定することのできることも、同様に、確認され
た。
発明の効果 本発明によると、同軸針が、以上のような工程を経て製
造されるので、心線と絶縁材料との間の同心度が向上
し、それらの間の偏心度を最低に制限することができる
他、絶縁材料の表面粗さ及びその厚さの均一性も向上
し、また、冷間線引きを行う結果、外部の管と絶縁材と
の間の密着も良好となり、従って、個々の同軸針の間に
おける寸法精度が向上し、また、個々の同軸針の間にお
ける特性のばらつきも小さくなるという効果も得られ
る。更に、本発明方法は、量産効果を発揮させることが
できるので、製品価格を低廉とすることも可能である。
造されるので、心線と絶縁材料との間の同心度が向上
し、それらの間の偏心度を最低に制限することができる
他、絶縁材料の表面粗さ及びその厚さの均一性も向上
し、また、冷間線引きを行う結果、外部の管と絶縁材と
の間の密着も良好となり、従って、個々の同軸針の間に
おける寸法精度が向上し、また、個々の同軸針の間にお
ける特性のばらつきも小さくなるという効果も得られ
る。更に、本発明方法は、量産効果を発揮させることが
できるので、製品価格を低廉とすることも可能である。
第１図は、本発明方法による同軸針の製造過程を示す工
程図、第２図は、従来の製造方法による同軸針の製造過
程を示す工程図である。 10……心線、11……絶縁材料、12……金属管、14……同
軸針素材、16,16′……テーパ状先端部、18……エッチ
ング仕上げ部、19……製品、20……接点材,20′……接
点材のテーパ状先端部、20″……同じくエッチング仕上
げされた接点材のテーパ状先端部。
程図、第２図は、従来の製造方法による同軸針の製造過
程を示す工程図である。 10……心線、11……絶縁材料、12……金属管、14……同
軸針素材、16,16′……テーパ状先端部、18……エッチ
ング仕上げ部、19……製品、20……接点材,20′……接
点材のテーパ状先端部、20″……同じくエッチング仕上
げされた接点材のテーパ状先端部。
Claims (6)
- 【請求項１】プローブ用同軸針の製造方法において １）所要外径及び所要の長さの数倍の長さを有する１本
の心線の外周面に絶縁材料をほぼ一様な厚さに被覆する
こと ２）この絶縁材料を被覆した心線を、所要の長さ及び寸
法を有する管に挿入すること ３）この絶縁材料を被覆した心線を管内に挿入した状態
において冷間線引き加工を施すことにより細長いケーブ
ルに形成すること ４）このケーブルを所要の長さ寸法に切断すること ５）切断された各ケーブルの両端部に心線を露出させる
こと ６）このケーブルの一端部の露出された心線を鋭角にテ
ーパ状に機械加工をし、テーパ状先端部を形成すること ７）ケーブルの心線のテーパ状先端部をエッチング法に
より仕上げ加工をすること の工程から成ることを特徴とするプローブ用同軸針の製
造方法。 - 【請求項２】工程５）により露出された一端部の心線の
端部に、接点材を固着した後、工程６）以降の工程を行
うようにする特許請求の範囲第１項記載の製造方法。 - 【請求項３】接点材が、電気伝導度が大きく、硬度が高
い材料である特許請求の範囲第２項記載の製造方法。 - 【請求項４】接点材が、オスミウムなどである特許請求
の範囲第３項記載の製造方法。 - 【請求項５】心線が、タングステン、ロジウム、ベリリ
ウム銅、リン青銅などである特許請求の範囲第１〜４項
のいずれかに記載の製造方法。 - 【請求項６】絶縁材料が、ポリテトラフルオロエチレ
ン、シリコン、エポキシ、ポリエチレンなどの合成樹脂
から成り立っている特許請求の範囲第１〜５項のいずれ
かに記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8693687A JPH0697239B2 (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | プロ−ブ用同軸針の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8693687A JPH0697239B2 (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | プロ−ブ用同軸針の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63253260A JPS63253260A (ja) | 1988-10-20 |
| JPH0697239B2 true JPH0697239B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=13900753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8693687A Expired - Lifetime JPH0697239B2 (ja) | 1987-04-10 | 1987-04-10 | プロ−ブ用同軸針の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697239B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006017455A (ja) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Totoku Electric Co Ltd | プローブ針及びその製造方法 |
| JP4563751B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2010-10-13 | 富士通セミコンダクター株式会社 | プローブ針の製造方法 |
| JP7557965B2 (ja) * | 2020-06-01 | 2024-09-30 | 株式会社Totoku | プローブ針及びプローブユニット |
-
1987
- 1987-04-10 JP JP8693687A patent/JPH0697239B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63253260A (ja) | 1988-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1123489A (en) | Electrical conductor having integral electrical contact and method of making | |
| US4838802A (en) | Low inductance ground lead | |
| EP3557266B1 (en) | Contact probe and electrical connection jig | |
| EP0657735B1 (en) | Eddy current probe for non-destructive testing within holes in workpieces or within pipes | |
| US2786985A (en) | Miniature slip ring and process of making the same | |
| JPH0697239B2 (ja) | プロ−ブ用同軸針の製造方法 | |
| JP2007322369A (ja) | コンタクトプローブ及びその製造方法 | |
| JPH07198755A (ja) | アースされた金属ケーシングを有する電気設備において利用可能なロゴスキー・コイルとこの種のコイルの製造方法 | |
| US3541394A (en) | Proximity transducer | |
| JP2017215221A (ja) | プローブ及びその製造方法 | |
| US11953562B2 (en) | MI sensor and method for manufacturing MI sensor | |
| US2663754A (en) | Slotted dielectric coaxial line and process for making same | |
| EP0647951B1 (en) | Electrical cables | |
| JP3648527B2 (ja) | プローブカードの製造方法 | |
| CN108303596B (zh) | 一种利用薄膜沉积技术制作超薄线圈的方法及超薄线圈 | |
| JPH08160074A (ja) | 四端子測定用プローブ | |
| JP2606819Y2 (ja) | 四端子測定用プローブ構造 | |
| KR102436587B1 (ko) | 전기 커넥터의 암단자를 제조하는 방법 | |
| GB2283323A (en) | Electrical cable insulation measurement | |
| JPS61173482A (ja) | スリツプリングアセンブリの製造方法 | |
| JP2825492B2 (ja) | 同軸ケーブル外部導体の半田付け構造及びその方法 | |
| CN111337539A (zh) | 一种新型漆包线绝缘漆层破损检测装置及检测方法 | |
| EP4568037A1 (en) | Multi-core cable, method for manufacturing same, and electronic equipment using same | |
| JP3398610B2 (ja) | 加工電極製作方法 | |
| JP3739310B2 (ja) | 遮蔽型多心ケーブルの製法 |