JPH0697261A

JPH0697261A - ウェーハ移載制御装置及びその制御方法

Info

Publication number: JPH0697261A
Application number: JP26553392A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Matsubuchi; 義行松渕
Original assignee: Kokusai Electric Co Ltd
Current assignee: Kokusai Denki Electric Inc
Priority date: 1992-09-09
Filing date: 1992-09-09
Publication date: 1994-04-08

Abstract

(57)【要約】【目的】トラブル時に作業者が入力すべき適切なコマ
ンドを表示させることで、作業者の判断ミス、操作ミス
をなくし、ウェ−ハ及びボ−トの破損を防止し、信頼性
の高いウェ−ハ移載制御装置及びその制御方法を提供す
る。【構成】ウェ−ハ移載動作のトラブルに対応した状況
指示コマンドと該状況下での動作続行を指示する続行指
示コマンドが格納されたコマンドテ−ブル１２と、トラ
ブル状況に対応して両コマンドを読み出す処理制御部１
１とがコントロ−ラ５内に設けられ、まず、トラブル状
況に応じて状況指示コマンドが表示部２１に表示され、
該状況指示コマンドの１つをキ−入力部２２でキ−入力
すると、次に状況指示コマンドに対応する続行指示コマ
ンドが表示部２１に表示され、続行指示コマンドをキ−
入力すると移載動作が続行されるウェ−ハ移載制御装置
及びその制御方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロ−ドロック式縦型拡
散・ＣＶＤ装置等の半導体製造装置におけるウェ−ハ移
載制御装置に係り、特にトラブル時に入力すべき適切な
コマンドを表示させることで作業者の判断ミス、操作ミ
スをなくし、ウェ−ハ及びボ−トの破損を防止して信頼
性を向上させることができるウェ−ハ移載制御装置及び
その制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体製造装置としての縦型拡散
・ＣＶＤ装置について図８を使って説明する。図８は、
縦型拡散・ＣＶＤ装置の概略構成図である。図８に示す
ように、縦型拡散・ＣＶＤ装置は、ウェ−ハの移載が行
われる移載室１と、移載されるウェ−ハが複数格納され
ているカセット２と、移載室１内部を縦型拡散・ＣＶＤ
装置外部から遮断するカセット室ドア１０と、ウェ−ハ
の拡散・ＣＶＤ処理が施される縦型固定のボ−ト３と、
カセット２からボ−ト３へのウェ−ハ移載（チャ−ジ）
又はボ−ト３からカセット２へのウェ−ハ移載（ディス
チャ−ジ）を行うウェ−ハ移載機４とを具備しており、
更に、移載室１の外部には、ウェ−ハ移載機４のウェ−
ハ移載動作の制御を行うコントロ−ラ５と、コントロ−
ラ５に接続してウェ−ハ移載機４の状態の表示及び制御
指示入力を行う操作タ−ミナル６とが設けられている。
尚、ウェ−ハ移載機４、コントロ−ラ５、操作タ−ミナ
ル６がウェ−ハ移載動作の制御を行うウェ−ハ移載制御
装置を構成している。

【０００３】次に、上記従来のウェ−ハ移載制御装置の
各部について図８を使って具体的に説明する。操作タ−
ミナル６は、ウェ−ハ移載機４にトラブルが発生した場
合、エラ−情報が表示される表示部とエラ−情報表示時
に作業者の判断によりコマンド入力が為されるキ−入力
部とから構成されている。

【０００４】コントロ−ラ５は、予め定められた移載デ
−タに従ってウェ−ハ移載機４でのウェ−ハ移載動作を
行い、またその動作をロ−タリエンコ−ダ等で監視して
適性な制御を行うものであり、更にウェ−ハ移載機４の
ウェ−ハ移載動作のトラブルを検出して、エラ−情報を
操作タ−ミナル６の表示部に出力し、またトラブル時に
操作タ−ミナル６からのコマンド入力に従ってウェ−ハ
移載機４の制御を行うものである。

【０００５】ウェ−ハ移載機４は、ウェ−ハを下からす
くいあげるよう真空吸着してカセット２又はボ−ト３か
ら取り出し、ウェ−ハ移載を行うものであり、そのため
に、ウェ−ハ移載機４の先端に石英製プレ−トの石英ツ
ィ−ザが取り付けられ、石英ツィ−ザの上部表面にはウ
ェ−ハ吸着用の穴が２箇所設けられている。

【０００６】次に、従来の縦型拡散・ＣＶＤ装置におけ
るウェ−ハ移載動作について図８を使って説明する。先
ず、正常時のウェ−ハ移載動作について説明すると、ウ
ェ−ハ移載機４の石英ツィ−ザがウェ−ハを真空吸着し
てカセット２からウェ−ハを取り出し、ボ−ト３へチャ
−ジする。そして、ボ−ト３へウェ−ハをチャ−ジし終
えたウェ−ハ移載機４は、再びカセット２へ戻り、次の
ウェ−ハをチャ−ジし、この動作を繰り返す。

【０００７】次に、ウェ−ハがチャ−ジされたボ−ト３
では、拡散・ＣＶＤ処理が施される。その後、ウェ−ハ
は、ウェ−ハ移載機４によりボ−ト３から取り出されて
カセット２へディスチャ−ジされ、同様の動作が繰り返
されてボ−ト３から全てのウェ−ハがカセット２へディ
スチャ−ジされる。

【０００８】次に、トラブル発生時のウェ−ハ移載制御
について図８を使って説明する。その前に、ウェ−ハ移
載のトラブルを具体的に説明すると、第１のトラブルと
してウェ−ハ移載機４の先端にある石英ツィ−ザとウェ
−ハの接触面に傾きや隙間が何らかの原因で生じて真空
吸着できなくなり、ウェ−ハをカセット２又はボ−ト３
から取り出せない場合があり、第２のトラブルとしてウ
ェ−ハ移載機４の駆動機構の停止位置がオ−バ−ランし
てしまう場合があり、また、第３のトラブルとしてウェ
−ハ移載機４の駆動機構のモ−タに異常が生じる場合が
あった。

【０００９】そして、第１のトラブルの場合は石英ツィ
−ザに設けられた吸着センサがウェ−ハ吸着の異常を検
知してウェ−ハ移載機４のウェ−ハ移載動作を停止し、
また第２及び第３のトラブルの場合は、モ−タの回転を
監視するロ−タリエンコ−ダがモ−タ回転の異常を検知
してウェ−ハ移載機４の移載動作を停止するようになっ
ている。

【００１０】次に、このようにウェ−ハ移載動作が中断
すると、ウェ−ハ移載機４を制御するメカコントロ−ラ
から全体のシステムを制御するメインコントロ−ラへエ
ラ−報告され、操作タ−ミナル６の表示部にエラ−情報
が表示され、点滅とブザ−によるアラ−ムで作業者にト
ラブルの発生を知らせるようになっている。

【００１１】そして、トラブルの発生を認識した作業者
は、トラブル時の状況（ウェ−ハ移載機４、ウェ−ハ、
カセット２及びボ−ト３の状態）を目視により確認し
て、ウェ−ハ移載を続行するかどうかを判断し、その為
の続行指示等のコマンドを操作タ−ミナル６の入力部か
ら入力してトラブル処理を行っていた。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の縦型拡散・ＣＶＤ装置におけるウェ−ハ移載制御装
置では、作業者が目視によってコマンド入力を行い、続
行等の操作をするようにしているため、作業者の判断ミ
ス、操作ミスが発生して、不適当なコマンドの入力等に
よって生じるウェ−ハ移載機４の誤動作等により、石英
ツィーザ、ウェ−ハ等の破損事故が発生し、最悪の場合
ではボ−トの破損が起きるという問題点があった。

【００１３】また、特に機械構造上内部が見えないロ−
ドロック式縦型拡散・ＣＶＤ装置では、作業者に判断さ
せることが無理であるため、上記従来のウェ−ハ移載制
御装置を用いたトラブル処理を行うことができないとい
う問題点があった。

【００１４】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、トラブル時に作業者が入力すべき適切なコマンドを
表示させることで、作業者の判断ミス、操作ミスをなく
し、拡散・ＣＶＤ装置におけるウェ−ハ及びボ−トの破
損を防止し、信頼性の高いウェ−ハ移載制御装置及びそ
の制御方法を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための請求項１記載の発明は、ウェ−ハの移載動
作を行うウェ−ハ移載機と、前記ウェ−ハ移載機の制御
を行うコントロ−ラとを有するウェ−ハ移載制御装置に
おいて、前記コントロ−ラ内に前記ウェ−ハ移載動作の
トラブルに対応するコマンドを格納するコマンドテ−ブ
ルと、前記トラブル状況を判断して前記コマンドテ−ブ
ルから対応するコマンドを読み出す処理制御部とを設
け、前記処理制御部が出力する前記コマンドを表示する
表示部と、前記表示部に表示された前記コマンドに従っ
てキ−入力されるキ−入力部とを有することを特徴とし
ている。

【００１６】上記従来例の問題点を解決するための請求
項２記載の発明は、請求項１記載のウェ−ハ移載制御装
置の制御方法において、処理制御部でウェ−ハ移載機で
の移載動作のトラブル状況を判断し、前記トラブルに対
応するコマンドをコマンドテ−ブルから読み出して出力
し、表示部で前記コマンドを表示し、前記コマンドに従
ったキ−入力によりウェ−ハ移載動作が為されることを
特徴としている。

【００１７】

【作用】請求項１記載の発明によれば、ウェ−ハ移載動
作のトラブルに対応したコマンドがコマンドテ−ブルに
格納され、トラブル状況を判断し、コマンドテ−ブルか
ら対応するコマンドを読み出す処理制御部がコントロ−
ラ内に設けられ、表示部に表示されたコマンドに従って
キ−入力部でキ−入力されるウェ−ハ移載制御装置とし
ているので、トラブル状況に対応した適切なコマンドを
表示させ、該コマンドを参照して作業者がキ−入力でき
るため、作業者の判断ミス、操作ミスをなくし、拡散・
ＣＶＤ装置におけるウェ−ハ及びボ−ト等の破損を防止
し、拡散・ＣＶＤ装置の半導体製造装置での信頼性を向
上できる。

【００１８】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載のウェ−ハ移載制御装置の制御方法において、処理制
御部でウェ−ハ移載機での移載動作のトラブル状況を判
断し、トラブルに対応するコマンドをコマンドテ−ブル
から読み出して表示部に表示し、コマンドに従ったキ−
入力によりウェ−ハ移載動作が為されるウェ−ハ移載制
御装置の制御方法としているので、トラブル状況に対応
した適切なコマンドが表示され、該コマンドを参照した
作業者によるキ−入力が為されてウェ−ハ移載動作を続
行できるため、作業者の判断ミス、操作ミスをなくし、
拡散・ＣＶＤ装置におけるウェ−ハ及びボ−ト等の破損
を防止し、トラブルに対して移載動作が確実に且つ簡略
化でき、拡散・ＣＶＤ装置の半導体製造装置での信頼性
を向上できる。

【００１９】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。本実施例のウェ−ハ移載制御装置が使用さ
れるロ−ドロック式縦型拡散・ＣＶＤ装置は、図８に示
した従来の縦型拡散・ＣＶＤ装置と略同様であり、図８
に示すように、ウェ−ハの移載が行われる移載室１と、
移載室１内部を装置外部から遮断するカセット室ドア１
０と、ウェ−ハが複数格納されているカセット２と、カ
セット２に格納されているウェ−ハがチャ−ジされて拡
散・ＣＶＤ処理が為される縦型固定のボ−ト３と、石英
ツィ−ザでウェ−ハを真空吸着し、真空吸着されたウェ
−ハをカセット２からボ−ト３へチャ−ジするか又は拡
散・ＣＶＤ処理済みのウェ−ハをボ−ト３からカセット
２へディスチャ−ジするウェ−ハ移載機４と、ウェ−ハ
移載機４の制御を行うコントロ−ラ５と、ウェ−ハ移載
機４にトラブルが発生した場合、エラ−情報を表示する
表示部と、エラ−情報表示時に作業者の判断により選択
されたコマンドが入力されるキ−入力部とを具備する操
作タ−ミナル６とを有している。

【００２０】尚、ロ−ドロック式縦型拡散・ＣＶＤ装置
は、ウェ−ハでの自然酸化膜の発生を抑制するために移
載室１を密閉でき、酸素を除去して拡散・ＣＶＤ処理を
行う高集積デバイス用の装置である。

【００２１】次に、本実施例のウェ−ハ移載制御装置に
ついて図１を使って説明する。図１は、本実施例のウェ
−ハ移載制御装置の構成ブロック図である。図１に示す
ように、本実施例のウェ−ハ移載制御装置は、ロ−ドロ
ック式縦型拡散・ＣＶＤ装置のコントロ−ラ５と、操作
タ−ミナル６と、ウェ−ハ移載機４とを具備し、更に、
ウェ−ハ移載機４に接続する駆動部７とロ−タリエンコ
−ダ８とを有している。

【００２２】コントロ−ラ５は、処理制御部１１と、コ
マンドが格納されているコマンドテ−ブル１２と、移載
動作の区切りとなる初期の移載位置（初期位置）に対応
する設定値が設定されている初期値センサ１３と、コマ
ンドと信号の入出力が為される入出力部１４とから構成
されている。

【００２３】操作タ−ミナル６は、操作タ−ミナル６の
外観正面図である図２に示すように、エラ−情報及びコ
マンド等が表示される液晶ディスプレイ等の表示部２１
と、表示部２１に表示されたコマンドのキ−入力が為さ
れるキ−入力部２２とを有するものである。

【００２４】駆動部７は、ウェ−ハ移載機４を駆動する
モ−タと該モ−タの制御を行うモ−タ制御部とから構成
されている。ロ−タリエンコ−ダ８は、駆動部７のモ−
タの回転数を読取って対応する符号を処理制御部１１へ
出力する符号器である。

【００２５】次に、コントロ−ラ５を構成する各部につ
いて図１及び図３を使って説明する。図３は、コマンド
テ−ブル１２の内容を説明する概念図である。図３に示
すように、コマンドテ−ブル１２に格納されているコマ
ンドには、コマンド表示要求のＣＣＤ(Charge Comand D
isplay）と、「ＣＣＤ」「LF」が入力されると表示部２
１に表示される状況指示コマンドと、状況指示コマンド
が入力されると表示部２１に表示される続行指示コマン
ドとがある。ここで、「LF」はコマンドの実行指令を意
味している。

【００２６】コマンド表示要求のＣＣＤとは、状況指示
コマンドの表示を求めるためのコマンドであり、状況指
示コマンドとは、トラブルが発生して移載動作が中断時
のウェ−ハ移載機４の動作状況を指示するコマンドであ
り、ＤＣＧ，ＣＨＧ，…等の６個のコマンドにより構成
され、続行指示コマンドとは、状況指示コマンドの指示
に対してウェ−ハ移載機４の動作状況に対応した適切な
処理で、ウェ−ハ移載機４にウェ−ハ移載動作を続行さ
せるためのコマンドであり、RCNTN,SCNTのコマンドから
構成されている。

【００２７】更に、各状況指示コマンドについて説明す
ると、ＤＣＧはダミ−ウェ−ハチャ−ジを、ＣＨＧはウ
ェ−ハチャ−ジを、ＤＣＨはウェ−ハディスチャ−ジ
を、ＤＤＣはダミ−ウェ−ハディスチャ−ジを、ＭＤＣ
はモニタウェ−ハディスチャ−ジを、ＰＤＣはプロセス
ウェ−ハディスチャ−ジを行っていることを意味し、動
作中断時に操作タ−ミナル６の表示部２１に表示される
ものである。

【００２８】また、続行指示コマンドについて説明する
と、「RCNTN 」は、それまで実行していたウェ−ハ移載
を再度行ってから、次のウェ−ハ移載を続行するリトラ
イ続行を意味し、「SCNTN 」は、それまで実行していた
ウェ−ハ移載の次のウェ−ハ移載から続行するスキップ
続行を意味している。

【００２９】そして、コントロ−ラ５内の処理制御部１
１は、ロ−タリエンコ−ダ８からの出力を入出力部１４
を介して受取り、初期値センサ１３での設定値を読み込
んで比較し、設定値との誤差を算出することでウェ−ハ
移載機４が正常な動作をしているかどうかを判断する判
断手段１５を具備している。処理制御部１１は、判断手
段１５での判断結果からウェ−ハ移載機４が正常な動作
をしていないことを検知すると、入出力部１４を介して
駆動部７へウェ−ハ移載機４の動作を停止する信号を出
力して移載動作を中断して操作タ−ミナル６にエラ−情
報を出力し、次に、作業者によるコマンド表示要求「Ｃ
ＣＤ」「LF」が入力されると、本実施例の特徴部分とし
て、判断手段１５がトラブル状況を判断して状況に対応
した状況指示コマンドをコマンドテ−ブル１２から読み
出して操作タ−ミナル６へ出力し、表示された状況指示
コマンドを参照して状況指示コマンドが作業者により入
力されると、該状況指示コマンドに対応した続行指示コ
マンドをコマンドテ−ブル１２から読み出して操作タ−
ミナル６へ出力するものである。

【００３０】次に、本実施例のウェ−ハ移載制御装置の
続行指示コマンドの出力基準について説明する。先ず、
カセット２からボ−ト３へウェ−ハ移載機４が動作して
いるときの中断では、つまり、チャ−ジ中の中断におい
ては、ウェ−ハ移載機４がウェ−ハを載置していない場
合はリトライ続行（RCNTN)を、ウェ−ハ移載機４がウェ
−ハを載置している場合はスキップ続行（SCNTN)を操作
タ−ミナル６の表示部２１に表示するようになってい
る。尚、チャ−ジ中の中断でのスキップ続行（SCNTN)と
は、載置しているウェ−ハをカセット２へ戻して次のウ
ェ−ハからチャ−ジを続行することを意味するものであ
る。

【００３１】また、ボ−ト３からカセット２へウェ−ハ
移載機４が動作しているときの中断では、つまり、ディ
スチャ−ジ中の中断においては、ウェ−ハ移載機４がウ
ェ−ハを載置していない場合はリトライ続行（RCNTN)
を、ウェ−ハ移載機４がウェ−ハを載置している場合は
スキップ続行（SCNTN)を操作タ−ミナル６の表示部２１
に表示するようになっている。尚、ディスチャ−ジ中の
中断でのスキップ続行（SCNTN)とは、載置しているウェ
−ハをボ−ト３へ戻すのではなく、ウェ−ハをカセット
２へ搬送した後で、次のウェ−ハからディスチャ−ジを
続行すること意味するものである。

【００３２】次に、本実施例のウェ−ハ移載制御装置に
おける異常処理について図１、図６及び図７を使って説
明する。図６及び図７は、本実施例のウェ−ハ移載制御
装置のトラブル発生時におけるウェ−ハ移載制御方法を
示すフロ−チャ−ト図である。尚、図６及び図７は一連
のフロ−チャ−ト図であるが、紙面の制約上２図に分け
たもので、（Ａ）にて接続している。

【００３３】今、移載室１において、移載動作中に何等
かの異常が発生すると、図６に示すように、処理制御部
１１の判断部１５がウェ−ハ移載機４にトラブルが発生
したかどうかを判断して（１００）、ウェ−ハ移載機４
にトラブルが発生した場合、処理制御部１１がウェ−ハ
移載機４の動作を停止する（１０１）。続いて、処理制
御部１１は操作タ−ミナル６の表示部２１へエラ−情報
を表示し、ブザ−等によるアラ−ムと共に作業者にトラ
ブル発生を通知する（１０２）。

【００３４】次に、トラブル発生を通知された作業者に
より、コマンド表示要求である「ＣＣＤ」「LF」が操
作タ−ミナル６のキ−入力部２２からキ−入力されると
（１０３）、処理制御部１１の判断部１５でチャ−ジ中
のトラブルか否（ディスチャ−ジ）かどうかが判断され
（１０４）、チャ−ジ中のトラブルであれば、チャ−ジ
中の有効な状況指示コマンドであるＤＣＧ及びＣＨＧに
「→」印が付されて表示される（１０５）。また、ディ
スチャ−ジ中のトラブルであれば、ディスチャ−ジ中の
有効な状況指示コマンドであるＤＣＨ、ＤＤＣ、ＭＤ
Ｃ、ＰＤＣに「→」印が付されて表示される（１０
６）。ここでの「→」印は、トラブル時のウェ−ハ移載
機４の動作状況に対応した取り得る有効なコマンドに付
されるものである。

【００３５】そして、「→」印を付されて表示された状
況指示コマンドから作業者が１つを選択してキ−入力す
ると（１０７）、次に、図７に示すようにウェ−ハがウ
ェ−ハ移載機４に載置された状態であるかどうかが判断
され（１０８）、ウェ−ハが載置されていれば、リトラ
イ続行を指示する「ＲＣＮＴＮ」が表示部２１で表示さ
れ（１０９）、作業者のキ−入力によってリトライ続行
が為される（１１０）。一方、ウェ−ハが載置されてい
なければ、スキップ続行を指示するコマンド「ＳＣＮＴ
Ｎ」が表示部２１で表示され（１１１）、作業者のキ−
入力によってスキップ続行が為される（１１２）。

【００３６】次に、本実施例のウェ−ハ移載制御方法の
具体例として、ウェ−ハ移載機４がウェ−ハを載置して
いない状態で、カセット２からボ−ト３へチャ−ジして
いる時にトラブルが発生した場合の処理について図４及
び図５を使って説明する。図４は、操作タ−ミナル６の
表示部２１での状況指示コマンドの表示例であり、図５
は、操作タ−ミナル６の表示部２１での続行指示コマン
ドの表示例である。

【００３７】ウェ−ハ移載機４でのトラブルが発生する
と、判断部１５の判断によりウェ−ハ移載機４が停止
し、エラ−情報が表示部２１に表示される。そして、作
業者がエラ−情報を認識してコマンド表示要求「ＣＣ
Ｄ」「LF」を行うと、判断部１５がチャ−ジ中の停止か
どうかを判断し、今、チャ−ジ中のウェ−ハ移載機４の
停止であるので、図４に示すように、チャ−ジ中の中断
に対して有効な状況指示コマンドであるＤＣＧ及びＣＨ
Ｇに「→」印を付された状態で表示部２１に表示され
る。

【００３８】次に、有効な状況指示コマンド（ＤＣＧ，
ＣＨＧ）から作業者が１つのコマンドを選択してキ−入
力部２２からキ−入力すると、判断部１５は、ウェ−ハ
移載機４がウェ−ハを載置しているどうかを判断し、ウ
ェ−ハ移載機４はウェ−ハを載置していないので、図５
に示すように、続行指示コマンド（ＣＯＮＴＩＮＵＥＣ
ＯＭＡＮＤ）が表示されて、更にリトライ続行を指示す
るコマンド「１→ＨＭＸ２→ＲＣＮＴＮ」が表示部２
１に表示され、作業者が上記１→２の順にキ−入力する
ことでリトライ続行が為されるようになっている。ここ
で、数字は入力の順番を示し、「→」印は、その順番に
合わせて入力されるコマンドを示している。

【００３９】本実施例のウェ−ハ移載制御装置及びその
制御方法によれば、ロ−ドロック式縦型拡散・ＣＶＤ装
置等のような装置内部を見ることができない半導体製造
装置においても、作業者がトラブル状況を判断すること
なく、トラブル状況に対応した適切な続行指示コマンド
が表示されるので、トラブル時に表示された続行指示コ
マンドを参照して作業者が該コマンドを入力するだけで
ウェ−ハ移載制御を行うことができ、ウェ−ハ移載の異
常処理を確実に且つ簡略化して行うことできる効果があ
り、更に石英ツィ−ザ、ウェ−ハ、ボ−ト等の破損事故
を防止することができ、半導体製造装置の信頼性を向上
できる効果がある。

【００４０】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ウェ−ハ
移載動作のトラブルに対応したコマンドがコマンドテ−
ブルに格納され、トラブル状況を判断し、コマンドテ−
ブルから対応するコマンドを読み出す処理制御部がコン
トロ−ラ内に設けられ、表示部に表示されたコマンドに
従ってキ−入力部でキ−入力されるウェ−ハ移載制御装
置としているので、トラブル状況に対応した適切なコマ
ンドを表示させ、該コマンドを参照して作業者がキ−入
力できるため、作業者の判断ミス、操作ミスをなくし、
拡散・ＣＶＤ装置におけるウェ−ハ及びボ−ト等の破損
を防止し、拡散・ＣＶＤ装置の半導体製造装置での信頼
性を向上できる効果がある。

【００４１】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載のウェ−ハ移載制御装置の制御方法において、処理制
御部でウェ−ハ移載機での移載動作のトラブル状況を判
断し、トラブルに対応するコマンドをコマンドテ−ブル
から読み出して表示部に表示し、コマンドに従ったキ−
入力によりウェ−ハ移載動作が為されるウェ−ハ移載制
御装置の制御方法としているので、トラブル状況に対応
した適切なコマンドが表示され、該コマンドを参照した
作業者によるキ−入力が為されてウェ−ハ移載動作を続
行できるため、作業者の判断ミス、操作ミスをなくし、
拡散・ＣＶＤ装置におけるウェ−ハ及びボ−ト等の破損
を防止し、トラブルに対して移載動作が確実に且つ簡略
化でき、拡散・ＣＶＤ装置の半導体製造装置での信頼性
を向上できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るウェ−ハ移載制御装置
の構成ブロック図である。

【図２】操作タ−ミナルの外観正面図である。

【図３】コマンドテ−ブルの内容を説明する概念図であ
る。

【図４】操作タ−ミナルの表示部での状況指示コマンド
の表示例を示す図である。

【図５】操作タ−ミナルの表示部での続行指示コマンド
の表示例を示す図である。

【図６】ウェ−ハ移載制御装置のトラブル発生時におけ
るウェ−ハ移載制御方法を示すフロ−チャ−ト図であ
る。

【図７】ウェ−ハ移載制御装置のトラブル発生時におけ
るウェ−ハ移載制御方法を示すフロ−チャ−ト図であ
る。

【図８】従来のロ−ドロック式縦型拡散・ＣＶＤ装置の
概略構成図である。

【符号の説明】

１…移載室、２…カセット、３…ボ−ト、４…ウ
ェ−ハ移載機、５…コントロ−ラ、６…操作タ−ミ
ナル、７…駆動部、８…ロ−タリエンコ−ダ、１
０…カセット室ドア、１１…処理制御部、１２…コ
マンドテ−ブル、１３…初期値センサ、１４…入出
力部、１５…判断部、２１…表示部、２２…キ−
入力部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウェ−ハの移載動作を行うウェ−ハ移載
機と、前記ウェ−ハ移載機の制御を行うコントロ−ラと
を有するウェ−ハ移載制御装置において、前記コントロ
−ラ内に前記ウェ−ハ移載動作のトラブルに対応するコ
マンドを格納するコマンドテ−ブルと、前記トラブル状
況を判断して前記コマンドテ−ブルから対応するコマン
ドを読み出す処理制御部とを設け、前記処理制御部が出
力する前記コマンドを表示する表示部と、前記表示部に
表示された前記コマンドに従ってキ−入力されるキ−入
力部とを有することを特徴とするウェ−ハ移載制御装
置。
【請求項２】処理制御部でウェ−ハ移載機での移載動
作のトラブル状況を判断し、前記トラブルに対応するコ
マンドをコマンドテ−ブルから読み出して出力し、表示
部で前記コマンドを表示し、前記コマンドに従ったキ−
入力によりウェ−ハ移載動作が為されることを特徴とす
る請求項１記載のウェ−ハ移載制御装置の制御方法。