JPH0697266A - ウェーハチャック - Google Patents
ウェーハチャックInfo
- Publication number
- JPH0697266A JPH0697266A JP24240592A JP24240592A JPH0697266A JP H0697266 A JPH0697266 A JP H0697266A JP 24240592 A JP24240592 A JP 24240592A JP 24240592 A JP24240592 A JP 24240592A JP H0697266 A JPH0697266 A JP H0697266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- claw
- claws
- moving means
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハチャックの構造に関し、爪がウェー
ハ表面に接触することに起因するチップ収量のロスを減
らすことを目的とする。 【構成】 ウェーハ１を載置するステージ11と、複数の
爪12と、爪12と同数の移動手段13とを有する。ステージ
11にはその側面を一周する溝11a がある。各移動手段13
はモータと上下移動機構を内蔵し、上下移動機構を介し
て爪12が装着されている。各移動手段13は溝11a と嵌合
してしており、これらを個別に自走させて各爪12をウェ
ーハ１の有効チップのない位置に移動し、その位置でウ
ェーハ１をクランプする。
ハ表面に接触することに起因するチップ収量のロスを減
らすことを目的とする。 【構成】 ウェーハ１を載置するステージ11と、複数の
爪12と、爪12と同数の移動手段13とを有する。ステージ
11にはその側面を一周する溝11a がある。各移動手段13
はモータと上下移動機構を内蔵し、上下移動機構を介し
て爪12が装着されている。各移動手段13は溝11a と嵌合
してしており、これらを個別に自走させて各爪12をウェ
ーハ１の有効チップのない位置に移動し、その位置でウ
ェーハ１をクランプする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェーハチャック、特に
機械式ウェーハチャックの構造に関する。半導体装置の
製造工程のうちウェーハ処理工程においては、多くの場
合、ウェーハを処理装置内で固定する必要がある。ウェ
ーハを固定するチャックとしては機械式チャック、真空
チャック、静電チャック等の種類があるが、処理を真空
中、且つ高温で行う装置（例えばスパッタリング装置
等）においては主として機械式チャックが使用される。
ところが、この機械式チャックはその爪がウェーハの表
面に直接接触するため、爪が接触した部分、又は爪の陰
になった部分ではウェーハは所望の処理が行われず、そ
の位置のチップが不良品になるという問題がある。その
ため、このような不良チップの発生を極力防止し、ウェ
ーハ一枚当たりの良品チップの収量を増加することが望
まれている。
機械式ウェーハチャックの構造に関する。半導体装置の
製造工程のうちウェーハ処理工程においては、多くの場
合、ウェーハを処理装置内で固定する必要がある。ウェ
ーハを固定するチャックとしては機械式チャック、真空
チャック、静電チャック等の種類があるが、処理を真空
中、且つ高温で行う装置（例えばスパッタリング装置
等）においては主として機械式チャックが使用される。
ところが、この機械式チャックはその爪がウェーハの表
面に直接接触するため、爪が接触した部分、又は爪の陰
になった部分ではウェーハは所望の処理が行われず、そ
の位置のチップが不良品になるという問題がある。その
ため、このような不良チップの発生を極力防止し、ウェ
ーハ一枚当たりの良品チップの収量を増加することが望
まれている。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ処理装置において、機械
式ウェーハチャックの爪の個数、形状、寸法、配置はそ
のウェーハ処理装置固有のものであり、且つ爪の位置は
固定されていた。
式ウェーハチャックの爪の個数、形状、寸法、配置はそ
のウェーハ処理装置固有のものであり、且つ爪の位置は
固定されていた。
【０００３】一般に、ウェーハをウェーハ処理装置内で
クランプする際には、ウェーハは予めそのオリエンテイ
ションフラットの向きが揃えられている。爪はそのオリ
エンテイションフラットを基準として左右対象に配置さ
れていた。従って従来は、ウェーハのチップレイアウト
を設計する段階で、爪の陰になる部分を避けてチップを
配置する等の工夫をして、爪がウェーハ表面に接触する
ことに起因する不良チップの発生を防止していた。
クランプする際には、ウェーハは予めそのオリエンテイ
ションフラットの向きが揃えられている。爪はそのオリ
エンテイションフラットを基準として左右対象に配置さ
れていた。従って従来は、ウェーハのチップレイアウト
を設計する段階で、爪の陰になる部分を避けてチップを
配置する等の工夫をして、爪がウェーハ表面に接触する
ことに起因する不良チップの発生を防止していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
に、ウェーハチャックの爪の個数、形状、寸法、配置は
そのウェーハ処理装置固有のものであるから、或るウェ
ーハ処理装置に対して有効なチップレイアウトであって
も、他のウェーハ処理装置に対しては有効であるとは限
らない。又、チップの寸法によっては、爪の陰になる部
分を避けてチップを配置することにより、ウェーハ一枚
当たりのチップの収容総数が減ることがある。
に、ウェーハチャックの爪の個数、形状、寸法、配置は
そのウェーハ処理装置固有のものであるから、或るウェ
ーハ処理装置に対して有効なチップレイアウトであって
も、他のウェーハ処理装置に対しては有効であるとは限
らない。又、チップの寸法によっては、爪の陰になる部
分を避けてチップを配置することにより、ウェーハ一枚
当たりのチップの収容総数が減ることがある。
【０００５】本発明はこのような問題を解決して、爪が
ウェーハ表面に接触することに起因するチップ収量のロ
スを減らすことが可能なウェーハチャックを提供するこ
とを目的とする。
ウェーハ表面に接触することに起因するチップ収量のロ
スを減らすことが可能なウェーハチャックを提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的は本発明によれ
ば、〔１〕ステージと、該ステージ上に載置したウェー
ハの周縁部上面を押圧して該ウェーハを該ステージにク
ランプする複数の爪と、該爪を該ウェーハの外周に沿っ
て移動させる移動手段とを有することを特徴とするウェ
ーハチャックとすることで、〔２〕前記〔１〕におい
て、移動手段を前記複数の爪と同数有し、該複数の移動
手段が該複数の爪を個別に移動するように構成すること
で、〔３〕前記〔１〕において、回転リングを有し、前
記複数の爪は該回転リングに固着されており、前記移動
手段が該回転リングを回転することにより該複数の爪が
移動するように構成することで、達成される。
ば、〔１〕ステージと、該ステージ上に載置したウェー
ハの周縁部上面を押圧して該ウェーハを該ステージにク
ランプする複数の爪と、該爪を該ウェーハの外周に沿っ
て移動させる移動手段とを有することを特徴とするウェ
ーハチャックとすることで、〔２〕前記〔１〕におい
て、移動手段を前記複数の爪と同数有し、該複数の移動
手段が該複数の爪を個別に移動するように構成すること
で、〔３〕前記〔１〕において、回転リングを有し、前
記複数の爪は該回転リングに固着されており、前記移動
手段が該回転リングを回転することにより該複数の爪が
移動するように構成することで、達成される。
【０００７】
【作用】本発明によれば、爪の位置が可変であるから、
ウェーハ上の、チップが配置されていない部分に爪を移
動してクランプすることにより、チップ収容総数が最大
となるチップレイアウトをしても不良チップの発生を防
止することが出来る。
ウェーハ上の、チップが配置されていない部分に爪を移
動してクランプすることにより、チップ収容総数が最大
となるチップレイアウトをしても不良チップの発生を防
止することが出来る。
【０００８】
【実施例】本発明に係るウェーハチャックの実施例を図
１〜図４を参照しながら説明する。
１〜図４を参照しながら説明する。
【０００９】図１は本発明の第一の実施例を示す図であ
る。同図において、１は被処理物のウェーハ、11はウェ
ーハ１を載置するステージ、12は爪、13は移動手段であ
る。移動手段13は複数個（図１では四個）あり、それぞ
れ爪12と、爪12を上下方向に動かす上下移動機構（ソレ
ノイド等、図示は省略）と、回転機構( モータ等、図示
は省略）とを備えており、ステージ11にその外周に沿っ
て設けられた溝11a と嵌合して、ステージ11の周囲を自
走することが出来る。
る。同図において、１は被処理物のウェーハ、11はウェ
ーハ１を載置するステージ、12は爪、13は移動手段であ
る。移動手段13は複数個（図１では四個）あり、それぞ
れ爪12と、爪12を上下方向に動かす上下移動機構（ソレ
ノイド等、図示は省略）と、回転機構( モータ等、図示
は省略）とを備えており、ステージ11にその外周に沿っ
て設けられた溝11a と嵌合して、ステージ11の周囲を自
走することが出来る。
【００１０】この部分の詳細を図２に示す。図２は移動
手段とステージの嵌合部を示す図である。溝11a 内のス
テージ11には、全周にわたりラック21と、位置情報を記
憶させた磁気テープ22とが固着されており、又、各移動
手段13の移動範囲の両端に相当する個所には光学読み取
りマーク23が設けられている。移動手段13は、内蔵する
モータにより回転するギア24、磁気ヘッド25、光学セン
サ26を有し、又、その上下面、側面には随所にガイドロ
ーラ27が配設されている。このガイドローラ27はバネ
（図示は省略）の作用でステージ11に密着している。
手段とステージの嵌合部を示す図である。溝11a 内のス
テージ11には、全周にわたりラック21と、位置情報を記
憶させた磁気テープ22とが固着されており、又、各移動
手段13の移動範囲の両端に相当する個所には光学読み取
りマーク23が設けられている。移動手段13は、内蔵する
モータにより回転するギア24、磁気ヘッド25、光学セン
サ26を有し、又、その上下面、側面には随所にガイドロ
ーラ27が配設されている。このガイドローラ27はバネ
（図示は省略）の作用でステージ11に密着している。
【００１１】ギア24はラック21と噛み合っており、モー
タが回転するとギア24は回転しながらラック21に沿って
移動して移動手段13が移動する。当初、各移動手段13は
それぞれ二つの光学読み取りマーク23に挟まれた領域に
あり、移動に際しては、先ず時計回りに移動し、光学セ
ンサ26が光学読み取りマーク23を捉えた位置で停止す
る。次にこの位置を原点として反時計回りに移動し、磁
気ヘッド25が磁気テープ22からパルスを読み取り、これ
を別途設けた計数装置（図示は省略）で計数する。所定
数のパルスを計数した時点で移動を停止すると、その位
置が所望の位置となる。この位置で爪12を下降させてウ
ェーハ１をクランプすればよい。
タが回転するとギア24は回転しながらラック21に沿って
移動して移動手段13が移動する。当初、各移動手段13は
それぞれ二つの光学読み取りマーク23に挟まれた領域に
あり、移動に際しては、先ず時計回りに移動し、光学セ
ンサ26が光学読み取りマーク23を捉えた位置で停止す
る。次にこの位置を原点として反時計回りに移動し、磁
気ヘッド25が磁気テープ22からパルスを読み取り、これ
を別途設けた計数装置（図示は省略）で計数する。所定
数のパルスを計数した時点で移動を停止すると、その位
置が所望の位置となる。この位置で爪12を下降させてウ
ェーハ１をクランプすればよい。
【００１２】ところで、多品種のウェーハ１を少量づつ
処理する場合には、爪12の位置を頻繁に移動させなけれ
ばならない。本発明者は、爪位置の制御を次の二通りの
方法で行った。第一の方法は、ウェーハ１の品種に応じ
た最適クランプ位置（爪12の接触に起因する不良チップ
の発生が最小となる位置）を予め求めておき、多品種の
ウェーハ１の搬入順序に従って爪12をそれぞれの最適位
置に移動するようにプログラムする方法である。
処理する場合には、爪12の位置を頻繁に移動させなけれ
ばならない。本発明者は、爪位置の制御を次の二通りの
方法で行った。第一の方法は、ウェーハ１の品種に応じ
た最適クランプ位置（爪12の接触に起因する不良チップ
の発生が最小となる位置）を予め求めておき、多品種の
ウェーハ１の搬入順序に従って爪12をそれぞれの最適位
置に移動するようにプログラムする方法である。
【００１３】第二の方法は、クランプ直前のウェーハ１
を個別に撮像し、画像処理を施して有効チップ領域を判
定し、これに基づいて算定した最適クランプ位置に爪12
を移動するように指令する方法である。即ち、ＴＶカメ
ラのＣＣＤ等からの画像信号を、例えばダイナミック・
パターン・マッチング法によって繰り返しパターンを見
出して有効チップ領域を特定し、その後その周辺の領域
から所定の面積を有するクランプ領域を捜し出す。
を個別に撮像し、画像処理を施して有効チップ領域を判
定し、これに基づいて算定した最適クランプ位置に爪12
を移動するように指令する方法である。即ち、ＴＶカメ
ラのＣＣＤ等からの画像信号を、例えばダイナミック・
パターン・マッチング法によって繰り返しパターンを見
出して有効チップ領域を特定し、その後その周辺の領域
から所定の面積を有するクランプ領域を捜し出す。
【００１４】この方法によれば、ウェーハの品種に関係
なく、連続的に多品種のウェーハを流すことが出来る。
尚、この方法は当該ウェーハ処理装置のウェーハ位置合
わせ部（オリエンテイションフラットの位置を合わせ
る）がＴＶカメラを有する場合、機器の兼用が可能であ
るから特に好都合である。
なく、連続的に多品種のウェーハを流すことが出来る。
尚、この方法は当該ウェーハ処理装置のウェーハ位置合
わせ部（オリエンテイションフラットの位置を合わせ
る）がＴＶカメラを有する場合、機器の兼用が可能であ
るから特に好都合である。
【００１５】図３は本発明の第二の実施例を示す図であ
る。同図において、図１と同じものには同一の符号を付
与した。34は補助リング、35は上下移動機構である。こ
の例では、移動手段13は上下移動機構を内蔵しておら
ず、代わりに爪12を上向きに付勢するバネを備えてい
る。各移動手段13の移動が完了した後に上下移動機構35
を作動させて補助リング34を降下させ、これによって爪
12を降下させてウェーハ１をクランプする。
る。同図において、図１と同じものには同一の符号を付
与した。34は補助リング、35は上下移動機構である。こ
の例では、移動手段13は上下移動機構を内蔵しておら
ず、代わりに爪12を上向きに付勢するバネを備えてい
る。各移動手段13の移動が完了した後に上下移動機構35
を作動させて補助リング34を降下させ、これによって爪
12を降下させてウェーハ１をクランプする。
【００１６】図４は本発明の第三の実施例を示す図であ
る。同図において、41はステージ、42は爪、44は回転リ
ングである。爪42は図１における爪12に相当し、回転リ
ング44に等間隔で固着されている。43はモータ等からな
る移動手段、45は上下移動機構である。移動手段43を作
動することにより回転リング44が総ての爪42と共に移動
し、上下移動機構45を作動することにより回転リング44
が総ての爪42と共に降下してウェーハ１をクランプす
る。
る。同図において、41はステージ、42は爪、44は回転リ
ングである。爪42は図１における爪12に相当し、回転リ
ング44に等間隔で固着されている。43はモータ等からな
る移動手段、45は上下移動機構である。移動手段43を作
動することにより回転リング44が総ての爪42と共に移動
し、上下移動機構45を作動することにより回転リング44
が総ての爪42と共に降下してウェーハ１をクランプす
る。
【００１７】本発明は以上の実施例に限定されることな
く、更に種々変形して実施することが出来る。
く、更に種々変形して実施することが出来る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
爪がウェーハ表面に接触することに起因するチップ収量
のロスを減らすことが可能なウェーハチャックを提供す
ることが出来、半導体装置製造のコスト低減等に寄与す
る。
爪がウェーハ表面に接触することに起因するチップ収量
のロスを減らすことが可能なウェーハチャックを提供す
ることが出来、半導体装置製造のコスト低減等に寄与す
る。
【図１】 本発明の第一の実施例を示す図である。
【図２】 移動手段とステージの嵌合部を示す図であ
る。
る。
【図３】 本発明の第二の実施例を示す図である。
【図４】 本発明の第三の実施例を示す図である。
１ ウェーハ 11, 41 ステージ 11a 溝 12, 42 爪 13, 43 移動手段 21 ラック 22 磁気テープ 23 光学読み取りマーク 24 ギア 25 磁気ヘッド 26 光学センサ 27 ガイドローラ 34 補助リング 35, 45 上下移動機構 44 回転リング
Claims (3)
- 【請求項１】 ステージ(11, 41)と、該ステージ(11, 4
1)上に載置したウェーハ(1) の周縁部上面を押圧して該
ウェーハ(1) を該ステージ(11, 41)にクランプする複数
の爪(12, 42)と、該爪(12, 42)を該ウェーハ(1) の外周
に沿って移動させる移動手段(13, 43)とを有することを
特徴とするウェーハチャック。 - 【請求項２】 前記移動手段(13)を前記複数の爪(12)と
同数有し、 該複数の移動手段(13)が該複数の爪(12)を個別に移動す
るように構成されていることを特徴とする請求項１記載
のウェーハチャック。 - 【請求項３】 回転リング(44)を有し、 前記複数の爪(42)は該回転リング(44)に固着されてお
り、 前記移動手段(43)が該回転リング(44)を回転することに
より該複数の爪(42)が移動するように構成されているこ
とを特徴とする請求項１記載のウェーハチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24240592A JPH0697266A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ウェーハチャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24240592A JPH0697266A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ウェーハチャック |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0697266A true JPH0697266A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17088653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24240592A Withdrawn JPH0697266A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ウェーハチャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697266A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100574915B1 (ko) * | 1999-04-06 | 2006-04-28 | 삼성전자주식회사 | 포커스 링의 이상 마모를 제거한 플라즈마 챔버 |
| CN110838460A (zh) * | 2018-08-15 | 2020-02-25 | 致茂电子股份有限公司 | 晶片旋转暂置台 |
| JP2022179427A (ja) * | 2021-05-20 | 2022-12-02 | 青島理工大学 | 軌道交通用ハニカムワークのクランプ力調整可能な位置決めシステム及びフライス加工位置 |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP24240592A patent/JPH0697266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100574915B1 (ko) * | 1999-04-06 | 2006-04-28 | 삼성전자주식회사 | 포커스 링의 이상 마모를 제거한 플라즈마 챔버 |
| CN110838460A (zh) * | 2018-08-15 | 2020-02-25 | 致茂电子股份有限公司 | 晶片旋转暂置台 |
| CN110838460B (zh) * | 2018-08-15 | 2023-08-22 | 致茂电子股份有限公司 | 晶片旋转暂置台 |
| JP2022179427A (ja) * | 2021-05-20 | 2022-12-02 | 青島理工大学 | 軌道交通用ハニカムワークのクランプ力調整可能な位置決めシステム及びフライス加工位置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |