JPH0697295B2 - 光コネクタの製造方法 - Google Patents
光コネクタの製造方法Info
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- JPH0697295B2 JPH0697295B2 JP62021819A JP2181987A JPH0697295B2 JP H0697295 B2 JPH0697295 B2 JP H0697295B2 JP 62021819 A JP62021819 A JP 62021819A JP 2181987 A JP2181987 A JP 2181987A JP H0697295 B2 JPH0697295 B2 JP H0697295B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体、LiNbO3、石英系等の光導波路と偏波
保持ファイバとの接続に用いる光コネクタに関するもの
である。
保持ファイバとの接続に用いる光コネクタに関するもの
である。
（従来の技術及び問題点） 従来、半導体、LiNbO3、石英系等の光導波路と偏波保持
ファイバとの接続は、相互の主軸を合わせるために第７
図に示す様に偏波保持ファイバをＺ軸のまわりで回転さ
せ、かつ光の偏光状態をモニターしながら角度調整を行
なっていた。すなわち、光導波路の主軸ｘ′,y′軸と偏
波保持ファイバの主軸x,y軸とを角度誤差５゜以内で合
わせければ、クロストークを20dB以下に抑えることは出
来なかった。
ファイバとの接続は、相互の主軸を合わせるために第７
図に示す様に偏波保持ファイバをＺ軸のまわりで回転さ
せ、かつ光の偏光状態をモニターしながら角度調整を行
なっていた。すなわち、光導波路の主軸ｘ′,y′軸と偏
波保持ファイバの主軸x,y軸とを角度誤差５゜以内で合
わせければ、クロストークを20dB以下に抑えることは出
来なかった。
なおここで、１は偏光保持ファイバ、２は光導波路、3,
4はコア、５は応力付与部、６はクラッドである。
4はコア、５は応力付与部、６はクラッドである。
しかし、従来の様な方法では、まず偏波保持ファイバと
光導波路の主軸調整が難しいこと、および調整した後で
固定する段階で角度ずれが生ずる等の欠点があった。
光導波路の主軸調整が難しいこと、および調整した後で
固定する段階で角度ずれが生ずる等の欠点があった。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、偏波保持ファイバと光導波路の主軸合わせを
自動的に行なうことにより、小形で低価格の光コネクタ
を実現するものである。
自動的に行なうことにより、小形で低価格の光コネクタ
を実現するものである。
本発明は、エッチングにより光ファイバの平坦面を出
し、上面平坦面を基板に接着または圧着することにより
自動的に軸調整を行なうことを最も主要な特徴とし、こ
の点が従来の技術とは異なる。
し、上面平坦面を基板に接着または圧着することにより
自動的に軸調整を行なうことを最も主要な特徴とし、こ
の点が従来の技術とは異なる。
（実施例） 第１図は、本発明の一実施例図であり、７はエッチング
して平坦面を出したファイバ、８はコア、９は応力付与
部、10はSi基板、11は圧着用のガラス板である。第１図
の光コネクタに用いる光ファイバ、及び光コネクタの作
製手順を以下に示す。
して平坦面を出したファイバ、８はコア、９は応力付与
部、10はSi基板、11は圧着用のガラス板である。第１図
の光コネクタに用いる光ファイバ、及び光コネクタの作
製手順を以下に示す。
第２図は線引き前のファイバ母材を示す図であり、12は
通常の円柱状母材の両側を偏平に研摩して作製したコア
用ガラス、13はSiO2にフッ素を添加した応力付与部用ガ
ラス、14はSiO2にB2O3を15mol％添加した母材を半月状
に研摩した高エッチング速度部用ガラス、15は石英管で
ある。各々のガラスは、第２図に示す様に石英管15内に
挿入した後、電気炉で2100℃に加熱して線引きした。
通常の円柱状母材の両側を偏平に研摩して作製したコア
用ガラス、13はSiO2にフッ素を添加した応力付与部用ガ
ラス、14はSiO2にB2O3を15mol％添加した母材を半月状
に研摩した高エッチング速度部用ガラス、15は石英管で
ある。各々のガラスは、第２図に示す様に石英管15内に
挿入した後、電気炉で2100℃に加熱して線引きした。
第３図に、得られたファイバの断面図を示す。16はコ
ア、17は応力付与部、18は高エッチング速度部である。
第３図から分かるように、作製されたファイバの平坦面
は保持されている。
ア、17は応力付与部、18は高エッチング速度部である。
第３図から分かるように、作製されたファイバの平坦面
は保持されている。
次に、第４図に高エッチング速度部に添加された各種ド
ーパントのフッ酸に対するエッチング速度を示す。例え
ば、ホウ素Ｂの場合、15mol％添加されたガラスの比屈
折率差は｜△｜＝0.5％であるのでフッ酸に対するエッ
チング速度は5,000Å/secである。これに対してSiO2の
エッチング速度は220Å/secであるので、第３図のファ
イバをフッ酸でエッチングした場合には、第５図に示す
様に、高エッチング速度部がエッチングされてSiO2の平
坦面に達するとエッチング速度は急激に小さくなる。従
って、平坦性が優れたファイバを得ることが出来る。な
お第５図において19はコア、20は応力付与部、21は平坦
クラッドである。
ーパントのフッ酸に対するエッチング速度を示す。例え
ば、ホウ素Ｂの場合、15mol％添加されたガラスの比屈
折率差は｜△｜＝0.5％であるのでフッ酸に対するエッ
チング速度は5,000Å/secである。これに対してSiO2の
エッチング速度は220Å/secであるので、第３図のファ
イバをフッ酸でエッチングした場合には、第５図に示す
様に、高エッチング速度部がエッチングされてSiO2の平
坦面に達するとエッチング速度は急激に小さくなる。従
って、平坦性が優れたファイバを得ることが出来る。な
お第５図において19はコア、20は応力付与部、21は平坦
クラッドである。
次に、第１図に示す高コネクタの配置用Si基板の作製手
順を第６図に示す。まず、Si基板22の〔110〕面上にフ
ォトレジスト23を塗布し（第６図ａ）、第５図の平坦フ
ァイバの長径の長さに合わせたマスクパタンを通して露
光した後、フォトレジストを除去する（第６図ｂ）。
順を第６図に示す。まず、Si基板22の〔110〕面上にフ
ォトレジスト23を塗布し（第６図ａ）、第５図の平坦フ
ァイバの長径の長さに合わせたマスクパタンを通して露
光した後、フォトレジストを除去する（第６図ｂ）。
次に、KOHを用いてSiをエッチングすると第６図ｃの様
に〔111〕面が露出する。この様にして得た基板に、平
坦ファイバを３本挿入し、ガラス板で圧着して作製した
のが第１図に示す光コネクタである。
に〔111〕面が露出する。この様にして得た基板に、平
坦ファイバを３本挿入し、ガラス板で圧着して作製した
のが第１図に示す光コネクタである。
本光コネクタの主軸設定精度はΔθ２゜であり、光導
波路との接続におけるクロストーク劣化は Ｒ＝10 logsin2Δθ−29dB （１） であった。
波路との接続におけるクロストーク劣化は Ｒ＝10 logsin2Δθ−29dB （１） であった。
（発明の効果） 以上説明した様に、本発明においては偏波保持ファイバ
と光導波路の主軸設定が自動的かつ高精度で行なわれる
ため、光ファイバと光導波路を接続する光コネクタの高
性能化、低価格化が図れるという利点がある。
と光導波路の主軸設定が自動的かつ高精度で行なわれる
ため、光ファイバと光導波路を接続する光コネクタの高
性能化、低価格化が図れるという利点がある。
第１図は、本発明による光コネクタの一実施例図、 第２図は、本発明に用いる光ファイバを作製するための
母材の断面を示す図、 第３図は、第２図の母材を線引きして得たファイバの断
面図、 第４図は、各種ドーパントのフッ酸に対するエッチング
速度を示す図、 第５図は、第３図のファイバをエッチングした時の断面
図、 第６図は、光コネクタ用基板の作製手順を示す図、 第７図は、従来の偏波保持ファイバと光導波路の接続法
を示す図である。 １……偏波保持ファイバ、２……光導波路 ３……コア、４……コア ５……応力付与部、６……クラッド ７……平坦ファイバ、８……コア ９……応力付与部、10……Si基板 11……ガラス板 12……平坦ファイバ用ガラス 13……応力付与部用ガラス 14……高エッチング速度部用ガラス 15……石英管、16……コア 17……応力付与部 18……高エッチング速度部 19……コア、20……応力付与部 21……平坦クラッド、22……Si基板 23……フォトレジスト
母材の断面を示す図、 第３図は、第２図の母材を線引きして得たファイバの断
面図、 第４図は、各種ドーパントのフッ酸に対するエッチング
速度を示す図、 第５図は、第３図のファイバをエッチングした時の断面
図、 第６図は、光コネクタ用基板の作製手順を示す図、 第７図は、従来の偏波保持ファイバと光導波路の接続法
を示す図である。 １……偏波保持ファイバ、２……光導波路 ３……コア、４……コア ５……応力付与部、６……クラッド ７……平坦ファイバ、８……コア ９……応力付与部、10……Si基板 11……ガラス板 12……平坦ファイバ用ガラス 13……応力付与部用ガラス 14……高エッチング速度部用ガラス 15……石英管、16……コア 17……応力付与部 18……高エッチング速度部 19……コア、20……応力付与部 21……平坦クラッド、22……Si基板 23……フォトレジスト
Claims (4)
- 【請求項１】コアの両側のクラッド中に半月状の高エッ
チング速度部を配置し、該高エッチング速度部の平坦面
を互いにコア側を向いて平行に配列した光ファイバを、
平坦面が露出するまでエッチングし、上記平坦面を基板
に接着あるいは圧着して基板の方向と光ファイバの主軸
とを調整する光コネクタの製造方法。 - 【請求項２】平坦面が露出した上記ファイバを多数本、
基板上にアレイ状に配列する特許請求の範囲第１項記載
の光コネクタの製造方法。 - 【請求項３】高エッチング速度部のドーパントとしてB2
O3,P2O5,GeO2,TiO2,フッ素、あるいはこれらを組み合せ
る特許請求の範囲第１項記載の光コネクタの製造方法。 - 【請求項４】コアの両側の高エッチング速度部と直交す
る方向で、コアの両側の平坦面で囲まれたクラッド中
に、該クラッドと熱膨脹係数の異なる応力付与部を配置
する特許請求の範囲第１項記載の光コネクタの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62021819A JPH0697295B2 (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 光コネクタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62021819A JPH0697295B2 (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 光コネクタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63189812A JPS63189812A (ja) | 1988-08-05 |
| JPH0697295B2 true JPH0697295B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=12065667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62021819A Expired - Fee Related JPH0697295B2 (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 | 光コネクタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697295B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2015098854A1 (ja) * | 2013-12-27 | 2017-03-23 | 株式会社フジクラ | 光学装置の製造方法 |
| JP7532975B2 (ja) * | 2020-07-17 | 2024-08-14 | 住友電気工業株式会社 | 多心コネクタの製造方法及び多心コネクタ |
-
1987
- 1987-02-03 JP JP62021819A patent/JPH0697295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63189812A (ja) | 1988-08-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |