JPH0697302B2 - 傾斜角可変鏡筒用光学系 - Google Patents
傾斜角可変鏡筒用光学系Info
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- JPH0697302B2 JPH0697302B2 JP59136028A JP13602884A JPH0697302B2 JP H0697302 B2 JPH0697302 B2 JP H0697302B2 JP 59136028 A JP59136028 A JP 59136028A JP 13602884 A JP13602884 A JP 13602884A JP H0697302 B2 JPH0697302 B2 JP H0697302B2
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- Japan
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- optical
- lens barrel
- light beam
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
- G02B21/20—Binocular arrangements
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、顕微鏡等の鏡筒光学系に関するものである。
従来技術 従来、観察鏡筒の傾斜角を変え得るように構成された顕
微鏡は例えば米国特許第4299439号等により知られる
が、これら公知の方式のものでは、顕微鏡を前後に延び
る平面で切断した平面上に光学素子を配置して鏡筒の傾
斜角を変えるように構成されているため、接眼レンズの
アイポイントの位置と対物レンズの光軸との間の離間距
離が大きくなり、そのためフオーカシングハンドルを操
作するに際しては大きく手を伸さなくてはならないと云
う操作上の問題があつた。
微鏡は例えば米国特許第4299439号等により知られる
が、これら公知の方式のものでは、顕微鏡を前後に延び
る平面で切断した平面上に光学素子を配置して鏡筒の傾
斜角を変えるように構成されているため、接眼レンズの
アイポイントの位置と対物レンズの光軸との間の離間距
離が大きくなり、そのためフオーカシングハンドルを操
作するに際しては大きく手を伸さなくてはならないと云
う操作上の問題があつた。
目的 本発明は、上記の事情に鑑み、アイポイントの位置とフ
オーカシングハンドルとの間の距離を適当に短くするこ
とができて操作性に優れた、傾斜角可変鏡筒用光学系を
提供することにある。
オーカシングハンドルとの間の距離を適当に短くするこ
とができて操作性に優れた、傾斜角可変鏡筒用光学系を
提供することにある。
概要 上記目的は、本発明によれば、傾斜角可変鏡筒用光学系
が、入射光線の進路をその進行方向と異なる方向に向け
る第一の光学素子と、第一の光学素子を経た光線を次々
に反射する互いに直交する二つの反射面を有する第二の
光学素子と、第二の光学素子を経た光線をその進行方向
と異なる方向に向ける第三の光学素子と、第三の光学素
子を経た光路上に配置された接眼光学系とを備え、上記
第一の光学素子を射出してから第三の光学素子に至るま
での間に形成される複数の平行光路のうち二つを各々回
転軸として、その光路が入射する光学素子を回転可能に
配置し、上記回転する光学素子のうち光の進行方向で後
方にある回転角が、前方にある光学素子の回転角の二倍
となるように、回転させることにより達成される。又、
本発明の光学系は、上記第二の光学素子と上記第三の光
学素子との間に、上記第二の光学素子を経た光線を次々
に反射する互いに直交する二つの反射面を有する第四の
光学素子を配置し、その第四の光学素子を介して上記第
三の光学素子に光線を入射させるようになっており、更
に、上記第二の光学素子及び第四の光学素子が直角プリ
ズムから成り、又、上記第一の光学素子及び第三の光学
素子が、入射光線をその進行方向と異なる方向に向ける
プリズムから成るようにしたことも特徴としている。
が、入射光線の進路をその進行方向と異なる方向に向け
る第一の光学素子と、第一の光学素子を経た光線を次々
に反射する互いに直交する二つの反射面を有する第二の
光学素子と、第二の光学素子を経た光線をその進行方向
と異なる方向に向ける第三の光学素子と、第三の光学素
子を経た光路上に配置された接眼光学系とを備え、上記
第一の光学素子を射出してから第三の光学素子に至るま
での間に形成される複数の平行光路のうち二つを各々回
転軸として、その光路が入射する光学素子を回転可能に
配置し、上記回転する光学素子のうち光の進行方向で後
方にある回転角が、前方にある光学素子の回転角の二倍
となるように、回転させることにより達成される。又、
本発明の光学系は、上記第二の光学素子と上記第三の光
学素子との間に、上記第二の光学素子を経た光線を次々
に反射する互いに直交する二つの反射面を有する第四の
光学素子を配置し、その第四の光学素子を介して上記第
三の光学素子に光線を入射させるようになっており、更
に、上記第二の光学素子及び第四の光学素子が直角プリ
ズムから成り、又、上記第一の光学素子及び第三の光学
素子が、入射光線をその進行方向と異なる方向に向ける
プリズムから成るようにしたことも特徴としている。
実施例 以下、図示した実施例に基づき本発明を具体的に説明す
れば、第１図において、１は対物レンズ、２は対物レン
ズ１を通過して入射した光線の進路を直角に曲げるため
の第一の光学素子としてのプリズム、３はプリズム２の
側方に配置されていてプリズム２からの入射光線の進路
を二回直角に曲げて光軸がずれた位置において入射光線
と平行にこれとは反対方向へ光線を出射せしめ得る第二
の光学要素としてのプリズム、４はプリズム３と一部が
対面するように配置されているプリズム３からの入射光
線の進路を二回直角に曲げて光軸がずれた位置において
入射光線と平行にこれとは反対方向へ光線を出射せしめ
且つ入射光軸A1の周りに回動し得るように装架された第
三の光学素子としてのプリズム、５はプリズム２と対向
するように配置されているプリズム４からの入射光線の
進路を直角に曲げてこれをプリズム２への入射光線と同
一方向へ指向せしめるように配置され且つ入射光軸A2の
周りに回動し得るように装架された第四の光学素子とし
てのプリズム、６はプリズム５からの入射光を左眼視系
光束と右眼視系光束とに分割するための光束分割プリズ
ム、７は左眼視系光束を直角に曲げるためのプリズム、
８は接眼レンズ、９は右眼視系光束を直角に曲げるため
のプリズム、10は接眼レンズである。この場合、プリズ
ム2,3,4及び５は顕微鏡本体正面の横方向に延びる平面
内に配置されていてプリズム２と３の配置とプリズム４
と５の配置は入射光軸A1を対称軸として対称であり、又
光束分割プリズム6,プリズム７及び９は周知の双眼鏡筒
を構成し、且つこの双眼鏡筒の傾斜角を変えるとプリズ
ム４と５はこれと一体に入射光軸A1の周りに回動しなが
らプリズム５は更に入射光軸A2の周りにその二倍の角度
だけ回動せしめられるように構成されているものとす
る。
れば、第１図において、１は対物レンズ、２は対物レン
ズ１を通過して入射した光線の進路を直角に曲げるため
の第一の光学素子としてのプリズム、３はプリズム２の
側方に配置されていてプリズム２からの入射光線の進路
を二回直角に曲げて光軸がずれた位置において入射光線
と平行にこれとは反対方向へ光線を出射せしめ得る第二
の光学要素としてのプリズム、４はプリズム３と一部が
対面するように配置されているプリズム３からの入射光
線の進路を二回直角に曲げて光軸がずれた位置において
入射光線と平行にこれとは反対方向へ光線を出射せしめ
且つ入射光軸A1の周りに回動し得るように装架された第
三の光学素子としてのプリズム、５はプリズム２と対向
するように配置されているプリズム４からの入射光線の
進路を直角に曲げてこれをプリズム２への入射光線と同
一方向へ指向せしめるように配置され且つ入射光軸A2の
周りに回動し得るように装架された第四の光学素子とし
てのプリズム、６はプリズム５からの入射光を左眼視系
光束と右眼視系光束とに分割するための光束分割プリズ
ム、７は左眼視系光束を直角に曲げるためのプリズム、
８は接眼レンズ、９は右眼視系光束を直角に曲げるため
のプリズム、10は接眼レンズである。この場合、プリズ
ム2,3,4及び５は顕微鏡本体正面の横方向に延びる平面
内に配置されていてプリズム２と３の配置とプリズム４
と５の配置は入射光軸A1を対称軸として対称であり、又
光束分割プリズム6,プリズム７及び９は周知の双眼鏡筒
を構成し、且つこの双眼鏡筒の傾斜角を変えるとプリズ
ム４と５はこれと一体に入射光軸A1の周りに回動しなが
らプリズム５は更に入射光軸A2の周りにその二倍の角度
だけ回動せしめられるように構成されているものとす
る。
本実施例は上記の如く構成されているから、対物レンズ
１を通過した光は矢印で示す如く進み、接眼レンズ8,10
を介して物体像が観察されるが、この場合、像は偶数回
の反射を経て観察されるので、像の姿勢は最初の姿勢が
そのまま保存される。又鏡筒の傾斜角を変えた場合、こ
れと連動してプリズム４と５は入射光軸A1の周りに鏡筒
と同一角度回動し更にこれと同時にプリズム５は入射光
軸A2の周りにプリズム４回転角の二倍の角度だけ同一方
向に回動するので、視野内の像は静止したままである。
１を通過した光は矢印で示す如く進み、接眼レンズ8,10
を介して物体像が観察されるが、この場合、像は偶数回
の反射を経て観察されるので、像の姿勢は最初の姿勢が
そのまま保存される。又鏡筒の傾斜角を変えた場合、こ
れと連動してプリズム４と５は入射光軸A1の周りに鏡筒
と同一角度回動し更にこれと同時にプリズム５は入射光
軸A2の周りにプリズム４回転角の二倍の角度だけ同一方
向に回動するので、視野内の像は静止したままである。
第２図はプリズムの間にリレーレンズを配置して像を伝
達するようにした場合の実施例が示されている。図中、
L1はプリズム２と３の間に配置されていて対物レンズ１
の中間像をプリズム３内の位置Ｏに形成させるための凸
レンズ、L2及びL3はプリズム３と４の間に配置された凹
レンズ及び凸レンズ、L4はプリズム４と５の間に配置さ
れた接合凸レンズであつて、これらのレンズL2,L3及びL
4によつて位置Ｏに形成された中間像は接眼レンズ8,10
の前側焦点位置までリレーされる。この場合も既述の実
施例の場合と同様に鏡筒の傾斜角を変えても視野内の像
は静止したままでその姿勢は変らないが、視野内の像は
正立像となるので一層便利である。なお、この場合リレ
ーレンズの倍率は１×である。この実施例のように、光
学系の中間で一回結像させることにより視野内の像を正
立像として観察できるようにすることは、特に顕微鏡を
半導体工業分野でのパターン認識等に使用する場合必要
不可欠のことであるが、視野内の像が倒立像であつても
よい場合には、中間で結像せしめることなく物体像をリ
レーするようにリレーレンズを配置すればよい。
達するようにした場合の実施例が示されている。図中、
L1はプリズム２と３の間に配置されていて対物レンズ１
の中間像をプリズム３内の位置Ｏに形成させるための凸
レンズ、L2及びL3はプリズム３と４の間に配置された凹
レンズ及び凸レンズ、L4はプリズム４と５の間に配置さ
れた接合凸レンズであつて、これらのレンズL2,L3及びL
4によつて位置Ｏに形成された中間像は接眼レンズ8,10
の前側焦点位置までリレーされる。この場合も既述の実
施例の場合と同様に鏡筒の傾斜角を変えても視野内の像
は静止したままでその姿勢は変らないが、視野内の像は
正立像となるので一層便利である。なお、この場合リレ
ーレンズの倍率は１×である。この実施例のように、光
学系の中間で一回結像させることにより視野内の像を正
立像として観察できるようにすることは、特に顕微鏡を
半導体工業分野でのパターン認識等に使用する場合必要
不可欠のことであるが、視野内の像が倒立像であつても
よい場合には、中間で結像せしめることなく物体像をリ
レーするようにリレーレンズを配置すればよい。
次に、プリズム４及び５の上述の如き回転及びその連動
機構の一例を、第２図の実施例に適用した場合につき、
第３図乃至第５図を参照しながら説明する。図中、11は
内部プリズム2,レンズL1及びプリズム３を支持して取付
け部11aを介して図示しない顕微鏡本体に対し着脱可能
の鏡筒支持枠、12は鏡筒支持枠11に取付けられた写真撮
影用アダプタ、13は鏡筒支持枠11内に第３図及び第５図
に示す如く矢印方向へ摺動可能に嵌装されていて対物レ
ンズ１を通過した光をプリズム２と写真撮影光学系へ導
くためのハーフプリズムまたはハーフミラー13a及びプ
リズム13bと切換えにより該光をプリズム２へのみ導く
ようにするためのカバーガラス付き透孔13cと切換え操
作用ツマミ13dとを有する切換え部材、14は鏡筒支持枠1
1により回動可能に支持されていて内部にレンズL2及びL
3を嵌着した回転軸筒、15はプリズム４を支持し且つ回
転軸筒14と一体的に回動し得るように鏡筒支持枠11に装
架された鏡筒枠、16は鏡筒枠15上に回動可能に装架され
ていて外周壁にギヤー部16aを又内部にレンズL4を有し
端部にプリズム５を固着した回転鏡枠、17は鏡筒枠15上
に回転可能に軸支されていて回転軸筒14と同心の支持枠
11の外周面に形成されたギヤー部11bに噛合せしめられ
た中間ギヤー、18は鏡筒枠15上に回転可能に軸支されて
いて中間ギヤー17と回転鏡枠16のギヤー部16aとに噛合
せしめられ、且つ中間ギヤー17と同一歯数を有する中間
ギヤー、19は鏡筒支持枠11と鏡筒枠15との間に張架され
たバネ、20（第３図）は支持枠11に螺合されていて鏡筒
枠15が妄りに動くことのないように鏡筒枠15の側壁を所
定の力で押圧するバネ入りネジである。この回転及び連
動機構によれば、接眼レンズ8,10を介して観察中、鏡筒
を例えば第４図の位置より左旋させると、鏡筒枠15は回
転軸筒14と共にその中心軸線の周りに左旋するが、その
際、中間ギヤー17は該中心軸線の周りに反時計回りに公
転しながら自転する。従つて、中間ギヤー18は該中心軸
線の周りに反時計回りに公転しながら時計方向へ自転
し、その結果回転鏡筒16も該中心軸線の周りに反時計回
りに公転しながら反時計方向へ自転する。かくして、レ
ンズL2及びL3,プリズム4,レンズL4,プリズム５は鏡筒枠
15と一体的に回転軸筒14の中心軸線の周りに反時計回り
に回動しながらレンズL4とプリズム５は更に回転鏡枠16
の中心軸線の周りにその二倍の角度だけ反時計回りに回
動せしめられる。この場合、鏡筒枠15の下部は支持枠11
の支持部11c（第４図）により支持され且つ鏡筒枠15は
バネ19により吊り下げられた状態に保持されるから、ネ
ジ20による鏡筒枠15への押圧作用と相俟つて鏡筒はその
位置に安定に維持される。
機構の一例を、第２図の実施例に適用した場合につき、
第３図乃至第５図を参照しながら説明する。図中、11は
内部プリズム2,レンズL1及びプリズム３を支持して取付
け部11aを介して図示しない顕微鏡本体に対し着脱可能
の鏡筒支持枠、12は鏡筒支持枠11に取付けられた写真撮
影用アダプタ、13は鏡筒支持枠11内に第３図及び第５図
に示す如く矢印方向へ摺動可能に嵌装されていて対物レ
ンズ１を通過した光をプリズム２と写真撮影光学系へ導
くためのハーフプリズムまたはハーフミラー13a及びプ
リズム13bと切換えにより該光をプリズム２へのみ導く
ようにするためのカバーガラス付き透孔13cと切換え操
作用ツマミ13dとを有する切換え部材、14は鏡筒支持枠1
1により回動可能に支持されていて内部にレンズL2及びL
3を嵌着した回転軸筒、15はプリズム４を支持し且つ回
転軸筒14と一体的に回動し得るように鏡筒支持枠11に装
架された鏡筒枠、16は鏡筒枠15上に回動可能に装架され
ていて外周壁にギヤー部16aを又内部にレンズL4を有し
端部にプリズム５を固着した回転鏡枠、17は鏡筒枠15上
に回転可能に軸支されていて回転軸筒14と同心の支持枠
11の外周面に形成されたギヤー部11bに噛合せしめられ
た中間ギヤー、18は鏡筒枠15上に回転可能に軸支されて
いて中間ギヤー17と回転鏡枠16のギヤー部16aとに噛合
せしめられ、且つ中間ギヤー17と同一歯数を有する中間
ギヤー、19は鏡筒支持枠11と鏡筒枠15との間に張架され
たバネ、20（第３図）は支持枠11に螺合されていて鏡筒
枠15が妄りに動くことのないように鏡筒枠15の側壁を所
定の力で押圧するバネ入りネジである。この回転及び連
動機構によれば、接眼レンズ8,10を介して観察中、鏡筒
を例えば第４図の位置より左旋させると、鏡筒枠15は回
転軸筒14と共にその中心軸線の周りに左旋するが、その
際、中間ギヤー17は該中心軸線の周りに反時計回りに公
転しながら自転する。従つて、中間ギヤー18は該中心軸
線の周りに反時計回りに公転しながら時計方向へ自転
し、その結果回転鏡筒16も該中心軸線の周りに反時計回
りに公転しながら反時計方向へ自転する。かくして、レ
ンズL2及びL3,プリズム4,レンズL4,プリズム５は鏡筒枠
15と一体的に回転軸筒14の中心軸線の周りに反時計回り
に回動しながらレンズL4とプリズム５は更に回転鏡枠16
の中心軸線の周りにその二倍の角度だけ反時計回りに回
動せしめられる。この場合、鏡筒枠15の下部は支持枠11
の支持部11c（第４図）により支持され且つ鏡筒枠15は
バネ19により吊り下げられた状態に保持されるから、ネ
ジ20による鏡筒枠15への押圧作用と相俟つて鏡筒はその
位置に安定に維持される。
上記実施例では何れも双眼鏡筒を備えた場合について説
明したが、本光学系は単一の観察鏡筒を備えた場合にも
適用できることは云うまでもない。又、プリズム２は対
物レンズ１よりの入射光線が紙面の裏側から紙面に垂直
に入射するように図示位置から90゜回転させた状態で光
学系を構成するようにしてもよい。この場合、プリズム
５も同様に90゜回転した位置に配置する必要がある。更
に第一乃至第四の光学素子としてプリズムの代わりにミ
ラーを使用することもでき、リレーレンズの配置は実施
例に限定されることなく種々の変更が可能である。
明したが、本光学系は単一の観察鏡筒を備えた場合にも
適用できることは云うまでもない。又、プリズム２は対
物レンズ１よりの入射光線が紙面の裏側から紙面に垂直
に入射するように図示位置から90゜回転させた状態で光
学系を構成するようにしてもよい。この場合、プリズム
５も同様に90゜回転した位置に配置する必要がある。更
に第一乃至第四の光学素子としてプリズムの代わりにミ
ラーを使用することもでき、リレーレンズの配置は実施
例に限定されることなく種々の変更が可能である。
更にまた本光学系においては、第１図に鎖線で示す如
く、第三の光学素子であるプリズム４と第四の光学素子
であるプリズム５の代わりに、第二の光学素子３からの
入射光線の進路を直角に曲げてこれを第一の光学素子へ
の入射光線と同一方向へ指向せしめるためのプリズム21
を設けるようにしても同様に目的を達成することができ
る。この場合、プリズム３と21とをプリズム２から３へ
向う出射光軸の周りに一体的に回転させながら、プリズ
ム21を更に光軸A1の周りにその二倍の角度だけ回動せし
めるようにする必要があるが、かかる変形も本願発明の
範囲に属することは云うまでもない。この場合には、装
置全体が更に簡素化され得ると云う利点がある。
く、第三の光学素子であるプリズム４と第四の光学素子
であるプリズム５の代わりに、第二の光学素子３からの
入射光線の進路を直角に曲げてこれを第一の光学素子へ
の入射光線と同一方向へ指向せしめるためのプリズム21
を設けるようにしても同様に目的を達成することができ
る。この場合、プリズム３と21とをプリズム２から３へ
向う出射光軸の周りに一体的に回転させながら、プリズ
ム21を更に光軸A1の周りにその二倍の角度だけ回動せし
めるようにする必要があるが、かかる変形も本願発明の
範囲に属することは云うまでもない。この場合には、装
置全体が更に簡素化され得ると云う利点がある。
発明の効果 上述の如く本発明によれば、鏡筒の傾斜角を変えても視
野内の像の姿勢は変らず常に静止状態に維持されるのみ
ならず、アイポイントの位置とフオーカシングハンドル
との離間距離を適当な値になるように構成することがで
きるから、操作性が向上して観察者の疲労を著しく軽減
することができ、特に長時間の観察に適するこの種顕微
鏡を提供することができる。またアイポイント位置を適
確且つ容易に調整できるから、アタチメント取付けの自
由度の高い顕微鏡を提供することができる。
野内の像の姿勢は変らず常に静止状態に維持されるのみ
ならず、アイポイントの位置とフオーカシングハンドル
との離間距離を適当な値になるように構成することがで
きるから、操作性が向上して観察者の疲労を著しく軽減
することができ、特に長時間の観察に適するこの種顕微
鏡を提供することができる。またアイポイント位置を適
確且つ容易に調整できるから、アタチメント取付けの自
由度の高い顕微鏡を提供することができる。
第１図は本発明に係る傾斜角可変鏡筒用光学系の一実施
例の構成図、第２図は本発明の他の実施例を示す光学系
の要部構成図、第３図は第２図の実施例に適するプリズ
ム回転及び連動機構の一例を示す断面図、第４図は第３
図のIV−IV線に沿う断面図、第５図は第３図のＶ−Ｖ線
に沿う要部断面図である。 １……対物レンズ、２……第一の光学要素、３……第二
の光学要素、４……第三の光学要素、５……第四の光学
要素、L1,L2,L3,L4……リレーレンズ。
例の構成図、第２図は本発明の他の実施例を示す光学系
の要部構成図、第３図は第２図の実施例に適するプリズ
ム回転及び連動機構の一例を示す断面図、第４図は第３
図のIV−IV線に沿う断面図、第５図は第３図のＶ−Ｖ線
に沿う要部断面図である。 １……対物レンズ、２……第一の光学要素、３……第二
の光学要素、４……第三の光学要素、５……第四の光学
要素、L1,L2,L3,L4……リレーレンズ。
Claims (4)
- 【請求項１】入射光線の進路をその進行方向と異なる方
向に向ける第一の光学素子と、第一の光学素子を経た光
線を次々に反射する互いに直交する二つの反射面を有す
る第二の光学素子と、第二の光学素子を経た光線をその
進行方向と異なる方向に向ける第三の光学素子と、第三
の光学系を経た光路上に配置された接眼光学系とを備
え、上記第一の光学素子を射出してから第三の光学素子
に至るまでの間に形成される複数の平行光路のうち二つ
を各々回転軸として、その光路が入射する光学素子を回
転可能に配置し、上記回転する光学素子のうち光の進行
方向で後方にある光学素子の回転角が、前方にある光学
素子の回転角の二倍となるように、回転させるようにし
た傾斜角可変鏡筒用光学系。 - 【請求項２】上記第二の光学素子と上記第三の光学素子
との間に、上記第二の光学素子を経た光線を次々に反射
する互いに直交する二つの反射面を有する第四の光学素
子を配置し、該第四の光学素子を介して上記第三の光学
素子に光線を入射させるようにした特許請求の範囲
（１）に記載の傾斜角可変鏡筒用光学系。 - 【請求項３】上記第二の光学素子及び第四の光学素子が
直角プリズムから成るようにした特許請求の範囲（１）
又は（２）に記載の傾斜角可変鏡筒用光学系。 - 【請求項４】上記第一の光学素子及び第三の光学素子
が、入射光線をその進行方向と異なる方向に向けるプリ
ズムから成るようにした特許請求の範囲（２）に記載の
傾斜角可変鏡筒用光学系。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59136028A JPH0697302B2 (ja) | 1984-07-01 | 1984-07-01 | 傾斜角可変鏡筒用光学系 |
| US06/749,427 US4643541A (en) | 1984-07-01 | 1985-06-27 | Optical system for variable inclination angle microscope tubes |
| DE19853523138 DE3523138A1 (de) | 1984-07-01 | 1985-06-28 | Optisches system fuer neigungswinkelverstellbare mikroskoptuben |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59136028A JPH0697302B2 (ja) | 1984-07-01 | 1984-07-01 | 傾斜角可変鏡筒用光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6115116A JPS6115116A (ja) | 1986-01-23 |
| JPH0697302B2 true JPH0697302B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=15165493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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