JPH0697412A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 垂直ＣＣＤレジスタのチャネルから第１・第
２水平ＣＣＤレジスタのチャネルへの電荷の振り分け転
送において、転送期間のどの部分でも十分な時間を確保
できるようにして、電荷の振り分け効率を向上させ、撮
像された画面上での縦すじノイズの発生を防止する。 【構成】 各水平転送電極９o ・９e を、第１水平ＣＣ
Ｄレジスタのチャネル１の上部領域に形成された第１の
電極部分１０a ・１１a と、第２水平ＣＣＤレジスタの
チャネル２の上部領域に形成された第２の電極部分１０
b ・１１b とに分離する。該水平転送電極にパルスを供
給する第１群用及び第２群用の水平バスライン１２a ・
１２b ・１２c ・１２d を、第１の電極部分上と第２の
電極部分上とをそれぞれ横切るように、第１・第２水平
ＣＣＤレジスタの各チャネル領域上に形成する。水平レ
ジスタ間転送電極７の上部と垂直・水平間転送電極８の
上部にそれぞれバスライン１５・１６を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、２チャネル構成の水平
ＣＣＤレジスタを有する固体撮像装置に関し、特に垂直
ＣＣＤレジスタのチャネルの電荷を第１水平ＣＣＤレジ
スタのチャネルと第２水平ＣＣＤレジスタのチャネルと
に振り分け転送する電荷転送部の改良に係る。

【０００２】

【従来の技術】図４は、２チャネル構成の水平ＣＣＤレ
ジスタを有する従来の固体撮像装置の一例のレジスタ部
分の平面図である。例えば、インターライントランスフ
ァ型の場合には、図示部分の上部にフォトダイオードに
よる撮像領域が存在し、フレームインターライントラン
スファ型の場合には、図示部分の上部に蓄積領域、更に
その上に撮像領域が存在する。第１水平ＣＣＤレジスタ
のチャネル１０１と第２水平ＣＣＤレジスタのチャネル
１０２とは、チャネルストッパ１０３と１０４との間の
斜めの中間チャネル１０５を介して接続されている。ま
た、第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１０１は奇数列
の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル１０６o及び偶数列の
垂直ＣＣＤレジスタのチャネル１０６e と接続されてい
る。

【０００３】第１・第２の水平ＣＣＤレジスタのチャネ
ル１０１・１０２間には、第１水平ＣＣＤレジスタのチ
ャネル１０１から第２水平ＣＣＤレジスタのチャネル１
０２へ電荷を転送する水平レジスタ間転送電極１０７
が、ポリシリコン膜により形成されている。また、垂直
レジスタのチャネル１０６o ・１０６e の上部領域に
は、これらと交差して水平に延びてそのチャネルの電荷
を第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１０１へ転送する
垂直・水平レジスタ間転送電極１０８が、同様にポリシ
リコン膜により形成されている。更に、各垂直ＣＣＤレ
ジスタのチャネル１０６o ・１０６e に対応して垂直方
向に延びる水平転送電極１０９o ・１０９eが並列して
設けられている。各水平転送電極は、ポリシリコン膜に
よる２本の電極、つまりストレージ電極１１０a とバリ
ア電極１１０b とからなる。なお、これら電極１１０a
・１１０b がオーバーラップする部分の間には絶縁膜が
介在されている。

【０００４】一方、第１・第２の水平ＣＣＤレジスタの
チャネル１０１・１０２の領域外の厚い酸化シリコン膜
が形成されている領域１００において、水平に延びる第
１・第２の２本の水平バスライン１１１・１１２が設け
られている。これら水平バスライン１１１・１１２は一
般にアルミニウム膜により形成される。

【０００５】ストレージ電極１１０a 及びバリア電極１
１０b を構成するポリシリコン膜は、垂直・水平レジス
タ間転送電極１０８を構成するポリシリコン膜及び水平
レジスタ間転送電極１０７を構成するポリシリコン膜よ
りも後の工程で形成され、ストレージ電極１１０a 及び
バリア電極１１０b は、垂直・水平レジスタ間転送電極
１０８の上部領域の一側辺縁部分から第１水平ＣＣＤレ
ジスタのチャネル１０１の上部領域、水平レジスタ間転
送電極１０７の上部領域、更に第２水平ＣＣＤレジスタ
のチャネル１０２の上部領域を越えて領域１００まで延
び、水平レジスタ間転送電極１０７の上部領域を跨がっ
ている。そして、水平転送電極１０９oのストレージ電
極１１０a 及びバリア電極１１０b はコンタクト１１３
a ・１１３b によって第１水平バスライン１１１に接続
され、水平転送電極１０９o のストレージ電極１１０a
及びバリア電極１１０b は同様に第２水平バスライン１
１２に接続されている。

【０００６】このような固体撮像装置では、垂直・水平
レジスタ間転送電極１０８及び水平レジスタ間転送電極
１０７はそれぞれその左右両端においてバスライン（図
示せず）と接続され、それぞれ左右両端からパルス電圧
を印加される。そして、水平ブランキング期間内におい
て、例えば奇数列の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル１０
６o 内の電荷１１４は第１水平ＣＣＤレジスタのチャネ
ル１０１に転送され、偶数列の垂直ＣＣＤレジスタのチ
ャネル１０６e 内の電荷１１５は第２水平ＣＣＤレジス
タのチャネル１０２に転送される。

【０００７】図５は、転送電極１０８・１０９o ・１０
９e ・１０７の長さ方向の中央部分における水平ブラン
キング期間内でのパルス波形を示す。水平に長く延びる
垂直・水平レジスタ間転送電極１０８及び水平レジスタ
間転送電極１０７は、それぞれその左右両端からパルス
電圧を印加されるため、電極中央部分ではパルス波形が
減衰してその立ち上がり及び立ち下がりが緩慢となる。
同図において、期間Ｔ１は、垂直・水平レジスタ間転送
電極１０８におけるパルス電圧が、電圧供給源の出力電
圧の９０％以上になり、しかも第１・第２水平バスライ
ン１１１・１１２から水平転送電極１０９o ・１０９e
へ印加されるパルスが両方とも「Ｈ」になっている期間
である。期間Ｔ２は、垂直・水平レジスタ間転送電極１
０８におけるパルス電圧が、電圧供給源の出力電圧の１
０％以下になり、しかも第１・第２水平バスライン１１
１・１１２から水平転送電極１０９o ・１０９e へ印加
されるパルスが両方とも「Ｌ」になり、かつ水平レジス
タ間転送電極１０７のパルス電圧が、電圧供給源の出力
電圧の９０％以上になっている期間である。期間Ｔ３
は、垂直・水平レジスタ間転送電極１０８におけるパル
ス電圧が、電圧供給源の出力電圧の１０％以下で、第１
水平バスライン１１１に接続された水平転送電極へ印加
されるパルスが「Ｈ」、第２水平バスライン１１２に接
続された水平転送電極へ印加されるパルスが「Ｌ」にな
る期間である。

【０００８】期間Ｔ１では、各垂直ＣＣＤレジスタのチ
ャネル１０６o ・１０６e 内の電荷１１４・１１５が第
１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１０１に転送される。
次の期間Ｔ２では、第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル
１０１内の電荷１１５が水平レジスタ間転送電極１０７
下部のチャネルに転送され、期間Ｔ３では、水平レジス
タ間転送電極１０７下部のチャネルの電荷１１５が第２
水平ＣＣＤレジスタ１０２のチャネルに転送される。し
かし、奇数列の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル１０６o
からの電荷１１４は、期間Ｔ２及びＴ３の間は、第１水
平ＣＣＤレジスタのチャネル１０１内に留まる。

【０００９】図４に示した従来例では、２本の水平バス
ライン１１１・１１２が、第１・第２の水平ＣＣＤレジ
スタのチャネル１０１・１０２の領域外に設けられてい
るが、特開平２−１３３９６３号公報に開示の固体撮像
装置では、第１水平バスラインが第１水平ＣＣＤレジス
タのチャネルの上部領域に、また第２水平バスラインが
第２水平ＣＣＤレジスタのチャネルの上部領域に分けて
形成されている。図６はその関係を示す模式断面図で、
第１水平バスライン１１１は、第１水平ＣＣＤレジスタ
のチャネル１０１の上部領域で、しかも水平転送電極群
１０９よりも上位に形成され、また第２水平バスライン
１１２は、第２水平ＣＣＤレジスタのチャネル１０２の
上部領域で、同様に水平転送電極群１０９よりも上位に
形成されている。各水平転送電極１０９は、図４に示し
た従来例と同様に水平レジスタ間転送電極１０７上を跨
がって両水平ＣＣＤレジスタのチャネル１０１・１０２
の上部領域間に延びている。なお、図６では、水平バス
ライン１１１・１１２と水平転送電極１０９との接続構
成は省略してある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来の固体撮像装置
は、上述したようにいずれの場合も、各水平転送電極
が、水平レジスタ間転送電極上を跨がって第１・第２の
両水平ＣＣＤレジスタのチャネルの上部領域間に一連に
形成され、これら両水平ＣＣＤレジスタのチャネルで共
用されている。そのため、水平レジスタ間転送電極にパ
ルスを供給するバスラインを、該水平レジスタ間転送電
極の上部領域に形成してこれとその上部で接続しようと
しても、水平転送電極があるため困難で、結局、水平レ
ジスタ間転送電極の左右両端にバスラインを接続して両
端からパルス電圧を印加せざるを得ない。そうすると、
水平レジスタ間転送電極はポリシリコン膜で形成されて
いるため、その端部から電極中央部までの抵抗が大き
く、電極中央部では、上述したようにパルス波形が減衰
してその立ち上がり及び立ち下がりが緩慢となる。これ
により、水平ブランキング期間内において、垂直ＣＣＤ
レジスタのチャネルから第１・第２水平ＣＣＤレジスタ
のチャネルへ電荷を振り分けて転送するにあたり、その
動作に寄与する各転送期間が減少し、つまり電荷の転送
に十分な時間を確保できなくなって電荷の振り分け不良
が発生し、撮像された画像上において、いわゆる縦すじ
ノイズとなって現れるという問題点があった。

【００１１】本発明の目的は、このような問題点を解決
すること、すなわち垂直ＣＣＤレジスタのチャネルから
第１・第２水平ＣＣＤレジスタのチャネルへの電荷の振
り分け転送において、転送期間のどの部分でも十分な時
間を確保できるようにして、電荷の振り分け効率を向上
させ、撮像された画面上での縦すじノイズの発生を防止
することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明による固体撮像装
置では、各垂直ＣＣＤレジスタのチャネルからの電荷を
第１水平ＣＣＤレジスタのチャネルと第２水平ＣＣＤレ
ジスタのチャネルへ振り分け転送するため及び水平方向
への転送を行うための各水平転送電極が、第１水平ＣＣ
Ｄレジスタのチャネルの上部領域に形成された第１の電
極部分と、第２水平ＣＣＤレジスタのチャネルの上部領
域に形成された第２の電極部分とに分離して形成され
る。また、該水平転送電極に第１群と第２群に分けてパ
ルス印加する第１群用と第２群用の水平バスラインは、
水平転送電極の第１の電極部分上と第２の電極部分上と
をそれぞれ横切るように、第１・第２水平ＣＣＤレジス
タの各チャネル領域上に形成される。

【００１３】本発明の好ましい形態では、第１群用及び
第２群用の水平バスラインは、第１・第２水平ＣＣＤレ
ジスタの各チャネル領域上にそれぞれ２本ずつ形成さ
れ、各チャネルにおいて水平転送電極に交互に接続され
る。

【００１４】また、水平レジスタ間転送電極にパルスを
供給するためのバスラインは、該水平レジスタ間転送電
極の上部領域においてこれと平行に形成されて該バスラ
インと接続される。

【００１５】更に、垂直・水平レジスタ間転送電極にパ
ルスを供給するためのバスラインは、該垂直・水平レジ
スタ間転送電極の上部領域においてこれと平行に形成さ
れて該バスラインと接続される。

【００１６】

【作用】このような構造によると、水平転送電極が水平
レジスタ間転送電極の上部領域を跨がらないような形態
となるため、該水平レジスタ間転送電極を、その上部領
域において容易にバスラインと接続することができる。
現に、水平レジスタ間転送電極にパルス供給するための
バスラインを、該水平レジスタ間転送電極の上部領域に
おいてそれに沿って形成し、その長さ方向のどこでも接
続することができる。また、垂直・水平レジスタ間転送
電極とそれにパルス供給するためのバスラインとについ
ても同様である。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施例の固体撮像装置
のレジスタ部分の平面図、図２はその模式断面図であ
る。図１において、例えばインターライントランスファ
型の場合には、図示部分の上部にフォトダイオードによ
る撮像領域が存在し、フレームインターライントランス
ファ型の場合には、図示部分の上部に蓄積領域、更にそ
の上に撮像領域が存在する。

【００１８】第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１と第
２水平ＣＣＤレジスタのチャネル２とは、チャネルスト
ッパ３と４との間の垂直な中間チャネル５を介して接続
されている。また、第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル
１は奇数列の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル６o 及び偶
数列の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル６e と接続されて
いる。

【００１９】第１・第２の水平ＣＣＤレジスタのチャネ
ル１・２間には、第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１
から第２水平ＣＣＤレジスタのチャネル２へ電荷を転送
する水平レジスタ間転送電極７が、ポリシリコン膜によ
り形成されている。また、垂直レジスタのチャネル６o
・６e の上部には、これらと交差して水平に延びてその
チャネルの電荷を第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１
へ転送する垂直・水平レジスタ間転送電極８が、同様に
ポリシリコン膜により形成されている。

【００２０】各垂直ＣＣＤレジスタのチャネル６o ・６
e にそれぞれ対応して並列する各水平転送電極９o ・９
e は、第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１に対応する
電極部分と、第２水平ＣＣＤレジスタのチャネル２に対
応する電極部分とに分離されている。すなわち、各水平
転送電極９o ・９e は、第１水平ＣＣＤレジスタのチャ
ネル１の上部領域に形成された第１ストレージ電極１０
a 及び第１バリア電極１１a と、第２水平ＣＣＤレジス
タのチャネル２の上部領域に形成された第２ストレージ
電極１０b 及び第２バリア電極１１b とで構成されてい
る。これら４本１組の電極１０a ・１０b ・１１a ・１
１b はいずれもポリシリコン膜をもって、垂直・水平レ
ジスタ間転送電極８を構成するポリシリコン膜及び水平
レジスタ間転送電極７を構成するポリシリコン膜よりも
後の工程で形成されている。そして、第１ストレージ電
極１０a 及び第１バリア電極１１a は、垂直・水平レジ
スタ間転送電極８の上部領域の一側辺縁部分から第１水
平ＣＣＤレジスタのチャネル１の上部領域を越え、水平
レジスタ間転送電極７の上部領域を跨がることなくその
辺縁部分で途切れている。また、第２ストレージ電極１
０b 及び第２バリア電極１１b は、水平レジスタ間転送
電極７の上部領域の一側辺縁部分から第２水平ＣＣＤレ
ジスタのチャネル２の上部領域を越えるところまで延び
ている。なお、第１ストレージ電極１０a と第１バリア
電極１１a 、また第２ストレージ電極１０b と第２バリ
ア電極１１b がオーバーラップする部分の間には絶縁膜
が介在されている。

【００２１】第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１の上
部領域には、交互に配列している第１ストレージ電極１
０a 及び第１バリア電極１１a の上部を横切るように水
平に延びる第１・第２の２本の水平バスライン１２a ・
１２b が設けられ、また第２水平ＣＣＤレジスタのチャ
ネル２の上部領域には、交互に配列している第２ストレ
ージ電極１０a 及び第２バリア電極１１a の上部を横切
るように水平に延びる第３・第４の２本の水平バスライ
ン１２c ・１２d が設けられている。これら水平バスラ
イン１２a ・１２b ・１２c ・１２d は、アルミウム膜
やタングステン膜等の金属膜をもって、ストレージ電極
１０a ・１０b 及びバリア電極１１a ・１１b を構成す
るポリシリコン膜よりも後の工程で形成される。

【００２２】水平転送電極９o の第１ストレージ電極１
０a 及び第１バリア電極１１a は、コンタクト１３a ・
１４a によって第１水平バスライン１２a と接続され、
水平転送電極９e の第１ストレージ電極１０a 及び第１
バリア電極１１a は、コンタクト１３b ・１４b によっ
て第２水平バスライン１２b と接続され、水平転送電極
９o の第２ストレージ電極１０b 及び第２バリア電極１
１b は、コンタクト１３c ・１４c によって第３水平バ
スライン１２c と接続され、水平転送電極９eの第２ス
トレージ電極１０b 及び第１バリア電極１１b は、コン
タクト１３d ・１４d によって第４水平バスライン１２
d と接続されている。

【００２３】一方、水平レジスタ間転送電極７の上部領
域には、該水平レジスタ間転送電極７にパルスを供給す
るためのバスライン１５が該水平レジスタ間転送電極７
と平行に設けられ、また垂直・水平レジスタ間転送電極
８の上部領域には、該垂直・水平レジスタ間転送電極８
にパルスを供給するためのバスライン１６が該垂直・水
平レジスタ間転送電極８と平行に設けられている。これ
らバスライン１５・１６も、アルミウム膜やタングステ
ン膜等の金属膜をもって、ストレージ電極１０a ・１０
b 及びバリア電極１１a ・１１b を構成するポリシリコ
ン膜よりも後の工程で形成される。

【００２４】バスライン１５は、各チャネルストッパ３
・４に対応する位置で水平レジスタ間転送電極７とコン
タクト１７により接続されている。また、バスライン１
６は、各垂直ＣＣＤレジスタのチャネル６o ・６e 間に
それぞれ対応する位置で垂直・水平レジスタ間転送電極
８とコンタクト１８により接続されている。

【００２５】図３は、転送電極８・９o ・９e ・７の長
さ方向の中央部分における水平ブランキング期間内での
パルス波形を示す。水平に長く延びる垂直・水平レジス
タ間転送電極８は、その上部領域において形成されたバ
スライン１６と随所で接続され、また同じく水平に延び
る水平レジスタ間転送電極７も、その上部領域において
形成されたバスライン１６と随所で接続されているた
め、電極のいずれの部分でも、印加されるパルス波形の
減衰はほとんどない。同図において、期間Ｔ１は、垂直
・水平レジスタ間転送電極８におけるパルス電圧が、電
圧供給源の出力電圧の９０％以上であり、しかも第１水
平バスライン１２a 及び第３水平バスライン１２c から
水平転送電極９o ・９e へ印加されるパルスと、第２水
平バスライン１２b 及び第４水平バスライン１２d から
水平転送電極９o ・９e へ印加されるパルスがいずれも
「Ｈ」になっている期間である。期間Ｔ２は、垂直・水
平レジスタ間転送電極８におけるパルス電圧が、電圧供
給源の出力電圧の１０％以下になり、しかも第１水平バ
スライン１２a 及び第３水平バスライン１２c から水平
転送電極９o ・９e へ印加されるパルスと、第２水平バ
スライン１２b 及び第４水平バスライン１２d から水平
転送電極９o ・９e へ印加されるパルスがいずれも
「Ｌ」になり、かつ水平レジスタ間転送電極７のパルス
電圧が、電圧供給源の出力電圧の９０％以上になってい
る期間である。期間Ｔ３は、垂直・水平レジスタ間転送
電極８におけるパルス電圧が、電圧供給源の出力電圧の
１０％以下で、第１水平バスライン１２a 及び第３水平
バスライン１２c から水平転送電極９o ・９e へ印加さ
れるパルスが「Ｈ」、第２水平バスライン１２b 及び第
４水平バスライン１２d から水平転送電極９o ・９e へ
印加されるパルスが「Ｌ」になる期間である。

【００２６】期間Ｔ１では、各垂直ＣＣＤレジスタのチ
ャネル６o ・６e 内の電荷が第１水平ＣＣＤレジスタの
チャネル１に転送される。次の期間Ｔ２では、偶数列の
垂直ＣＣＤレジスタのチャネル６e から第１水平ＣＣＤ
レジスタのチャネル１へ転送された電荷が該チャネル１
から水平レジスタ間転送電極７下部のチャネルに転送さ
れ、期間Ｔ３では、水平レジスタ間転送電極７下部のチ
ャネルの電荷が第２水平ＣＣＤレジスタ２のチャネルに
転送される。しかし、奇数列の垂直ＣＣＤレジスタのチ
ャネル６o からの電荷は、期間Ｔ２及びＴ３の間は、第
１水平ＣＣＤレジスタのチャネル１内に留まる。

【００２７】上記のように、垂直・水平レジスタ間転送
電極８は、その上部のバスライン１６と随所で接続さ
れ、また水平レジスタ間転送電極７は、その上部のバス
ライン１５と随所で接続されているので、これら転送電
極のいずれについても、図３に示すようにバスライン１
６・１５からのパルス電圧が電極中央部でもほとんど変
形せずに印加されることとなり、各転送期間Ｔ１・Ｔ２
・Ｔ３について電荷転送のための十分な時間を確保でき
る。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、各水平転送電極を、第
１水平ＣＣＤレジスタのチャネルの上部領域に形成され
た第１の電極部分と、第２水平ＣＣＤレジスタのチャネ
ルの上部領域に形成された第２の電極部分とに分離して
形成し、各水平転送電極が水平レジスタ間転送電極の上
部領域を跨がらないような形態としたので、該水平レジ
スタ間転送電極を、その上部領域において容易にバスラ
インと接続することができる。また、垂直・水平レジス
タ間転送電極についても同様である。従って、垂直ＣＣ
Ｄレジスタのチャネルから第１・第２水平ＣＣＤレジス
タのチャネルへの電荷の振り分け転送において、転送期
間のどの部分でも十分な時間を確保できるため、電荷の
振り分け効率が向上し、撮像された画面上での縦すじノ
イズの発生を防止することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の固体撮像装置のレジスタ部
分の平面図である。

【図２】同上の模式断面図である。

【図３】同固体撮像装置について、各転送電極の長さ方
向の中央部分における水平ブランキング期間内でのパル
ス波形を示すタイミングチャートである。

【図４】２チャネル構成の水平ＣＣＤレジスタを有する
従来の固体撮像装置の一例のレジスタ部分の平面図であ
る。

【図５】同固体撮像装置について、各転送電極の長さ方
向の中央部分における水平ブランキング期間内でのパル
ス波形を示すタイミングチャートである。

【図６】従来の他の例の模式断面図である。

【符号の説明】

１ 第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル ２ 第２水平ＣＣＤレジスタのチャネル ６o 奇数列の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル ６e 偶数列の垂直ＣＣＤレジスタのチャネル ７ 水平レジスタ間転送電極 ８ 垂直・水平レジスタ間転送電極 ９o ・９e 水平転送電極 １０a ・１０b ストレージ電極 １１a ・１１b バリア電極 １２a ・１２b ・１２c ・１２d 水平バスライン １３a ・１３b ・１３c ・１３d コンタクト １４a ・１４b ・１４c ・１４d コンタクト １５ 水平レジスタ間転送電極のためのバスライン １６ 垂直・水平レジスタ間転送電極のためのバスラ
イン

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】多数配置されたフォトダイオードと、該フ
   ォトダイオードからの電荷を受け取る多チャネルの垂直
   ＣＣＤレジスタと、２チャネル構成の第１と第２の水平
   ＣＣＤレジスタと、前記垂直ＣＣＤレジスタのチャネル
   と交差する方向に延びてそのチャネルの電荷を前記第１
   水平ＣＣＤレジスタのチャネルへ転送する垂直・水平レ
   ジスタ間転送電極と、前記第１水平ＣＣＤレジスタのチ
   ャネルと第２の水平ＣＣＤレジスタのチャネル間を水平
   に延びて第１水平ＣＣＤレジスタのチャネルから第２水
   平ＣＣＤレジスタのチャネルへ電荷を転送する水平レジ
   スタ間転送電極と、前記各垂直ＣＣＤレジスタのチャネ
   ルからの電荷を前記第１水平ＣＣＤレジスタのチャネル
   と第２水平ＣＣＤレジスタのチャネルへ振り分け転送す
   るため及び水平方向への転送を行うため垂直ＣＣＤレジ
   スタの各チャネルに対応して設けられた水平転送電極
   と、該水平転送電極に第１群と第２群に分けてパルス印
   加するための第１群用及び第２群用の水平バスラインと
   を有する固体撮像装置において、前記各水平転送電極
   が、前記第１水平ＣＣＤレジスタのチャネルの上部領域
   に形成された第１の電極部分と、前記第２水平ＣＣＤレ
   ジスタのチャネルの上部領域に形成された第２の電極部
   分とに分離され、前記第１群用及び第２群用の水平バス
   ラインが、これら第１の電極部分上と第２の電極部分上
   とをそれぞれ横切るように、第１・第２水平ＣＣＤレジ
   スタの各チャネル領域上に形成されていることを特徴と
   する固体撮像装置。
2. 【請求項２】前記第１群用及び第２群用の水平バスライ
   ンが、前記第１・第２水平ＣＣＤレジスタの各チャネル
   領域上にそれぞれ２本ずつ形成され、各チャネルにおい
   て前記水平転送電極に交互に接続されている請求項１に
   記載の固体撮像装置。
3. 【請求項３】前記水平レジスタ間転送電極にパルスを供
   給するためのバスラインが、該水平レジスタ間転送電極
   の上部領域においてこれと平行に形成されて該バスライ
   ンと接続されている請求項１に記載の固体撮像装置。
4. 【請求項４】前記垂直・水平レジスタ間転送電極にパル
   スを供給するためのバスラインが、該垂直・水平レジス
   タ間転送電極の上部領域においてこれと平行に形成され
   て該バスラインと接続されている請求項３に記載の固体
   撮像装置。