JPH0699051B2 - 極薄板状体移載装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、多数積重ねられた半導体ウエハー等の極薄板
状体を１枚ずつ分離して移載する極薄板状体移載装置に
関するものである。

［従来の技術］ 多数積重ねられた半導体ウエハー等を１枚ずつ分離して
移載する従来の移載装置は、一般に、空気中にて吸盤を
利用して半導体ウエハー等を真空吸引する接触式の構成
であった。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来の構成では、吸盤の接触や吸引により半導体ウ
エハー等が汚染したり反ったり損傷したりする。また特
に鏡面仕上げあるいはラップ仕上げ後の半導体ウエハー
の場合、吸盤との接触による汚染は勿論のこと、空気中
の塵芥による汚染も極力防止する必要があるので、水等
の液中で移載することが望まれる。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の極薄板状体移載装置
は、液中に位置して多数の極薄板状体を積重ねられた状
態で収容する上端が開口した収容容器と、上下方向に所
定距離往復移動可能でかつ収容容器の上端開口から収容
容器内に進入可能な移動体とを設け、移動体に、収容容
器に収容された極薄板状体との対向面の中心部に開口す
る液吸引口と、対向面の外周部に外縁に沿って連続的に
または適当間隔おきに開口する第１の液噴射口とを形成
し、収容容器に、収容容器の上端部に位置して１枚の極
薄板状体を排出するための切欠部と、収容容器の側壁内
面に周方向適当間隔おきに開口する複数の第２の液噴射
口と、収容容器の側壁内面でかつ第２の液噴射口よりも
上側の位置に開口して切欠部に対向する第３の液噴射口
とを形成して、液吸引口からの液の吸引と第１の液噴射
口からの液の噴射とにより積重ねられた極薄板状体のう
ち上から数枚の極薄板状体を浮上させ、これら極薄板状
体を第２の液噴射口からの液の噴射により１枚ずつ分離
させ、これら分離した極薄板状体のうち一番上の極薄板
状体を第３の液噴射口からの液の噴射により切欠部から
収容容器の外部に搬出する構成としたものである。

［作用］ 液吸引口からの液の吸引と第１の液噴射口からの液の噴
射とにより、積重ねられた極薄板状体のうち上から数枚
の極薄板状体が浮上する。第２の液噴射口からの液の噴
射により、浮上した数枚の極薄板状体が１枚ずつ分離す
る。第３の液噴射口からの液の噴射により、分離した極
薄板状体のうち一番上の極薄板状体が切欠部から収容容
器の外部に流出する ［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例における極薄板状体移載装置
の概略構成図で、水等の液中に設置された架台１上には
有底円筒状の収容容器２が開口を上向きにして取付けら
れている。収容容器２の内部には半導体ウエハー等の多
数の極薄板状体３が厚さ方向に積重ねられた状態で収容
されており、収容容器２の上面は液面４から所定距離下
側に位置している。収容容器２の上面付近には所定距離
昇降可能な移動体５が収容容器２と同芯状に配置されて
おり、移動体５は、下端部に截頭円錐状の径大部6aを有
する円柱状の移動体本体６と、径大部6aを覆う下部覆い
体７と、下部覆い体７の上面に固着されて移動体本体６
の中間部を覆う上部覆い体８とにより構成されている。
下部覆い体７は、外周面が円筒状で収容容器２の内周面
に若干の間隙をあけて対向しており、内周面が移動体本
体６の径大部6aの外周面に若干の間隙をあけて対向して
いる。上部覆い体８は、外周面が下部覆い体７の外周面
よりも小径の円筒状で、内周面が上端部を除いて移動体
本体６の外周面に若干の間隙をあけて対向している。上
部覆い体８の上端部内周面は移動体本体６の上部外周面
に当接している。移動体本体６の上端部はブラケット９
を介して駆動装置10の昇降軸11に連結されており、駆動
装置10は架台１上に立設された支持台12に取付けられて
いる。駆動装置10は、例えば電動機とラック・ピニオン
機構とからなり、電動機の作動により昇降軸11が昇降す
る。移動体本体６の下面すなわち極薄板状体３との対向
面には、中心部に液吸引口14が開口しており、液吸引口
14は移動体本体６の軸芯上に形成された貫通孔15と移動
体本体６の上面に接続されたホース16とを介してポンプ
（図示せず）の吸引口に連通している。貫通孔15の下端
部は先拡がり状に形成されている。移動体５の下面に
は、外周縁部に円環状の第１の液噴射口17が開口してお
り、この第１の液噴射口17は移動体本体６と下部覆い体
７との間隙により形成されている。第１の液噴射口17
は、移動体本体６と下部覆い体７との間隙と、移動体本
体６と上部覆い体８との間隙と、上部覆い体８の周壁に
水平方向に沿って形成された貫通孔18と、上部覆い体８
の外周面に接続されたホース19とを介してポンプ（図示
せず）の吐出口に連通している。収容容器２の上端部に
は、１枚の極薄板状体３を排出するための切欠部21が形
成されている。収容容器２の側壁内面には、第２の液噴
射口22と液噴射口23と第３の液噴射口24とが下から上に
この順に開口している。第２の液噴射口22は円周方向適
当間隔おきに複数個開口しており、これら第２の液噴射
口22は、収容容器２の側壁を水平方向に貫通する貫通孔
25と収容容器２の側壁外面に接続されたホース26とを介
してポンプ（図示せず）の吐出口に連通している。液噴
射口23は円周方向適当間隔おきに複数個開口しており、
これら液噴射口23は、収容容器２の側壁を外面から内面
に斜め下向きに貫通する貫通孔27と収容容器２の側壁外
面に接続されたホース28とを介してポンプ（図示せず）
の吐出口に連通している。第３の液噴射口24は、切欠部
21と対向しており、収容容器２の側壁を水平方向に貫通
する貫通孔29と収容容器２の側壁外面に接続されたホー
ス30とを介してポンプ（図示せず）の吐出口に連通して
いる。なお第３の液噴射口24は１個であっても複数個で
あってもよい。収容容器２の側壁外面には、切欠部21よ
りも若干下側の位置に、切欠部21から排出された１枚の
極薄板状体３を案内する水平方向に沿う平板状のガイド
板31の一端が当接している。上部覆い体８の下面に形成
された環状溝には下部覆い体７の上面に当接する円環状
のシール部材32が装着されており、上部覆い体８の上端
部内周面に形成された環状溝には移動体本体６の上部外
周面に当接する円環状のシール部材33が装着されてい
る。なお図示していないが、ホース16,19,26,28,30には
電動式の開閉弁や流量調整弁等が介装されており、これ
ら開閉弁や流量調整弁およびポンプ等は制御装置により
制御され、液圧や流量等が調整される。またガイド板31
の他端近傍には極薄板状体３を１枚ずつ収納する例えば
移動ラック式のホルダー等の収納装置が配置されてい
る。

次に動作を説明する。作業員が積重ねられた多数の極薄
板状体３を収容容器２に挿入し、図外のスタートスイッ
チを操作すると、制御装置からの指令により駆動装置10
が作動して移動体５が下降し、収容容器２内に進入す
る。移動体５の下面が収容容器２の上端から所定距離下
側の位置に至ると、制御装置からの指令により移動体５
の下降が停止し、制御装置からの指令によりポンプが作
動して第１の液噴射口17から液が噴射されると共に液吸
引口14から液が吸引される。これにより収容容器２内に
側壁内面側から中心部側へのほぼ円弧状の液流が発生
し、この液流により多数積重ねられた極薄板状体３のう
ち上から数枚の極薄板状体３が浮上する。このとき数枚
の極薄板状体３は積重なった状態で一体になっている。
移動体５の下降停止から数秒程度の所定時間経過後、制
御装置からの指令により、第１の液噴射口17からの液の
噴射が停止されると共に移動体５が上昇すると、それに
伴なって液吸引口14からの液の吸引に起因する液流によ
り数枚の極薄板状体３も上昇し、移動体５が所定距離上
昇した時点で数枚の極薄板状体３は第２の液噴射口22の
高さまで浮上している。この時点で制御装置からの指令
により移動体５の上昇が一旦停止し、制御装置からの指
令により第２の液噴射口22から液が噴射され、この液流
により数枚の一体化した極薄板状体３が１枚ずつ分離さ
れる。制御装置からの指令により移動体５が再び上昇す
ると、それに伴なって分離した数枚の極薄板状体３も上
昇する。移動体５が所定距離上昇すると、数枚の極薄板
状体３のうち一番上の極薄板状体３が液噴射口23よりも
上側の位置まで上昇する。この時点で制御装置からの指
令により液噴射口23から液が斜め下向きに噴射される
と、この液流により第１図のように数枚の極薄板状体３
のうち一番上の極薄板状体３を除く極薄板状体３が液流
により上昇を阻止される。移動体５がさらに所定距離上
昇すると、一番上の極薄板状体３が第３の液噴射口24の
高さの位置に至り、制御装置からの指令により液吸引口
14からの液の吸引が停止されると共に第３の液噴射口24
から液が噴射されると、液流により一番上の極薄板状体
３が切欠部21から収容容器２の外部に流出する。そして
液流はガイド板31に案内されて水平に進むので、切欠部
21から流出した極薄板状体３も仮想線で示すようにガイ
ド板31に沿って第１図の右側に進行し、図外の収納装置
に収納される。以下同様の動作が繰返され、収容容器２
内の多数の極薄板状体３が１枚ずつ収納装置に移載され
る。

このように、液中にて非接触で極薄板状体３を移載でき
るので、極薄板状体３の汚染や反りや損傷等を良好に防
止できる。しかも液流により極薄板状体３を移動させる
ので、迅速に移載を行うことができる。また本実施例の
ように、液噴射口23を設ければ、２枚以上の極薄板状体
３が同時に切欠部21から流出するのを一層確実に防止で
きる。

［別の実施例］ 上記実施例においては、液噴射口23を設けたが、これは
第３の液噴射口24の位置に２枚以上の極薄板状体３が同
時に浮上するのをより確実に防止するためであり、必ず
しも設ける必要はない。

また上記実施例においては、移動体５の下面外周部に連
続的に円環状の第１の液噴射口17を設けたが、移動体５
の下面外周部に複数の第１の液噴射口17を円周方向適当
間隔おきに設けてもよい。

また上記実施例においては、円形の極薄板状体３を移載
する例について説明したが、本発明はこのような構成に
限定されるものではなく、極薄板状体３の形状に応じて
適宜収容容器２や移動体５の形状を設定すればよい。

また移動体５を軸芯周りに回動させながら昇降させた
り、収容容器２内の極薄板状体３を昇降式の支持装置に
より支持し、一番上の極薄板状体３の高さを常に一定位
置に維持する等、各種の変形が可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、液吸引口からの液
の吸引と第１の液噴射口からの液の噴射とにより積重ね
られた極薄板状体のうち上から数枚の極薄板状体を浮上
させ、これら極薄板状体を第２の液噴射口からの液の噴
射により１枚ずつ分離させ、これら分離した極薄板状体
のうち一番上の極薄板状体を第３の液噴射口からの液の
噴射により切欠部から収容容器の外部に搬出するように
したので、液中にて非接触で極薄板状体を移載できるこ
とから、極薄板状体の汚染や反りや損傷等を良好に防止
できる。しかも液流により極薄板状体を移動させるの
で、迅速に移載を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における極薄板状体移載装置
の概略構成図である。 ２……収容容器、３……極薄板状体、５……移動体、14
……液吸引口、17……第１の液噴射口、21……切欠部、
22……第２の液噴射口、24……第３の液噴射口

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭47−28018（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−185642（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−2533（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液中に位置して多数の極薄板状体を積重ね
   られた状態で収容する上端が開口した収容容器と、上下
   方向に所定距離往復移動可能でかつ前記収容容器の上端
   開口から収容容器内に進入可能な移動体とを設け、前記
   移動体に、前記収容容器に収容された極薄板状体との対
   向面の中心部に開口する液吸引口と、前記対向面の外周
   部に外縁に沿って連続的にまたは適当間隔おきに開口す
   る第１の液噴射口とを形成し、前記収容容器に、収容容
   器の上端部に位置して１枚の極薄板状体を排出するため
   の切欠部と、収容容器の側壁内面に周方向適当間隔おき
   に開口する複数の第２の液噴射口と、収容容器の側壁内
   面でかつ前記第２の液噴射口よりも上側の位置に開口し
   て前記切欠部に対向する第３の液噴射口とを形成して、
   前記液吸引口からの液の吸引と前記第１の液噴射口から
   の液の噴射とにより前記積重ねられた極薄板状体のうち
   上から数枚の極薄板状体を浮上させ、これら極薄板状体
   を前記第２の液噴射口からの液の噴射により１枚ずつ分
   離させ、これら分離した極薄板状体のうち一番上の極薄
   板状体を前記第３の液噴射口からの液の噴射により前記
   切欠部から前記収容容器の外部に搬出する構成としたこ
   とを特徴とする極薄板状体移載装置。