JPH043744A - 極薄板状体移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、多数積重ねられた半導体ウニ・１−等の極薄
板状体を１枚ずつ分離して移載する極薄板状体移載装置
に関するものである。

［従来の技術〕 多数積重ねられた半導体ウニ／Ｘ−等を１枚ずつ分離し
て移載する従来の移載装置は、一般に、空気中にて吸盤
を利用して半導体ウエノ＼−等を真空吸引する接触式の
構成であった。

［発明が解決しようとする課題］ 上記従来の構成では、吸盤の接触や吸引により半導体ウ
ェハー等が汚染したり反ったり損傷したりする。また特
に鏡面仕上げあるいはラップ仕上げ後の半導体ウェハー
の場合、吸盤との接触による汚染は勿論のこと、空気中
の塵芥による汚染も極力防止する必要があるので、水等
の液中て移載することが望まれる。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の極薄板状体移載装置
は、液中に位置して多数の極薄板状体を積重ねられた状
態で収容する上端が開口した収容容器と、上下方向に所
定距離往復移動可能でかつ収容容器の上端開口から収容
容器内に進入可能な移動体とを設け、移動体に、収容容
器に収容された極薄板状体との対向面の中心部に開口す
る液吸引口と、対向面の外周部に外縁に沿って連続的に
または適当間隔おきに開口する第１の液噴射口とを形成
し、収容容器に、収容容器の上端部に位置して１枚の極
薄板状体を排出するための切欠部と、収容容器の側壁内
面に周方向適当間隔おきに開口する複数の第２の液噴射
口と、収容容器の側監内面でかつ第２の液噴射口よりも
上側の位置に開口して切欠部に対向する第３の液噴射口
とを形成して、液吸引口からの液の吸引と第１の液噴射
口からの液の噴射とにより積重ねられた極薄板状体のう
ち上から数枚の極薄板状体を浮上させ、これら極薄板状
体を第２の液噴射口からの液の噴射により１枚ずつ分離
させ、これら分離した極薄板状体のうち一番上の極薄板
状体を第３の液噴射口からの液の噴射により切欠部から
収容容器の外部に搬出する構成としたものである。

［作用］ 液吸引口からの液の吸引と第１の液噴射口からの液の噴
射とにより、積重ねられた極薄板状体のうち上から数枚
の極薄板状体がｌテ上する。第２の液噴射口からの液の
噴射により、ンデ上した数枚の極薄板状体が１枚ずつ分
離する。第３の液噴射口からの液の噴射により、分離し
た極薄板状体のうち一番上の極薄板状体が切欠部から収
容容器の外部に流出する ［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例における極薄板状体移載装置
の概略構成図で、水等の液中に設置された架台１上には
有底円筒状の収容容器２が開口を上向きにして取付けら
れている。収容容器２の内部には半導体ウェハー等の多
数の極薄板状体３が厚さ方向に積重ねられた状態で収容
されており、収容容器２の上面は液面４から所定距離下
側に位置している。収容容器２の上面イ・」近には所定
距離昇降可能な移動体５が収容容器２と同芯状に配置さ
れており、移動体５は、下端部に截頭円錐状の径大部６
ａを有する円柱状の移動体本体６と、径大部６ａを覆う
下部覆い体７と、下部覆い体７の上面に固着されて移動
体本体６の中間部を覆う上部覆い体８とにより構成され
ている。下部覆い体７は、外周面か円筒状で収容容器２
の内周面に若干の間隙をあけて対向しており、内周面が
移動体本体６の径大部６ａの外周面に若干の間隙をあけ
て対向している。上部覆い体８は、外周面が下部覆い体
７の外周面よりも小径の円筒状で、内周面が上端部を除
いて移動体本体６の外周面に若干の間隙をあけて対向し
ている。上部覆い体８の上端部内周面は移動体本体６の
上部外周面に当接している。移動体本体６の上端部はブ
ラケット９を介して駆動装置１０の昇降軸１１に連結さ
れており、駆動装置１０は架台１上に立設された支持台
１２に取付けられている。駆動装置１０は、例えば電動
機とラック・ピニオン機構とからなり、電動機の作動に
より昇降軸１１か昇降する。移動体本体６の下面すなわ
ち極薄板状体３との対向面には、中心部に液吸引口１４
か開口しており、液吸引口１４は移動体本体６の軸芯上
に形成された貫通孔］５と移動体本体６の上面に接続さ
れたホース］６とを介してポンプ（図示せず）の吸引口
に連通している。貫通孔１５の下端部は光拡がり状に形
成されている。移動体５の下面には、外周縁部に円環状
の第１の液噴射口１７が開口しており、この第１の液噴
射口１７は移動体本体６と下部覆い体７との間隙により
形成されている。第１の液噴射口１７は、移動体本体６
と下部覆い体７との間隙と、移動体本体６と上部覆い体
８との間隙と、上部覆い体８の周壁に水平方向に沿って
形成された貫通孔１８と、上部覆い体８の外周面に接続
されたホース１９とを介してポンプ（図示せず）の吐出
口に連通している。収容容器２の上端部には、１枚の極
薄板状体３を排出するための切欠部２１が形成されてい
る。収容容器２の側壁内面には、第２の液噴射口２２と
液噴射口２３と第３の液噴射口２４とが下から上にこの
順に開口している。

第２の液噴射口２２は円周方向適当間隔おきに複数個開
口しており、これら第２の液噴射口２２は、収容容器２
の側壁を水平方向に貫通する貫通孔２５と収容容器２の
側壁外面に接続されたホース２６とを介してポンプ（図
示せず）の吐出口に連通している。液噴射口２３は円周
方向適当間隔おきに複数個開口しており、これら液噴射
口２３は、収容容器２の側壁を外面から内面に斜め下向
きに貫通する貫通孔２７と収容容器２の側壁外面に接続
されたホース２８とを介してポンプ（図示せず）の吐出
口に連通している。第３の液噴射口２４は、切欠部２１
と対向しており、収容容器２の側壁を水平方向に貫通す
る貫通孔２９と収容容器２の側壁外面に接続されたホー
ス３０とを介してポンプ（図示せず）の吐出口に連通し
ている。なお第３の液噴射口２４は１個であっても複数
個であってもよい。収容容器２の側壁外面には、切欠部
２１よりも若干下側の位置に、切欠部２］から排出され
た１枚の極薄板状体３を案内する水平方向に沿う平板状
のガイド板３１の一端か当接している。

上部覆い体８の下面に形成された環状溝には下部覆い体
７の上面に当接する円環状のシール部＋４３２が装着さ
れており、上部覆い体８の上端部内周面に形成された環
状溝には移動体本体６の上部外周面に当接する円環状の
シール部材３３か装着・されている。なお図示していな
いが、ホース１６１９．２６，２８．３０には電動式の
開閉弁や流量調整弁等が介装されており、これら開閉弁
や流量調整弁およびポンプ等は制御装置により制御され
、液圧や流量等が調整される。またガイド板３１の他端
近傍には極薄板状体３を１枚ずつ収納する例えば移動ラ
ック式のホルダー等の収納装置が配置されている。

次に動作を説明する。作業員か積重ねられた多数の極薄
板状体３を収容容器２に挿入し、図外のスタートスイッ
チを操作すると、制御装置からの指令により駆動装置１
０が作動して移動体５が下降しく収容容器２内に進入す
る。移動体５の下面が収容容器２の上端から所定距離下
側の位置に至ると、制御装置からの指令により移動体５
の下降が停止し、制御装置からの指令によりポンプが作
動して第１の液噴射口１７から液が噴射されると共に液
吸引口１４から液か吸引される。これにより収容容器２
内に側壁内面側から中心部側へのほぼ円弧状の液流が発
生し、この液流により多数積重ねられた極薄板状体３の
うち上から数枚の極薄板状体３が浮上する。このとき数
枚の極薄板状体３は積重なった状態で一体になっている
。移動体５の下降停止から数秒程度の所定時間経過後、
制御装置からの指令により、第１の液噴射口１７からの
液の噴射が停止されると共に移動体５か上昇すると、そ
れに伴なって液吸引口１４からの液の吸引に起因する液
流により数枚の極薄板状体３も上昇し、移動体５か所定
距離上昇した時点で数枚の極薄板状体３は第２の液噴射
口２２の高さまで浮上している。この時点で制御装置か
らの指令により移動体５の上昇が一旦停止し、制御装置
からの指令により第２の液噴射口２２から液か噴射され
、この液流により数枚の一体化した極薄板状体３が１枚
ずつ分離される。制御装置からの指令により移動体５が
再び上昇すると、それに伴なって分離した数枚の極薄板
状体３も上昇する。移動体５が所定距離上昇すると、数
枚の極薄板状体３のうち一番上の極薄板状体３が液噴射
口２３よりも上側の位置まで上昇する。この時点て制御
装置からの指令により液噴射口２３から液か斜め下向き
に噴射されると、この液流により第１図のように数枚の
極薄板状体３のうち一番上の極薄板状体３を除く極薄板
状体３が液流により上昇を阻止される。移動体５がさら
に所定距離上昇すると、一番上の極薄板状体３が第３の
液噴射口２４の高さの位置に至り、制御装置からの指令
により液吸引口１４からの液の吸引が停止されると共に
第３の液噴射口２４から液か噴射されると、液流により
一番上の極薄板状体３が切欠部２１から収容容器２の外
部に流出する。そして液流はガイド板３〕に案内されて
水平に進むので、切欠部２１から流出した極薄板状体３
も仮想線で示すようにガイド板３１に沿って第１図の右
側に進行し、図外の収納装置に収納される。以下同様の
動作が繰返され、収容容器２内の多数の極薄板状体３か
１枚ずつ収納装置に移載される。

このように、液中にて非接触で極薄板状体３を移載でき
るので、極薄板状体３の汚染や反りや損傷等を良好に防
止できる。しかも液流により極薄板状体３を移動させる
ので、迅速に移載を行うことができる。また本実施例の
ように、液噴射口２３を設ければ、２枚以上の極薄板状
体３が同時に切欠部２１から流出するのを一層確実に防
止できる。

［別の実施例］ 上記実施例においては、液噴射口２３を設けたが、これ
は第３の液噴射口２４の位置に２枚以上の極薄板状体３
が同時に浮上するのをより確実に防止するためであり、
必ずしも設ける必要はない。

また上記実施例においては、移動体５の下面外周部に連
続的に円環状の第１の液噴射口１７を設けたが、移動体
５の下面外周部に複数の第１の液噴射口１７を円周方向
適当間隔おきに設けてもよい。

また上記実施例においては、円形の極薄板状体３を移載
する例について説明したが、本発明はこのような構成に
限定されるものではなく、極薄板状体３の形状に応して
適宜収容容器２や移動体５の形状を設定すればよい。

また移動体５を軸芯周りに回動させながら昇降させたり
、収容容器２内の極薄板状体３を昇降式の支持装置によ
り支持し、一番上の極薄板状体３の高さを常に一定位置
に維持する等、各種の変形が可能である。

［発明の効果コ 以上説明したように本発明によれば、液吸引口からの液
の吸引と第１の液噴射口からの液の噴射とにより積重ね
られた極薄板状体のうち上から数枚の極薄板状体を浮上
させ、これら極薄板状体を第２の液噴射口からの液の噴
射により１枚ずつ分離させ、これら分離した極薄板状体
のうち一番上の極薄板状体を第３の液噴射口からの液の
噴射により切欠部から収容容器の外部に搬出するように
したので、液中にて非接触で極薄板状体を移載できるこ
とから、極薄板状体の汚染や反りゃ損傷等を良好に防１
Ｆできる。しかも液流により極薄板状体を移動させるの
で、迅速に移載を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における極薄板状体移載装置
の概略構成図である。 ２・・・収容容器、３・・・極薄板状体、５・・・移動
体、１４・・・液吸引口、１７・・・第１の液噴射口、
２１・・・切欠部、２２・・・第２の液噴射口、２４・
・・第３の液噴射口

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、液中に位置して多数の極薄板状体を積重ねられた状
   態で収容する上端が開口した収容容器と、上下方向に所
   定距離往復移動可能でかつ前記収容容器の上端開口から
   収容容器内に進入可能な移動体とを設け、前記移動体に
   、前記収容容器に収容された極薄板状体との対向面の中
   心部に開口する液吸引口と、前記対向面の外周部に外縁
   に沿って連続的にまたは適当間隔おきに開口する第１の
   液噴射口とを形成し、前記収容容器に、収容容器の上端
   部に位置して１枚の極薄板状体を排出するための切欠部
   と、収容容器の側壁内面に周方向適当間隔おきに開口す
   る複数の第２の液噴射口と、収容容器の側壁内面でかつ
   前記第２の液噴射口よりも上側の位置に開口して前記切
   欠部に対向する第３の液噴射口とを形成して、前記液吸
   引口からの液の吸引と前記第１の液噴射口からの液の噴
   射とにより前記積重ねられた極薄板状体のうち上から数
   枚の極薄板状体を浮上させ、これら極薄板状体を前記第
   ２の液噴射口からの液の噴射により１枚ずつ分離させ、
   これら分離した極薄板状体のうち一番上の極薄板状体を
   前記第３の液噴射口からの液の噴射により前記切欠部か
   ら前記収容容器の外部に搬出する構成としたことを特徴
   とする極薄板状体移載装置。