JPH0986655A - 試料搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型で安価な構成とし、且つ搬送動作の制御が
容易でカセットと載置台との間での試料の搬送に要する
タクトタイムをでき得る限り短縮する。 【解決手段】エベレーション機構により上下動する、複
数の半導体ウエハ22を一定間隔Ｐに段状に収納したワー
クカセット21と、上記カセット22から離れた位置で上記
半導体ウエハ22を載置する、少なくとも上下動可能な検
査台23と、上記カセット21から上記半導体ウエハ22を吸
着して上記検査台23まで搬送するローダアーム25と、こ
のローダアーム25から下方向に上記一定間隔Ｐをあけて
配設され、上記検査台23から上記半導体ウエハ22を吸着
して上記カセット21まで搬送するアンローダアーム27と
を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カセットに収納さ
れている半導体ウエハや液晶表示パネル等の試料を搬送
する試料搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数の薄板状試料、例えば半導体ウエハ
や液晶表示パネルを一定間隔に段状に収納したカセット
から該試料を取出して載置台まで搬送し、検査等の作業
実行後に上記載置台から再び上記カセットまで搬送する
搬送装置として、従来はアーム先端に試料の吸着機構を
有する搬送アームを１本設けたものが一般に用いられて
いた。

【０００３】図７は載置台上の半導体ウエハをカセット
に搬送して戻し、同カセットから次の半導体ウエハを取
出して載置台まで搬送する場合に要するタクトタイムの
概念を示すものである。

【０００４】同図では１が複数の半導体ウエハを収納し
た、エレベータユニットにより全体が上下動するカセッ
ト、２が半導体ウエハの検査を行なうための載置台、３
が半導体ウエハをカセット１から取出して載置台２まで
搬送し、検査終了後に同半導体ウエハを載置台２からカ
セット１まで搬送して収納させるという動作を繰返し実
行するアームを有した搬送装置である。

【０００５】時間Ｔｗを要する検査の終了後、アームが
半導体ウエハを載置台２から受取って吸着し（ｔ1 ）、
カセット１まで搬送し（ｔ2 ）、吸着を停止すると共に
エレベータユニットによりカセット１が若干上昇されて
該半導体ウエハを収納させた（ｔ3 ）後、次の半導体ウ
エハを受取るために一旦カセット１の位置から出て退避
する（ｔ4 ）。

【０００６】その後、次の半導体ウエハの該当位置まで
エレベータユニットによりカセット１を昇降させ（ｔ5
）、あらためて次の半導体ウエハを受取るべくアーム
をカセット１に侵入させ（ｔ6 ）、吸着を開始すると共
にエレベータユニットによりカセット１を若干下降させ
て該次の半導体ウエハを取出した（ｔ7 ）後、載置台２
まで搬送し（ｔ8 ）、吸着を停止して該半導体ウエハを
載置させる（ｔ9 ）。

【０００７】上記のような搬送の方法にあっては、半導
体ウエハはカセット１と載置台２との間を図中に示す如
く直線的に往復搬送されることになる。以上の時間「ｔ
1 ＋ｔ2 ＋‥‥＋ｔ9 」をＴL とすると、１枚の半導体
ウエハの検査に要する時間Ｔ１は Ｔ１＝Ｔｗ＋Ｔｕ＋ＴL …(1) （但し、Ｔｕ：載置台上でのウエハの中心位置やオリエ
ンテーションフラットの位置等のアライメントに要する
時間。）となり、検査を行なう者にとっては、上記時間
Ｔ１中の空き時間である「Ｔｕ＋ＴL 」をでき得る限り
減少させることが生産性の点からも望ましい。

【０００８】そこで、カセット１と載置台２との間で半
導体ウエハを搬送する２本のアームを設け、その一方で
載置台２上の半導体ウエハを搬送してカセット１に収納
させ、他方で次に検査を行なう半導体ウエハをカセット
１から取出して載置台２まで搬送するというように、２
つの動作を一部時間的に重複して行なわせることによ
り、１枚当たりの半導体ウエハの検査に要する時間を短
縮させることが考えられる。

【０００９】図８は上記のような２本のアームを設けた
ロボットの構成を例示するものである。同図で１１がカ
セット、１２が載置台、１３がカセット１１内に収納さ
れた半導体ウエハであり、カセット１１と載置台１２と
の間に、ロボット１４を配置する。

【００１０】このロボット１４は、胴部１４ａがエレべ
ーション機構により昇降可能となると共に、その胴部１
４ａ上面に２本のアーム１４ｂ，１４ｃが配設されてお
り、これらアーム１４ｂ，１４ｃによりそれぞれカセッ
ト１１と載置台１２との間で半導体ウエハ１３を搬送す
るものである。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記図
８で示したようにカセット１１と載置台１２との間に２
本のアーム１４ｂ，１４ｃを有するロボット１４を配し
て半導体ウエハ１３の搬送を行なわせる場合、ロボット
１４のアーム１４ｂ，１４ｃそれぞれがカセット１１と
載置台１２の間を胴部１４ａのエレべーション機構によ
り昇降動作しながらタイミングを合わせて互いに干渉す
ることなく搬送動作する必要があり、その動作のための
ファームウエアのプログラムが非常に複雑なものとなっ
てしまうという不具合がある。

【００１２】また、カセット１１と載置台１２との間に
ロボット１４を配設することで、装置全体の構成が大型
で複雑となり、高価なものとなってしまうという問題も
生じることとなる。

【００１３】本発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、小型で安価な構成とし、且つ搬送動作の制御が容易
でカセットと載置台との間での試料の搬送に要するタク
トタイムをでき得る限り短縮することが可能な試料搬送
装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
複数の薄板状試料を一定間隔に段状に収納したカセット
を上下動させるエレベーション手段と、上記カセットか
ら離れた位置で上記試料を載置する、少なくとも上下動
可能な載置台と、上記カセットから上記試料を吸着して
上記載置台まで搬送する第１のアームと、この第１のア
ームから上下いずれかの方向に上記一定間隔をあけて配
設され、上記載置台から上記試料を吸着して上記カセッ
トまで搬送する第２のアームとを具備するようにしてい
る。

【００１５】この結果、請求項１記載の発明によれば、
第１のアームと第２のアームとがカセットに収納されて
いる薄板状試料と同様に一定間隔を空けて配設されてお
り、カセットと載置台とがそれぞれ上下動可能であるた
め、第２のアームが載置台に上記試料を吸着して上記カ
セットまで搬送する動作と第１のアームが上記カセット
から次の試料を吸着して上記載置台まで搬送する動作と
を一部重複させて同時に処理することができ、小型で安
価な構成により搬送動作の制御を容易としながらもカセ
ットと載置台との間での試料の搬送に要するタクトタイ
ムを大幅に短縮することが可能となる。

【００１６】請求項２記載の発明では、上記請求項１に
おいて、上記第１のアームは上記カセットに収納された
試料の中心軸位置と上記載置台の中心軸位置とを結ぶ直
線に平行に敷設された第１のガイドレールに沿って移動
し、上記第２のアームは上記第１のカードレールに平行
に敷設された第２のガイドレールに沿って移動するよう
にしている。

【００１７】この結果、請求項２記載の発明によれば、
請求項１記載の発明の作用に加えて、第１のアームが第
１のガイドレールに沿って、第２のアームが第２のガイ
ドレールに沿ってそれぞれ直線的にカセットと載置台と
の間を移動するので、カセットと載置台との間での試料
の搬送に要するタクトタイムをより大幅に短縮すること
が可能となる。

【００１８】請求項３記載の発明では、上記請求項１に
おいて、上記第１及び第２のアームの試料を吸着する先
端部分は、上記カセットから載置台への移動方向に沿っ
てその両端を載置台に向けた半円弧状の形状を有するよ
うにしたものである。

【００１９】この結果、請求項３記載の発明によれば、
請求項１記載の発明の作用に加えて、各アームがその試
料を吸着する先端部分の形状により載置台位置まで移動
しても載置台と干渉しないために、載置台を不要に上下
動させる必要がなく、搬送動作の制御が容易となると共
に、カセットと載置台との間での試料の搬送に要するタ
クトタイムをより大幅に短縮することが可能となる。

【００２０】

【発明の実施の形態】

（第１の実施の形態）以下本発明を半導体ウエハを収納
されているワークカセットから載置台である検査台まで
搬送し、検査終了後にワークカセットに戻して収納させ
る検査装置に適用した場合の第１の実施の形態について
図面を参照して説明する。

【００２１】図１はその外観構成を示すもので、図１
（Ａ）が上面図、図１（Ｂ）が同図（Ａ）の主要部分を
抜出して示す側面図である。同図で２１がワークカセッ
トであり、このワークカセット２１には相対向する１組
の内側面に櫛歯状の突起が設けられ、これら突起に載架
するようにして複数、例えば２０枚程度の半導体ウエハ
２２を一定間隔Ｐで段状に収納している。このワークカ
セット２１は、図示しないエレベーション機構により上
下動制御され、任意の位置に停止できるようになってい
る。

【００２２】また、２３は載置台としての検査台であ
り、その上端面には半導体ウエハ２２を載置固定するた
めの吸着機構が構成され、上下動のみならず、回転、傾
斜動作も可能となっている。

【００２３】しかして、ワークカセット２１に収納され
ている半導体ウエハ２２の中心位置と上記検査台２３の
中心位置とを結ぶ直線に平行するようにして第１のガイ
ドレール２４が配設され、この第１のガイドレール２４
に沿って移動する第１のアームとしてのローダアーム２
５が設けられる。

【００２４】このローダアーム２５は、ワークカセット
２１に収納されている半導体ウエハ２２を検査台２３ま
で搬送するためのものであり、その先端は図示する如く
ワークカセット２１側に寄った半円弧状の形状となって
おり、この部分に半導体ウエハ２２を吸着固定するため
の吸着機構が設けられている。

【００２５】また、上記第１のガイドレール２４と平行
するようにして第２のガイドレール２６が配設され、こ
の第２のガイドレール２６に沿って移動する第２のアー
ムとしてのアンローダアーム２７が設けられる。

【００２６】このアンローダアーム２７は、検査台２３
に載置されている半導体ウエハ２２をワークカセット２
１まで搬送して収納させるためのものであり、上記ロー
ダアーム２５と同様に、その先端は図示する如くワーク
カセット２１側に寄った半円弧状の形状となっており、
この部分に半導体ウエハ２２を吸着固定するための吸着
機構が設けられている。

【００２７】しかるに、同図（Ｂ）に示す如くアンロー
ダアーム２７はローダアーム２５から下方向に上記半導
体ウエハ２２の収納間隔と同じ一定間隔Ｐだけ空けて配
設され、これらローダアーム２５，２７がそれぞれ移動
しても互いに干渉しないようになっている。

【００２８】検査台２３は、上述した如くその上端面に
半導体ウエハ２２を吸着固定するための吸着機構を有
し、アンローダアーム２７の上面より下方の位置からロ
ーダアーム２５の上面より上方の位置までを少なくとも
上下動可能な範囲とするもので、半導体ウエハ２２を載
置しての検査実行時にはローダアーム２５の上面より上
方の位置にある。このとき、アンローダアーム２７は検
査を実行している半導体ウエハ２２の直下方にあって検
査の終了を待機している。

【００２９】そして、検査終了時には検査台２３が半導
体ウエハ２２を載置したままアンローダアーム２７の上
面より下方の位置まで下降し、このとき半導体ウエハ２
２の吸着を停止すると、検査台２３に載置されていた検
査済みの半導体ウエハ２２がアンローダアーム２７に受
け渡されるものである。

【００３０】その後、検査台２３は次のウエハ２２をロ
ーダアーム２５から受取るべく、ローダアーム２５が次
に検査を行なう半導体ウエハ２２を搬送してくると、ロ
ーダアーム２５の上面よりさらに上方の位置に上昇し
て、該半導体ウエハ２２を受取るものである。

【００３１】また、検査台２３上に載置された半導体ウ
エハ２２の正確な位置決めを行なうものとして、一対の
芯出しブロック２８ａ，２８ｂとオリフラセンサ２９と
が設けられる。

【００３２】芯出しブロック２８ａ，２８ｂは、検査台
２３による半導体ウエハ２２の吸着固定が一時的に停止
された状態で共に下方から突出してきた後に、検査台２
３上に載置された半導体ウエハ２２の中心位置が正しく
検査台２３の中心位置と合致するように、ウエハ２２を
挟んで１８０°対向して配置し、半導体ウエハ２２を挟
み込んでそれぞれ規定の位置まで検査台２３の中心位置
方向に移動する。

【００３３】オリフラセンサ２９は、例えばＬＥＤと受
光素子とを組合わせた反射型のフォトセンサにより構成
され、検査台２３上に載置された半導体ウエハ２２のオ
リエンテーションフラットやノッチの位置を検出するこ
とで半導体ウエハ２２を予め設定された角度で停止させ
るためのものである。

【００３４】また、検査台２３に載置された半導体ウエ
ハ２２の表面に上方より光を照射してマクロ（肉眼）に
よる外観検査を行なうための照明装置も必要であるが、
ここではその図示を省略するものとする。

【００３５】上記のような構成にあって、検査台２３上
の半導体ウエハ２２をワークカセット２１に搬送して戻
す一方、同カセット２１から次の半導体ウエハ２２を取
出して検査台２３まで搬送して載置する場合の動作に要
するタクトタイムについて図２の概念図を用いて考え
る。

【００３６】時間Ｔｗを要する検査を実行している間、
アンローダアーム２７が検査されている半導体ウエハ２
２の下方で適宜間隔を空けて検査の終了を待機する一
方、ローダアーム２５が次の半導体ウエハ２２を受取る
べくワークカセット２１内に侵入し（ｔ6 ）、吸着を開
始すると共にエレベータユニットによりワークカセット
２１を若干下降させて該次の半導体ウエハ２２を吸着固
定して取出しておく（ｔ7 ）。

【００３７】検査台２３上の半導体ウエハ２２に対する
検査が終了した後、検査台２３が吸着を停止すると共に
下降し、待機していたアンローダアーム２７が当該半導
体ウエハ２２を検査台２３から受取って吸着し（ｔ1
）、ワークカセット２１まで搬送し（ｔ2 ）、吸着を
停止すると共にエレベータユニットによりワークカセッ
ト２１が若干上昇されて該検査を終えた半導体ウエハ２
２を収納させる（ｔ）。

【００３８】この間に上記ローダアーム２５は、取出し
ておいた次の半導体ウエハ２２を検査台２３まで搬送し
（ｔ8 ）、吸着を停止して、上昇してきた検査台２３上
に載置させる（ｔ9 ）。

【００３９】上記のような搬送の方法にあっては、半導
体ウエハ２２はワークカセット２１と検査台２３との間
を図中に示す如く閉ループ搬送されることになる。この
ようにアンローダアーム２７とローダアーム２５で検査
を終えた半導体ウエハ２２の搬送及びワークカセット２
１への収納と次の半導体ウエハ２２の搬送及び検査台２
３への載置とを同時に行なうことにより、１枚の半導体
ウエハの検査に要する時間Ｔ２は Ｔ２＝Ｔｗ＋Ｔｈ＋Ｔｕ …(2) となる。この（２）式中のＴｈを分解すると、アンロー
ダアーム２７が検査を終えた半導体ウエハ２２を検査台
２３から受取る時間ｔ1 、アンローダアーム２７が半導
体ウエハ２２をワークカセット２１まで搬送する時間ｔ
2 、及びローダアーム２５が次の半導体ウエハ２２を検
査台２３上に載置する時間ｔ9 の和「ｔ1＋ｔ2 ＋ｔ9
」となる。（ｔ2 とｔ8 は同時に行なわれ、ｔ3 ，ｔ7
はＴｗ中に行なわれる。） ここで、上記（１）式で示した搬送用のアームを１本の
み使用した場合の１枚の半導体ウエハの検査に要する時
間Ｔ１と上記時間Ｔ２との差を求めると、 Ｔ１−Ｔ２＝Ｔｗ＋Ｔｕ＋ＴL −（Ｔｗ＋Ｔｈ＋Ｔｕ） ＝Ｔｗ＋ｔ1 ＋ｔ2 ＋‥‥＋ｔ9 −（Ｔｗ＋ｔ1 ＋ｔ2
＋ｔ9 ） ＝ｔ3 ＋ｔ4 ＋ｔ5 ＋ｔ6 ＋ｔ7 ＋ｔ8 となる。

【００４０】これはすなわち、従来の１本のアームによ
る搬送装置における、半導体ウエハをカセットから受取
る時間「ｔ4 ＋ｔ5 ＋ｔ6 ＋ｔ7 」、半導体ウエハをカ
セットに収納する時間「ｔ3 」、及び搬送時間「ｔ8
（またはｔ2 ）」を合計した分だけ時間を短縮できるこ
とを示している。

【００４１】本実施の形態では、上述した如くローダア
ーム２５をアンローダアーム２７とを上下方向にワーク
カセット２１に収納されている半導体ウエハ２２の一定
間隔Ｐ分だけ離して配置した。このことにより、無駄に
ワークカセット２１をエレベーション機構により上下動
させることなく、アンローダアーム２７が検査済みの半
導体ウエハ２２をワークカセット２１に収納する動作と
ローダアーム２５がローダアーム２５に収納されている
次に検査すべき半導体ウエハ２２を取出す動作とを同時
に実行することができる。

【００４２】しかして本実施の形態では、ローダアーム
２５を第２のガイドレール２６の上方に位置するものと
し、ワークカセット２１に収納されている半導体ウエハ
２２を最下位置のものから順番に連続して検査するもの
としたが、逆にアンローダアーム２７をローダアーム２
５より一定間隔だけ上方に位置させ、ワークカセット２
１に収納されている半導体ウエハ２２を最上位置のもの
から順番に連続して検査することとしてもよい。

【００４３】また、ローダアーム２５及びアンローダア
ーム２７は共に図示する如くその先端の半導体ウエハ２
２を吸着する部分をワークカセット２１の側に寄った半
円弧状とし、円弧の両端を検査台２３の側に向けた形状
としたので、ローダアーム２５が検査台２３に半導体ウ
エハ２２を載置する際及び半導体ウエハ２２に載置され
ている半導体ウエハ２２をアンローダアーム２７が受取
る際のいずれでもローダアーム２５、アンローダアーム
２７が検査台２３と干渉することなく、したがってロー
ダアーム２５、アンローダアーム２７が一時的に検査台
２３を通り越すために検査台２３を一旦下降させる等の
無駄な動作を行なうことなく、検査台２３の位置まで速
やかに移動することができる。

【００４４】（第２の実施の形態）次いで、上記図１に
示した検査装置を発展させた装置を本発明の第２の実施
の形態として説明する。

【００４５】図３はワークカセット３１とリワークカセ
ット３２の２つのカセットを用いた検査装置の構成を示
すものである。ワークカセット３１に収納されている半
導体ウエハ３３は、ガイドレール３４に沿って移動する
ローダアーム３５により、上下動及び回転可能な載置台
である段取台３６まで搬送された後、エレベーション機
構に取付けられた上下動可能なローダ回転アーム３７に
よって検査台３８までさらに搬送される。検査台上では
図示しない照明光によりウエハ表面の検査が行なわれ
る。

【００４６】検査台３８と上記段取台３６の間にはウエ
ハ反転アーム３９が配設され、検査台３８に載置された
検査後の半導体ウエハ３３を裏返して裏面が検査できる
ようになっている。

【００４７】そしてウエハ３３は、その検査結果により
上記ワークカセット３１またはリワークカセット３２の
いずれかに搬送される。すなわち、検査の結果、合格と
なった半導体ウエハ３３は、上記ローダ回転アーム３７
と同軸的に配設されたアンローダ回転アーム４０によっ
て段取台３６まで搬送された後、この段取台３６から上
記ガイドレール３４と平行に配設されたガイドレール４
１に沿って移動するアンローダアーム４２によってワー
クカセット３１まで搬送され、収納される。

【００４８】一方、検査の結果、不合格となった半導体
ウエハ３３は、検査台３８からガイドレール４３に沿っ
て移動するアンローダアーム４４によって直接リワーク
カセット３２まで搬送され、回収される。

【００４９】なお、上記段取台３６上に載置された半導
体ウエハ３３の正確な位置決めを行なうものとして、一
対の芯出しブロック４５ａ，４５ｂとオリフラセンサ４
６とが設けられる。

【００５０】また、検査台３８に載置された半導体ウエ
ハ３３の表面に上方より光を照射してマクロ（肉眼）に
よる外観検査を行なうための照明装置も必要であるが、
ここではその図示を省略するものとする。

【００５１】図４は上記ローダ回転アーム３７及びアン
ローダ回転アーム４０の駆動機構を示す側面図であり、
固定設置されたステー５１に対してモータ（Ｍ3 ）５２
に回転駆動されるボールねじ５３により、エレベータ上
下台５４が上下動され、この上下台５４に対して同軸的
に上記ローダ回転アーム３７及びアンローダ回転アーム
４０が取付けられる。

【００５２】これらローダ回転アーム３７及びアンロー
ダ回転アーム４０は、それぞれ半導体ウエハ３３を搬送
する先端の各アーム部分が、ワークカセット３１に収納
される半導体ウエハ３３の間隔と同様の間隔だけ上下方
向に間隙を空けて設けられ、各軸部分にプーリ５５，５
６を介してモータ（Ｍ1 ，Ｍ2 ）５７，５８の回転が与
えられることで個別に回転するもので、上述した如く先
端の各アーム部分が上下方向に間隙を設けられているた
めに、干渉しないようになっている。

【００５３】ローダ回転アーム３７及びアンローダ回転
アーム４０の半導体ウエハ３３を載置する部分には半導
体ウエハ３３を吸着するための真空チャックが設けられ
る。２つのアーム３７，４０は、半導体ウエハ３３を段
取台３６から検査台３８へ、反対に検査台３８から段取
台３６へ交互に搬送することができるが、上記図１で示
したローダアーム２５及びアンローダアーム２７と同様
の理由で、ワークカセット３１に収納されている半導体
ウエハ３３の検査の順序に従って、例えば下側に位置す
る半導体ウエハ３３から順番に検査を行なう場合にはロ
ーダ回転アーム３７がアンローダ回転アーム４０の上方
に位置するものとする。

【００５４】上記のような構成にあっては、検査台３８
上に載置されている半導体ウエハ３３の検査を行なって
いる時間内に、段取台３６に載置している次に検査を行
なう半導体ウエハ３３のアライメント調整、具体的には
芯出しとオリエンテーションフラット等の位置合わせを
芯出しブロック４５ａ，４５ｂとオリフラセンサ４６に
より実行しておく。

【００５５】したがって、検査台３８に載置されている
半導体ウエハ３３の検査が終了すると共に、この検査を
終えた半導体ウエハ３３をアンローダ回転アーム４０及
びアンローダアーム４２、またはアンローダアーム４４
によってワークカセット３１またはリワークカセット３
２に搬送するものであるが、これと同時に段取台３６に
載置されているすでにアライメント調整を終えた半導体
ウエハ３３をローダ回転アーム３７により検査台３８に
搬送する。

【００５６】こうすることにより、１枚の半導体ウエハ
３３の検査に要するタクトタイムから実質的にアライメ
ント調整を行なう時間を排除し、大幅に該タクトタイム
を短縮することができるものである。

【００５７】また、上述した如くこの図３による検査装
置では、検査後の半導体ウエハ３３を元のワークカセッ
ト３１に返すリターン搬送と、他のリワークカセット３
２に移し替えるカセット・トゥ・カセット搬送が可能で
あり、且つ、閉ループ搬送となるため、タクトタイムの
無駄を大幅に削減することができるものである。

【００５８】次いで、上記検査時におけるローダ回転ア
ーム３７及びアンローダ回転アーム４０の動作について
説明する。検査台３８上に載置された半導体ウエハ３３
の検査が終了した時点で、ローダアーム３５の搬送によ
り次に検査を行なうべき半導体ウエハ３３がすでにワー
クカセット３１から取出され、段取台３６上に載置され
ている。

【００５９】このとき段取台３６と検査台３８に共に半
導体ウエハ３３が載置されていることとなるので、検査
を行なう者が検査台３８に載置されている半導体ウエハ
３３を検査の結果、合格と見做し、次の半導体ウエハ３
３の検査を要求する指示操作を行なうと、これに対応し
て上記エレベータ上下台５４が上昇し、段取台３６、検
査台３８の下方に位置していた２つのアーム４０，３７
も上昇して、載置されている半導体ウエハ３３を受取
る。

【００６０】その後、ローダ回転アーム３７は検査台３
８の位置まで、アンローダ回転アーム４０は段取台３６
の位置までそれぞれ干渉せずに回転して、段取台３６に
あった半導体ウエハ３３を検査台３８の位置に、ウエハ
反転アーム３９にあった半導体ウエハ３３を段取台３６
の位置に搬送する。

【００６１】そして、上記エレベータ上下台５４が下降
し、検査台３８、段取台３６の上方に位置していた２つ
のアーム３７，４０も下降して、搬送している半導体ウ
エハ３３を検査台３８、段取台３６に載置する。

【００６２】この後、２つのアーム３７，４０はさらに
下降を続けて停止した後に、ローダ回転アーム３７は段
取台３６へ、アンローダ回転アーム４０は検査台３８へ
向かって回転する。このようにして搬送の１行程が終了
する。

【００６３】また、上記図４に示したローダ回転アーム
３７及びアンローダ回転アーム４０の構成に代えて、図
５に示すような両端部にそれぞれ半導体ウエハ３３を載
置するＴ字状アーム６１を用いたものとしてもよい。こ
の場合、アーム６１は半導体ウエハ３３の搬送のために
１８０°回転する必要があるため、装置全体が大きなも
のとなってしまうが、閉ループ搬送が可能であり、タク
トタイムを充分短縮できるものである。

【００６４】なお、上記アンローダアーム４４は上記リ
ワークカセット３２、アンローダアーム４２と平行に移
動して検査台３８上の半導体ウエハ３３をリワークカセ
ット３２に搬送するものであり、リワークカセット３２
も上記ワークカセット３１とは別のエベレーション機構
により上下方向に駆動されているので、任意の指定位置
に停止して半導体ウエハ３３を収納することができる。

【００６５】アンローダアーム４４とリワークカセット
３２は、一般的に検査で不合格となった不良の半導体ウ
エハ３３を回収するべく用いられるものであり、このよ
うな分類機能を用いることで、良品と判断した半導体ウ
エハ３３は元のワークカセット３１に収納する一方、不
良品と判断した半導体ウエハ３３はリワークカセット３
２に回収することができる。

【００６６】また、図６は上記図３の検査装置を電動ス
テージを有する顕微鏡ブロック７１と組合わせたもの
で、上記ローダ回転アーム３７が図示する如く顕微鏡ブ
ロック７１と半導体ウエハ３３の受け渡しを行なうよう
になる。

【００６７】なお、上記各実施の形態では、半導体ウエ
ハを搬送する試料として用いたが、これに限ることな
く、他にも液晶表示パネル等、薄板状の試料であれば同
様に適用可能であることは勿論である。

【００６８】

【発明の効果】以上詳記した如く本発明によれば、小型
で安価な構成とし、且つ搬送動作の制御が容易でカセッ
トと載置台との間での試料の搬送に要するタクトタイム
をでき得る限り短縮することが可能な試料搬送装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の外観構成を示す
図。

【図２】同実施の形態に係るタクトタイムの概念図。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る外観構成を示
す図。

【図４】図３の回転アームの駆動機構を例示する側面
図。

【図５】図３の回転アームの他の駆動機構を例示する側
面図。

【図６】同実施の形態に係る顕微鏡と組合わせた場合の
外観構成を示す図。

【図７】一般的な１本アームによる試料搬送のタクトタ
イムの概念図。

【図８】２本アームを有するロボットを用いた搬送装置
の外観構成を例示する図。

【符号の説明】

１，１１…カセット ２，１２…載置台 ３…搬送装置 １３，２２，３３…半導体ウエハ １４…ロボット ２１，３１…ワークカセット ２３，３８…検査台 ２４，２６，３４，４１，４３…ガイドレール ２５，３５…ローダアーム ２７，４２，４４…アンローダアーム ２８ａ，２８ｂ，４５ａ，４５ｂ…芯出しブロック ２９，４６…オリフラセンサ ３２…リワークカセット ３６…段取台 ３７…ローダ回転アーム ３９…ウエハ反転アーム ４０…アンローダ回転アーム ５１…ステー ５２，５７，５８…モータ ５３…ボールねじ ５４…エレベータ上下台 ５５，５６…プーリ ６１…（Ｔ字状）アーム ７１…顕微鏡ブロック

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の薄板状試料を一定間隔に段状に収
   納したカセットを上下動させるエレベーション手段と、 上記カセットから離れた位置で上記試料を載置する、少
   なくとも上下動可能な載置台と、 上記カセットから上記試料を吸着して上記載置台まで搬
   送する第１のアームと、 この第１のアームから上下いずれかの方向に上記一定間
   隔をあけて配設され、上記載置台から上記試料を吸着し
   て上記カセットまで搬送する第２のアームとを具備した
   ことを特徴とする試料搬送装置。
2. 【請求項２】 上記第１のアームは上記カセットに収納
   された試料の中心軸位置と上記載置台の中心軸位置とを
   結ぶ直線に平行に敷設された第１のガイドレールに沿っ
   て移動し、 上記第２のアームは上記第１のカードレールに平行に敷
   設された第２のガイドレールに沿って移動することを特
   徴とする請求項１記載の試料搬送装置。
3. 【請求項３】 上記第１及び第２のアームの試料を吸着
   する先端部分は、上記カセットから載置台への移動方向
   に沿ってその両端を載置台に向けた半円弧状の形状を有
   することを特徴とする請求項１記載の試料搬送装置。