JPH07103281A - アクティブ振動絶縁装置 - Google Patents
アクティブ振動絶縁装置Info
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- JPH07103281A JPH07103281A JP24684693A JP24684693A JPH07103281A JP H07103281 A JPH07103281 A JP H07103281A JP 24684693 A JP24684693 A JP 24684693A JP 24684693 A JP24684693 A JP 24684693A JP H07103281 A JPH07103281 A JP H07103281A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 5
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 空気バネで支持されている制御対象物の水平
方向に発生する振動および変位をそれぞれ異なるアクチ
ュエータで制御し、水平方向の振動絶縁性能を向上させ
る。 【構成】 空気バネ１１で支持されている制御対象物１
２に搭載された水平方向振動センサ１３により駆動する
積層型セラミックス・アクチュエータ１５と、当該制御
対象物１２または設置面１０に搭載された水平方向変位
センサ１４により駆動する空圧アクチュエータ１６とを
直列接続する。 【効果】 これにより制御対象物１２の水平方向に発生
する振動および変位をそれぞれ異なるアクチュエータで
制御させることができるので、振動絶縁装置の水平方向
の振動絶縁性能が総合的に向上する。
方向に発生する振動および変位をそれぞれ異なるアクチ
ュエータで制御し、水平方向の振動絶縁性能を向上させ
る。 【構成】 空気バネ１１で支持されている制御対象物１
２に搭載された水平方向振動センサ１３により駆動する
積層型セラミックス・アクチュエータ１５と、当該制御
対象物１２または設置面１０に搭載された水平方向変位
センサ１４により駆動する空圧アクチュエータ１６とを
直列接続する。 【効果】 これにより制御対象物１２の水平方向に発生
する振動および変位をそれぞれ異なるアクチュエータで
制御させることができるので、振動絶縁装置の水平方向
の振動絶縁性能が総合的に向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はアクティブ振動絶縁装置
に関し、特に、制御対象物に水平方向の制御力を注入し
て水平方向の振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動
絶縁装置に係わる。
に関し、特に、制御対象物に水平方向の制御力を注入し
て水平方向の振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動
絶縁装置に係わる。
【０００２】
【従来の技術】従来から、空気バネとダッシュポットを
使用し、空気バネで支持された精密機器が搭載された定
盤のような制御対象物をパッシブに制御するパッシブ振
動絶縁装置は周知である。最近、パッシブ振動絶縁装置
に代えて、制御対象物をアクティブに制御するアクティ
ブまたはセミアクティブ振動絶縁装置が採用されつつあ
る。
使用し、空気バネで支持された精密機器が搭載された定
盤のような制御対象物をパッシブに制御するパッシブ振
動絶縁装置は周知である。最近、パッシブ振動絶縁装置
に代えて、制御対象物をアクティブに制御するアクティ
ブまたはセミアクティブ振動絶縁装置が採用されつつあ
る。
【０００３】このアクティブ振動絶縁装置は、制御対象
物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動信号
によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネルギを
注入し、線形フィードバック制御や線形フィードフォワ
ード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或いは絶縁
効果を積極的に高めようとするものである。現在、市販
されているアクティブ振動絶縁装置は極めて少ないが、
これを使用するアクチュエータに着目して分類すると、
下記の２種類に分けられる。
物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動信号
によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネルギを
注入し、線形フィードバック制御や線形フィードフォワ
ード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或いは絶縁
効果を積極的に高めようとするものである。現在、市販
されているアクティブ振動絶縁装置は極めて少ないが、
これを使用するアクチュエータに着目して分類すると、
下記の２種類に分けられる。
【０００４】〈空圧式〉制御対象物に振動センサを搭載
して振動を検出し、この振動信号を電気空圧変換器によ
って電気空圧信号に変え、サーボ弁を開閉し、空気を空
気バネに注入することにより空気バネをアクチュエータ
として使用し、振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積
極的に高めるものである。
して振動を検出し、この振動信号を電気空圧変換器によ
って電気空圧信号に変え、サーボ弁を開閉し、空気を空
気バネに注入することにより空気バネをアクチュエータ
として使用し、振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積
極的に高めるものである。
【０００５】〈電気式〉制御対象物に振動センサを搭載
して振動を検出し、この振動信号をドライバを介してＶ
ＣＭ（ボイス・コイル・モータ）等の電気によって駆動
するアクチュエータから振動絶縁装置にエネルギを注入
し、振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高め
るものである。
して振動を検出し、この振動信号をドライバを介してＶ
ＣＭ（ボイス・コイル・モータ）等の電気によって駆動
するアクチュエータから振動絶縁装置にエネルギを注入
し、振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高め
るものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、空圧式
アクティブ振動絶縁装置は、制御対象物に動的な力を付
与する空気バネを水平方向に制御するために、一対の空
気バネの各々にエアタンクを連通接続し、この一対のエ
アタンクどうしをオリフィス配管を介して連通接続し、
その一方のエアタンクにのみサーボ弁を介してコンプレ
ッサに連通接続しているので、空気バネを制御する際、
多くのエアを必要とする。従って、制御対象物に絶対的
な水平方向静止状態を維持させるために、エア供給量の
多いコンプレッサが必要になる。
アクティブ振動絶縁装置は、制御対象物に動的な力を付
与する空気バネを水平方向に制御するために、一対の空
気バネの各々にエアタンクを連通接続し、この一対のエ
アタンクどうしをオリフィス配管を介して連通接続し、
その一方のエアタンクにのみサーボ弁を介してコンプレ
ッサに連通接続しているので、空気バネを制御する際、
多くのエアを必要とする。従って、制御対象物に絶対的
な水平方向静止状態を維持させるために、エア供給量の
多いコンプレッサが必要になる。
【０００７】一方、電気式アクティブ振動絶縁装置は、
固定子たるヨークとコアにコイルを巻回した可動子たる
アマチュアとから構成されるＶＣＭ（ボイス・コイル・
モータ）により制御対象物を水平方向に制御している
が、大きな制御対象物に対しては推力が小さく、また、
磁気漏れが大きいので安定した水平方向の制御を行うこ
とができない。従ってＶＣＭ（ボイス・コイル・モー
タ）の取扱いが困難になるという問題点があった。
固定子たるヨークとコアにコイルを巻回した可動子たる
アマチュアとから構成されるＶＣＭ（ボイス・コイル・
モータ）により制御対象物を水平方向に制御している
が、大きな制御対象物に対しては推力が小さく、また、
磁気漏れが大きいので安定した水平方向の制御を行うこ
とができない。従ってＶＣＭ（ボイス・コイル・モー
タ）の取扱いが困難になるという問題点があった。
【０００８】
【目的】本発明は、このような従来の問題点を解決する
ためになされたもので、空気バネで支持されている制御
対象物の水平方向に発生する振動および変位をそれぞれ
異なるアクチュエータで制御し、水平方向の振動絶縁性
能を向上させることができるアクティブ振動絶縁装置を
提供することを目的とする。
ためになされたもので、空気バネで支持されている制御
対象物の水平方向に発生する振動および変位をそれぞれ
異なるアクチュエータで制御し、水平方向の振動絶縁性
能を向上させることができるアクティブ振動絶縁装置を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明のアクティブ振動絶縁装置は、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物の水平方向の変位を検出して水平方向の
変位信号を出力する水平方向変位センサと、水平方向の
変位信号により駆動されて制御対象物に水平方向の変位
制御力を注入する空圧アクチュエータと、空圧アクチュ
エータに直列接続され水平方向の振動信号により駆動さ
れて制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えたものであ
る。
る本発明のアクティブ振動絶縁装置は、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物の水平方向の変位を検出して水平方向の
変位信号を出力する水平方向変位センサと、水平方向の
変位信号により駆動されて制御対象物に水平方向の変位
制御力を注入する空圧アクチュエータと、空圧アクチュ
エータに直列接続され水平方向の振動信号により駆動さ
れて制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えたものであ
る。
【００１０】
【作用】制御対象物が外乱等により振動すると、水平方
向振動センサは制御対象物の水平方向の振動を検知して
振動信号は積層型セラミックス・アクチュエータに出力
され、その振動信号に基づき積層型セラミックス・アク
チュエータは高速かつ正確に制御対象物の水平方向の振
動を制御する。また、積層型セラミックス・アクチュエ
ータの変位量では制御できない大きな水平方向の変位
は、水平方向変位センサにより検知され、この水平方向
変位センサからの変位信号に基づき空圧アクチュエータ
は制御対象物の水平方向の大きな変位移動を制御する。
このようにして振動絶縁装置の水平方向の振動絶縁性能
が総合的に向上する。
向振動センサは制御対象物の水平方向の振動を検知して
振動信号は積層型セラミックス・アクチュエータに出力
され、その振動信号に基づき積層型セラミックス・アク
チュエータは高速かつ正確に制御対象物の水平方向の振
動を制御する。また、積層型セラミックス・アクチュエ
ータの変位量では制御できない大きな水平方向の変位
は、水平方向変位センサにより検知され、この水平方向
変位センサからの変位信号に基づき空圧アクチュエータ
は制御対象物の水平方向の大きな変位移動を制御する。
このようにして振動絶縁装置の水平方向の振動絶縁性能
が総合的に向上する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明によるアクティブ振動絶縁装置
の一実施例について図面を参照して説明する。図１にお
いて、このアクティブ振動絶縁装置には、基礎または床
である設置面１０上に空気バネ１１で支持された被除振
台または制御対象物１２が設けられている。制御対象物
１２には水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号
Ｓ1を出力する水平方向振動センサ１３が搭載されてい
る。この水平方向振動センサ１３としては、例えば、公
知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用できる。
なお、水平方向振動センサ１３として速度センサが使用
されている場合に、加速度信号は、速度を１回微分する
ことにより得られる。また、水平方向振動センサ１３と
して加速度センサが使用されている場合に、速度信号は
加速度を１回積分することにより得られる。ここで、制
御対象物１２とは、定盤のような被除振台のみならず、
これに搭載された電子顕微鏡やＩＣ、ＬＳＩの製造装置
であるステッパ等の精密機器が含まれるものであり、こ
の場合、水平方向振動センサ１３はこのような精密機器
自体に搭載してもよい。
の一実施例について図面を参照して説明する。図１にお
いて、このアクティブ振動絶縁装置には、基礎または床
である設置面１０上に空気バネ１１で支持された被除振
台または制御対象物１２が設けられている。制御対象物
１２には水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号
Ｓ1を出力する水平方向振動センサ１３が搭載されてい
る。この水平方向振動センサ１３としては、例えば、公
知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用できる。
なお、水平方向振動センサ１３として速度センサが使用
されている場合に、加速度信号は、速度を１回微分する
ことにより得られる。また、水平方向振動センサ１３と
して加速度センサが使用されている場合に、速度信号は
加速度を１回積分することにより得られる。ここで、制
御対象物１２とは、定盤のような被除振台のみならず、
これに搭載された電子顕微鏡やＩＣ、ＬＳＩの製造装置
であるステッパ等の精密機器が含まれるものであり、こ
の場合、水平方向振動センサ１３はこのような精密機器
自体に搭載してもよい。
【００１２】一方、制御対象物１２の水平方向の変位を
検出して水平方向の変位信号Ｓ2を出力する非接触水平
方向変位センサ１４が制御対象物１２または設置面１０
の何れかに搭載されている（図示の例において制御対象
物１２に搭載）。この非接触水平方向変位センサ１４と
しては、例えば、渦電流素子、差動トランス、ＬＥＤ、
レーザー素子等が採用できる。
検出して水平方向の変位信号Ｓ2を出力する非接触水平
方向変位センサ１４が制御対象物１２または設置面１０
の何れかに搭載されている（図示の例において制御対象
物１２に搭載）。この非接触水平方向変位センサ１４と
しては、例えば、渦電流素子、差動トランス、ＬＥＤ、
レーザー素子等が採用できる。
【００１３】また、このアクティブ振動絶縁装置は、非
接触水平方向変位センサ１４からの水平方向の変位信号
Ｓ2により駆動され制御対象物１２に水平方向の変位制
御力Ｆ2を注入する空圧アクチュエータ１６を備えてい
る。空圧アクチュエータ１６としては空気バネ、空圧シ
リンダ等が採用される。さらに、このアクティブ振動絶
縁装置は、水平方向振動センサ１３からの水平方向の振
動信号Ｓ1により駆動され制御対象物１２に水平方向の
振動制御力Ｆ1を注入する積層型セラミックス・アクチ
ュエータ１５を備えている。積層型セラミックス・アク
チュエータ１５は圧電セラミックスと電極板とを交互に
積層した構造から成り、電圧を印加することにより変位
を発生する。このような積層型セラミックス・アクチュ
エータ１５は、印加電圧が６００Ｖで約５０μｍの変位
量と、９ｋＮまでの発生力と、伸長・収縮共に１００μ
ｓ以下の応答時間と、０．１μｍ以下の位置決め量とを
満足するものが好ましい。また、積層型セラミックス・
アクチュエータ１５の変位特性は印加電圧との関係にお
いては図４に示すように、ヒステリシスをもつ非線形特
性となり、注入電荷容量との関係においては図５に示す
ように、ヒステリシスのない比例的な関係になる。した
がって、制御のためには電荷を操作量として用いること
が望ましい。
接触水平方向変位センサ１４からの水平方向の変位信号
Ｓ2により駆動され制御対象物１２に水平方向の変位制
御力Ｆ2を注入する空圧アクチュエータ１６を備えてい
る。空圧アクチュエータ１６としては空気バネ、空圧シ
リンダ等が採用される。さらに、このアクティブ振動絶
縁装置は、水平方向振動センサ１３からの水平方向の振
動信号Ｓ1により駆動され制御対象物１２に水平方向の
振動制御力Ｆ1を注入する積層型セラミックス・アクチ
ュエータ１５を備えている。積層型セラミックス・アク
チュエータ１５は圧電セラミックスと電極板とを交互に
積層した構造から成り、電圧を印加することにより変位
を発生する。このような積層型セラミックス・アクチュ
エータ１５は、印加電圧が６００Ｖで約５０μｍの変位
量と、９ｋＮまでの発生力と、伸長・収縮共に１００μ
ｓ以下の応答時間と、０．１μｍ以下の位置決め量とを
満足するものが好ましい。また、積層型セラミックス・
アクチュエータ１５の変位特性は印加電圧との関係にお
いては図４に示すように、ヒステリシスをもつ非線形特
性となり、注入電荷容量との関係においては図５に示す
ように、ヒステリシスのない比例的な関係になる。した
がって、制御のためには電荷を操作量として用いること
が望ましい。
【００１４】この積層型セラミックス・アクチュエータ
１５と上述の空圧アクチュエータ１６とは、設置面１０
上に設けた支持片１０ａと制御対象物１２に設けた操作
片１２ａとの間に直列に接続されている。この実施例に
おいて水平方向振動センサ１３としては例えば加速度セ
ンサが使用されており、図２に示すように、制御対象物
１２の水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号Ｓ
1を出力し、振動信号Ｓ1を処理して制御信号を生成する
制御回路Ｃ1と、制御回路Ｃ1からの位置指令信号により
駆動信号を生成する電荷制御用駆動回路Ｄ1とを介して
積層型セラミックス・アクチュエータ１５を駆動させ
る。積層型セラミックス・アクチュエータ１５は電荷制
御用駆動回路Ｄ1から注入、放出される電荷量により、
制御対象物１２に水平方向の振動制御力を与える。
１５と上述の空圧アクチュエータ１６とは、設置面１０
上に設けた支持片１０ａと制御対象物１２に設けた操作
片１２ａとの間に直列に接続されている。この実施例に
おいて水平方向振動センサ１３としては例えば加速度セ
ンサが使用されており、図２に示すように、制御対象物
１２の水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号Ｓ
1を出力し、振動信号Ｓ1を処理して制御信号を生成する
制御回路Ｃ1と、制御回路Ｃ1からの位置指令信号により
駆動信号を生成する電荷制御用駆動回路Ｄ1とを介して
積層型セラミックス・アクチュエータ１５を駆動させ
る。積層型セラミックス・アクチュエータ１５は電荷制
御用駆動回路Ｄ1から注入、放出される電荷量により、
制御対象物１２に水平方向の振動制御力を与える。
【００１５】一方、非接触水平方向変位センサ１４は図
３に示すように、制御対象物１２の水平方向の振動を検
出して水平方向の振動信号Ｓ2を出力し、振動信号Ｓ2を
処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ2と、制御回路
Ｃ2からの制御信号により駆動信号を生成するサーボ弁
駆動回路Ｄ2とを介してサーボ弁１７を駆動し、このサ
ーボ弁１７で空気を空圧アクチュエータ１６に給排気さ
せる。このサーボ弁１７にはコンプレッサ（図示せず）
などの空圧源から圧縮された空気が印加されている。空
圧アクチュエータ１６はサーボ弁駆動回路Ｄ2により弁
を開閉させるサーボ弁１７からの圧縮された空気で、制
御対象物１２に水平方向の変位制御力を与える。
３に示すように、制御対象物１２の水平方向の振動を検
出して水平方向の振動信号Ｓ2を出力し、振動信号Ｓ2を
処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ2と、制御回路
Ｃ2からの制御信号により駆動信号を生成するサーボ弁
駆動回路Ｄ2とを介してサーボ弁１７を駆動し、このサ
ーボ弁１７で空気を空圧アクチュエータ１６に給排気さ
せる。このサーボ弁１７にはコンプレッサ（図示せず）
などの空圧源から圧縮された空気が印加されている。空
圧アクチュエータ１６はサーボ弁駆動回路Ｄ2により弁
を開閉させるサーボ弁１７からの圧縮された空気で、制
御対象物１２に水平方向の変位制御力を与える。
【００１６】このように構成されたアクティブ振動絶縁
装置の動作について説明する。いま、制御対象物１２が
外乱等により振動すると、水平方向振動センサ１３は制
御対象物１２の振動を検出して水平方向の振動信号Ｓ1
を制御回路Ｃ1に出力する。制御回路Ｃ1は振動を例えば
ゼロに設定した目標値と水平方向振動センサ１３により
検出された振動、即ち制御量とを比較し、この結果によ
って電荷制御用駆動回路Ｄ1から電荷を注入、放出して
積層型セラミック・アクチュエータ１５を駆動する。
装置の動作について説明する。いま、制御対象物１２が
外乱等により振動すると、水平方向振動センサ１３は制
御対象物１２の振動を検出して水平方向の振動信号Ｓ1
を制御回路Ｃ1に出力する。制御回路Ｃ1は振動を例えば
ゼロに設定した目標値と水平方向振動センサ１３により
検出された振動、即ち制御量とを比較し、この結果によ
って電荷制御用駆動回路Ｄ1から電荷を注入、放出して
積層型セラミック・アクチュエータ１５を駆動する。
【００１７】また、積層型セラミック・アクチュエータ
１５では制御できない制御対象物１２に対する変位量は
非接触水平方向変位センサ１４により検出され、所定数
値に設定された目標値と非接触水平方向変位センサ１４
により検出された変位、即ち制御量とを比較し、この結
果によってサーボ弁駆動回路Ｄ2でサーボ弁１７の弁を
開閉させて空圧アクチュエータ１６を駆動する。
１５では制御できない制御対象物１２に対する変位量は
非接触水平方向変位センサ１４により検出され、所定数
値に設定された目標値と非接触水平方向変位センサ１４
により検出された変位、即ち制御量とを比較し、この結
果によってサーボ弁駆動回路Ｄ2でサーボ弁１７の弁を
開閉させて空圧アクチュエータ１６を駆動する。
【００１８】このような動作を、上述した目標値と制御
量との偏差を打消すまで繰返し行うことにより振動を絶
縁させる。なお、本実施例においては、制御対象物１２
の水平方向の制御にアクティブ振動絶縁装置を適用した
が、これに限らず制御対象物１２の垂直方向の制御にも
適用することができる。
量との偏差を打消すまで繰返し行うことにより振動を絶
縁させる。なお、本実施例においては、制御対象物１２
の水平方向の制御にアクティブ振動絶縁装置を適用した
が、これに限らず制御対象物１２の垂直方向の制御にも
適用することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物の水平方向の変位を検出して水平方向の
変位信号を出力する水平方向変位センサと、水平方向の
変位信号により駆動されて制御対象物に水平方向の変位
制御力を注入する空圧アクチュエータと、空圧アクチュ
エータに直列接続され水平方向の振動信号により駆動さ
れて制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えているので、
振動に対する応答を高速にでき、しかも振動系全体をバ
ランスよく制御できるので水平方向の振動絶縁性能を向
上させることができる。
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物の水平方向の変位を検出して水平方向の
変位信号を出力する水平方向変位センサと、水平方向の
変位信号により駆動されて制御対象物に水平方向の変位
制御力を注入する空圧アクチュエータと、空圧アクチュ
エータに直列接続され水平方向の振動信号により駆動さ
れて制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えているので、
振動に対する応答を高速にでき、しかも振動系全体をバ
ランスよく制御できるので水平方向の振動絶縁性能を向
上させることができる。
【図１】本発明の実施例によるアクティブ振動絶縁装置
の説明図。
の説明図。
【図２】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の水平方
向制御系を示すブロック図。
向制御系を示すブロック図。
【図３】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の水平方
向制御系を示すブロック図。
向制御系を示すブロック図。
【図４】本発明によるアクティブ振動絶縁装置に使用さ
れる積層型セラミックス・アクチュエータによって得ら
れた印加電圧−水平方向振動変位量を示すグラフ。
れる積層型セラミックス・アクチュエータによって得ら
れた印加電圧−水平方向振動変位量を示すグラフ。
【図５】本発明によるアクティブ振動絶縁装置に使用さ
れる積層型セラミックス・アクチュエータによって得ら
れた注入電荷量−水平方向振動変位量を示すグラフ。
れる積層型セラミックス・アクチュエータによって得ら
れた注入電荷量−水平方向振動変位量を示すグラフ。
１０…空気バネの設置面 １１…空気バネ １２…制御対象物 １３…水平方向振動センサ １４…非接触水平方向変位センサ １５…積層型セラミックス・アクチュエータ １６…空圧アクチュエータ
Claims (1)
- 【請求項１】空気バネで支持されている制御対象物に搭
載され水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号を
出力する水平方向振動センサと、前記制御対象物の水平
方向の変位を検出して水平方向の変位信号を出力する水
平方向変位センサと、前記水平方向の変位信号により駆
動されて前記制御対象物に水平方向の変位制御力を注入
する空圧アクチュエータと、前記空圧アクチュエータに
直列接続され前記水平方向の振動信号により駆動されて
前記制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えたことを特徴
とするアクティブ振動絶縁装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24684693A JPH07103281A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | アクティブ振動絶縁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24684693A JPH07103281A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | アクティブ振動絶縁装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103281A true JPH07103281A (ja) | 1995-04-18 |
Family
ID=17154585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24684693A Pending JPH07103281A (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | アクティブ振動絶縁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103281A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000249185A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
-
1993
- 1993-10-01 JP JP24684693A patent/JPH07103281A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000249185A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Fujita Corp | アクティブ型除振装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |