JP2000249185A - アクティブ型除振装置 - Google Patents
アクティブ型除振装置Info
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- JP2000249185A JP2000249185A JP11050462A JP5046299A JP2000249185A JP 2000249185 A JP2000249185 A JP 2000249185A JP 11050462 A JP11050462 A JP 11050462A JP 5046299 A JP5046299 A JP 5046299A JP 2000249185 A JP2000249185 A JP 2000249185A
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- actuator
- displacement
- displacement actuator
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 重量が軽く占有スペースが小さくて済み、か
つ、設置場所に制限が少ないアクティブ型除振装置を提
供する。 【解決手段】 アクティブ型除振装置１０００は、ケー
ス１００、中間フレーム２００、取付板３００、小変位
アクチュエータ４００、大変位アクチュエータ５００、
振動センサ６００、空気ばね７００などを備えた除振機
構部８００と、この除振機構部８００の制御を行う制御
装置部を備える。中間フレーム２００は、ケース１００
によって上下方向にスライド可能に支持されている。小
変位アクチュエータ４００は、ケース１００に対する中
間フレーム２００の位置を上下方向に変位させる。大変
位アクチュエータ５００は、ケース１００に対する中間
フレーム２００の位置を上下方向に変位させる。
つ、設置場所に制限が少ないアクティブ型除振装置を提
供する。 【解決手段】 アクティブ型除振装置１０００は、ケー
ス１００、中間フレーム２００、取付板３００、小変位
アクチュエータ４００、大変位アクチュエータ５００、
振動センサ６００、空気ばね７００などを備えた除振機
構部８００と、この除振機構部８００の制御を行う制御
装置部を備える。中間フレーム２００は、ケース１００
によって上下方向にスライド可能に支持されている。小
変位アクチュエータ４００は、ケース１００に対する中
間フレーム２００の位置を上下方向に変位させる。大変
位アクチュエータ５００は、ケース１００に対する中間
フレーム２００の位置を上下方向に変位させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はアクティブ型除振装
置に関する。
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造工場などにおいて使
用される超微細加工に用いる製造装置や超高倍率の電子
顕微鏡などの精密機器は、振動を極端に嫌う装置であ
り、振動がこの種の装置に悪影響を及ぼすのを防止する
ために除振装置が使用されている。除振装置は、外部の
振動などに影響されることなく高度の静止状態を維持す
ることのできる定盤を備え、この定盤上に、振動を嫌う
装置の全体またはその装置のうちの特に振動を嫌う部
分、すなわち除振すべき対象物である被除振体を取り付
けて用いる。
用される超微細加工に用いる製造装置や超高倍率の電子
顕微鏡などの精密機器は、振動を極端に嫌う装置であ
り、振動がこの種の装置に悪影響を及ぼすのを防止する
ために除振装置が使用されている。除振装置は、外部の
振動などに影響されることなく高度の静止状態を維持す
ることのできる定盤を備え、この定盤上に、振動を嫌う
装置の全体またはその装置のうちの特に振動を嫌う部
分、すなわち除振すべき対象物である被除振体を取り付
けて用いる。
【０００３】このような振動を嫌う装置に悪影響を及ぼ
す振動には、大きく分けて次の３種類のものがある。 （Ａ）外部環境に通常的に発生している小振動。例え
ば、振動を嫌う装置を設置した建物の近くを走行する車
両や、周辺の建設工事による地盤振動、その建物に設置
された空調設備やエレベータおよびその他の機械の作動
によって発生する振動、それに、その建物内を人が歩行
することによって発生する振動などである。 （Ｂ）振動を嫌う装置そのものが発生する振動。例え
ば、この振動を嫌う装置が半導体リソグラフィ工程で用
いられるステップ・アンド・スキャン型のウェーハ露光
装置であった場合を例に説明すると、ウェーハ上の１箇
所の露光領域の露光を行う毎に、ウェーハを載置したウ
ェーハ・ステージとマスクを載置したマスク・ステージ
とが水平方向に走査されるために加速および減速され、
その際に発生する揺動によって小振動が発生する。 （Ｃ）地震による振動。この振動の振幅および加速度は
小さなものから大きなものまでさまざまであり、したが
ってこの振動には、小振動から大振動までが含まれ得
る。
す振動には、大きく分けて次の３種類のものがある。 （Ａ）外部環境に通常的に発生している小振動。例え
ば、振動を嫌う装置を設置した建物の近くを走行する車
両や、周辺の建設工事による地盤振動、その建物に設置
された空調設備やエレベータおよびその他の機械の作動
によって発生する振動、それに、その建物内を人が歩行
することによって発生する振動などである。 （Ｂ）振動を嫌う装置そのものが発生する振動。例え
ば、この振動を嫌う装置が半導体リソグラフィ工程で用
いられるステップ・アンド・スキャン型のウェーハ露光
装置であった場合を例に説明すると、ウェーハ上の１箇
所の露光領域の露光を行う毎に、ウェーハを載置したウ
ェーハ・ステージとマスクを載置したマスク・ステージ
とが水平方向に走査されるために加速および減速され、
その際に発生する揺動によって小振動が発生する。 （Ｃ）地震による振動。この振動の振幅および加速度は
小さなものから大きなものまでさまざまであり、したが
ってこの振動には、小振動から大振動までが含まれ得
る。
【０００４】多くの除振装置は、上記（Ａ）および
（Ｂ）の小振動を吸収して、振動を嫌う装置がそのよう
な小振動の影響を受けないようにすることを目的として
設計されており、上記（Ｃ）の地震による振動のうち比
較的大きな振動に対応することは、最初から予定してい
ない。例えば、半導体デバイスの集積度が現在ほど高く
なく、露光装置などが扱うパターンの線幅が現在ほど細
かくなかった頃は、パッシブ型除振装置が多く使用され
ていた。パッシブ型除振装置では、露光装置などの振動
を嫌う装置を取付ける定盤が空気ばねや防振ゴムなどの
弾性支持手段を介して、床面に固定された基台上に固定
されており、その弾性支持手段の撓みによって外部から
の小振動が吸収され、また、その弾性支持手段と定盤お
よびそれに取り付けされた装置の質量とによって形成さ
れる振動系の共振周波数を適当に設定することにより、
露光装置などが発生する小振動の振幅が抑制されるよう
にしていた。
（Ｂ）の小振動を吸収して、振動を嫌う装置がそのよう
な小振動の影響を受けないようにすることを目的として
設計されており、上記（Ｃ）の地震による振動のうち比
較的大きな振動に対応することは、最初から予定してい
ない。例えば、半導体デバイスの集積度が現在ほど高く
なく、露光装置などが扱うパターンの線幅が現在ほど細
かくなかった頃は、パッシブ型除振装置が多く使用され
ていた。パッシブ型除振装置では、露光装置などの振動
を嫌う装置を取付ける定盤が空気ばねや防振ゴムなどの
弾性支持手段を介して、床面に固定された基台上に固定
されており、その弾性支持手段の撓みによって外部から
の小振動が吸収され、また、その弾性支持手段と定盤お
よびそれに取り付けされた装置の質量とによって形成さ
れる振動系の共振周波数を適当に設定することにより、
露光装置などが発生する小振動の振幅が抑制されるよう
にしていた。
【０００５】ところが、このようなパッシブ型除振装置
は、その弾性支持手段が有する固有振動数以下の低振動
領域の振動に対しては除振効果が得られず、逆に振動を
増幅してしまうおそれがあり、この弾性支持手段の固有
振動数を下げるには限度があった。そして、半導体の集
積度が上昇してパターンの微細化が進行するにつれて、
このようなパッシブ型除振装置の除振能力では不充分と
なってきたため、最近ではアクティブ型除振装置が多用
されている。
は、その弾性支持手段が有する固有振動数以下の低振動
領域の振動に対しては除振効果が得られず、逆に振動を
増幅してしまうおそれがあり、この弾性支持手段の固有
振動数を下げるには限度があった。そして、半導体の集
積度が上昇してパターンの微細化が進行するにつれて、
このようなパッシブ型除振装置の除振能力では不充分と
なってきたため、最近ではアクティブ型除振装置が多用
されている。
【０００６】アクティブ型除振装置では、定盤を複数の
アクチュエータを介して基台上に支持すると共に、定盤
に複数の振動検出手段（加速度センサ）を取り付け、そ
れら振動検出手段の検出出力に基づいて、フィードバッ
クやフィードフォワード等の技法を用いてアクチュエー
タを制御することで、定盤に発生する加速度を小さく抑
え、従ってその振動を小さく抑えるようにしている。
アクチュエータを介して基台上に支持すると共に、定盤
に複数の振動検出手段（加速度センサ）を取り付け、そ
れら振動検出手段の検出出力に基づいて、フィードバッ
クやフィードフォワード等の技法を用いてアクチュエー
タを制御することで、定盤に発生する加速度を小さく抑
え、従ってその振動を小さく抑えるようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したアクティブ型
除振装置では、変位量が微小であるが周波数応答性に優
れたピエゾアクチュエータや超磁歪アクチュエータとい
った微小変位アクチュエータ（本明細書では小変位アク
チュエータという）を用いているため、上記（Ａ）、
（Ｂ）の、外部および内部の小振動に起因する定盤の振
幅が小さくかつ周波数が高い振動を良好に抑制する優れ
た除振性能を有する。ところが、従来のアクティブ型除
振装置では、被除振体を取り付ける定盤をアクチュエー
タを介して基台上に支持し、この基台を例えば建物の床
などから構成される下部構造体に設置する構成となって
いるため次の欠点がある。第１に、被除振体を取り付け
るための定盤が必要であるため、アクティブ型除振装置
の重量が大きなものとなりがちである。第２に、定盤に
取り付ける装置（被除振体）が大きくなると、この装置
とアクティブ型除振装置の定盤とによって広いスペース
が占有されてしまう。第３に、定盤が一定の占有スペー
スを必要とするため、アクティブ型除振装置の設置場所
に定盤の占有スペースと干渉する障害物が存在した場合
には、アクティブ型除振装置の設置が困難となり、設置
場所に制限が必要となっている。本発明は前記事情に鑑
み案出されたものであって、本発明の目的は、重量が軽
く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所に制限
が少ないアクティブ型除振装置を提供することにある。
除振装置では、変位量が微小であるが周波数応答性に優
れたピエゾアクチュエータや超磁歪アクチュエータとい
った微小変位アクチュエータ（本明細書では小変位アク
チュエータという）を用いているため、上記（Ａ）、
（Ｂ）の、外部および内部の小振動に起因する定盤の振
幅が小さくかつ周波数が高い振動を良好に抑制する優れ
た除振性能を有する。ところが、従来のアクティブ型除
振装置では、被除振体を取り付ける定盤をアクチュエー
タを介して基台上に支持し、この基台を例えば建物の床
などから構成される下部構造体に設置する構成となって
いるため次の欠点がある。第１に、被除振体を取り付け
るための定盤が必要であるため、アクティブ型除振装置
の重量が大きなものとなりがちである。第２に、定盤に
取り付ける装置（被除振体）が大きくなると、この装置
とアクティブ型除振装置の定盤とによって広いスペース
が占有されてしまう。第３に、定盤が一定の占有スペー
スを必要とするため、アクティブ型除振装置の設置場所
に定盤の占有スペースと干渉する障害物が存在した場合
には、アクティブ型除振装置の設置が困難となり、設置
場所に制限が必要となっている。本発明は前記事情に鑑
み案出されたものであって、本発明の目的は、重量が軽
く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所に制限
が少ないアクティブ型除振装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、下部構造体上で被除振体を支持する除振機構
部とその制御装置部を備え、前記除振機構部は、下部構
造体上に設けられたベース部と、被除振体に取付可能に
設けられた取付手段と、前記被除振体を前記下部構造体
に対して所定方向に移動可能に支持する支持手段と、前
記取付手段の前記所定方向の振動の加速度を検出する振
動検出手段と、前記取付手段を前記ベース部に対して前
記所定方向に変位させる変位手段とを備え、前記ベース
部、前記取付手段、前記支持手段、前記振動検出手段、
前記変位手段は一体的に設けられ、前記制御装置部は、
前記振動検出手段により検出した前記所定方向の加速度
に対応して前記変位手段を駆動することにより、前記被
除振体の所定方向の振動を除去するように構成されてい
ることを特徴とする。また、本発明は、前記被除振体に
１または２以上の前記除振機構部が取り付けられて構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、１つの
前記除振機構部に対して１つの前記制御装置部が設けら
れていることを特徴とする。また、本発明は、複数の前
記除振機構部に対して１つの前記制御装置部が設けら
れ、前記制御装置部は、前記各除振機構部の前記振動検
出手段により別々に検出された前記所定方向の加速度に
対応して前記各除振機構部の前記変位手段を別々に駆動
するように構成されていることを特徴とする。また、本
発明は、前記変位手段は、前記取付手段に比較的小さな
変位を与えることが可能に構成された小変位アクチュエ
ータを備え、前記小変位アクチュエータは前記所定方向
と同じ変位方向を有するように前記ベース部と前記取付
手段の間に配設されていることを特徴とする。また、本
発明は、前記小変位アクチュエータは固体アクチュエー
タから構成されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記固体アクチュエータは、超磁歪アクチュエータ
またはピエゾアクチュエータであることを特徴とする。
また、本発明は、前記小変位アクチュエータは、発生す
る変位量の精度が高いが発生する変位量が小さく、か
つ、発生する変位量の周波数応答性が高いことを特徴と
する。また、本発明は、前記支持手段は、前記ベース部
と前記取付手段の間に配設された第１支持部材を有し、
前記支持手段による前記被除振体の支持は、前記第１支
持部材によって行われていることを特徴とする。また、
本発明は、前記第１支持部材は、空気ばねによって構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、前記変
位手段は、前記取付手段に比較的大きな変位を与えるこ
とが可能に構成された大変位アクチュエータをさらに備
え、前記小変位アクチュエータと前記大変位アクチュエ
ータは前記所定方向と同じ変位方向を有するように前記
ベース部と前記取付手段の間に配設されていることを特
徴とする。また、本発明は、前記大変位アクチュエータ
はエアアクチュエータまたはリニアモータを有して構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、前記大
変位アクチュエータは、発生する変位量の精度が低いが
発生する変位量が大きく、かつ、発生する変位量の周波
数応答性が低いことをを特徴とする。また、本発明は、
前記ベース部と前記取付手段の間に配設され前記所定方
向に移動可能に設けられた中間フレームを設け、前記小
変位アクチュエータは、前記中間フレームに取り付けら
れ、前記大変位アクチュエータは、前記中間フレームと
前記ベース部の間に配設されていることを特徴とする。
また、本発明は、前記支持手段は、前記取付手段と前記
中間フレームの間に配設された第２支持部材を有し、前
記取付手段が前記第２支持部材を介して前記中間フレー
ムに支持されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記第２支持部材は、空気ばねによって構成されて
いることを特徴とする。また、本発明は、前記ベースと
前記中間フレームの間に位置保持手段を設け、前記位置
保持手段は、振動非発生時に前記ベースに対する前記中
間フレームの前記所定方向における位置を所定位置に保
持するように構成されていることを特徴とする。また、
本発明は、前記位置保持手段は、空気ばねによって構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、前記中
間フレームは、前記ベース部によって前記所定方向に摺
動可能に支持され、前記中間フレームと前記ベース部と
の間で発生する前記所定方向の摩擦抵抗力は所定値に設
定され、前記所定値は、前記小変位アクチュエータが前
記所定方向に発生可能な最大の力以上の値であることを
特徴とする。また、本発明は、前記中間フレームは、所
定重量を有するように構成され、前記所定重量は、前記
小変位アクチュエータが前記所定方向に発生可能な最大
の力を発生した際に、前記中間フレームによって前記最
大の力以上の慣性反力が生じる状態となる値に設定され
ていることを特徴とする。また、本発明は、前記中間フ
レームは、該中間フレームと前記ケースの間に設けられ
た中間フレーム支持手段によって前記所定方向に移動可
能に支持されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記小変位アクチュエータは、弾性体を介して前記
取付手段に前記所定方向の変位を与えるように構成さ
れ、前記弾性体は前記小変位アクチュエータに作用する
せん断力を吸収するように構成されていることを特徴と
する。また、本発明は、前記非駆動状態の前記小変位ア
クチュエータがその変位方向において受ける予圧縮力を
調整する予圧縮力調整手段を設けたことを特徴とする。
また、本発明は、前記所定方向は、上下方向と水平方向
の少なくとも一方または両方であることを特徴とする。
また、本発明は、前記支持手段は、前記被除振体を前記
下部構造体に対して支持する弾性支持部材を有すること
を特徴とする。また、本発明は、前記弾性支持部材は空
気ばねにより構成されていることを特徴とする。
本発明は、下部構造体上で被除振体を支持する除振機構
部とその制御装置部を備え、前記除振機構部は、下部構
造体上に設けられたベース部と、被除振体に取付可能に
設けられた取付手段と、前記被除振体を前記下部構造体
に対して所定方向に移動可能に支持する支持手段と、前
記取付手段の前記所定方向の振動の加速度を検出する振
動検出手段と、前記取付手段を前記ベース部に対して前
記所定方向に変位させる変位手段とを備え、前記ベース
部、前記取付手段、前記支持手段、前記振動検出手段、
前記変位手段は一体的に設けられ、前記制御装置部は、
前記振動検出手段により検出した前記所定方向の加速度
に対応して前記変位手段を駆動することにより、前記被
除振体の所定方向の振動を除去するように構成されてい
ることを特徴とする。また、本発明は、前記被除振体に
１または２以上の前記除振機構部が取り付けられて構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、１つの
前記除振機構部に対して１つの前記制御装置部が設けら
れていることを特徴とする。また、本発明は、複数の前
記除振機構部に対して１つの前記制御装置部が設けら
れ、前記制御装置部は、前記各除振機構部の前記振動検
出手段により別々に検出された前記所定方向の加速度に
対応して前記各除振機構部の前記変位手段を別々に駆動
するように構成されていることを特徴とする。また、本
発明は、前記変位手段は、前記取付手段に比較的小さな
変位を与えることが可能に構成された小変位アクチュエ
ータを備え、前記小変位アクチュエータは前記所定方向
と同じ変位方向を有するように前記ベース部と前記取付
手段の間に配設されていることを特徴とする。また、本
発明は、前記小変位アクチュエータは固体アクチュエー
タから構成されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記固体アクチュエータは、超磁歪アクチュエータ
またはピエゾアクチュエータであることを特徴とする。
また、本発明は、前記小変位アクチュエータは、発生す
る変位量の精度が高いが発生する変位量が小さく、か
つ、発生する変位量の周波数応答性が高いことを特徴と
する。また、本発明は、前記支持手段は、前記ベース部
と前記取付手段の間に配設された第１支持部材を有し、
前記支持手段による前記被除振体の支持は、前記第１支
持部材によって行われていることを特徴とする。また、
本発明は、前記第１支持部材は、空気ばねによって構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、前記変
位手段は、前記取付手段に比較的大きな変位を与えるこ
とが可能に構成された大変位アクチュエータをさらに備
え、前記小変位アクチュエータと前記大変位アクチュエ
ータは前記所定方向と同じ変位方向を有するように前記
ベース部と前記取付手段の間に配設されていることを特
徴とする。また、本発明は、前記大変位アクチュエータ
はエアアクチュエータまたはリニアモータを有して構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、前記大
変位アクチュエータは、発生する変位量の精度が低いが
発生する変位量が大きく、かつ、発生する変位量の周波
数応答性が低いことをを特徴とする。また、本発明は、
前記ベース部と前記取付手段の間に配設され前記所定方
向に移動可能に設けられた中間フレームを設け、前記小
変位アクチュエータは、前記中間フレームに取り付けら
れ、前記大変位アクチュエータは、前記中間フレームと
前記ベース部の間に配設されていることを特徴とする。
また、本発明は、前記支持手段は、前記取付手段と前記
中間フレームの間に配設された第２支持部材を有し、前
記取付手段が前記第２支持部材を介して前記中間フレー
ムに支持されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記第２支持部材は、空気ばねによって構成されて
いることを特徴とする。また、本発明は、前記ベースと
前記中間フレームの間に位置保持手段を設け、前記位置
保持手段は、振動非発生時に前記ベースに対する前記中
間フレームの前記所定方向における位置を所定位置に保
持するように構成されていることを特徴とする。また、
本発明は、前記位置保持手段は、空気ばねによって構成
されていることを特徴とする。また、本発明は、前記中
間フレームは、前記ベース部によって前記所定方向に摺
動可能に支持され、前記中間フレームと前記ベース部と
の間で発生する前記所定方向の摩擦抵抗力は所定値に設
定され、前記所定値は、前記小変位アクチュエータが前
記所定方向に発生可能な最大の力以上の値であることを
特徴とする。また、本発明は、前記中間フレームは、所
定重量を有するように構成され、前記所定重量は、前記
小変位アクチュエータが前記所定方向に発生可能な最大
の力を発生した際に、前記中間フレームによって前記最
大の力以上の慣性反力が生じる状態となる値に設定され
ていることを特徴とする。また、本発明は、前記中間フ
レームは、該中間フレームと前記ケースの間に設けられ
た中間フレーム支持手段によって前記所定方向に移動可
能に支持されていることを特徴とする。また、本発明
は、前記小変位アクチュエータは、弾性体を介して前記
取付手段に前記所定方向の変位を与えるように構成さ
れ、前記弾性体は前記小変位アクチュエータに作用する
せん断力を吸収するように構成されていることを特徴と
する。また、本発明は、前記非駆動状態の前記小変位ア
クチュエータがその変位方向において受ける予圧縮力を
調整する予圧縮力調整手段を設けたことを特徴とする。
また、本発明は、前記所定方向は、上下方向と水平方向
の少なくとも一方または両方であることを特徴とする。
また、本発明は、前記支持手段は、前記被除振体を前記
下部構造体に対して支持する弾性支持部材を有すること
を特徴とする。また、本発明は、前記弾性支持部材は空
気ばねにより構成されていることを特徴とする。
【０００９】本発明のアクティブ型除振装置によれば、
前記ベース部、前記取付手段、前記支持手段、前記振動
検出手段、前記変位手段は一体的に設けられて除振機構
部が構成されている。下部構造体に伝達される振動は、
下部構造体から除振機構部を経て該取付手段が取り付け
られた被除振体に伝達される。この振動は、振動検出手
段によって検出される。制御装置部は、前記振動検出手
段により検出された所定方向の加速度に対応して前記変
位手段を駆動することにより、前記被除振体の所定方向
の振動を除去する。したがって、従来と違って、被除振
体を取り付けるための定盤を設けることなく、被除振体
に除振機構部の取付手段を取り付けることによってアク
ティブ除振装置を構成することができる。このため、重
量が軽く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所
の制限が少ないアクティブ除振装置を提供することがで
きる。
前記ベース部、前記取付手段、前記支持手段、前記振動
検出手段、前記変位手段は一体的に設けられて除振機構
部が構成されている。下部構造体に伝達される振動は、
下部構造体から除振機構部を経て該取付手段が取り付け
られた被除振体に伝達される。この振動は、振動検出手
段によって検出される。制御装置部は、前記振動検出手
段により検出された所定方向の加速度に対応して前記変
位手段を駆動することにより、前記被除振体の所定方向
の振動を除去する。したがって、従来と違って、被除振
体を取り付けるための定盤を設けることなく、被除振体
に除振機構部の取付手段を取り付けることによってアク
ティブ除振装置を構成することができる。このため、重
量が軽く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所
の制限が少ないアクティブ除振装置を提供することがで
きる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明のアクティブ型除振
装置の第１実施の形態における概略構成を示す縦断面
図、図２は図１をＡ１Ａ１線断面からみた状態を示す説
明図、図３は図１をＡ２Ａ２線断面からみた状態を示す
説明図、図４は図１をＡ３Ａ３線断面からみた状態を示
す説明図、図５は第１実施の形態のアクティブ型除振装
置の配置を平面からみた状態を示す図であり、（Ａ）は
除振機構部を１つ使用した場合を示す配置図、（Ｂ）は
除振機構部を３つ使用した場合を示す配置図、（Ｃ）は
除振機構部を４つ使用した場合を示す配置図である。図
６は制御系の構成例を示すブロック図、図７は制御系の
他の構成例を示すブロック図である。
を参照して説明する。図１は本発明のアクティブ型除振
装置の第１実施の形態における概略構成を示す縦断面
図、図２は図１をＡ１Ａ１線断面からみた状態を示す説
明図、図３は図１をＡ２Ａ２線断面からみた状態を示す
説明図、図４は図１をＡ３Ａ３線断面からみた状態を示
す説明図、図５は第１実施の形態のアクティブ型除振装
置の配置を平面からみた状態を示す図であり、（Ａ）は
除振機構部を１つ使用した場合を示す配置図、（Ｂ）は
除振機構部を３つ使用した場合を示す配置図、（Ｃ）は
除振機構部を４つ使用した場合を示す配置図である。図
６は制御系の構成例を示すブロック図、図７は制御系の
他の構成例を示すブロック図である。
【００１１】図１乃至図４に示す第１の実施の形態のア
クティブ型除振装置１０００は、上下方向の振動を除振
するように構成されている。初めに、図１乃至図４を参
照してアクティブ型除振装置１０００の構成について説
明する。アクティブ型除振装置１０００は、ケース１０
０（特許請求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム
２００、取付板３００（特許請求の範囲の取付手段に相
当）、小変位アクチュエータ４００（特許請求の範囲の
変位手段に相当）、大変位アクチュエータ５００（特許
請求の範囲の変位手段に相当）、振動センサ６００（特
許請求の範囲の振動検出手段に相当）、空気ばね７００
（特許請求の範囲の第２支持部材に相当）などを備えた
除振機構部８００と、この除振機構部８００の制御を行
う制御装置部９００（図６、図７に示す）を備えてい
る。
クティブ型除振装置１０００は、上下方向の振動を除振
するように構成されている。初めに、図１乃至図４を参
照してアクティブ型除振装置１０００の構成について説
明する。アクティブ型除振装置１０００は、ケース１０
０（特許請求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム
２００、取付板３００（特許請求の範囲の取付手段に相
当）、小変位アクチュエータ４００（特許請求の範囲の
変位手段に相当）、大変位アクチュエータ５００（特許
請求の範囲の変位手段に相当）、振動センサ６００（特
許請求の範囲の振動検出手段に相当）、空気ばね７００
（特許請求の範囲の第２支持部材に相当）などを備えた
除振機構部８００と、この除振機構部８００の制御を行
う制御装置部９００（図６、図７に示す）を備えてい
る。
【００１２】ケース１００は、円盤状の底壁１０２とそ
の周縁部から立設された円筒状の側壁１０４から構成さ
れている。底壁１０２は、建物の床などからなる下部構
造体（図略）の上に設けられた基礎構造体１０に固定さ
れるようになっている。底壁１０２の上面１０２Ａと側
壁１０４の内側面１０４Ａによって、中間フレーム２０
０を収容する円柱状の収容空間１０６が形成されてい
る。
の周縁部から立設された円筒状の側壁１０４から構成さ
れている。底壁１０２は、建物の床などからなる下部構
造体（図略）の上に設けられた基礎構造体１０に固定さ
れるようになっている。底壁１０２の上面１０２Ａと側
壁１０４の内側面１０４Ａによって、中間フレーム２０
０を収容する円柱状の収容空間１０６が形成されてい
る。
【００１３】中間フレーム２００は、円盤状の側壁２０
２と、その周縁部から立設された円筒状の側壁２０４
と、側壁２０４の上端部から水平方向に延在する円環状
のフランジ壁２０６とから構成されている。そして、中
間フレーム２００の側壁２０２の外側面２０２Ａは、ケ
ース１００の内側面１０４Ａによって上下方向に、すな
わちケース１００の円筒状の側壁１０４の中心軸に沿っ
て摺動可能に支持されている。上記外側面２０２Ａと内
側面１０４Ａは、互いに接触する箇所にすべり材が設け
てあり、これら２つのすべり材は、上記外側面２０２Ａ
と内側面１０４Ａの間に作用する摩擦抵抗力（特許請求
の範囲の前記中間フレームと前記ベース部との間で発生
する摩擦抵抗力に相当）が後述する所定値となるように
設定されている。
２と、その周縁部から立設された円筒状の側壁２０４
と、側壁２０４の上端部から水平方向に延在する円環状
のフランジ壁２０６とから構成されている。そして、中
間フレーム２００の側壁２０２の外側面２０２Ａは、ケ
ース１００の内側面１０４Ａによって上下方向に、すな
わちケース１００の円筒状の側壁１０４の中心軸に沿っ
て摺動可能に支持されている。上記外側面２０２Ａと内
側面１０４Ａは、互いに接触する箇所にすべり材が設け
てあり、これら２つのすべり材は、上記外側面２０２Ａ
と内側面１０４Ａの間に作用する摩擦抵抗力（特許請求
の範囲の前記中間フレームと前記ベース部との間で発生
する摩擦抵抗力に相当）が後述する所定値となるように
設定されている。
【００１４】小変位アクチュエータ４００は、ケース１
００の底壁１０２の上面１０２Ａと、中間フレーム２０
０の底壁２０２の下面２０２Ａとの間に配設されてお
り、ケース１００に対する中間フレーム２００の位置を
上下方向に変位させるように構成されている。小変位ア
クチュエータ４００は、応答性に優れるが変位量が小さ
いため高い周波数で振幅の小さな振動を効果的に除振す
ることができる固体アクチュエータ、例えば超磁歪アク
チュエータによって構成されており、与えられる駆動信
号に基づいてケース４０２の長手方向に伸長する歪み
（磁歪）を生じる不図示の超磁歪素子と、この超磁歪素
子を収容してこの超磁歪素子を外部から保護するケース
４０２と、この超磁歪素子に結合されてケース４０２の
端部からケース４０２の長手方向に進退するロッド４０
４とを備えている。この超磁歪素子は、磁界の影響を受
けた場合に発生する磁歪量が大きな値となる合金材料に
より構成されている。また、この超磁歪アクチュエータ
は、それに与えられる駆動信号の大きさに対する磁歪量
である変位特性がほぼ線形であるため、この超磁歪アク
チュエータを駆動するための駆動信号を生成する処理は
比較的簡単でよいという利点がある。小変位アクチュエ
ータ４００は、軸心方向を上下方向に向けて配設されて
おり、そのロッド４０４の上端は、弾性体４１０と調整
ねじ４２０を介して取付板３００に取付けられている。
この弾性体４１０は、小変位アクチュエータ４１０の変
位方向（上下方向）に対しては剛く、小変位アクチュエ
ータ４１０の変位方向と直交する方向（水平方向）には
柔らかい特性を備えた例えばゴムなどから構成されるも
のであり、小変位アクチュエータ４１０に対してその変
位方向に作用する力をそのまま取付板３００に伝える一
方、変位方向と直交する方向に作用するせん断力とせん
断方向の小振動については吸収する作用を果たしてい
る。また、小変位アクチュエータ４００のケース４０２
の底面は、中間フレーム２００の底壁２０２の上面２０
２Ｂのほぼ中央の箇所に固定されている。
００の底壁１０２の上面１０２Ａと、中間フレーム２０
０の底壁２０２の下面２０２Ａとの間に配設されてお
り、ケース１００に対する中間フレーム２００の位置を
上下方向に変位させるように構成されている。小変位ア
クチュエータ４００は、応答性に優れるが変位量が小さ
いため高い周波数で振幅の小さな振動を効果的に除振す
ることができる固体アクチュエータ、例えば超磁歪アク
チュエータによって構成されており、与えられる駆動信
号に基づいてケース４０２の長手方向に伸長する歪み
（磁歪）を生じる不図示の超磁歪素子と、この超磁歪素
子を収容してこの超磁歪素子を外部から保護するケース
４０２と、この超磁歪素子に結合されてケース４０２の
端部からケース４０２の長手方向に進退するロッド４０
４とを備えている。この超磁歪素子は、磁界の影響を受
けた場合に発生する磁歪量が大きな値となる合金材料に
より構成されている。また、この超磁歪アクチュエータ
は、それに与えられる駆動信号の大きさに対する磁歪量
である変位特性がほぼ線形であるため、この超磁歪アク
チュエータを駆動するための駆動信号を生成する処理は
比較的簡単でよいという利点がある。小変位アクチュエ
ータ４００は、軸心方向を上下方向に向けて配設されて
おり、そのロッド４０４の上端は、弾性体４１０と調整
ねじ４２０を介して取付板３００に取付けられている。
この弾性体４１０は、小変位アクチュエータ４１０の変
位方向（上下方向）に対しては剛く、小変位アクチュエ
ータ４１０の変位方向と直交する方向（水平方向）には
柔らかい特性を備えた例えばゴムなどから構成されるも
のであり、小変位アクチュエータ４１０に対してその変
位方向に作用する力をそのまま取付板３００に伝える一
方、変位方向と直交する方向に作用するせん断力とせん
断方向の小振動については吸収する作用を果たしてい
る。また、小変位アクチュエータ４００のケース４０２
の底面は、中間フレーム２００の底壁２０２の上面２０
２Ｂのほぼ中央の箇所に固定されている。
【００１５】予圧縮力調整ねじ４２０（以下、調整ねじ
という）は、そのねじ部４２２が取付板３００に上下方
向に延在するように設けられたねじ孔３０２に螺合さ
れ、ねじ部４２２に接続された頭部４２４が弾性体４４
０によって回転可能に支持されている。
という）は、そのねじ部４２２が取付板３００に上下方
向に延在するように設けられたねじ孔３０２に螺合さ
れ、ねじ部４２２に接続された頭部４２４が弾性体４４
０によって回転可能に支持されている。
【００１６】大変位アクチュエータ５００は、例えば空
気アクチュエータから構成されており、ケース１００の
底壁１０２の上面１０２Ａと中間フレーム２００の底壁
２０２の下面２０２Ａとの間に配設されており、ケース
１００に対する中間フレーム２００の位置を上下方向に
変位させるように構成されている。
気アクチュエータから構成されており、ケース１００の
底壁１０２の上面１０２Ａと中間フレーム２００の底壁
２０２の下面２０２Ａとの間に配設されており、ケース
１００に対する中間フレーム２００の位置を上下方向に
変位させるように構成されている。
【００１７】取付板３００は、円盤状を呈し、その上面
３０４が被除振体２０に結合されている。被除振体２０
は、例えば、振動を除去する対象である装置であって
も、そのような装置が取り付けられた定盤であってもよ
い。振動センサ６００は、取付板３００の下面３０６に
取着されており、取付板３００における上下方向の加速
度を検出するように構成されている。中間フレーム２０
０のフランジ壁２０６の上面２０６Ａと取付板３００の
下面３０６の間には、平面視輪状の空気ばね７００が配
設されており、この輪状の空気ばね７００は、小変位ア
クチュエータ４００や振動センサ６００を囲むように配
置されている。そして、この空気ばね７００によって取
付板３００と被除振体２０が上下動可能な状態で中間フ
レーム２００に対して支持されている。すなわち、取付
板３００は、空気ばね７００と中間フレーム２００を介
して下部構造体１０に対して上下動可能に支持されてい
る。
３０４が被除振体２０に結合されている。被除振体２０
は、例えば、振動を除去する対象である装置であって
も、そのような装置が取り付けられた定盤であってもよ
い。振動センサ６００は、取付板３００の下面３０６に
取着されており、取付板３００における上下方向の加速
度を検出するように構成されている。中間フレーム２０
０のフランジ壁２０６の上面２０６Ａと取付板３００の
下面３０６の間には、平面視輪状の空気ばね７００が配
設されており、この輪状の空気ばね７００は、小変位ア
クチュエータ４００や振動センサ６００を囲むように配
置されている。そして、この空気ばね７００によって取
付板３００と被除振体２０が上下動可能な状態で中間フ
レーム２００に対して支持されている。すなわち、取付
板３００は、空気ばね７００と中間フレーム２００を介
して下部構造体１０に対して上下動可能に支持されてい
る。
【００１８】ここで、中間フレーム２００の外側面２０
２Ａとケース１００の内側面１０４Ａの互いに接触する
箇所に設けられた２つのすべり材の摩擦抵抗力が設定さ
れている所定値について説明する。中間フレーム２００
に取り付けられた小変位アクチュエータ４００が上下方
向に変位すると、この小変位アクチュエータ４００で発
生する力は、取付板３００を変位させる方向の力として
取付板３００に加わるが、これと同時に取付板３００に
加わるのと反対方向の力（反力）が小変位アクチュエー
タ４００から中間フレーム２００に加わる。この際、中
間フレーム２００が上記反力によって移動してしまう
と、取付板３００を意図した通りに変位させることがで
きなくなってしまう。このため、小変位アクチュエータ
４００が上下方向に発生可能な最大の力を発生しても、
中間フレーム２００がケース１００に対して静止状態を
維持した状態となっていることが必要である。したがっ
て、中間フレーム２００の外側面２０２Ａとケース１０
０の内側面１０４Ａの互いに接触する箇所に設けられた
２つのすべり材の摩擦抵抗力の所定値は、小変位アクチ
ュエータ４００が前記所定方向に発生可能な最大の力以
上の値に設定されている。なお、大変位アクチュエータ
５００は、上記中間フレーム２００の外側面２０２Ａと
ケース１００の内側面１０４Ａの互いに接触する箇所に
設けられた２つのすべり材に設定された上記所定値の摩
擦抵抗力に抗して中間フレーム２００を上下方向に変位
させるために必要な力を発生することが可能となるよう
に構成されていることはもちろんである。
２Ａとケース１００の内側面１０４Ａの互いに接触する
箇所に設けられた２つのすべり材の摩擦抵抗力が設定さ
れている所定値について説明する。中間フレーム２００
に取り付けられた小変位アクチュエータ４００が上下方
向に変位すると、この小変位アクチュエータ４００で発
生する力は、取付板３００を変位させる方向の力として
取付板３００に加わるが、これと同時に取付板３００に
加わるのと反対方向の力（反力）が小変位アクチュエー
タ４００から中間フレーム２００に加わる。この際、中
間フレーム２００が上記反力によって移動してしまう
と、取付板３００を意図した通りに変位させることがで
きなくなってしまう。このため、小変位アクチュエータ
４００が上下方向に発生可能な最大の力を発生しても、
中間フレーム２００がケース１００に対して静止状態を
維持した状態となっていることが必要である。したがっ
て、中間フレーム２００の外側面２０２Ａとケース１０
０の内側面１０４Ａの互いに接触する箇所に設けられた
２つのすべり材の摩擦抵抗力の所定値は、小変位アクチ
ュエータ４００が前記所定方向に発生可能な最大の力以
上の値に設定されている。なお、大変位アクチュエータ
５００は、上記中間フレーム２００の外側面２０２Ａと
ケース１００の内側面１０４Ａの互いに接触する箇所に
設けられた２つのすべり材に設定された上記所定値の摩
擦抵抗力に抗して中間フレーム２００を上下方向に変位
させるために必要な力を発生することが可能となるよう
に構成されていることはもちろんである。
【００１９】次に、図５を参照して第１実施の形態の除
振機構部８００を被除振体２０に取り付ける際の具体例
について説明する。図５（Ａ）は、除振機構部８００を
１つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の
底部の四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対して空気
ばね３０（特許請求の範囲の弾性支持部材、支持手段に
相当）で支持するように構成し、被除振体２０の底部の
中心箇所に１つの除振機構部８００の取付板３００を取
り付けた例を示している。図５（Ｂ）は、除振機構部８
００を４つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体
２０の底部の四隅近傍の箇所にそれぞれ除振機構部８０
０の取付板３００を取り付けた例を示している。図５
（Ｃ）は、除振機構部８００を３つ使用した例である。
平面視矩形状の被除振体２０の底部の中心箇所を囲む正
三角形の頂点に相当する３箇所にそれぞれ除振機構部８
００の取付板３００を取り付けた例を示している。この
ように、除振機構部８００は、被除振体２０に対して１
個または複数個設けることができ、また、その配置位置
も任意に設定することができる。なお、除振機構部８０
０のみで非除振体２０を支持する場合、すなわち除振機
構部８００以外の支持手段を使用しない場合には、被除
振体２０を安定して支持するために、少なくとも３個の
除振機構部８００によって被除振体２０を支持する必要
がある。
振機構部８００を被除振体２０に取り付ける際の具体例
について説明する。図５（Ａ）は、除振機構部８００を
１つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の
底部の四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対して空気
ばね３０（特許請求の範囲の弾性支持部材、支持手段に
相当）で支持するように構成し、被除振体２０の底部の
中心箇所に１つの除振機構部８００の取付板３００を取
り付けた例を示している。図５（Ｂ）は、除振機構部８
００を４つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体
２０の底部の四隅近傍の箇所にそれぞれ除振機構部８０
０の取付板３００を取り付けた例を示している。図５
（Ｃ）は、除振機構部８００を３つ使用した例である。
平面視矩形状の被除振体２０の底部の中心箇所を囲む正
三角形の頂点に相当する３箇所にそれぞれ除振機構部８
００の取付板３００を取り付けた例を示している。この
ように、除振機構部８００は、被除振体２０に対して１
個または複数個設けることができ、また、その配置位置
も任意に設定することができる。なお、除振機構部８０
０のみで非除振体２０を支持する場合、すなわち除振機
構部８００以外の支持手段を使用しない場合には、被除
振体２０を安定して支持するために、少なくとも３個の
除振機構部８００によって被除振体２０を支持する必要
がある。
【００２０】次に、図６を参照して制御装置部の構成に
ついて説明する。制御装置部９００は、１個の除振機構
部８００に対応して１個設けられており、振動センサア
ンプ９０２、制御装置９０４、アクチュエータ駆動アン
プ９０６、エアアクチュエータ圧力制御装置９０８を備
えている。振動計増幅器９０２は、振動センサ６００か
ら入力される上下方向の加速度を示す検出信号Ｓ１を増
幅するものである。制御装置９０４は、振動センサアン
プ９０２から入力された上下水平方向の加速度を示す検
出信号Ｓ１に基づいて、その振動を被除振体２０から除
去するために必要な小変位アクチュエータ４００と大変
位アクチュエータ５００の駆動量に相当する駆動信号を
演算生成するものである。アクチュエータ駆動アンプ９
０６は、駆動信号を増幅した駆動信号Ｄ１を小変位アク
チュエータ４００に入力して駆動させるように構成され
ている。エアアクチュエータ圧力制御装置９０８は、駆
動信号に基づいてエアアクチュエータ駆動用の空気圧Ｄ
２を制御して供給することによって小変位アクチュエー
タ５００を駆動させるものである。
ついて説明する。制御装置部９００は、１個の除振機構
部８００に対応して１個設けられており、振動センサア
ンプ９０２、制御装置９０４、アクチュエータ駆動アン
プ９０６、エアアクチュエータ圧力制御装置９０８を備
えている。振動計増幅器９０２は、振動センサ６００か
ら入力される上下方向の加速度を示す検出信号Ｓ１を増
幅するものである。制御装置９０４は、振動センサアン
プ９０２から入力された上下水平方向の加速度を示す検
出信号Ｓ１に基づいて、その振動を被除振体２０から除
去するために必要な小変位アクチュエータ４００と大変
位アクチュエータ５００の駆動量に相当する駆動信号を
演算生成するものである。アクチュエータ駆動アンプ９
０６は、駆動信号を増幅した駆動信号Ｄ１を小変位アク
チュエータ４００に入力して駆動させるように構成され
ている。エアアクチュエータ圧力制御装置９０８は、駆
動信号に基づいてエアアクチュエータ駆動用の空気圧Ｄ
２を制御して供給することによって小変位アクチュエー
タ５００を駆動させるものである。
【００２１】次に、作用、効果について説明する。ま
ず、初めに超磁歪アクチュエータとこれに与える予圧縮
力について説明する。一般的に、超磁歪アクチュエータ
においては、その超磁歪アクチュエータに与えられる駆
動信号に対して、この磁歪アクチュエータの変形量（伸
び、縮み）がもっとも大きく、かつ、超磁歪アクチュエ
ータの変形量が線形に変化する状態にすることが超磁歪
アクチュエータの性能を最大限に生かす上で好ましい。
超磁歪アクチュエータでは、これに与える予圧縮力を最
適値に調整することにより、この超磁歪アクチュエータ
を上述した好ましい状態にすることができる。
ず、初めに超磁歪アクチュエータとこれに与える予圧縮
力について説明する。一般的に、超磁歪アクチュエータ
においては、その超磁歪アクチュエータに与えられる駆
動信号に対して、この磁歪アクチュエータの変形量（伸
び、縮み）がもっとも大きく、かつ、超磁歪アクチュエ
ータの変形量が線形に変化する状態にすることが超磁歪
アクチュエータの性能を最大限に生かす上で好ましい。
超磁歪アクチュエータでは、これに与える予圧縮力を最
適値に調整することにより、この超磁歪アクチュエータ
を上述した好ましい状態にすることができる。
【００２２】この第１の実施の形態においては、小変位
アクチュエータ４００を上述した好ましい状態に調整す
ることで次のような利点が生じる。すなわち、小変位ア
クチュエータ４００に与えられる駆動信号に対して、小
変位アクチュエータ４００が取付板３００に与える変位
量がもっとも大きくなるから、より大きな外部振動に対
してその振動を除去することができる。また、小変位ア
クチュエータ４００に与えられる駆動信号に対して、小
変位アクチュエータ４００が取付板３００に与える変位
量が線形に変化するので、小変位アクチュエータ４００
が取付板３００に与える変位量が駆動信号に対して忠実
に発生するので、アクチュエータの駆動制御がより忠実
に行われる。つまり、小変位アクチュエータ４００の予
圧縮力を最適に調整することで、この除振装置の除振能
力が最も優れた状態にすることができる。
アクチュエータ４００を上述した好ましい状態に調整す
ることで次のような利点が生じる。すなわち、小変位ア
クチュエータ４００に与えられる駆動信号に対して、小
変位アクチュエータ４００が取付板３００に与える変位
量がもっとも大きくなるから、より大きな外部振動に対
してその振動を除去することができる。また、小変位ア
クチュエータ４００に与えられる駆動信号に対して、小
変位アクチュエータ４００が取付板３００に与える変位
量が線形に変化するので、小変位アクチュエータ４００
が取付板３００に与える変位量が駆動信号に対して忠実
に発生するので、アクチュエータの駆動制御がより忠実
に行われる。つまり、小変位アクチュエータ４００の予
圧縮力を最適に調整することで、この除振装置の除振能
力が最も優れた状態にすることができる。
【００２３】したがって、小変位アクチュエータ４００
の予圧縮力の調整を行う。この予圧縮力は、アクチュエ
ータを構成する超磁歪アクチュエータが非駆動時に取付
板３００から受ける荷重のことを示している。
の予圧縮力の調整を行う。この予圧縮力は、アクチュエ
ータを構成する超磁歪アクチュエータが非駆動時に取付
板３００から受ける荷重のことを示している。
【００２４】超磁歪アクチュエータの予圧縮力の調整
（磁歪量の最適化）は、所定周波数かつ所定振幅の駆動
信号（例えば正弦波信号）をアクチュエータ４２０に入
力した状態で、最も取付板３００が振動される、すなわ
ち取付板３００の変位が大きくなるように小変位アクチ
ュエータ４００の予圧縮力を調整することによって行わ
れる。小変位アクチュエータ４００の予圧縮力は、調整
ねじ４２０を回転させることで、小変位アクチュエータ
４００にその変位方向と同じ方向で加わる荷重を調整す
ることで容易に調整することができる。
（磁歪量の最適化）は、所定周波数かつ所定振幅の駆動
信号（例えば正弦波信号）をアクチュエータ４２０に入
力した状態で、最も取付板３００が振動される、すなわ
ち取付板３００の変位が大きくなるように小変位アクチ
ュエータ４００の予圧縮力を調整することによって行わ
れる。小変位アクチュエータ４００の予圧縮力は、調整
ねじ４２０を回転させることで、小変位アクチュエータ
４００にその変位方向と同じ方向で加わる荷重を調整す
ることで容易に調整することができる。
【００２５】小変位アクチュエータ４００の予圧縮力調
整が終了すれば、制御装置部９００の電源を投入するこ
とにより、このアクティブ型除振装置１０００が稼動す
る。基礎構造体１０を伝わってきた上下方向の振動がケ
ース１００、大変位アクチュエータ５００、中間フレー
ム２００、小変位アクチュエータ４００を経由して取付
板３００とこれに取付けられた被除振体に伝わりこの被
除振体が振動する。したがって、センサ６００が取付板
３００の振動を示す加速度を検出し、それら加速度を示
す検出信号を振動センサアンプ９０２に入力する。振動
センサアンプ９０２は、制御装置９０４に増幅した検出
信号Ｓ１を入力する。この制御装置９０４は、振動セン
サアンプ９０２から入力された加速度を示す検出信号Ｓ
１に基づいて、その振動を取付板３００に取付けられた
被除振体２０から除去するために必要な小変位アクチュ
エータ４００の駆動量に相当する駆動信号と大変位アク
チュエータ５００の駆動量に相当する駆動信号を演算生
成してアクチュエータ駆動アンプ９０６とエアアクチュ
エータ圧力制御装置９０８に入力する。アクチュエータ
駆動アンプ９０６は、この駆動信号を増幅した駆動信号
Ｄ１を小変位アクチュエータ４００に入力して駆動させ
る。エアアクチュエータ圧力制御装置９０８は、入力し
た駆動信号に基づいてエアアクチュエータ駆動用の空気
圧Ｄ２を制御して供給することによって大変位アクチュ
エータ５００を駆動させる。この結果、除振機構部８０
０によって、取付板３００に取付けられた被除振体の振
動が除去され、被除振体は高度な静止状態を維持する。
整が終了すれば、制御装置部９００の電源を投入するこ
とにより、このアクティブ型除振装置１０００が稼動す
る。基礎構造体１０を伝わってきた上下方向の振動がケ
ース１００、大変位アクチュエータ５００、中間フレー
ム２００、小変位アクチュエータ４００を経由して取付
板３００とこれに取付けられた被除振体に伝わりこの被
除振体が振動する。したがって、センサ６００が取付板
３００の振動を示す加速度を検出し、それら加速度を示
す検出信号を振動センサアンプ９０２に入力する。振動
センサアンプ９０２は、制御装置９０４に増幅した検出
信号Ｓ１を入力する。この制御装置９０４は、振動セン
サアンプ９０２から入力された加速度を示す検出信号Ｓ
１に基づいて、その振動を取付板３００に取付けられた
被除振体２０から除去するために必要な小変位アクチュ
エータ４００の駆動量に相当する駆動信号と大変位アク
チュエータ５００の駆動量に相当する駆動信号を演算生
成してアクチュエータ駆動アンプ９０６とエアアクチュ
エータ圧力制御装置９０８に入力する。アクチュエータ
駆動アンプ９０６は、この駆動信号を増幅した駆動信号
Ｄ１を小変位アクチュエータ４００に入力して駆動させ
る。エアアクチュエータ圧力制御装置９０８は、入力し
た駆動信号に基づいてエアアクチュエータ駆動用の空気
圧Ｄ２を制御して供給することによって大変位アクチュ
エータ５００を駆動させる。この結果、除振機構部８０
０によって、取付板３００に取付けられた被除振体の振
動が除去され、被除振体は高度な静止状態を維持する。
【００２６】なお、超磁歪アクチュエータなどからなる
小変位アクチュエータは、発生する変位量の精度が高い
が発生する変位量が小さく、かつ、発生する変位量の周
波数応答性が高いため、周波数帯域の高い振動を除振す
る能力に優れている。一方、エアアクチュエータなどか
らなる大変位アクチュエータは、発生する変位量の精度
が低いが発生する変位量が大きく、かつ、発生する変位
量の周波数応答性が低いいため、周波数帯域の低い振動
を除振する能力に優れている。したがって、制御装置９
０４は、入力される振動センサ６００の検出信号の周波
数成分に応じて小変位アクチュエータと大変位アクチュ
エータに与える駆動信号をそれぞれ生成することで、低
周波から高周波にわたる振動を被除振体２０から除振す
ることができるようになっている。
小変位アクチュエータは、発生する変位量の精度が高い
が発生する変位量が小さく、かつ、発生する変位量の周
波数応答性が高いため、周波数帯域の高い振動を除振す
る能力に優れている。一方、エアアクチュエータなどか
らなる大変位アクチュエータは、発生する変位量の精度
が低いが発生する変位量が大きく、かつ、発生する変位
量の周波数応答性が低いいため、周波数帯域の低い振動
を除振する能力に優れている。したがって、制御装置９
０４は、入力される振動センサ６００の検出信号の周波
数成分に応じて小変位アクチュエータと大変位アクチュ
エータに与える駆動信号をそれぞれ生成することで、低
周波から高周波にわたる振動を被除振体２０から除振す
ることができるようになっている。
【００２７】低周波から高周波にわたる振動を被除振体
２０から除振することによる利点についてさらに詳細に
説明する。従来のアクティブ型除振装置では、小変位ア
クチュエータを用いていたので、地震による振動に関し
ては、微小地震による小振動は効果的に除振することが
できるものの、例えば震度２以上の大振動が生じると、
その振幅が数ミリから数十ミリに達する。上記微小変位
アクチュエータは、その変位量が微小であるため、大き
な振幅に対応することは難しい。一方、エアアクチュエ
ータやリニアモータなどの変位量が大きな大変位アクチ
ュエータを用いれば、大きな振幅に対応することは可能
であるが応答性が悪いため、振幅が小さくかつ周波数が
高い振動を除振することは難しい。すなわち、微小変位
アクチュエータと大変位アクチュエータは、効果的に除
振し得る振動の振幅と周波数が異なっているため、微小
変位アクチュエータと大変位アクチュエータの何れを用
いても、広い範囲の振動、例えば小振幅から大振幅まで
の振動、あるいは低い周波数から高い周波数までの振動
を良好に抑制することは困難であった。これに対して、
第１の実施の形態では、小変位アクチュエータと大変位
アクチュエータの作用によって、低周波で振幅の大きな
振動から高周波で振幅の小さな振動までを被除振体２０
から除振することが可能となっている。
２０から除振することによる利点についてさらに詳細に
説明する。従来のアクティブ型除振装置では、小変位ア
クチュエータを用いていたので、地震による振動に関し
ては、微小地震による小振動は効果的に除振することが
できるものの、例えば震度２以上の大振動が生じると、
その振幅が数ミリから数十ミリに達する。上記微小変位
アクチュエータは、その変位量が微小であるため、大き
な振幅に対応することは難しい。一方、エアアクチュエ
ータやリニアモータなどの変位量が大きな大変位アクチ
ュエータを用いれば、大きな振幅に対応することは可能
であるが応答性が悪いため、振幅が小さくかつ周波数が
高い振動を除振することは難しい。すなわち、微小変位
アクチュエータと大変位アクチュエータは、効果的に除
振し得る振動の振幅と周波数が異なっているため、微小
変位アクチュエータと大変位アクチュエータの何れを用
いても、広い範囲の振動、例えば小振幅から大振幅まで
の振動、あるいは低い周波数から高い周波数までの振動
を良好に抑制することは困難であった。これに対して、
第１の実施の形態では、小変位アクチュエータと大変位
アクチュエータの作用によって、低周波で振幅の大きな
振動から高周波で振幅の小さな振動までを被除振体２０
から除振することが可能となっている。
【００２８】上述した例では、１個の除振機構部８００
に対応して１個の制御装置部９００を設けた場合、すな
わち各アクティブ除振装置１０００が独立して制御され
るように構成された場合について説明したが、複数個の
除振機構部８００に対応して１個の制御装置部９００を
設けて構成することも可能である。図７は、図５（Ｂ）
に示すように４個の除振機構部８００を設けた場合に、
これら４個の除振機構部８００の制御を１個の制御装置
部９００で行うようにした構成を示している。この場合
には、各除振機構部８００の振動センサ６００から出力
される検出信号Ｓ１１乃至Ｓ１４が制御装置部９００の
振動センサアンプ９０２に入力されるように構成されて
いる。振動センサアンプ９０２は、各検出信号Ｓ１１乃
至Ｓ１４をそれぞれ増幅して制御装置９０４に入力する
ように構成されている。制御装置９０４は、入力された
各検出信号Ｓ１１乃至Ｓ１４に基いてそれぞれ駆動信号
を演算生成してアクチュエータ駆動アンプ９０６とエア
アクチュエータ圧力制御装置９０８に入力する。アクチ
ュエータ駆動アンプ９０６は、入力された各除振機構部
８００に対応する駆動信号に基いて各除振機構部８００
の小変位アクチュエータに入力する駆動信号Ｄ１１乃至
Ｄ１４を生成して各除振機構部８００に入力する。エア
アクチュエータ圧力制御装置９０８は、入力された各除
振機構部８００に対応する駆動信号に基いて各除振機構
部８００の大変位アクチュエータ５００に入力する駆動
信号Ｄ２１乃至Ｄ２４を生成して各除振機構部８００に
入力する。この結果、各除振機構部８００の小変位アク
チュエータ４００と大変位アクチュエータ５００が駆動
され、取付板３００に取付けられた被除振体の振動が除
去され、被除振体は高度な静止状態を維持する。
に対応して１個の制御装置部９００を設けた場合、すな
わち各アクティブ除振装置１０００が独立して制御され
るように構成された場合について説明したが、複数個の
除振機構部８００に対応して１個の制御装置部９００を
設けて構成することも可能である。図７は、図５（Ｂ）
に示すように４個の除振機構部８００を設けた場合に、
これら４個の除振機構部８００の制御を１個の制御装置
部９００で行うようにした構成を示している。この場合
には、各除振機構部８００の振動センサ６００から出力
される検出信号Ｓ１１乃至Ｓ１４が制御装置部９００の
振動センサアンプ９０２に入力されるように構成されて
いる。振動センサアンプ９０２は、各検出信号Ｓ１１乃
至Ｓ１４をそれぞれ増幅して制御装置９０４に入力する
ように構成されている。制御装置９０４は、入力された
各検出信号Ｓ１１乃至Ｓ１４に基いてそれぞれ駆動信号
を演算生成してアクチュエータ駆動アンプ９０６とエア
アクチュエータ圧力制御装置９０８に入力する。アクチ
ュエータ駆動アンプ９０６は、入力された各除振機構部
８００に対応する駆動信号に基いて各除振機構部８００
の小変位アクチュエータに入力する駆動信号Ｄ１１乃至
Ｄ１４を生成して各除振機構部８００に入力する。エア
アクチュエータ圧力制御装置９０８は、入力された各除
振機構部８００に対応する駆動信号に基いて各除振機構
部８００の大変位アクチュエータ５００に入力する駆動
信号Ｄ２１乃至Ｄ２４を生成して各除振機構部８００に
入力する。この結果、各除振機構部８００の小変位アク
チュエータ４００と大変位アクチュエータ５００が駆動
され、取付板３００に取付けられた被除振体の振動が除
去され、被除振体は高度な静止状態を維持する。
【００２９】上述した第１の実施の形態によれば、被除
振体に対して除振機構部を直接取り付けることが可能と
なり、定盤が不要となる。このため、アクティブ型除振
装置の重量が軽くなるとともに、アクティブ型除振装置
によって占有されるスペースが小さくて済む。また、各
除振機構部を被除振体に対して自由に配置することが可
能となるため、設置場所の制限が少ない。また、制御装
置部は、各除振機構部に対して１つずつ設ける構成とし
てもよいし、１つの制御装置部によって複数の除振機構
部を一括して制御する構成とすることも可能であり、制
御装置部の構成が自由に行える。
振体に対して除振機構部を直接取り付けることが可能と
なり、定盤が不要となる。このため、アクティブ型除振
装置の重量が軽くなるとともに、アクティブ型除振装置
によって占有されるスペースが小さくて済む。また、各
除振機構部を被除振体に対して自由に配置することが可
能となるため、設置場所の制限が少ない。また、制御装
置部は、各除振機構部に対して１つずつ設ける構成とし
てもよいし、１つの制御装置部によって複数の除振機構
部を一括して制御する構成とすることも可能であり、制
御装置部の構成が自由に行える。
【００３０】次に、第２の実施の形態について説明す
る。図８は本発明の第２実施の形態における概略構成を
示す縦断面図、図９は図８をＢＢ線断面からみた状態を
示す説明図、図１０は第２の実施の形態のアクティブ型
除振装置の配置を平面から見た状態を示す図であり、
（Ａ）は除振機構部を１つ使用した場合を示す配置図、
（Ｂ）は除振機構部を２つ使用した場合を示す配置図、
（Ｃ）は除振機構部を４つ使用した場合を示す配置図で
ある。図８、図９に示す第２の実施の形態のアクティブ
型除振装置２０００は、水平方向の振動を除振するよう
に構成されている。初めに、図７、図８を参照してアク
ティブ型除振装置２０００の構成について説明する。ア
クティブ型除振装置２０００は、ケース１５０（特許請
求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム２５０、取
付板３５０（特許請求の範囲の取付手段に相当）、小変
位アクチュエータ４５０（特許請求の範囲の変位手段に
相当）、大変位アクチュエータ５５０（特許請求の範囲
の変位手段に相当）、振動センサ６５０（特許請求の範
囲の振動検出手段に相当）、空気ばね７５０（特許請求
の範囲の位置保持手段に相当）などを備えた除振機構部
８５０と図略の制御装置部を備えている。
る。図８は本発明の第２実施の形態における概略構成を
示す縦断面図、図９は図８をＢＢ線断面からみた状態を
示す説明図、図１０は第２の実施の形態のアクティブ型
除振装置の配置を平面から見た状態を示す図であり、
（Ａ）は除振機構部を１つ使用した場合を示す配置図、
（Ｂ）は除振機構部を２つ使用した場合を示す配置図、
（Ｃ）は除振機構部を４つ使用した場合を示す配置図で
ある。図８、図９に示す第２の実施の形態のアクティブ
型除振装置２０００は、水平方向の振動を除振するよう
に構成されている。初めに、図７、図８を参照してアク
ティブ型除振装置２０００の構成について説明する。ア
クティブ型除振装置２０００は、ケース１５０（特許請
求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム２５０、取
付板３５０（特許請求の範囲の取付手段に相当）、小変
位アクチュエータ４５０（特許請求の範囲の変位手段に
相当）、大変位アクチュエータ５５０（特許請求の範囲
の変位手段に相当）、振動センサ６５０（特許請求の範
囲の振動検出手段に相当）、空気ばね７５０（特許請求
の範囲の位置保持手段に相当）などを備えた除振機構部
８５０と図略の制御装置部を備えている。
【００３１】ケース１５０は、平面視長方形状の底壁１
５２とその周縁部から立設された側壁１５４Ａ、１５４
Ｂ、１５４Ｃ、１５４Ｄを備えて構成されている。底壁
１５２は、建物の床などからなる下部構造体（図略）の
上に設けられた基礎構造体１０に固定されるようになっ
ている。側壁のうち、底壁１５２の長手方向の周縁部か
ら立設された２つの側壁１５４Ａ、１５４Ｂと、底壁１
５２の長手方向と直交する方向の周縁部の一方から立設
された１つの側壁１５４Ｃとは同一の高さ位置に上端部
を有し、底壁１５２の長手方向と直交する方向の周縁部
の他方から立設された１つの側壁１５４Ｄの上端部は、
３つの側壁１５４Ａ乃至１５４Ｃの上端部よりも低い高
さ位置となるように構成されている。底壁１５２の上面
１５２Ａと各側壁１５４Ａ乃至１５４Ｄの内側面１５４
Ａ１乃至１５４Ｄ１によって、中間フレーム２５０、小
変位アクチュエータ４５０、大変位アクチュエータ５５
０、空気ばね７５０を収容する収容空間１５８が形成さ
れている。
５２とその周縁部から立設された側壁１５４Ａ、１５４
Ｂ、１５４Ｃ、１５４Ｄを備えて構成されている。底壁
１５２は、建物の床などからなる下部構造体（図略）の
上に設けられた基礎構造体１０に固定されるようになっ
ている。側壁のうち、底壁１５２の長手方向の周縁部か
ら立設された２つの側壁１５４Ａ、１５４Ｂと、底壁１
５２の長手方向と直交する方向の周縁部の一方から立設
された１つの側壁１５４Ｃとは同一の高さ位置に上端部
を有し、底壁１５２の長手方向と直交する方向の周縁部
の他方から立設された１つの側壁１５４Ｄの上端部は、
３つの側壁１５４Ａ乃至１５４Ｃの上端部よりも低い高
さ位置となるように構成されている。底壁１５２の上面
１５２Ａと各側壁１５４Ａ乃至１５４Ｄの内側面１５４
Ａ１乃至１５４Ｄ１によって、中間フレーム２５０、小
変位アクチュエータ４５０、大変位アクチュエータ５５
０、空気ばね７５０を収容する収容空間１５８が形成さ
れている。
【００３２】中間フレーム２５０は、平面視矩形状の底
壁２５２と、ケース１５０の側壁１５４Ｃに面した底壁
２５２の側縁から立設された側壁２５４とを備えて構成
されている。そして、中間フレーム２５０の底壁２５２
の下面２５２Ａ、側壁２５４の対向する２つの側面２５
４Ａ、２５４Ｂは、ケース１５０の底壁１５２の上面１
５２Ａ、側壁１５４Ａの側面１５４Ａ１、側壁１５４Ｂ
の側面１５４Ｂ１によって水平方向に、すなわち、ケー
ス１５０の底壁１５２の長手方向の中心軸に沿って摺動
可能に支持されている。上記下面２５２Ａと上面１５２
Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２５４Ｂと側
面１５４Ｂ１は、それぞれ互いに接触する箇所にすべり
材が設けてあり、これらのすべり材は、上記下面２５２
Ａと上面１５２Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側
面２５４Ｂと側面１５４Ｂ１の互いの間に作用する摩擦
抵抗力（特許請求の範囲の前記中間フレームと前記ベー
ス部との間で発生する摩擦抵抗力に相当）が後述する所
定値となるように構成されている。
壁２５２と、ケース１５０の側壁１５４Ｃに面した底壁
２５２の側縁から立設された側壁２５４とを備えて構成
されている。そして、中間フレーム２５０の底壁２５２
の下面２５２Ａ、側壁２５４の対向する２つの側面２５
４Ａ、２５４Ｂは、ケース１５０の底壁１５２の上面１
５２Ａ、側壁１５４Ａの側面１５４Ａ１、側壁１５４Ｂ
の側面１５４Ｂ１によって水平方向に、すなわち、ケー
ス１５０の底壁１５２の長手方向の中心軸に沿って摺動
可能に支持されている。上記下面２５２Ａと上面１５２
Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２５４Ｂと側
面１５４Ｂ１は、それぞれ互いに接触する箇所にすべり
材が設けてあり、これらのすべり材は、上記下面２５２
Ａと上面１５２Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側
面２５４Ｂと側面１５４Ｂ１の互いの間に作用する摩擦
抵抗力（特許請求の範囲の前記中間フレームと前記ベー
ス部との間で発生する摩擦抵抗力に相当）が後述する所
定値となるように構成されている。
【００３３】小変位アクチュエータ４５０は、中間フレ
ーム２５０の底壁２５２の上面２５２Ｂの箇所に固定さ
れており、中間フレーム２５０の側壁２５４に対する取
付板３５０の位置を水平方向に変位させるように構成さ
れている。すなわち、小変位アクチュエータ４５０は、
第１の実施の形態の小変位アクチュエータ４００と同様
に構成されており、与えられる駆動信号に基づいてケー
ス４５２の長手方向に伸長する歪み（磁歪）を生じる不
図示の超磁歪素子と、この超磁歪素子を収容してこの超
磁歪素子を外部から保護するケース４５２と、この超磁
歪素子に結合されてケース４５２の端部からケース４５
２の長手方向に進退するロッド４５４とを備えている。
小変位アクチュエータ４５０は、軸心方向を水平方向
に、かつ中間フレーム２５０の移動方向と平行方向に向
けて配設されており、そのロッド４５４の先端は、弾性
体４６０を介して後述する取付板３５０の縦板３５４の
小変位アクチュエータ４５０に対面する内側面３５４Ａ
に取付けられている。この弾性体４６０は、小変位アク
チュエータ４５０の変位方向（図８の紙面で示すと左右
方向）に対しては剛く、小変位アクチュエータ４５０の
変位方向と直交する方向（図８の紙面で示すと上下方向
や紙面と直交する方向など）には柔らかい特性を備えた
例えばゴムなどから構成されるものであり、小変位アク
チュエータ４５０に対してその変位方向に作用する力を
そのまま取付板３５０に伝える一方、変位方向と直交す
る方向に作用するせん断力については吸収する作用を果
たしている。また、小変位アクチュエータ４５０のケー
ス４５２の側面は、中間フレーム２５０の底壁２５２の
上面２５２Ｂの長手方向の中心軸に沿った箇所に固定さ
れている。
ーム２５０の底壁２５２の上面２５２Ｂの箇所に固定さ
れており、中間フレーム２５０の側壁２５４に対する取
付板３５０の位置を水平方向に変位させるように構成さ
れている。すなわち、小変位アクチュエータ４５０は、
第１の実施の形態の小変位アクチュエータ４００と同様
に構成されており、与えられる駆動信号に基づいてケー
ス４５２の長手方向に伸長する歪み（磁歪）を生じる不
図示の超磁歪素子と、この超磁歪素子を収容してこの超
磁歪素子を外部から保護するケース４５２と、この超磁
歪素子に結合されてケース４５２の端部からケース４５
２の長手方向に進退するロッド４５４とを備えている。
小変位アクチュエータ４５０は、軸心方向を水平方向
に、かつ中間フレーム２５０の移動方向と平行方向に向
けて配設されており、そのロッド４５４の先端は、弾性
体４６０を介して後述する取付板３５０の縦板３５４の
小変位アクチュエータ４５０に対面する内側面３５４Ａ
に取付けられている。この弾性体４６０は、小変位アク
チュエータ４５０の変位方向（図８の紙面で示すと左右
方向）に対しては剛く、小変位アクチュエータ４５０の
変位方向と直交する方向（図８の紙面で示すと上下方向
や紙面と直交する方向など）には柔らかい特性を備えた
例えばゴムなどから構成されるものであり、小変位アク
チュエータ４５０に対してその変位方向に作用する力を
そのまま取付板３５０に伝える一方、変位方向と直交す
る方向に作用するせん断力については吸収する作用を果
たしている。また、小変位アクチュエータ４５０のケー
ス４５２の側面は、中間フレーム２５０の底壁２５２の
上面２５２Ｂの長手方向の中心軸に沿った箇所に固定さ
れている。
【００３４】取付板３５０は、平面視矩形状を呈する上
板３５２と、上板３５２の周縁部のうち、ケース１５０
の底壁１５２の長手方向と直交する方向に延在する周縁
部の一方から下方に立設されケース１５０の側壁１５４
Ｄと間隔をおいて対面する縦板３５４とを備えている。
上板３５２の上面３５２Ａは、被除振体２０に結合され
ている。被除振体２０は、例えば、振動を除去する対象
である装置であっても、そのような装置が取り付けられ
た定盤であってもよい。一方、上板３５２の縦板３５４
の内側面３５４Ａには前述したように弾性体４６０が取
着されている。振動センサ６５０は、取付板３５０の縦
板３５４の下端部３５４Ｂに取着されており、取付板３
５０における水平方向の加速度を検出するように構成さ
れている。中間フレーム２５０の側壁５２４の小変位ア
クチュエータ４５０に対面する側の側面５２４Ａは、小
変位アクチュエータ４５０の底部が固定されている。
板３５２と、上板３５２の周縁部のうち、ケース１５０
の底壁１５２の長手方向と直交する方向に延在する周縁
部の一方から下方に立設されケース１５０の側壁１５４
Ｄと間隔をおいて対面する縦板３５４とを備えている。
上板３５２の上面３５２Ａは、被除振体２０に結合され
ている。被除振体２０は、例えば、振動を除去する対象
である装置であっても、そのような装置が取り付けられ
た定盤であってもよい。一方、上板３５２の縦板３５４
の内側面３５４Ａには前述したように弾性体４６０が取
着されている。振動センサ６５０は、取付板３５０の縦
板３５４の下端部３５４Ｂに取着されており、取付板３
５０における水平方向の加速度を検出するように構成さ
れている。中間フレーム２５０の側壁５２４の小変位ア
クチュエータ４５０に対面する側の側面５２４Ａは、小
変位アクチュエータ４５０の底部が固定されている。
【００３５】大変位アクチュエータ５５０は、中間フレ
ーム２５０の側壁２５４の側面２５４Ａと反対側の側面
２５４Ｂと、ケース１５０の側壁１５４Ｃの側面１５４
Ｃ１との間に配設されている。大変位アクチュエータ５
５０によって、中間フレーム２５０のケース１５０の側
壁１５４Ｃに対する水平方向の位置が変位するように構
成されている。空気ばね７５０は、ケース１５０の側壁
１５４Ｄの内側面１５４Ｄ１と中間フレーム２５０の底
壁２５２の上記内側面１５４Ｄ１と対面する端面２５２
Ｃとの間に配設されている。この空気ばね７５０の作用
によって、水平方向の振動がない状態においてケース１
５０に対する中間フレーム２５０の水平方向の位置が所
定位置に保持されるように構成されている。
ーム２５０の側壁２５４の側面２５４Ａと反対側の側面
２５４Ｂと、ケース１５０の側壁１５４Ｃの側面１５４
Ｃ１との間に配設されている。大変位アクチュエータ５
５０によって、中間フレーム２５０のケース１５０の側
壁１５４Ｃに対する水平方向の位置が変位するように構
成されている。空気ばね７５０は、ケース１５０の側壁
１５４Ｄの内側面１５４Ｄ１と中間フレーム２５０の底
壁２５２の上記内側面１５４Ｄ１と対面する端面２５２
Ｃとの間に配設されている。この空気ばね７５０の作用
によって、水平方向の振動がない状態においてケース１
５０に対する中間フレーム２５０の水平方向の位置が所
定位置に保持されるように構成されている。
【００３６】ここで、下面２５２Ａと上面１５２Ａ、側
面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２５４Ｂと側面１５
４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられたすべり材の摩
擦抵抗力が設定されている所定値について説明する。中
間フレーム２５０に取り付けられた小変位アクチュエー
タ４５０が水平方向に変位すると、この小変位アクチュ
エータ４５０で発生する力は、取付板３５０を変位させ
る方向の力として取付板３５０に加わるが、これと同時
に取付板３５０に加わるのと反対方向の力（反力）が小
変位アクチュエータ４５０から中間フレーム２５０に加
わる。
面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２５４Ｂと側面１５
４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられたすべり材の摩
擦抵抗力が設定されている所定値について説明する。中
間フレーム２５０に取り付けられた小変位アクチュエー
タ４５０が水平方向に変位すると、この小変位アクチュ
エータ４５０で発生する力は、取付板３５０を変位させ
る方向の力として取付板３５０に加わるが、これと同時
に取付板３５０に加わるのと反対方向の力（反力）が小
変位アクチュエータ４５０から中間フレーム２５０に加
わる。
【００３７】この際、中間フレーム２５０が上記反力に
よって移動してしまうと、取付板３５０を意図した通り
に変位させることができなくなってしまう。このため、
小変位アクチュエータ４５０が上下方向に発生可能な最
大の力を発生しても、中間フレーム２５０がケース１５
０に対して静止状態を維持した状態となっていることが
必要である。したがって、下面２５２Ａと上面１５２
Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２５４Ｂと側
面１５４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられたすべり
材の摩擦抵抗力は、小変位アクチュエータ４５０が水平
方向に発生可能な最大の力以上の値に設定されている。
なお、大変位アクチュエータ５５０は、下面２５２Ａと
上面１５２Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２
５４Ｂと側面１５４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けら
れたすべり材に設定された上記所定値の摩擦抵抗力に抗
して中間フレーム２５０を水平方向に変位させるために
必要な力を発生することが可能となるように構成されて
いることはもちろんである。
よって移動してしまうと、取付板３５０を意図した通り
に変位させることができなくなってしまう。このため、
小変位アクチュエータ４５０が上下方向に発生可能な最
大の力を発生しても、中間フレーム２５０がケース１５
０に対して静止状態を維持した状態となっていることが
必要である。したがって、下面２５２Ａと上面１５２
Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２５４Ｂと側
面１５４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられたすべり
材の摩擦抵抗力は、小変位アクチュエータ４５０が水平
方向に発生可能な最大の力以上の値に設定されている。
なお、大変位アクチュエータ５５０は、下面２５２Ａと
上面１５２Ａ、側面２５４Ａと側面１５４Ａ１、側面２
５４Ｂと側面１５４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けら
れたすべり材に設定された上記所定値の摩擦抵抗力に抗
して中間フレーム２５０を水平方向に変位させるために
必要な力を発生することが可能となるように構成されて
いることはもちろんである。
【００３８】図略の制御装置部は、第１の実施の形態に
おける制御装置部８００と同様の構成であり、相違する
のは除振する振動の方向が水平方向であることだけであ
るため、制御装置部の構成と動作の説明は省略する。
おける制御装置部８００と同様の構成であり、相違する
のは除振する振動の方向が水平方向であることだけであ
るため、制御装置部の構成と動作の説明は省略する。
【００３９】次に、図１０を参照して第２実施の形態の
除振機構部８５０を被除振体２０に取り付ける際の具体
例について説明する。図１０（Ａ）は、除振機構部８５
０を１つ使用して水平方向のうち、１方向の振動を除振
するように構成した例である。平面視矩形状の被除振体
２０の底部の四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対し
て空気ばね３０で支持するように構成し、被除振体２０
の底部の中心箇所に１つの除振機構部８５０の取付板３
５５を取り付けている。なお、図１０（Ａ）乃至（Ｃ）
において、矢印はこの除振機構部８５０によって除振さ
れる水平方向の振動の向きを示している。
除振機構部８５０を被除振体２０に取り付ける際の具体
例について説明する。図１０（Ａ）は、除振機構部８５
０を１つ使用して水平方向のうち、１方向の振動を除振
するように構成した例である。平面視矩形状の被除振体
２０の底部の四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対し
て空気ばね３０で支持するように構成し、被除振体２０
の底部の中心箇所に１つの除振機構部８５０の取付板３
５５を取り付けている。なお、図１０（Ａ）乃至（Ｃ）
において、矢印はこの除振機構部８５０によって除振さ
れる水平方向の振動の向きを示している。
【００４０】図５（Ｂ）は、除振機構部８５０を２つ使
用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底部の
四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対して空気ばね３
０で支持するように構成し、平面視矩形状の被除振体２
０の底部の箇所において２つの除振機構部８５０をそれ
ぞれ互いの除振する方向が直交するように取付板３５５
を取り付けている。このような構成により、被除振体２
０に発生する水平方向の振動（主として並進振動）を２
つの除振機構部８５０の組み合わせによって除振するこ
とができる。
用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底部の
四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対して空気ばね３
０で支持するように構成し、平面視矩形状の被除振体２
０の底部の箇所において２つの除振機構部８５０をそれ
ぞれ互いの除振する方向が直交するように取付板３５５
を取り付けている。このような構成により、被除振体２
０に発生する水平方向の振動（主として並進振動）を２
つの除振機構部８５０の組み合わせによって除振するこ
とができる。
【００４１】図５（Ｃ）は、除振機構部８５０を４つ使
用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底部の
四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対して空気ばね３
０で支持するように構成し、平面視矩形状の被除振体２
０の底部の４つの周縁部近傍の４箇所に、各除振機構部
８５０が除振する方向が被除振体２０の周縁部と平行と
なるように各除振機構部８５０の取付板３５５を取り付
けている。このように各除振機構部８５０を配置するこ
とで、被除振体２０に発生する水平方向の振動を４つの
除振機構部８５０の組み合わせによって除振するととも
に、被除振体２０が水平面内でねじれ方向の振動を受け
た場合であっても除振を行うことができる。このよう
に、除振機構部８５０は、被除振体２０に対して１個ま
たは複数個設けることができ、また、その配置位置も任
意に設定することができる。なお、図１０（Ａ）乃至
（Ｃ）に示した例においては、空気ばね３０によって特
許請求の範囲の弾性支持部材、支持手段が構成されてい
る。
用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底部の
四隅近傍の箇所を図略の基礎構造体に対して空気ばね３
０で支持するように構成し、平面視矩形状の被除振体２
０の底部の４つの周縁部近傍の４箇所に、各除振機構部
８５０が除振する方向が被除振体２０の周縁部と平行と
なるように各除振機構部８５０の取付板３５５を取り付
けている。このように各除振機構部８５０を配置するこ
とで、被除振体２０に発生する水平方向の振動を４つの
除振機構部８５０の組み合わせによって除振するととも
に、被除振体２０が水平面内でねじれ方向の振動を受け
た場合であっても除振を行うことができる。このよう
に、除振機構部８５０は、被除振体２０に対して１個ま
たは複数個設けることができ、また、その配置位置も任
意に設定することができる。なお、図１０（Ａ）乃至
（Ｃ）に示した例においては、空気ばね３０によって特
許請求の範囲の弾性支持部材、支持手段が構成されてい
る。
【００４２】図１１は、第１の実施の形態の除振機構部
８００と第２の実施の形態の除振機構部８５０を組み合
わせることで上下方向と水平方向の振動を除振するよう
に構成した例である。除振機構部８００は３つ使用され
ており、平面視矩形状の被除振体２０の底部の中心箇所
を囲む正三角形の頂点に相当する３箇所にそれぞれ除振
機構部８００の取付板３００が取り付けられている。除
振機構部８５０は３つ使用されており、被除振体２０の
底部の対向する周縁部近傍に周縁部と除振する方向が平
行となるように２つの除振機構部８５０の取付板３５５
が取り付けられ、２つの除振機構部８５０の間の箇所で
これら２つの除振機構部８５０が除振する方向と直交す
る方向の振動を除振するように１つの除振機構部８５０
の取付板３５５が取り付けられている。このように構成
することで、被除振体２０の上下方向の振動が３つの除
振機構部８００の組み合わせによって除振され、かつ、
被除振体２０の水平方向の振動が３つの除振機構部８５
０の組み合わせによって除振される。なお、図１１に示
した例においては、除振機構部８００に設けられている
空気ばね７００によって特許請求の範囲の弾性支持部
材、支持手段が構成されている。
８００と第２の実施の形態の除振機構部８５０を組み合
わせることで上下方向と水平方向の振動を除振するよう
に構成した例である。除振機構部８００は３つ使用され
ており、平面視矩形状の被除振体２０の底部の中心箇所
を囲む正三角形の頂点に相当する３箇所にそれぞれ除振
機構部８００の取付板３００が取り付けられている。除
振機構部８５０は３つ使用されており、被除振体２０の
底部の対向する周縁部近傍に周縁部と除振する方向が平
行となるように２つの除振機構部８５０の取付板３５５
が取り付けられ、２つの除振機構部８５０の間の箇所で
これら２つの除振機構部８５０が除振する方向と直交す
る方向の振動を除振するように１つの除振機構部８５０
の取付板３５５が取り付けられている。このように構成
することで、被除振体２０の上下方向の振動が３つの除
振機構部８００の組み合わせによって除振され、かつ、
被除振体２０の水平方向の振動が３つの除振機構部８５
０の組み合わせによって除振される。なお、図１１に示
した例においては、除振機構部８００に設けられている
空気ばね７００によって特許請求の範囲の弾性支持部
材、支持手段が構成されている。
【００４３】このように、除振機構部８５０は、被除振
体２０に対して１個または複数個設けることができ、ま
た、その配置位置も任意に設定することができる。
体２０に対して１個または複数個設けることができ、ま
た、その配置位置も任意に設定することができる。
【００４４】上述した第２の実施の形態においても、第
１の実施の形態の場合と同様の作用効果を奏することは
もちろんである。また、制御装置部は、各除振機構部に
対して１つずつ設ける構成としてもよいし、１つの制御
装置部によって複数の除振機構を一括して制御する構成
とすることも可能であり、制御装置部の構成が自由に行
えることも第１の実施の形態の場合と同じである。
１の実施の形態の場合と同様の作用効果を奏することは
もちろんである。また、制御装置部は、各除振機構部に
対して１つずつ設ける構成としてもよいし、１つの制御
装置部によって複数の除振機構を一括して制御する構成
とすることも可能であり、制御装置部の構成が自由に行
えることも第１の実施の形態の場合と同じである。
【００４５】次に、第３の実施の形態について説明す
る。図１２は本発明の第３実施の形態における概略構成
を示す平面図、図１３は図１２をＣ１Ｃ１線断面からみ
た状態を示す説明図、図１４は図１２をＣ２Ｃ２線断面
からみた状態を示す説明図、図１５は図１２をＣ３Ｃ３
線断面からみた状態を示す説明図、図１６は第３の実施
の形態のアクティブ型除振装置の配置を平面から見た状
態を示す配置図である。図１２乃至図１５に示す第３の
実施の形態のアクティブ型除振装置３０００は、上下方
向と水平方向の振動を除振するように構成されている。
る。図１２は本発明の第３実施の形態における概略構成
を示す平面図、図１３は図１２をＣ１Ｃ１線断面からみ
た状態を示す説明図、図１４は図１２をＣ２Ｃ２線断面
からみた状態を示す説明図、図１５は図１２をＣ３Ｃ３
線断面からみた状態を示す説明図、図１６は第３の実施
の形態のアクティブ型除振装置の配置を平面から見た状
態を示す配置図である。図１２乃至図１５に示す第３の
実施の形態のアクティブ型除振装置３０００は、上下方
向と水平方向の振動を除振するように構成されている。
【００４６】初めに、図１２乃至図１５を参照してアク
ティブ型除振装置３０００の構成について説明する。ア
クティブ型除振装置３０００は、ケース１１００（特許
請求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム１２０
０、取付板１３００（特許請求の範囲の取付手段に相
当）、小変位アクチュエータ１４００、１４５０（特許
請求の範囲の変位手段に相当）、大変位アクチュエータ
１５００、１５５０（特許請求の範囲の変位手段に相
当）、振動センサ１６００、１６５０（特許請求の範囲
の振動検出手段に相当）、空気ばね１７００（特許請求
の範囲の第２支持部材に相当）、空気ばね１７５０（特
許請求の範囲の位置保持手段に相当）などを備えた除振
機構部８６０と、この除振機構部８６０の制御を行う図
略の制御装置部を備えている。
ティブ型除振装置３０００の構成について説明する。ア
クティブ型除振装置３０００は、ケース１１００（特許
請求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム１２０
０、取付板１３００（特許請求の範囲の取付手段に相
当）、小変位アクチュエータ１４００、１４５０（特許
請求の範囲の変位手段に相当）、大変位アクチュエータ
１５００、１５５０（特許請求の範囲の変位手段に相
当）、振動センサ１６００、１６５０（特許請求の範囲
の振動検出手段に相当）、空気ばね１７００（特許請求
の範囲の第２支持部材に相当）、空気ばね１７５０（特
許請求の範囲の位置保持手段に相当）などを備えた除振
機構部８６０と、この除振機構部８６０の制御を行う図
略の制御装置部を備えている。
【００４７】ケース１１００は、平面視長方形状の底壁
１１０２と、その４つの周縁部から立設された側壁１１
０４Ａ、１１０４Ｂ、１１０４Ｃ、１１０４Ｄを備えて
構成されている。底壁１１０２は、建物の床などからな
る下部構造体（図略）の上に設けられた基礎構造体１０
に固定されるようになっている。底壁１１０２の上面１
１０２Ａと各側壁１１０４Ａ乃至１１０４Ｄの内側面１
１０４Ａ１乃至１１０４Ｄ１によって、中間フレーム１
２００、小変位アクチュエータ１４００、１４５０、大
変位アクチュエータ１５００、１５５０、空気ばね１７
００、１７５０を収容する収容空間１０６０が形成され
ている。
１１０２と、その４つの周縁部から立設された側壁１１
０４Ａ、１１０４Ｂ、１１０４Ｃ、１１０４Ｄを備えて
構成されている。底壁１１０２は、建物の床などからな
る下部構造体（図略）の上に設けられた基礎構造体１０
に固定されるようになっている。底壁１１０２の上面１
１０２Ａと各側壁１１０４Ａ乃至１１０４Ｄの内側面１
１０４Ａ１乃至１１０４Ｄ１によって、中間フレーム１
２００、小変位アクチュエータ１４００、１４５０、大
変位アクチュエータ１５００、１５５０、空気ばね１７
００、１７５０を収容する収容空間１０６０が形成され
ている。
【００４８】中間フレーム１２００は、平面視長方形状
の底壁１２０２と、底壁１２０２の４つの周縁部から立
設された側壁１２０４Ａ、１２０４Ｂ、１２０４Ｃ、１
２０４Ｄと、底壁１２０２の中央部に設けられ小変位ア
クチュエータ１４５０を収容する収容空間を区画する中
間壁部１２０６とを備えて構成されている。中間フレー
ム１２００の側壁１２０４Ａ、１２０４Ｂの外側面１２
０４Ａ１、１２０４Ｂ１は、ケース１１００の側壁１１
０４Ａ、１１０４Ｂの内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ
１によってこれら内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ１の
延在方向に対して、すなわち上下方向と水平方向に摺動
可能に支持されている。上記外側面１２０４Ａ１、１２
０４Ｂ１と内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ１は、それ
ぞれ互いに接触する箇所にすべり材が設けてあり、上記
互いの間に作用する摩擦抵抗力（特許請求の範囲の前記
中間フレームと前記ベース部との間で発生する摩擦抵抗
力に相当）が後述する所定値となるように設定されてい
る。
の底壁１２０２と、底壁１２０２の４つの周縁部から立
設された側壁１２０４Ａ、１２０４Ｂ、１２０４Ｃ、１
２０４Ｄと、底壁１２０２の中央部に設けられ小変位ア
クチュエータ１４５０を収容する収容空間を区画する中
間壁部１２０６とを備えて構成されている。中間フレー
ム１２００の側壁１２０４Ａ、１２０４Ｂの外側面１２
０４Ａ１、１２０４Ｂ１は、ケース１１００の側壁１１
０４Ａ、１１０４Ｂの内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ
１によってこれら内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ１の
延在方向に対して、すなわち上下方向と水平方向に摺動
可能に支持されている。上記外側面１２０４Ａ１、１２
０４Ｂ１と内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ１は、それ
ぞれ互いに接触する箇所にすべり材が設けてあり、上記
互いの間に作用する摩擦抵抗力（特許請求の範囲の前記
中間フレームと前記ベース部との間で発生する摩擦抵抗
力に相当）が後述する所定値となるように設定されてい
る。
【００４９】ケース１１００の底壁１１０２の上面１１
０２Ａと中間フレーム１２００の底壁１２０２の下面１
２０２Ａの間には、上下方向の振動の除振を行う大変位
アクチュエータ１５００が配設されている。ケース１１
００の側壁１２０４Ｃの内側面１２０４Ｃ１と中間フレ
ーム１２００の側壁１２０４Ｃの外側面１２０４Ｃ１と
の間には、水平方向の振動の除振を行う大変位アクチュ
エータ１５５０が配設されている。
０２Ａと中間フレーム１２００の底壁１２０２の下面１
２０２Ａの間には、上下方向の振動の除振を行う大変位
アクチュエータ１５００が配設されている。ケース１１
００の側壁１２０４Ｃの内側面１２０４Ｃ１と中間フレ
ーム１２００の側壁１２０４Ｃの外側面１２０４Ｃ１と
の間には、水平方向の振動の除振を行う大変位アクチュ
エータ１５５０が配設されている。
【００５０】中間フレーム１２００の底壁１２０２に設
けられた中間壁部１２０６は、底壁１２０２の長手方向
と直交する方向の中心軸を間隔をおいて対面する箇所に
前記中心軸と平行方向に延在する２つの側壁１２０６
Ａ、１２０６Ｂと、これら２つの側壁１２０６Ａ、１２
０６Ｂの上端部を接続する上壁１２０６Ｃとを備えてい
る。そして、図１２乃至図１４に示すように、側壁１２
０６Ａ、１２０６Ｂ、上壁１２０６Ｃ、底壁１２０２で
区画された収容空間に水平方向の振動を除振する小変位
アクチュエータ１４５０が配設されている。小変位アク
チュエータ１４５０は、第２の実施の形態の場合と同様
に、軸心方向を水平方向に、かつ中間フレーム１２００
の移動方向と平行方向に向けて配設されており、そのロ
ッド１４５４の先端は、弾性体１４６０を介して取付板
１３００の縦板１３０４の小変位アクチュエータ１４５
０に対面する内側面１３０４Ａに取付けられている。ま
た、小変位アクチュエータ１４５０のケース１４５２の
側面は、中間フレーム１２００の底壁１２０２の上面１
２０２Ｂの箇所に固定されている。
けられた中間壁部１２０６は、底壁１２０２の長手方向
と直交する方向の中心軸を間隔をおいて対面する箇所に
前記中心軸と平行方向に延在する２つの側壁１２０６
Ａ、１２０６Ｂと、これら２つの側壁１２０６Ａ、１２
０６Ｂの上端部を接続する上壁１２０６Ｃとを備えてい
る。そして、図１２乃至図１４に示すように、側壁１２
０６Ａ、１２０６Ｂ、上壁１２０６Ｃ、底壁１２０２で
区画された収容空間に水平方向の振動を除振する小変位
アクチュエータ１４５０が配設されている。小変位アク
チュエータ１４５０は、第２の実施の形態の場合と同様
に、軸心方向を水平方向に、かつ中間フレーム１２００
の移動方向と平行方向に向けて配設されており、そのロ
ッド１４５４の先端は、弾性体１４６０を介して取付板
１３００の縦板１３０４の小変位アクチュエータ１４５
０に対面する内側面１３０４Ａに取付けられている。ま
た、小変位アクチュエータ１４５０のケース１４５２の
側面は、中間フレーム１２００の底壁１２０２の上面１
２０２Ｂの箇所に固定されている。
【００５１】なお、中間フレーム１２００の側壁１２０
４Ｄには開口１２０４Ｄ２が設けられており、ケース１
１００の側壁１１０４Ｄには上記開口１２０４Ｄ２と対
応する箇所に開口１１０４Ｄ２が設けられている。そし
て、小変位アクチュエータ１４５０のロッド１４５４
は、上記開口１２０４Ｄ２と１１０４Ｄ２を介して弾性
体１４６０に接続している。この弾性体１４６０の構成
は、第２の実施の形態における弾性体４６０と同じであ
るためその説明を省略する。
４Ｄには開口１２０４Ｄ２が設けられており、ケース１
１００の側壁１１０４Ｄには上記開口１２０４Ｄ２と対
応する箇所に開口１１０４Ｄ２が設けられている。そし
て、小変位アクチュエータ１４５０のロッド１４５４
は、上記開口１２０４Ｄ２と１１０４Ｄ２を介して弾性
体１４６０に接続している。この弾性体１４６０の構成
は、第２の実施の形態における弾性体４６０と同じであ
るためその説明を省略する。
【００５２】また、中間フレーム１２００の側壁１２０
４Ａ、１２０４Ｃ、１２０４Ｄ、中間壁部１２０６の側
壁１２０６Ａで区画された収容空間と、中間フレーム１
２００の側壁１２０４Ｂ、１２０４Ｃ、１２０４Ｄ、中
間壁部１２０６の側壁１２０６Ｂで区画された収容空間
とには、それぞれ上下方向の振動を除振する小変位アク
チュエータ１４００が配設されている。各小変位アクチ
ュエータ１４００は、軸心方向を上下方向に向けて配設
されており、そのロッド１４０４の上端は、弾性体１４
１０と調整ねじ１４２０を介して取付板３００の上板１
３０２に取付けられている。また、各小変位アクチュエ
ータ１４００のケース１４０２の底面は、中間フレーム
１２００の底壁１２０２の上面１２０２Ｂの箇所に固定
されている。なお、弾性体１４１０は、第１の実施の形
態の弾性体４１０と同様の構成であるためその説明を省
略する。調整ねじ１４２０は、そのねじ部１４２２が取
付板１３００の上板１３０２に設けられた上下方向に延
在して設けられているねじ孔１３０３に螺合され、ねじ
部１４２２に接続された頭部１４２４は、弾性体１４４
０によって回転可能に支持されている。
４Ａ、１２０４Ｃ、１２０４Ｄ、中間壁部１２０６の側
壁１２０６Ａで区画された収容空間と、中間フレーム１
２００の側壁１２０４Ｂ、１２０４Ｃ、１２０４Ｄ、中
間壁部１２０６の側壁１２０６Ｂで区画された収容空間
とには、それぞれ上下方向の振動を除振する小変位アク
チュエータ１４００が配設されている。各小変位アクチ
ュエータ１４００は、軸心方向を上下方向に向けて配設
されており、そのロッド１４０４の上端は、弾性体１４
１０と調整ねじ１４２０を介して取付板３００の上板１
３０２に取付けられている。また、各小変位アクチュエ
ータ１４００のケース１４０２の底面は、中間フレーム
１２００の底壁１２０２の上面１２０２Ｂの箇所に固定
されている。なお、弾性体１４１０は、第１の実施の形
態の弾性体４１０と同様の構成であるためその説明を省
略する。調整ねじ１４２０は、そのねじ部１４２２が取
付板１３００の上板１３０２に設けられた上下方向に延
在して設けられているねじ孔１３０３に螺合され、ねじ
部１４２２に接続された頭部１４２４は、弾性体１４４
０によって回転可能に支持されている。
【００５３】取付板１３００は、平面視矩形状を呈する
上板１３０２と、上板１３０２の周縁部のうち、中間フ
レーム１２００の移動方向と直交する方向に延在する周
縁部の一方から下方に立設されケース１１００の側壁１
１０４Ｄと間隔をおいて対面する縦板１３０４とを備え
ている。上板１３０２の上面上板１３０２Ａは、被除振
体２０に結合されている。被除振体２０は、例えば、振
動を除去する対象である装置であっても、そのような装
置が取り付けられた定盤であってもよい。
上板１３０２と、上板１３０２の周縁部のうち、中間フ
レーム１２００の移動方向と直交する方向に延在する周
縁部の一方から下方に立設されケース１１００の側壁１
１０４Ｄと間隔をおいて対面する縦板１３０４とを備え
ている。上板１３０２の上面上板１３０２Ａは、被除振
体２０に結合されている。被除振体２０は、例えば、振
動を除去する対象である装置であっても、そのような装
置が取り付けられた定盤であってもよい。
【００５４】振動センサ１６００は、取付板１３００の
上板１３０２に取着されており、取付板１３００におけ
る上下方向の加速度を検出するように構成されている。
振動センサ１６５０は、取付板１３００の縦板１３０４
の下端部１３０４Ｂに取着されており、取付板１３００
における水平方向の加速度を検出するように構成されて
いる。
上板１３０２に取着されており、取付板１３００におけ
る上下方向の加速度を検出するように構成されている。
振動センサ１６５０は、取付板１３００の縦板１３０４
の下端部１３０４Ｂに取着されており、取付板１３００
における水平方向の加速度を検出するように構成されて
いる。
【００５５】中間フレーム１２００の４つの側壁１２０
４Ａ乃至１２０４Ｄ、中間壁部１２０６の上壁１２０６
Ｃと、取付板１３００の上板１３０２との間には、平面
視輪状の空気ばね１７００が配設されている。輪状を呈
する各空気ばね１７００は、小変位アクチュエータ１４
００を囲むように配置されている。この空気ばね１７０
０によって取付板１３００と被除振体２０が上下動可能
な状態で中間フレーム１２００に対して支持されてい
る。すなわち、取付板１３００は、空気ばね１７００と
中間フレーム１２００を介して下部構造体１０に対して
上下動および水平動可能に支持されている。また、中間
フレーム１２００の側壁１２０４Ｄの内側面１２０４Ｄ
３と、ケース１１００の側壁１１０４Ｄの内側面１１０
４Ｄ１との間には、平面視輪状の空気ばね１７５０が配
設されている。輪状を呈する空気ばね１７５０は、小変
位アクチュエータ１４５０のロッド１４５４を囲むよう
に配置されている。この空気ばね１７５０の作用によっ
て、水平方向の振動がない場合においてケース１１００
に対する中間フレーム１２００の水平方向の位置が所定
位置に保持されるように構成されている。
４Ａ乃至１２０４Ｄ、中間壁部１２０６の上壁１２０６
Ｃと、取付板１３００の上板１３０２との間には、平面
視輪状の空気ばね１７００が配設されている。輪状を呈
する各空気ばね１７００は、小変位アクチュエータ１４
００を囲むように配置されている。この空気ばね１７０
０によって取付板１３００と被除振体２０が上下動可能
な状態で中間フレーム１２００に対して支持されてい
る。すなわち、取付板１３００は、空気ばね１７００と
中間フレーム１２００を介して下部構造体１０に対して
上下動および水平動可能に支持されている。また、中間
フレーム１２００の側壁１２０４Ｄの内側面１２０４Ｄ
３と、ケース１１００の側壁１１０４Ｄの内側面１１０
４Ｄ１との間には、平面視輪状の空気ばね１７５０が配
設されている。輪状を呈する空気ばね１７５０は、小変
位アクチュエータ１４５０のロッド１４５４を囲むよう
に配置されている。この空気ばね１７５０の作用によっ
て、水平方向の振動がない場合においてケース１１００
に対する中間フレーム１２００の水平方向の位置が所定
位置に保持されるように構成されている。
【００５６】上述の構成によれば、中間フレーム１２０
０は、ケース１１００、空気ばね１７００、１７５０に
よってケース１１００に対して上下方向と水平方向に移
動可能に支持されている。中間フレーム１２００が上下
方向に振動する際には、水平方向の大変位アクチュエー
タ１５５０と水平方向の空気ばね１７５０が上下方向の
力を受けて変形するが、これら大変位アクチュエータ１
５５０と空気ばね１７５０が中間フレーム１２００の上
下方向の移動に対して及ぼす影響は無視できる程度とな
っている。これと逆に、中間フレーム１２００が水平方
向に振動する際には、上下方向の大変位アクチュエータ
１５００と水平方向の空気ばね１７００が水平方向の力
を受けて変形するが、これら大変位アクチュエータ１５
００と空気ばね１７００が中間フレーム１２００の水平
方向の移動に対して及ぼす影響は無視できる程度となっ
ている。
０は、ケース１１００、空気ばね１７００、１７５０に
よってケース１１００に対して上下方向と水平方向に移
動可能に支持されている。中間フレーム１２００が上下
方向に振動する際には、水平方向の大変位アクチュエー
タ１５５０と水平方向の空気ばね１７５０が上下方向の
力を受けて変形するが、これら大変位アクチュエータ１
５５０と空気ばね１７５０が中間フレーム１２００の上
下方向の移動に対して及ぼす影響は無視できる程度とな
っている。これと逆に、中間フレーム１２００が水平方
向に振動する際には、上下方向の大変位アクチュエータ
１５００と水平方向の空気ばね１７００が水平方向の力
を受けて変形するが、これら大変位アクチュエータ１５
００と空気ばね１７００が中間フレーム１２００の水平
方向の移動に対して及ぼす影響は無視できる程度となっ
ている。
【００５７】ここで、中間フレーム１２００の外側面１
２０４Ａ１、１２０４Ｂ１とケース１１００の内側面１
１０４Ａ１、１１０４Ｂ１との互いに接触する箇所に設
けられたすべり材の摩擦抵抗力が設定されている所定値
について説明する。中間フレーム１２００に取り付けら
れた小変位アクチュエータ１４００、１４５０が上下方
向、水平方向に変位すると、この小変位アクチュエータ
１４００１４５０で発生する力は、取付板１３００を変
位させる方向の力として取付板１３００に加わるが、こ
れと同時に取付板１３００に加わるのと反対方向の力
（反力）が小変位アクチュエータ１４００、１４５０か
ら中間フレーム１２００に加わる。
２０４Ａ１、１２０４Ｂ１とケース１１００の内側面１
１０４Ａ１、１１０４Ｂ１との互いに接触する箇所に設
けられたすべり材の摩擦抵抗力が設定されている所定値
について説明する。中間フレーム１２００に取り付けら
れた小変位アクチュエータ１４００、１４５０が上下方
向、水平方向に変位すると、この小変位アクチュエータ
１４００１４５０で発生する力は、取付板１３００を変
位させる方向の力として取付板１３００に加わるが、こ
れと同時に取付板１３００に加わるのと反対方向の力
（反力）が小変位アクチュエータ１４００、１４５０か
ら中間フレーム１２００に加わる。
【００５８】この際、中間フレーム１２００が上記反力
によって移動してしまうと、取付板１３００を意図した
通りに変位させることができなくなってしまう。このた
め、小変位アクチュエータ１４００、１４５０が上下方
向、水平方向に発生可能な最大の力を発生しても、中間
フレーム１２００がケース１１００に対して静止状態を
維持した状態となっていることが必要である。したがっ
て、中間フレーム１２００の外側面１２０４Ａ１、１２
０４Ｂ１とケース１１００の内側面１１０４Ａ１、１１
０４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられたすべり材の
摩擦抵抗力は、小変位アクチュエータ１４００、１４５
０が上下方向、水平方向に発生可能な最大の力以上の値
に設定されている。なお、大変位アクチュエータ１５０
０、１５５０は、中間フレーム１２００の外側面１２０
４Ａ１、１２０４Ｂ１とケース１１００の内側面１１０
４Ａ１、１１０４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられ
たすべり材に設定された上記所定値の摩擦抵抗力に抗し
て中間フレーム１２００を上下方向、水平方向に変位さ
せるために必要な力を発生することが可能となるように
構成されていることはもちろんである。
によって移動してしまうと、取付板１３００を意図した
通りに変位させることができなくなってしまう。このた
め、小変位アクチュエータ１４００、１４５０が上下方
向、水平方向に発生可能な最大の力を発生しても、中間
フレーム１２００がケース１１００に対して静止状態を
維持した状態となっていることが必要である。したがっ
て、中間フレーム１２００の外側面１２０４Ａ１、１２
０４Ｂ１とケース１１００の内側面１１０４Ａ１、１１
０４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられたすべり材の
摩擦抵抗力は、小変位アクチュエータ１４００、１４５
０が上下方向、水平方向に発生可能な最大の力以上の値
に設定されている。なお、大変位アクチュエータ１５０
０、１５５０は、中間フレーム１２００の外側面１２０
４Ａ１、１２０４Ｂ１とケース１１００の内側面１１０
４Ａ１、１１０４Ｂ１の互いに接触する箇所に設けられ
たすべり材に設定された上記所定値の摩擦抵抗力に抗し
て中間フレーム１２００を上下方向、水平方向に変位さ
せるために必要な力を発生することが可能となるように
構成されていることはもちろんである。
【００５９】図略の制御装置部は、第１、第２の実施の
形態における制御装置部と同様の構成であり、相違する
のは除振する振動の方向が上下方向と水平方向の双方で
あることだけである。したがって、振動センサ１６０
０、１６５０は、振動の上下方向と水平方向に対応して
それぞれの検出信号を制御装置部に入力する。そして、
制御装置部は、入力された上下方向と水平方向の検出信
号に基いて、上下方向と水平方向の小変位アクチュエー
タを駆動する駆動信号を生成して各小変位アクチュエー
タに入力するように構成され、上下方向と水平方向の大
変位アクチュエータを駆動する空気圧を生成して各大変
位アクチュエータに入力するように構成されている。制
御装置部の構成と動作は、第１の実施の形態と同様であ
るため説明は省略する。また、上下方向の小変位アクチ
ュエータ１４００における調整ねじ１４２０を用いた予
圧縮力の調整手順は第１の実施の形態の場合と同様であ
るため、その説明は省略する。
形態における制御装置部と同様の構成であり、相違する
のは除振する振動の方向が上下方向と水平方向の双方で
あることだけである。したがって、振動センサ１６０
０、１６５０は、振動の上下方向と水平方向に対応して
それぞれの検出信号を制御装置部に入力する。そして、
制御装置部は、入力された上下方向と水平方向の検出信
号に基いて、上下方向と水平方向の小変位アクチュエー
タを駆動する駆動信号を生成して各小変位アクチュエー
タに入力するように構成され、上下方向と水平方向の大
変位アクチュエータを駆動する空気圧を生成して各大変
位アクチュエータに入力するように構成されている。制
御装置部の構成と動作は、第１の実施の形態と同様であ
るため説明は省略する。また、上下方向の小変位アクチ
ュエータ１４００における調整ねじ１４２０を用いた予
圧縮力の調整手順は第１の実施の形態の場合と同様であ
るため、その説明は省略する。
【００６０】次に、図１６を参照して第３実施の形態の
除振機構部８６０を被除振体２０に取り付ける際の具体
例について説明する。図１６（Ａ）は、除振機構部８０
０を３つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体２
０の底部の中心箇所を囲む正三角形の頂点に相当する３
箇所にそれぞれ除振機構部８６０の取付板１３００が取
り付けられている。除振機構部８６０は３つ使用されて
おり、被除振体２０の底部の対向する周縁部近傍に周縁
部と除振する方向が平行となるように２つの除振機構部
８６０の取付板１３００が取り付けられ、２つの除振機
構部８６０の間の箇所でこれら２つの除振機構部８６０
が除振する方向と直交する方向の振動を除振するように
１つの除振機構部８６０の取付板１３００が取り付けら
れている。そして、図中矢印で示したのは各除振機構部
８６０が除振する水平方向の向きを示している。このよ
うに構成することで、被除振体２０の上下方向と水平方
向の振動が３つの除振機構部８６０の組み合わせによっ
て除振されれる。
除振機構部８６０を被除振体２０に取り付ける際の具体
例について説明する。図１６（Ａ）は、除振機構部８０
０を３つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体２
０の底部の中心箇所を囲む正三角形の頂点に相当する３
箇所にそれぞれ除振機構部８６０の取付板１３００が取
り付けられている。除振機構部８６０は３つ使用されて
おり、被除振体２０の底部の対向する周縁部近傍に周縁
部と除振する方向が平行となるように２つの除振機構部
８６０の取付板１３００が取り付けられ、２つの除振機
構部８６０の間の箇所でこれら２つの除振機構部８６０
が除振する方向と直交する方向の振動を除振するように
１つの除振機構部８６０の取付板１３００が取り付けら
れている。そして、図中矢印で示したのは各除振機構部
８６０が除振する水平方向の向きを示している。このよ
うに構成することで、被除振体２０の上下方向と水平方
向の振動が３つの除振機構部８６０の組み合わせによっ
て除振されれる。
【００６１】図１６（Ｂ）は、除振機構部８６０を４つ
使用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底部
の四隅近傍の箇所に、各除振機構部８６０を設けてい
る。各除振機構部８６０が除振する方向は、隣合う除振
機構部８６０が除振する方向が互いに直交する方向とな
るように、各除振機構部８６０の取付板１３００を被除
振体２０に取り付けている。このように各除振機構部８
６０を配置することで、被除振体２０に発生する水平方
向の振動を４つの除振機構部８６０の組み合わせによっ
て除振することができる。
使用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底部
の四隅近傍の箇所に、各除振機構部８６０を設けてい
る。各除振機構部８６０が除振する方向は、隣合う除振
機構部８６０が除振する方向が互いに直交する方向とな
るように、各除振機構部８６０の取付板１３００を被除
振体２０に取り付けている。このように各除振機構部８
６０を配置することで、被除振体２０に発生する水平方
向の振動を４つの除振機構部８６０の組み合わせによっ
て除振することができる。
【００６２】このように、除振機構部８６０は、被除振
体２０に対して１個または複数個設けることができ、ま
た、その配置位置も任意に設定することができる。
体２０に対して１個または複数個設けることができ、ま
た、その配置位置も任意に設定することができる。
【００６３】上述した第３の実施の形態によれば、第１
の実施の形態の場合と同様の作用効果を奏することはも
ちろんである。また、制御装置部は、各除振機構部に対
して１つずつ設ける構成としてもよいし、１つの制御装
置部によって複数の除振機構を一括して制御する構成と
することも可能であり、制御装置部の構成が自由に行え
ることも第１の実施の形態の場合と同じである。
の実施の形態の場合と同様の作用効果を奏することはも
ちろんである。また、制御装置部は、各除振機構部に対
して１つずつ設ける構成としてもよいし、１つの制御装
置部によって複数の除振機構を一括して制御する構成と
することも可能であり、制御装置部の構成が自由に行え
ることも第１の実施の形態の場合と同じである。
【００６４】次に、第４の実施の形態について説明す
る。図１７は本発明の第４の実施の形態における概略構
成を示す縦断面図、図１８は図１７を矢印Ｄ方向からみ
た状態を示す説明図、図１９は第４の実施の形態のアク
ティブ型除振装置の配置を平面から見た状態を示す配置
図である。図１７乃至図１９に示す第４の実施の形態の
アクティブ型除振装置４０００は、上下方向と水平方向
の微振動を除振するように構成されている。
る。図１７は本発明の第４の実施の形態における概略構
成を示す縦断面図、図１８は図１７を矢印Ｄ方向からみ
た状態を示す説明図、図１９は第４の実施の形態のアク
ティブ型除振装置の配置を平面から見た状態を示す配置
図である。図１７乃至図１９に示す第４の実施の形態の
アクティブ型除振装置４０００は、上下方向と水平方向
の微振動を除振するように構成されている。
【００６５】アクティブ型除振装置３０００は、ベース
部２１００、取付板２３００（特許請求の範囲の取付手
段に相当）、小変位アクチュエータ２４００、２４５０
（特許請求の範囲の変位手段に相当）、振動センサ２６
００、２６５０（特許請求の範囲の振動検出手段に相
当）、空気ばね２７００（特許請求の範囲の第１支持部
材に相当）などを備えた除振機構部８７０と、この除振
機構部８７０の制御を行う図略の制御装置部を備えてい
る。
部２１００、取付板２３００（特許請求の範囲の取付手
段に相当）、小変位アクチュエータ２４００、２４５０
（特許請求の範囲の変位手段に相当）、振動センサ２６
００、２６５０（特許請求の範囲の振動検出手段に相
当）、空気ばね２７００（特許請求の範囲の第１支持部
材に相当）などを備えた除振機構部８７０と、この除振
機構部８７０の制御を行う図略の制御装置部を備えてい
る。
【００６６】ベース部２１００は、平面視矩形状を呈す
る上面２１０２と、この上面２１０２の周縁部に接続し
た４つの側面２１０４Ａ、２１０４Ｂ、２１０４Ｃ、２
１０４Ｄと、上記上面２１０２と対向する底面２１０６
とを有して構成されている。底面２１０６は、建物の床
などからなる下部構造体（図略）の上に設けられた基礎
構造体１０に固定されるようになっている。
る上面２１０２と、この上面２１０２の周縁部に接続し
た４つの側面２１０４Ａ、２１０４Ｂ、２１０４Ｃ、２
１０４Ｄと、上記上面２１０２と対向する底面２１０６
とを有して構成されている。底面２１０６は、建物の床
などからなる下部構造体（図略）の上に設けられた基礎
構造体１０に固定されるようになっている。
【００６７】取付板２３００は、平面視矩形状を呈する
上板２３０２と、上板２３０２の周縁部の１つから下方
に立設されベース部２１００の側面２１０４Ｄと間隔を
おいて対面する縦板２３０４とを備えている。取付板２
３００は、上板２３０２の上面２３０２Ａが被除振体２
０に結合されている。上板２３０２の上面２３０２Ａ側
の四隅近傍の箇所には、取り付け用の４つねじ孔２３０
２Ｂが設けられており、被除振体２０を貫通した図略の
ねじがこれら４つのねじ孔２３０２Ｂに螺合されること
で、被除振体２０に取付板２３００が取り付けられるよ
うになっている。被除振体２０は、例えば、振動を除去
する対象である装置であっても、そのような装置が取り
付けられた定盤であってもよい。
上板２３０２と、上板２３０２の周縁部の１つから下方
に立設されベース部２１００の側面２１０４Ｄと間隔を
おいて対面する縦板２３０４とを備えている。取付板２
３００は、上板２３０２の上面２３０２Ａが被除振体２
０に結合されている。上板２３０２の上面２３０２Ａ側
の四隅近傍の箇所には、取り付け用の４つねじ孔２３０
２Ｂが設けられており、被除振体２０を貫通した図略の
ねじがこれら４つのねじ孔２３０２Ｂに螺合されること
で、被除振体２０に取付板２３００が取り付けられるよ
うになっている。被除振体２０は、例えば、振動を除去
する対象である装置であっても、そのような装置が取り
付けられた定盤であってもよい。
【００６８】振動センサ２６００は、取付板２３００の
上板２３０２に取着されており、取付板２３００におけ
る上下方向の加速度を検出するように構成されている。
また、振動センサ２６５０は、取付板２３００の上板２
３０２に取着されており、取付板２３００における水平
方向の加速度を検出するように構成されている。
上板２３０２に取着されており、取付板２３００におけ
る上下方向の加速度を検出するように構成されている。
また、振動センサ２６５０は、取付板２３００の上板２
３０２に取着されており、取付板２３００における水平
方向の加速度を検出するように構成されている。
【００６９】ベース部２１００には、上面２１０２の中
央位置に小変位アクチュエータ２４００を収容する収容
部２１０８が上下方向に延在して設けられている。収容
部２１０８に底部には、底面２１０６よりも上方の箇所
において水平方向に延在する底壁２１０８Ａが設けられ
ている。この底壁２１０８Ａには、収容部２１０８の中
心軸と同軸上にねじ孔２１０８Ｂが設けられており、こ
のねじ孔２１０８Ｂには、調整ねじ２４０６のねじ部２
４０６Ａが螺合されている。調整ねじ２４０６のねじ部
２４０６Ａの先端が小変位アクチュエータ２４００のケ
ース２４０２の底部に当接した状態となるように構成さ
れ、調整ねじ２４０６の頭部２４０６Ｂを回転して小変
位アクチュエータ２４００の上下方向の位置を変位させ
ることで予圧縮力を調整できるように構成されている。
小変位アクチュエータ２４００のロッド２４０４は、弾
性体２４０８を介して取付板２３００の上板２３０２に
取付られている。この弾性体２４０８は、小変位アクチ
ュエータ２４００の変位方向（上下方向）に対しては剛
く、小変位アクチュエータ２４００の変位方向と直交す
る方向（水平方向）には柔らかい特性を備えた例えばゴ
ムなどから構成されるものであり、小変位アクチュエー
タ２４００に対してその変位方向に作用する力をそのま
ま取付板２３００に伝える一方、変位方向と直交する方
向に作用するせん断力とせん断方向の小振動については
吸収する作用を果たしている。
央位置に小変位アクチュエータ２４００を収容する収容
部２１０８が上下方向に延在して設けられている。収容
部２１０８に底部には、底面２１０６よりも上方の箇所
において水平方向に延在する底壁２１０８Ａが設けられ
ている。この底壁２１０８Ａには、収容部２１０８の中
心軸と同軸上にねじ孔２１０８Ｂが設けられており、こ
のねじ孔２１０８Ｂには、調整ねじ２４０６のねじ部２
４０６Ａが螺合されている。調整ねじ２４０６のねじ部
２４０６Ａの先端が小変位アクチュエータ２４００のケ
ース２４０２の底部に当接した状態となるように構成さ
れ、調整ねじ２４０６の頭部２４０６Ｂを回転して小変
位アクチュエータ２４００の上下方向の位置を変位させ
ることで予圧縮力を調整できるように構成されている。
小変位アクチュエータ２４００のロッド２４０４は、弾
性体２４０８を介して取付板２３００の上板２３０２に
取付られている。この弾性体２４０８は、小変位アクチ
ュエータ２４００の変位方向（上下方向）に対しては剛
く、小変位アクチュエータ２４００の変位方向と直交す
る方向（水平方向）には柔らかい特性を備えた例えばゴ
ムなどから構成されるものであり、小変位アクチュエー
タ２４００に対してその変位方向に作用する力をそのま
ま取付板２３００に伝える一方、変位方向と直交する方
向に作用するせん断力とせん断方向の小振動については
吸収する作用を果たしている。
【００７０】また、ベース部２１００の側面２１０４Ｄ
には、水平方向の中心で高さ方向が上面２１０２寄りの
箇所に小変位アクチュエータ２４５０を収容する収容部
２１１０が側面２１０４Ｄと直交する方向（水平方向）
に延在して設けられている。収容部２１１０に対面する
取付板２３００の縦板２３０４の箇所には、収容部２１
１０の中心軸と同軸上にねじ孔２３０４Ａが設けられて
おり、このねじ孔２３０４Ａには、調整ねじ２４５６の
ねじ部２４５６Ａが螺合されている。調整ねじ２４５６
は、そのねじ部２４５６Ａの先端が弾性体２４５８を介
して小変位アクチュエータ２４５０のロッド２４５４に
当接した状態となるように構成され、調整ねじ２４５６
の頭部２４５６Ｂを回転して小変位アクチュエータ２４
５０の予圧縮力を調整できるように構成されている。
には、水平方向の中心で高さ方向が上面２１０２寄りの
箇所に小変位アクチュエータ２４５０を収容する収容部
２１１０が側面２１０４Ｄと直交する方向（水平方向）
に延在して設けられている。収容部２１１０に対面する
取付板２３００の縦板２３０４の箇所には、収容部２１
１０の中心軸と同軸上にねじ孔２３０４Ａが設けられて
おり、このねじ孔２３０４Ａには、調整ねじ２４５６の
ねじ部２４５６Ａが螺合されている。調整ねじ２４５６
は、そのねじ部２４５６Ａの先端が弾性体２４５８を介
して小変位アクチュエータ２４５０のロッド２４５４に
当接した状態となるように構成され、調整ねじ２４５６
の頭部２４５６Ｂを回転して小変位アクチュエータ２４
５０の予圧縮力を調整できるように構成されている。
【００７１】すなわち、小変位アクチュエータ２４５０
のロッド２４５４は、弾性体２４５８を介して取付板２
３００の縦板２３０４に取付られている。この弾性体２
４５８は、小変位アクチュエータ２４５０の変位方向
（水平方向）に対しては剛く、小変位アクチュエータ２
４５０の変位方向と直交する方向（上下方向）には柔ら
かい特性を備えた例えばゴムなどから構成されるもので
あり、小変位アクチュエータ２４５０に対してその変位
方向に作用する力をそのまま取付板２３００に伝える一
方、変位方向と直交する方向に作用するせん断力とせん
断方向の小振動については吸収する作用を果たしてい
る。
のロッド２４５４は、弾性体２４５８を介して取付板２
３００の縦板２３０４に取付られている。この弾性体２
４５８は、小変位アクチュエータ２４５０の変位方向
（水平方向）に対しては剛く、小変位アクチュエータ２
４５０の変位方向と直交する方向（上下方向）には柔ら
かい特性を備えた例えばゴムなどから構成されるもので
あり、小変位アクチュエータ２４５０に対してその変位
方向に作用する力をそのまま取付板２３００に伝える一
方、変位方向と直交する方向に作用するせん断力とせん
断方向の小振動については吸収する作用を果たしてい
る。
【００７２】ベース部２１００の上面２１０２と取付板
２３００の上板２３０２の間には、平面視輪状の空気ば
ね２７００が配設されている。輪状を呈する空気ばね２
７００は、小変位アクチュエータ２４００を囲むように
配置されている。この空気ばね２７００によって取付板
２３００と被除振体２０がベース部２１００に対して上
下動および水平動可能な状態で支持されている。
２３００の上板２３０２の間には、平面視輪状の空気ば
ね２７００が配設されている。輪状を呈する空気ばね２
７００は、小変位アクチュエータ２４００を囲むように
配置されている。この空気ばね２７００によって取付板
２３００と被除振体２０がベース部２１００に対して上
下動および水平動可能な状態で支持されている。
【００７３】図略の制御装置部は、第１、第２の実施の
形態における制御装置部と同様の構成であり、相違する
のは除振する振動の方向が上下方向と水平方向の双方で
あることと、除振動作を行うのが小変位アクチュエータ
のみであることである。したがって、振動センサ２６０
０、２６５０は、振動の上下方向と水平方向に対応して
それぞれの検出信号を制御装置部に入力するように構成
されている。そして、制御装置部は、入力された上下方
向と水平方向の検出信号に基いて、上下方向と水平方向
の小変位アクチュエータを駆動する駆動信号を生成して
各小変位アクチュエータに入力するように構成されてい
る。制御装置部は、小変位アクチュエータの制御のみを
行うことが第１の実施の形態と異なるだけで、他の動作
は第１の実施の形態と同様であるため説明は省略する。
また、小変位アクチュエータ２４００、２４５０におけ
る調整ねじ２４０６、２４５６を用いた予圧縮力の調整
手順は第１の実施の形態の場合と同様であるため、その
説明は省略する。
形態における制御装置部と同様の構成であり、相違する
のは除振する振動の方向が上下方向と水平方向の双方で
あることと、除振動作を行うのが小変位アクチュエータ
のみであることである。したがって、振動センサ２６０
０、２６５０は、振動の上下方向と水平方向に対応して
それぞれの検出信号を制御装置部に入力するように構成
されている。そして、制御装置部は、入力された上下方
向と水平方向の検出信号に基いて、上下方向と水平方向
の小変位アクチュエータを駆動する駆動信号を生成して
各小変位アクチュエータに入力するように構成されてい
る。制御装置部は、小変位アクチュエータの制御のみを
行うことが第１の実施の形態と異なるだけで、他の動作
は第１の実施の形態と同様であるため説明は省略する。
また、小変位アクチュエータ２４００、２４５０におけ
る調整ねじ２４０６、２４５６を用いた予圧縮力の調整
手順は第１の実施の形態の場合と同様であるため、その
説明は省略する。
【００７４】次に、図１９を参照して第４実施の形態の
除振機構部８７０を被除振体２０に取り付ける際の具体
例について説明する。図１９は、除振機構部８７０を４
つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底
部の四隅近傍の箇所に、各除振機構部８７０の取付板２
３００を取り付ける。各除振機構部８７０が除振する水
平方向の向きは、隣合う除振機構部８７０が除振する方
向が互いに直交するように、各除振機構部８７０の取付
板２３００を被除振体２０に取り付けている。このよう
に各除振機構部８７０を配置することで、被除振体２０
に発生する上下方向と水平方向の振動を４つの除振機構
部８７０の組み合わせによって除振することができる。
なお、被除振体２０に取り付ける除振機構部８７０の個
数と除振機構部８７０の配置は、第１乃至第３の実施の
形態の場合と同様に任意に設定することができることは
もちろんである。
除振機構部８７０を被除振体２０に取り付ける際の具体
例について説明する。図１９は、除振機構部８７０を４
つ使用した例である。平面視矩形状の被除振体２０の底
部の四隅近傍の箇所に、各除振機構部８７０の取付板２
３００を取り付ける。各除振機構部８７０が除振する水
平方向の向きは、隣合う除振機構部８７０が除振する方
向が互いに直交するように、各除振機構部８７０の取付
板２３００を被除振体２０に取り付けている。このよう
に各除振機構部８７０を配置することで、被除振体２０
に発生する上下方向と水平方向の振動を４つの除振機構
部８７０の組み合わせによって除振することができる。
なお、被除振体２０に取り付ける除振機構部８７０の個
数と除振機構部８７０の配置は、第１乃至第３の実施の
形態の場合と同様に任意に設定することができることは
もちろんである。
【００７５】上述した第４の実施の形態によれば、大変
位アクチュエータによる振幅の大きな振動の除去を行う
ことができない点を除き、第１の実施の形態の場合と同
様の作用効果を奏することはもちろんである。また、制
御装置部は、各除振機構部に対して１つずつ設ける構成
としてもよいし、１つの制御装置部によって複数の除振
機構を一括して制御する構成とすることも可能であり、
制御装置部の構成が自由に行えることも第１の実施の形
態の場合と同じである。
位アクチュエータによる振幅の大きな振動の除去を行う
ことができない点を除き、第１の実施の形態の場合と同
様の作用効果を奏することはもちろんである。また、制
御装置部は、各除振機構部に対して１つずつ設ける構成
としてもよいし、１つの制御装置部によって複数の除振
機構を一括して制御する構成とすることも可能であり、
制御装置部の構成が自由に行えることも第１の実施の形
態の場合と同じである。
【００７６】ところで、上述した第１乃至第３の実施の
形態では、ベース部を構成するケースによって中間フレ
ームを摺動可能に設け、中間フレームとケースが互いに
接触する箇所で発生する摩擦抵抗力を所定値に設定する
ことで、小変位アクチュエータから取付板に意図した変
位量を確実に与えることを可能とした。しかしながら、
中間フレームとケースが互いに接触しない構成とすると
共に、中間フレームの重量を所定値に設定することで、
小変位アクチュエータから取付板に意図した変位量を確
実に与えることを可能とすることもできる。以下では、
このような構成を採用した第５乃至第７の実施の形態を
説明する。なお、第５乃至第７の実施の形態は、概ね前
述した第１乃至第３の実施の形態とそれぞれ同様の構成
となっているため、同一の構成要素には同一の符号を付
してその説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。
形態では、ベース部を構成するケースによって中間フレ
ームを摺動可能に設け、中間フレームとケースが互いに
接触する箇所で発生する摩擦抵抗力を所定値に設定する
ことで、小変位アクチュエータから取付板に意図した変
位量を確実に与えることを可能とした。しかしながら、
中間フレームとケースが互いに接触しない構成とすると
共に、中間フレームの重量を所定値に設定することで、
小変位アクチュエータから取付板に意図した変位量を確
実に与えることを可能とすることもできる。以下では、
このような構成を採用した第５乃至第７の実施の形態を
説明する。なお、第５乃至第７の実施の形態は、概ね前
述した第１乃至第３の実施の形態とそれぞれ同様の構成
となっているため、同一の構成要素には同一の符号を付
してその説明を省略し、異なる部分を中心に説明する。
【００７７】図２０は本発明のアクティブ型除振装置の
第５の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
２１は図２０の水平断面図であり、図２１（Ａ）は図２
０をＤ１Ｄ１線断面からみた状態を示す説明図、図２１
（Ｂ）は図２０をＤ２Ｄ２線断面からみた状態を示す説
明図、図２１（Ｃ）は図２０をＤ３Ｄ３線断面からみた
状態を示す説明図、図２１（Ｄ）は図２０をＤ４Ｄ４線
断面からみた状態を示す説明図である。第５の実施の形
態においても第１の実施の形態と同様に、アクティブ型
除振装置４０００は、ケース１００（特許請求の範囲の
ベース部に相当）、中間フレーム２００、取付板３００
（特許請求の範囲の取付手段に相当）、小変位アクチュ
エータ４００（特許請求の範囲の変位手段に相当）、大
変位アクチュエータ５００（特許請求の範囲の変位手段
に相当）、振動センサ６００（特許請求の範囲の振動検
出手段に相当）、空気ばね７００（特許請求の範囲の第
２支持部材に相当）などを備えた除振機構部８８０と、
この除振機構部８８０の制御を行う図略の制御装置部と
を備えている。
第５の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
２１は図２０の水平断面図であり、図２１（Ａ）は図２
０をＤ１Ｄ１線断面からみた状態を示す説明図、図２１
（Ｂ）は図２０をＤ２Ｄ２線断面からみた状態を示す説
明図、図２１（Ｃ）は図２０をＤ３Ｄ３線断面からみた
状態を示す説明図、図２１（Ｄ）は図２０をＤ４Ｄ４線
断面からみた状態を示す説明図である。第５の実施の形
態においても第１の実施の形態と同様に、アクティブ型
除振装置４０００は、ケース１００（特許請求の範囲の
ベース部に相当）、中間フレーム２００、取付板３００
（特許請求の範囲の取付手段に相当）、小変位アクチュ
エータ４００（特許請求の範囲の変位手段に相当）、大
変位アクチュエータ５００（特許請求の範囲の変位手段
に相当）、振動センサ６００（特許請求の範囲の振動検
出手段に相当）、空気ばね７００（特許請求の範囲の第
２支持部材に相当）などを備えた除振機構部８８０と、
この除振機構部８８０の制御を行う図略の制御装置部と
を備えている。
【００７８】中間フレーム３２００は、円盤状の側壁３
２０２と、その周縁部から立設された円筒状の側壁３２
０４と、側壁３２０４の上端部から水平方向に延在する
円環状のフランジ壁３２０６とから構成されている。図
２０と図２１（Ｃ）に示されているように、中間フレー
ム３２００の側壁３２０２の外側面３２０２Ａと、ケー
ス１００の内側面１０４Ａとの間には、４個の積層ゴム
３２１０（特許請求の範囲の中間フレーム支持手段に相
当）が上下方向には同一の位置で、かつ、中間フレーム
３２００とケース１００の周方向には等間隔で配設され
ている。積層ゴム３２１０の、中間フレーム３２００の
側壁３２０２の外側面３２０２Ａと、ケース１００の内
側面１０４Ａとに面した箇所はそれぞれ外側面３２０２
Ａと内側面１０４Ａに固定されている。中間フレーム３
２００は、これら積層ゴム３２１０によってケース１０
０に対して上下方向に、すなわちケース１００の円筒状
の側壁１０４の中心軸に沿って移動可能に支持されてい
る。また、積層ゴム３２１０は、中間フレーム３２００
がケース１００に対して上下方向へ移動する際に生じる
抵抗力がなるべく少なくなるように構成されている。
２０２と、その周縁部から立設された円筒状の側壁３２
０４と、側壁３２０４の上端部から水平方向に延在する
円環状のフランジ壁３２０６とから構成されている。図
２０と図２１（Ｃ）に示されているように、中間フレー
ム３２００の側壁３２０２の外側面３２０２Ａと、ケー
ス１００の内側面１０４Ａとの間には、４個の積層ゴム
３２１０（特許請求の範囲の中間フレーム支持手段に相
当）が上下方向には同一の位置で、かつ、中間フレーム
３２００とケース１００の周方向には等間隔で配設され
ている。積層ゴム３２１０の、中間フレーム３２００の
側壁３２０２の外側面３２０２Ａと、ケース１００の内
側面１０４Ａとに面した箇所はそれぞれ外側面３２０２
Ａと内側面１０４Ａに固定されている。中間フレーム３
２００は、これら積層ゴム３２１０によってケース１０
０に対して上下方向に、すなわちケース１００の円筒状
の側壁１０４の中心軸に沿って移動可能に支持されてい
る。また、積層ゴム３２１０は、中間フレーム３２００
がケース１００に対して上下方向へ移動する際に生じる
抵抗力がなるべく少なくなるように構成されている。
【００７９】このように第５の実施の形態においては、
中間フレーム３２００とケース１００が互いに接触しな
い構成となっている。ここで、中間フレーム３２００
は、小変位アクチュエータ４００から取付板３００に意
図した変位量を確実に与えるために、小変位アクチュエ
ータ４００が上下方向に発生可能な最大の力を発生して
もケース１００に対して静止状態を維持する必要があ
る。すなわち、中間フレーム３２００は、所定重量に設
定されており、この所定重量は、小変位アクチュエータ
４００が所定方向に発生可能な最大の力を発生した際
に、中間フレーム３２００によって最大の力以上の慣性
反力が生じる状態となる値に設定されているこれによ
り、小変位アクチュエータ４００から取付板３００に意
図した変位量を確実に与えることを可能とすることがで
きる。なお、この第５の実施の形態においても、第１の
実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。
中間フレーム３２００とケース１００が互いに接触しな
い構成となっている。ここで、中間フレーム３２００
は、小変位アクチュエータ４００から取付板３００に意
図した変位量を確実に与えるために、小変位アクチュエ
ータ４００が上下方向に発生可能な最大の力を発生して
もケース１００に対して静止状態を維持する必要があ
る。すなわち、中間フレーム３２００は、所定重量に設
定されており、この所定重量は、小変位アクチュエータ
４００が所定方向に発生可能な最大の力を発生した際
に、中間フレーム３２００によって最大の力以上の慣性
反力が生じる状態となる値に設定されているこれによ
り、小変位アクチュエータ４００から取付板３００に意
図した変位量を確実に与えることを可能とすることがで
きる。なお、この第５の実施の形態においても、第１の
実施の形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００８０】また、図２０、図２１に示すように、空気
ばね７００（第２支持部材）によって取付板３００と被
除振体２０が上下動可能な状態で中間フレーム２００に
対して支持する代わりに、図２２に示すように、空気ば
ね７００と同様の作用を奏するゴム部材７１０（第２支
持部材）によって取付板３００と被除振体２０が上下動
可能な状態で中間フレーム２００に対して支持するよう
に構成してもよい。また、取付板３００と被除振体２０
の重量が小変位アクチュエータ４００に加わることが許
容されるならば、図２３に示すように第２支持部材を省
略して構成してもよい。
ばね７００（第２支持部材）によって取付板３００と被
除振体２０が上下動可能な状態で中間フレーム２００に
対して支持する代わりに、図２２に示すように、空気ば
ね７００と同様の作用を奏するゴム部材７１０（第２支
持部材）によって取付板３００と被除振体２０が上下動
可能な状態で中間フレーム２００に対して支持するよう
に構成してもよい。また、取付板３００と被除振体２０
の重量が小変位アクチュエータ４００に加わることが許
容されるならば、図２３に示すように第２支持部材を省
略して構成してもよい。
【００８１】また、図２４に示すように、ケース１００
に対して中間フレーム３２００を支持する中間フレーム
支持手段としては、図２０、図２１に示す積層ゴム３２
１０の代わりに、両端部が中間フレーム３２００の側壁
３２０２の外側面３２０２Ａと、ケース１００の内側面
１０４Ａとにそれぞれ固定されたＵ字状の板ばね３２１
２を使用してもよい。
に対して中間フレーム３２００を支持する中間フレーム
支持手段としては、図２０、図２１に示す積層ゴム３２
１０の代わりに、両端部が中間フレーム３２００の側壁
３２０２の外側面３２０２Ａと、ケース１００の内側面
１０４Ａとにそれぞれ固定されたＵ字状の板ばね３２１
２を使用してもよい。
【００８２】図２５は本発明のアクティブ型除振装置の
第６の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
２６は図２５をＥ１Ｅ１線断面からみた状態を示す説明
図、図２７は図２５をＥ２Ｅ２線断面からみた状態を示
す説明図である。第６の実施の形態においても第２の実
施の形態と同様に、アクティブ型除振装置５０００は、
ケース１５０（特許請求の範囲のベース部に相当）、中
間フレーム２５０、取付板３５０（特許請求の範囲の取
付手段に相当）、小変位アクチュエータ４５０（特許請
求の範囲の変位手段に相当）、大変位アクチュエータ５
５０（特許請求の範囲の変位手段に相当）、振動センサ
６５０（特許請求の範囲の振動検出手段に相当）、空気
ばね７５０（特許請求の範囲の位置保持手段に相当）な
どを備えた除振機構部８８５と図略の制御装置部を備え
ている。
第６の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
２６は図２５をＥ１Ｅ１線断面からみた状態を示す説明
図、図２７は図２５をＥ２Ｅ２線断面からみた状態を示
す説明図である。第６の実施の形態においても第２の実
施の形態と同様に、アクティブ型除振装置５０００は、
ケース１５０（特許請求の範囲のベース部に相当）、中
間フレーム２５０、取付板３５０（特許請求の範囲の取
付手段に相当）、小変位アクチュエータ４５０（特許請
求の範囲の変位手段に相当）、大変位アクチュエータ５
５０（特許請求の範囲の変位手段に相当）、振動センサ
６５０（特許請求の範囲の振動検出手段に相当）、空気
ばね７５０（特許請求の範囲の位置保持手段に相当）な
どを備えた除振機構部８８５と図略の制御装置部を備え
ている。
【００８３】中間フレーム４２５０は、平面視矩形状の
底壁４２５２と、ケース１５０の側壁１５４Ｃに面した
底壁４２５２の側縁から立設された厚みを有する側壁４
２５４とを備えて構成されている。小変位アクチュエー
タ４５０は、中間フレーム４２５０の側壁４２５４の箇
所に固定されており、中間フレーム４２５０の側壁４２
５４に対する取付板３５０の位置を水平方向に変位させ
るように構成されている。そして、中間フレーム４２５
０の底壁４２５２の下面４２５２Ａがケース１５０の底
壁１５２の上面１５２Ａと所定間隔をおいて対面し、中
間フレーム４２５０の対向する２つの側面４２５４Ａ、
４２５４Ｂがそれぞれケース１５０の側壁１５４Ａの側
面１５４Ａ１、側壁１５４Ｂの側面１５４Ｂ１と所定間
隔をおいて対面するように配設されている。
底壁４２５２と、ケース１５０の側壁１５４Ｃに面した
底壁４２５２の側縁から立設された厚みを有する側壁４
２５４とを備えて構成されている。小変位アクチュエー
タ４５０は、中間フレーム４２５０の側壁４２５４の箇
所に固定されており、中間フレーム４２５０の側壁４２
５４に対する取付板３５０の位置を水平方向に変位させ
るように構成されている。そして、中間フレーム４２５
０の底壁４２５２の下面４２５２Ａがケース１５０の底
壁１５２の上面１５２Ａと所定間隔をおいて対面し、中
間フレーム４２５０の対向する２つの側面４２５４Ａ、
４２５４Ｂがそれぞれケース１５０の側壁１５４Ａの側
面１５４Ａ１、側壁１５４Ｂの側面１５４Ｂ１と所定間
隔をおいて対面するように配設されている。
【００８４】また、中間フレーム４２５０の底壁４２５
２の下面４２５２Ａとケース１５０の底壁１５２の上面
１５２Ａとの間には、４個の積層ゴム４２１０（特許請
求の範囲の中間フレーム支持手段に相当）が中間フレー
ム４２５０の底壁４２５２の下面４２５２Ａの四隅の箇
所にそれぞれ配設されている。積層ゴム４２１０の、中
間フレーム４２５０の底壁４２５２の下面４２５２Ａ
と、ケース１５０の底壁１５２の上面１５２Ａとに面し
た箇所はそれぞれ下面４２５２Ａと上面１５２Ａに固定
されている。一方、中間フレーム４２５０の側面４２５
４Ａと、ケース１５０の側壁１５４Ａの側面１５４Ａ１
との間には、２個の積層ゴム４２１２（特許請求の範囲
の中間フレーム支持手段に相当）が中間フレーム４２５
０の長手方向の両端部に配設されている。これら積層ゴ
ム４２１２の、中間フレーム４２５０の側面４２５４Ａ
とケース１５０の側壁１５４Ａの側面１４５Ａ１とに面
した箇所はそれぞれ側面４２５４Ａと側面１４５Ａ１に
固定されている。また、中間フレーム４２５０の側面４
２５４Ｂと、ケース１５０の側壁１５４Ｂの側面１５４
Ｂ１との間には、２個の積層ゴム４２１２（特許請求の
範囲の中間フレーム支持手段に相当）が中間フレーム４
２５０の長手方向の両端部に配設されている。これら積
層ゴム４２１２の、中間フレーム４２５０の側面４２５
４Ｂとケース１５０の側壁１５４Ｂの側面１４５Ｂ１と
に面した箇所はそれぞれ側面４２５４Ｂと側面１４５Ｂ
１に固定されている。
２の下面４２５２Ａとケース１５０の底壁１５２の上面
１５２Ａとの間には、４個の積層ゴム４２１０（特許請
求の範囲の中間フレーム支持手段に相当）が中間フレー
ム４２５０の底壁４２５２の下面４２５２Ａの四隅の箇
所にそれぞれ配設されている。積層ゴム４２１０の、中
間フレーム４２５０の底壁４２５２の下面４２５２Ａ
と、ケース１５０の底壁１５２の上面１５２Ａとに面し
た箇所はそれぞれ下面４２５２Ａと上面１５２Ａに固定
されている。一方、中間フレーム４２５０の側面４２５
４Ａと、ケース１５０の側壁１５４Ａの側面１５４Ａ１
との間には、２個の積層ゴム４２１２（特許請求の範囲
の中間フレーム支持手段に相当）が中間フレーム４２５
０の長手方向の両端部に配設されている。これら積層ゴ
ム４２１２の、中間フレーム４２５０の側面４２５４Ａ
とケース１５０の側壁１５４Ａの側面１４５Ａ１とに面
した箇所はそれぞれ側面４２５４Ａと側面１４５Ａ１に
固定されている。また、中間フレーム４２５０の側面４
２５４Ｂと、ケース１５０の側壁１５４Ｂの側面１５４
Ｂ１との間には、２個の積層ゴム４２１２（特許請求の
範囲の中間フレーム支持手段に相当）が中間フレーム４
２５０の長手方向の両端部に配設されている。これら積
層ゴム４２１２の、中間フレーム４２５０の側面４２５
４Ｂとケース１５０の側壁１５４Ｂの側面１４５Ｂ１と
に面した箇所はそれぞれ側面４２５４Ｂと側面１４５Ｂ
１に固定されている。
【００８５】中間フレーム４２５０は、これら積層ゴム
４２１０、４２１２によって水平方向に、すなわち、ケ
ース１５０の底壁１５２の長手方向の中心軸に沿って移
動可能に支持されている。また、積層ゴム４２１０、４
２１２は、中間フレーム４２５０がケース１５０に対し
て水平方向へ移動する際に生じる抵抗力がなるべく少な
くなるように構成されている。
４２１０、４２１２によって水平方向に、すなわち、ケ
ース１５０の底壁１５２の長手方向の中心軸に沿って移
動可能に支持されている。また、積層ゴム４２１０、４
２１２は、中間フレーム４２５０がケース１５０に対し
て水平方向へ移動する際に生じる抵抗力がなるべく少な
くなるように構成されている。
【００８６】このように第６の実施の形態においては、
中間フレーム４２５０とケース１００が互いに接触しな
い構成となっている。ここで、中間フレーム４２５０
は、小変位アクチュエータ４５０から取付板３５０に意
図した変位量を確実に与えるために、小変位アクチュエ
ータ４５０が水方向に発生可能な最大の力を発生して
も、中間フレーム４２５０がケース１５０に対して静止
状態を維持する必要がある。すなわち、中間フレーム４
２５０は、所定重量に設定されており、この所定重量
は、小変位アクチュエータ４５０が所定方向に発生可能
な最大の力を発生した際に、中間フレーム４２５０によ
って最大の力以上の慣性反力が生じる状態となる値に設
定されているこれにより、小変位アクチュエータ４５０
から取付板３５０に意図した変位量を確実に与えること
を可能とすることができる。なお、この第６の実施の形
態においても、第２の実施の形態と同様の作用効果を得
ることができる。
中間フレーム４２５０とケース１００が互いに接触しな
い構成となっている。ここで、中間フレーム４２５０
は、小変位アクチュエータ４５０から取付板３５０に意
図した変位量を確実に与えるために、小変位アクチュエ
ータ４５０が水方向に発生可能な最大の力を発生して
も、中間フレーム４２５０がケース１５０に対して静止
状態を維持する必要がある。すなわち、中間フレーム４
２５０は、所定重量に設定されており、この所定重量
は、小変位アクチュエータ４５０が所定方向に発生可能
な最大の力を発生した際に、中間フレーム４２５０によ
って最大の力以上の慣性反力が生じる状態となる値に設
定されているこれにより、小変位アクチュエータ４５０
から取付板３５０に意図した変位量を確実に与えること
を可能とすることができる。なお、この第６の実施の形
態においても、第２の実施の形態と同様の作用効果を得
ることができる。
【００８７】また、図２５乃至図２７に示すように、空
気ばね７５０（特許請求の範囲の位置保持手段に相当）
によって水平方向の振動がない状態においてケース１５
０に対する中間フレーム４２５０の水平方向の位置が所
定位置に保持されるように構成する代わりに、図２８に
示すように、空気ばね７５０と同様の作用を奏するゴム
部材７６０（特許請求の範囲の位置保持手段に相当）に
よって中間フレーム４２５０の水平方向の位置が所定位
置に保持されるように構成してもよい。
気ばね７５０（特許請求の範囲の位置保持手段に相当）
によって水平方向の振動がない状態においてケース１５
０に対する中間フレーム４２５０の水平方向の位置が所
定位置に保持されるように構成する代わりに、図２８に
示すように、空気ばね７５０と同様の作用を奏するゴム
部材７６０（特許請求の範囲の位置保持手段に相当）に
よって中間フレーム４２５０の水平方向の位置が所定位
置に保持されるように構成してもよい。
【００８８】また、図２９に示すように、ケース１５０
に対して中間フレーム４２５０を支持する中間フレーム
支持手段としては、図２５乃至図２７に示す積層ゴム４
２１２の代わりに、両端部が中間フレーム４２５０の側
面４２５４Ａと、ケース１５０の側壁１５４Ａの側面１
５４Ａ１との間にそれぞれ固定された２個のＵ字状の板
ばね３２１２と、両端部が中間フレーム４２５０の側面
４２５４Ｂと、ケース１５０の側壁１５４Ｂの側面１５
４Ｂ１との間にそれぞれ固定された２個のＵ字状の板ば
ね３２１２とを使用してもよい。また、図示はしない
が、図２５乃至図２７に示す積層ゴム４２１０の代わり
に、両端部が中間フレーム４２５０の底壁４２５２の下
面４２５２Ａと、ケース１５０の底壁１５２の上面１５
２Ａとの間にそれぞれ固定されたＵ字状の板ばねを使用
してもよい。
に対して中間フレーム４２５０を支持する中間フレーム
支持手段としては、図２５乃至図２７に示す積層ゴム４
２１２の代わりに、両端部が中間フレーム４２５０の側
面４２５４Ａと、ケース１５０の側壁１５４Ａの側面１
５４Ａ１との間にそれぞれ固定された２個のＵ字状の板
ばね３２１２と、両端部が中間フレーム４２５０の側面
４２５４Ｂと、ケース１５０の側壁１５４Ｂの側面１５
４Ｂ１との間にそれぞれ固定された２個のＵ字状の板ば
ね３２１２とを使用してもよい。また、図示はしない
が、図２５乃至図２７に示す積層ゴム４２１０の代わり
に、両端部が中間フレーム４２５０の底壁４２５２の下
面４２５２Ａと、ケース１５０の底壁１５２の上面１５
２Ａとの間にそれぞれ固定されたＵ字状の板ばねを使用
してもよい。
【００８９】図３０は本発明のアクティブ型除振装置の
第７の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
３１は図３０を矢印Ｆ方向からみた状態を示す説明図、
図３２は図３０をＦ１Ｆ１線断面からみた状態を示す説
明図、図３３は図３０のＦ２Ｆ２線断面から見た状態を
示す説明図、図３４は図３０をＦ３Ｆ３線断面からみた
状態を示す説明図である。図３０乃至図３４に示す第７
の実施の形態のアクティブ型除振装置６０００は、前述
した第３の実施の形態と同様に上下方向と水平方向の振
動を除振するように構成されている。
第７の実施の形態における概略構成を示す縦断面図、図
３１は図３０を矢印Ｆ方向からみた状態を示す説明図、
図３２は図３０をＦ１Ｆ１線断面からみた状態を示す説
明図、図３３は図３０のＦ２Ｆ２線断面から見た状態を
示す説明図、図３４は図３０をＦ３Ｆ３線断面からみた
状態を示す説明図である。図３０乃至図３４に示す第７
の実施の形態のアクティブ型除振装置６０００は、前述
した第３の実施の形態と同様に上下方向と水平方向の振
動を除振するように構成されている。
【００９０】また、図３０乃至図３４において、第３の
実施の形態を示す図１２乃至図１５に相当する構成要素
については同一の符号を付してその説明を省略する。第
７の実施の形態においても第３の実施の形態と同様に、
アクティブ型除振装置６０００は、ケース１１００（特
許請求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム５２０
０、取付板１３００（特許請求の範囲の取付手段に相
当）、小変位アクチュエータ１４００、１４５０（特許
請求の範囲の変位手段に相当）、大変位アクチュエータ
１５００、１５５０（特許請求の範囲の変位手段に相
当）、振動センサ１６００、１６５０（特許請求の範囲
の振動検出手段に相当）、積層ゴム５３００（特許請求
の範囲の中間フレーム支持手段に相当）などを備えた除
振機構部８９０と、この除振機構部８９０の制御を行う
図略の制御装置部を備えている。第７の実施の形態が第
３の実施の形態と異なる部分は、中間フレーム５２００
と取付板１３００との間に空気ばねが配設されていな
い、中間フレーム５２００の形状が異なること、上下方
向の小変位アクチュエータ１４００の数が異なることな
どである。以下では、第３の実施の形態と異なる部分に
ついて主に説明する。
実施の形態を示す図１２乃至図１５に相当する構成要素
については同一の符号を付してその説明を省略する。第
７の実施の形態においても第３の実施の形態と同様に、
アクティブ型除振装置６０００は、ケース１１００（特
許請求の範囲のベース部に相当）、中間フレーム５２０
０、取付板１３００（特許請求の範囲の取付手段に相
当）、小変位アクチュエータ１４００、１４５０（特許
請求の範囲の変位手段に相当）、大変位アクチュエータ
１５００、１５５０（特許請求の範囲の変位手段に相
当）、振動センサ１６００、１６５０（特許請求の範囲
の振動検出手段に相当）、積層ゴム５３００（特許請求
の範囲の中間フレーム支持手段に相当）などを備えた除
振機構部８９０と、この除振機構部８９０の制御を行う
図略の制御装置部を備えている。第７の実施の形態が第
３の実施の形態と異なる部分は、中間フレーム５２００
と取付板１３００との間に空気ばねが配設されていな
い、中間フレーム５２００の形状が異なること、上下方
向の小変位アクチュエータ１４００の数が異なることな
どである。以下では、第３の実施の形態と異なる部分に
ついて主に説明する。
【００９１】ケース１１００は、平面視正方形状の底壁
１１０２と、その４つの周縁部から立設された側壁１１
０４Ａ、１１０４Ｂ、１１０４Ｃ、１１０４Ｄを備えて
構成されている。底壁１１０２は、建物の床などからな
る下部構造体（図略）の上に設けられた基礎構造体１０
に固定されるようになっている。底壁１１０２の上面１
１０２Ａと各側壁１１０４Ａ乃至１１０４Ｄの内側面１
１０４Ａ１乃至１１０４Ｄ１によって、次に述べる中間
フレーム１２００の下部５２２０収容する収容空間１０
６０が形成されている。
１１０２と、その４つの周縁部から立設された側壁１１
０４Ａ、１１０４Ｂ、１１０４Ｃ、１１０４Ｄを備えて
構成されている。底壁１１０２は、建物の床などからな
る下部構造体（図略）の上に設けられた基礎構造体１０
に固定されるようになっている。底壁１１０２の上面１
１０２Ａと各側壁１１０４Ａ乃至１１０４Ｄの内側面１
１０４Ａ１乃至１１０４Ｄ１によって、次に述べる中間
フレーム１２００の下部５２２０収容する収容空間１０
６０が形成されている。
【００９２】中間フレーム５２００は、ブロック状を呈
する上部５２１０と、この上部５２１０の下面に接続さ
れた下部５２２０とを備えている。上部５２１０は、平
面視矩形状の上面５２１２の中心において平面視矩形状
の孔部５２１４が上下方向に延在して設けられており、
この孔部５２１４の底面５２１４Ａと、底面５２１４Ａ
の各周縁部および上面５２１２を接続する側面５２１４
Ｂとによって小変位アクチュエータ１４００を収容する
収容空間が構成されている。小変位アクチュエータ１４
００は、その変位方向が上下方向となる状態で上記収容
空間に収容され、底面５２１４Ａの箇所で固定されてい
る。なお、調整ねじ１４２０の頭部１４２４を回転して
小変位アクチュエータ１４００の予圧縮力を調整できる
ように構成されていることは第３の実施の形態と同様で
ある。
する上部５２１０と、この上部５２１０の下面に接続さ
れた下部５２２０とを備えている。上部５２１０は、平
面視矩形状の上面５２１２の中心において平面視矩形状
の孔部５２１４が上下方向に延在して設けられており、
この孔部５２１４の底面５２１４Ａと、底面５２１４Ａ
の各周縁部および上面５２１２を接続する側面５２１４
Ｂとによって小変位アクチュエータ１４００を収容する
収容空間が構成されている。小変位アクチュエータ１４
００は、その変位方向が上下方向となる状態で上記収容
空間に収容され、底面５２１４Ａの箇所で固定されてい
る。なお、調整ねじ１４２０の頭部１４２４を回転して
小変位アクチュエータ１４００の予圧縮力を調整できる
ように構成されていることは第３の実施の形態と同様で
ある。
【００９３】また、上部５２１０の側面５２１６には、
水平方向の中心で高さ方向が側面５２１６の上下方向の
中心の箇所に小変位アクチュエータ１４５０を収容する
収容部５２１７が側面５１１６と直交する方向（水平方
向）に延在して設けられている。収容部５２１７に対面
する取付板１３００の縦板１３０４の箇所には、収容部
５２１７の中心軸と同軸上にねじ孔１３０４Ａが設けら
れており、このねじ孔１３０４Ａには、調整ねじ１４８
０のねじ部１４８０Ａが螺合されている。調整ねじ１４
８０は、そのねじ部１４８０Ａの先端が弾性体１４６０
を介して小変位アクチュエータ１４５０のロッド１４５
４に当接した状態となるように構成され、調整ねじ１４
８０の頭部１４８０Ｂを回転して小変位アクチュエータ
１４５０の予圧縮力を調整できるように構成されてい
る。
水平方向の中心で高さ方向が側面５２１６の上下方向の
中心の箇所に小変位アクチュエータ１４５０を収容する
収容部５２１７が側面５１１６と直交する方向（水平方
向）に延在して設けられている。収容部５２１７に対面
する取付板１３００の縦板１３０４の箇所には、収容部
５２１７の中心軸と同軸上にねじ孔１３０４Ａが設けら
れており、このねじ孔１３０４Ａには、調整ねじ１４８
０のねじ部１４８０Ａが螺合されている。調整ねじ１４
８０は、そのねじ部１４８０Ａの先端が弾性体１４６０
を介して小変位アクチュエータ１４５０のロッド１４５
４に当接した状態となるように構成され、調整ねじ１４
８０の頭部１４８０Ｂを回転して小変位アクチュエータ
１４５０の予圧縮力を調整できるように構成されてい
る。
【００９４】ケース１１００の収容空間１０６０内にお
いて、中間フレーム１２００の下部５２２０は、その底
面５２２２と各側面５２２４Ａ乃至５５２４Ｄとがケー
ス１１００の底壁１１０２の上面１１０２Ａと各側壁１
１０４Ａ乃至１１０４Ｄの内側面１１０４Ａ１乃至１１
０４Ｄ１と所定間隔をおいた状態で配設されている。
いて、中間フレーム１２００の下部５２２０は、その底
面５２２２と各側面５２２４Ａ乃至５５２４Ｄとがケー
ス１１００の底壁１１０２の上面１１０２Ａと各側壁１
１０４Ａ乃至１１０４Ｄの内側面１１０４Ａ１乃至１１
０４Ｄ１と所定間隔をおいた状態で配設されている。
【００９５】中間フレーム５２００の側面５２２４Ａ、
５２２４Ｂと、ケース１１００の内側面１１０４Ａ１、
１１０４Ｂ１との間には積層ゴム５３００が配設されて
いる。積層ゴム５３００は、中間フレーム５２００の側
面５２２４Ａ、５２２４Ｂの両端部の箇所にそれぞれ４
個づつ、合計４個配設されている。積層ゴム５３００
の、中間フレーム５２００の側面５２２４Ａ、５２２４
Ｂと、ケース１１００の内側面１１０４Ａ１、１１０４
Ｂ１とに面した箇所はそれぞれ側面５２２４Ａ、５２２
４Ｂと内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ１に固定されて
いる。これにより、中間フレーム５２００は、ケース１
１００に対して上下方向（大変位アクチュエータ１５０
０の変位方向と平行な方向）と水平方向（大変位アクチ
ュエータ１５５０の変位方向と平行な方向）に移動可能
に支持されており、積層ゴム５３００は、中間フレーム
５２００が上記上下方向と水平方向へ移動する際に生じ
る抵抗力がなるべく少なくなるように構成されている。
５２２４Ｂと、ケース１１００の内側面１１０４Ａ１、
１１０４Ｂ１との間には積層ゴム５３００が配設されて
いる。積層ゴム５３００は、中間フレーム５２００の側
面５２２４Ａ、５２２４Ｂの両端部の箇所にそれぞれ４
個づつ、合計４個配設されている。積層ゴム５３００
の、中間フレーム５２００の側面５２２４Ａ、５２２４
Ｂと、ケース１１００の内側面１１０４Ａ１、１１０４
Ｂ１とに面した箇所はそれぞれ側面５２２４Ａ、５２２
４Ｂと内側面１１０４Ａ１、１１０４Ｂ１に固定されて
いる。これにより、中間フレーム５２００は、ケース１
１００に対して上下方向（大変位アクチュエータ１５０
０の変位方向と平行な方向）と水平方向（大変位アクチ
ュエータ１５５０の変位方向と平行な方向）に移動可能
に支持されており、積層ゴム５３００は、中間フレーム
５２００が上記上下方向と水平方向へ移動する際に生じ
る抵抗力がなるべく少なくなるように構成されている。
【００９６】また、積層ゴム５３００は、上下方向、水
平方向の振動がない場合においてケース１１００に対す
る中間フレーム５２００の上下方向、水平方向の位置を
所定位置に保持する位置保持手段の作用も果たしてい
る。なお、中間フレーム５２００は、ケース１１００に
対して大変位アクチュエータ１５５０の変位方向と直交
する方向（積層ゴム５３００の厚み方向）への移動は積
層ゴム５３００によって規制された状態で支持されてい
る。
平方向の振動がない場合においてケース１１００に対す
る中間フレーム５２００の上下方向、水平方向の位置を
所定位置に保持する位置保持手段の作用も果たしてい
る。なお、中間フレーム５２００は、ケース１１００に
対して大変位アクチュエータ１５５０の変位方向と直交
する方向（積層ゴム５３００の厚み方向）への移動は積
層ゴム５３００によって規制された状態で支持されてい
る。
【００９７】ケース１１００の底壁１１０２の上面１１
０２Ａと中間フレーム５２００の底面５２２２の間に
は、上下方向の振動の除振を行う大変位アクチュエータ
１５００が配設されている。ケース１１００の側壁１２
０４Ｃの内側面１２０４Ｃ１と中間フレーム５２００の
側面５２２４Ｃとの間、および、ケース１１００の側壁
５２２４Ｄの内側面１２０４Ｄ１と中間フレーム５２０
０の側面５２２４Ｄとの間には、水平方向の振動の除振
を行う大変位アクチュエータ１５５０がそれぞれ配設さ
れている。
０２Ａと中間フレーム５２００の底面５２２２の間に
は、上下方向の振動の除振を行う大変位アクチュエータ
１５００が配設されている。ケース１１００の側壁１２
０４Ｃの内側面１２０４Ｃ１と中間フレーム５２００の
側面５２２４Ｃとの間、および、ケース１１００の側壁
５２２４Ｄの内側面１２０４Ｄ１と中間フレーム５２０
０の側面５２２４Ｄとの間には、水平方向の振動の除振
を行う大変位アクチュエータ１５５０がそれぞれ配設さ
れている。
【００９８】また、第７の実施の形態では、第３の実施
の形態と異なり、中間フレーム５２００の上面５２１２
と、取付板１３００の上板１３０２と間には空気ばねな
どは配設されていない。すなわち、取付板１３００は、
調整ねじ１４２０、弾性体１４１０、小変位アクチュエ
ータ１４００、調整ねじ１４８０、弾性体１４６０、小
変位アクチュエータ１４５０、中間フレーム５２００、
積層ゴム５３００、大変位アクチュエータ１５００、１
５５０を介してケース１１００および下部構造体１０に
対して上下動および水平動可能に支持されている。
の形態と異なり、中間フレーム５２００の上面５２１２
と、取付板１３００の上板１３０２と間には空気ばねな
どは配設されていない。すなわち、取付板１３００は、
調整ねじ１４２０、弾性体１４１０、小変位アクチュエ
ータ１４００、調整ねじ１４８０、弾性体１４６０、小
変位アクチュエータ１４５０、中間フレーム５２００、
積層ゴム５３００、大変位アクチュエータ１５００、１
５５０を介してケース１１００および下部構造体１０に
対して上下動および水平動可能に支持されている。
【００９９】このように第７の実施の形態においては、
中間フレーム５２００とケース１１００が互いに接触し
ない構成となっている。ここで、中間フレーム５２００
は、小変位アクチュエータ４００、４５０から取付板１
３００に意図した変位量を確実に与えるために、小変位
アクチュエータ４００、４５０が上下方向、水平方向に
発生可能な最大の力を発生しても、中間フレーム５２０
０がケース１１００に対して静止状態を維持する必要が
ある。すなわち、中間フレーム５２００は、所定重量に
設定されており、この所定重量は、小変位アクチュエー
タ４００、４５０が上下方向、水平方向にそれぞれ発生
可能な最大の力を発生した際に、中間フレーム５２００
によって上記最大の力以上の慣性反力が生じる状態とな
る値に設定されているこれにより、小変位アクチュエー
タ４００、４５０から取付板１３００に意図した変位量
を確実に与えることを可能とすることができる。なお、
この第７の実施の形態においても、第３の実施の形態と
同様の作用効果を得ることができる。また、第７の実施
の形態では、中間フレーム５２００の上面５２１２と、
取付板１３００の上板１３０２と間には空気ばねなどか
らなる第２支持部材を配設しない構成としたが、上記第
２支持部材を配設する構成としてもよい。
中間フレーム５２００とケース１１００が互いに接触し
ない構成となっている。ここで、中間フレーム５２００
は、小変位アクチュエータ４００、４５０から取付板１
３００に意図した変位量を確実に与えるために、小変位
アクチュエータ４００、４５０が上下方向、水平方向に
発生可能な最大の力を発生しても、中間フレーム５２０
０がケース１１００に対して静止状態を維持する必要が
ある。すなわち、中間フレーム５２００は、所定重量に
設定されており、この所定重量は、小変位アクチュエー
タ４００、４５０が上下方向、水平方向にそれぞれ発生
可能な最大の力を発生した際に、中間フレーム５２００
によって上記最大の力以上の慣性反力が生じる状態とな
る値に設定されているこれにより、小変位アクチュエー
タ４００、４５０から取付板１３００に意図した変位量
を確実に与えることを可能とすることができる。なお、
この第７の実施の形態においても、第３の実施の形態と
同様の作用効果を得ることができる。また、第７の実施
の形態では、中間フレーム５２００の上面５２１２と、
取付板１３００の上板１３０２と間には空気ばねなどか
らなる第２支持部材を配設しない構成としたが、上記第
２支持部材を配設する構成としてもよい。
【０１００】なお、本発明において、小変位アクチュエ
ータは、超磁歪アクチュエータに限定されるものではな
く、超磁歪アクチュエータ以外の固体アクチュエータを
用いてもよい。超磁歪アクチュエータ以外の固体アクチ
ュエータとしては、温度による熱膨張で動作するもの、
電界による電歪、圧電歪で動作するもの（ピエゾアクチ
ュエータ）、光による光誘起相転移で動作するものなど
がある。これらの固体アクチュエータも、超磁歪アクチ
ュエータと同様に、それに与えられる駆動信号の大きさ
に対する変位特性がほぼ線形であるため、この固体アク
チュエータを駆動するための駆動信号を生成する処理は
比較的簡単でよい。また、固体アクチュエータとそれに
加える予圧縮力の関係も前述した超磁歪アクチュエータ
の場合と同様である。また、本発明において、大変位ア
クチュエータは、空気アクチュエータに限定されるもの
ではなく、例えばリニアモータなどを用いてもよい。
ータは、超磁歪アクチュエータに限定されるものではな
く、超磁歪アクチュエータ以外の固体アクチュエータを
用いてもよい。超磁歪アクチュエータ以外の固体アクチ
ュエータとしては、温度による熱膨張で動作するもの、
電界による電歪、圧電歪で動作するもの（ピエゾアクチ
ュエータ）、光による光誘起相転移で動作するものなど
がある。これらの固体アクチュエータも、超磁歪アクチ
ュエータと同様に、それに与えられる駆動信号の大きさ
に対する変位特性がほぼ線形であるため、この固体アク
チュエータを駆動するための駆動信号を生成する処理は
比較的簡単でよい。また、固体アクチュエータとそれに
加える予圧縮力の関係も前述した超磁歪アクチュエータ
の場合と同様である。また、本発明において、大変位ア
クチュエータは、空気アクチュエータに限定されるもの
ではなく、例えばリニアモータなどを用いてもよい。
【０１０１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明は、
下部構造体上で被除振体を支持する除振機構部とその制
御装置部を備え、前記除振機構部は、下部構造体上に設
けられたベース部と、被除振体に取付可能に設けられた
取付手段と、前記被除振体を前記下部構造体に対して所
定方向に移動可能に支持する支持手段と、前記取付手段
の前記所定方向の振動の加速度を検出する振動検出手段
と、前記取付手段を前記ベース部に対して前記所定方向
に変位させる変位手段とを備え、前記ベース部、前記取
付手段、前記支持手段、前記振動検出手段、前記変位手
段は一体的に設けられ、前記制御装置部は、前記振動検
出手段により検出した前記所定方向の加速度に対応して
前記変位手段を駆動することにより、前記被除振体の所
定方向の振動を除去するように構成されている。そのた
め、前記ベース部、前記取付手段、前記支持手段、前記
振動検出手段、前記変位手段は一体的に設けられて除振
機構部が構成され、下部構造体に伝達される振動は、下
部構造体から除振機構部を経て該取付手段が取り付けら
れた被除振体に伝達される。この振動は、振動検出手段
によって検出される。制御装置部は、前記振動検出手段
により検出された所定方向の加速度に対応して前記変位
手段を駆動することにより、前記被除振体の所定方向の
振動を除去する。したがって、従来と違って、被除振体
を取り付けるための定盤を設けることなく、被除振体に
除振機構部の取付手段を取り付けることによってアクテ
ィブ除振装置を構成することができる。このため、重量
が軽く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所の
制限が少ないアクティブ除振装置を提供することができ
る。
下部構造体上で被除振体を支持する除振機構部とその制
御装置部を備え、前記除振機構部は、下部構造体上に設
けられたベース部と、被除振体に取付可能に設けられた
取付手段と、前記被除振体を前記下部構造体に対して所
定方向に移動可能に支持する支持手段と、前記取付手段
の前記所定方向の振動の加速度を検出する振動検出手段
と、前記取付手段を前記ベース部に対して前記所定方向
に変位させる変位手段とを備え、前記ベース部、前記取
付手段、前記支持手段、前記振動検出手段、前記変位手
段は一体的に設けられ、前記制御装置部は、前記振動検
出手段により検出した前記所定方向の加速度に対応して
前記変位手段を駆動することにより、前記被除振体の所
定方向の振動を除去するように構成されている。そのた
め、前記ベース部、前記取付手段、前記支持手段、前記
振動検出手段、前記変位手段は一体的に設けられて除振
機構部が構成され、下部構造体に伝達される振動は、下
部構造体から除振機構部を経て該取付手段が取り付けら
れた被除振体に伝達される。この振動は、振動検出手段
によって検出される。制御装置部は、前記振動検出手段
により検出された所定方向の加速度に対応して前記変位
手段を駆動することにより、前記被除振体の所定方向の
振動を除去する。したがって、従来と違って、被除振体
を取り付けるための定盤を設けることなく、被除振体に
除振機構部の取付手段を取り付けることによってアクテ
ィブ除振装置を構成することができる。このため、重量
が軽く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所の
制限が少ないアクティブ除振装置を提供することができ
る。
【図１】本発明のアクティブ型除振装置の第１実施の形
態における概略構成を示す縦断面図である。
態における概略構成を示す縦断面図である。
【図２】図１をＡ１Ａ１線断面からみた状態を示す説明
図である。
図である。
【図３】図１をＡ２Ａ２線断面からみた状態を示す説明
図である。
図である。
【図４】図１をＡ３Ａ３線断面からみた状態を示す説明
図である。
図である。
【図５】第１実施の形態のアクティブ型除振装置の配置
を平面からみた状態を示す図であり、（Ａ）は除振機構
部を１つ使用した場合を示す配置図、（Ｂ）は除振機構
部を３つ使用した場合を示す配置図、（Ｃ）は除振機構
部を４つ使用した場合を示す配置図である。
を平面からみた状態を示す図であり、（Ａ）は除振機構
部を１つ使用した場合を示す配置図、（Ｂ）は除振機構
部を３つ使用した場合を示す配置図、（Ｃ）は除振機構
部を４つ使用した場合を示す配置図である。
【図６】制御系の構成例を示すブロック図である。
【図７】制御系の他の構成例を示すブロック図である。
【図８】本発明の第２実施の形態における概略構成を示
す縦断面図である。
す縦断面図である。
【図９】図８をＢＢ線断面からみた状態を示す説明図で
ある。
ある。
【図１０】第２の実施の形態のアクティブ型除振装置の
配置を平面から見た状態を示す図であり、（Ａ）は除振
機構部を１つ使用した場合を示す配置図、（Ｂ）は除振
機構部を２つ使用した場合を示す配置図、（Ｃ）は除振
機構部を４つ使用した場合を示す配置図である。
配置を平面から見た状態を示す図であり、（Ａ）は除振
機構部を１つ使用した場合を示す配置図、（Ｂ）は除振
機構部を２つ使用した場合を示す配置図、（Ｃ）は除振
機構部を４つ使用した場合を示す配置図である。
【図１１】第１、第２の実施の形態の除振機構部を組み
合わせることで上下方向と水平方向の振動を除振するよ
うに構成したアクティブ型除振装置の例を示す配置図で
ある。
合わせることで上下方向と水平方向の振動を除振するよ
うに構成したアクティブ型除振装置の例を示す配置図で
ある。
【図１２】本発明の第３実施の形態における概略構成を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図１３】図１２をＣ１Ｃ１線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図１４】図１２をＣ２Ｃ２線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図１５】図１２をＣ３Ｃ３線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図１６】第３の実施の形態のアクティブ型除振装置の
配置を平面から見た状態を示す配置図である。
配置を平面から見た状態を示す配置図である。
【図１７】本発明の第４の実施の形態における概略構成
を示す縦断面図である。
を示す縦断面図である。
【図１８】図１７を矢印Ｄ方向からみた状態を示す説明
図である。
図である。
【図１９】第４の実施の形態のアクティブ型除振装置の
配置を平面から見た状態を示す配置図である。
配置を平面から見た状態を示す配置図である。
【図２０】本発明のアクティブ型除振装置の第５の実施
の形態における概略構成を示す縦断面図である。
の形態における概略構成を示す縦断面図である。
【図２１】図２０の水平断面図であり、図２１（Ａ）は
図２０をＤ１Ｄ１線断面からみた状態を示す説明図、図
２１（Ｂ）は図２０をＤ２Ｄ２線断面からみた状態を示
す説明図、図２１（Ｃ）は図２０をＤ３Ｄ３線断面から
みた状態を示す説明図、図２１（Ｄ）は図２０をＤ４Ｄ
４線断面からみた状態を示す説明図である。
図２０をＤ１Ｄ１線断面からみた状態を示す説明図、図
２１（Ｂ）は図２０をＤ２Ｄ２線断面からみた状態を示
す説明図、図２１（Ｃ）は図２０をＤ３Ｄ３線断面から
みた状態を示す説明図、図２１（Ｄ）は図２０をＤ４Ｄ
４線断面からみた状態を示す説明図である。
【図２２】第５の実施の形態における第２支持部材の他
の例を示す要部説明図である。
の例を示す要部説明図である。
【図２３】第５の実施の形態における第２支持部材を省
略した例を示す要部説明図である。
略した例を示す要部説明図である。
【図２４】第５の実施の形態における中間フレーム支持
手段の他の例を示す要部説明図である。
手段の他の例を示す要部説明図である。
【図２５】本発明のアクティブ型除振装置の第６実施の
形態における概略構成を示す縦断面図である。
形態における概略構成を示す縦断面図である。
【図２６】図２５をＥ１Ｅ１線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図２７】図２５をＥ２Ｅ２線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図２８】第６の実施の形態における位置保持手段の他
の例を示す要部説明図である。
の例を示す要部説明図である。
【図２９】第６の実施の形態における中間フレーム支持
手段の他の例を示す要部説明図である。
手段の他の例を示す要部説明図である。
【図３０】本発明のアクティブ型除振装置の第７実施の
形態における概略構成を示す縦断面図図である。
形態における概略構成を示す縦断面図図である。
【図３１】図３０を矢印Ｆ方向からみた状態を示す説明
図である。
図である。
【図３２】図３０をＦ１Ｆ１線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図３３】図３０のＦ２Ｆ２線断面から見た状態を示す
説明図である。
説明図である。
【図３４】図３０をＦ３Ｆ３線断面からみた状態を示す
説明図である。
説明図である。
１０００、２０００、３０００、４０００、５０００、
６０００、７０００アクティブ型除振装置 ８００、８５０、８６０、８７０、８８０、８８５、８
９０ 除振機構部９００ 制御装置部 １００、１５０、１１００、２１００ ケース（ベース
部） ２１００ ベース部 ２００、２５０、１２００、３２００、４２５０ 中間
フレーム ３００、３５０、１３００、２３００ 取付板（取付手
段） ４００、４５０ 小変位アクチュエータ（変位手段） ５００、５５０ 大変位アクチュエータ（変位手段） ６００ 振動センサ（振動検出手段） ７００、１７００ 空気ばね（第２支持部材） ２７００ 空気ばね（第１支持部材） ７５０、１７５０ 空気ばね（位置保持手段） ４１０、４６０、１４１０、１４２０、２４０８、２４
５８ 弾性体 ４２０、１４１０、１４２０、２４０６、２４５６ 調
整ねじ（予圧縮力調整手段） ３２１０、４２１０、４２１２、５３００ 積層ゴム １０ 基礎構造体 ３０ 空気ばね（支持手段）
６０００、７０００アクティブ型除振装置 ８００、８５０、８６０、８７０、８８０、８８５、８
９０ 除振機構部９００ 制御装置部 １００、１５０、１１００、２１００ ケース（ベース
部） ２１００ ベース部 ２００、２５０、１２００、３２００、４２５０ 中間
フレーム ３００、３５０、１３００、２３００ 取付板（取付手
段） ４００、４５０ 小変位アクチュエータ（変位手段） ５００、５５０ 大変位アクチュエータ（変位手段） ６００ 振動センサ（振動検出手段） ７００、１７００ 空気ばね（第２支持部材） ２７００ 空気ばね（第１支持部材） ７５０、１７５０ 空気ばね（位置保持手段） ４１０、４６０、１４１０、１４２０、２４０８、２４
５８ 弾性体 ４２０、１４１０、１４２０、２４０６、２４５６ 調
整ねじ（予圧縮力調整手段） ３２１０、４２１０、４２１２、５３００ 積層ゴム １０ 基礎構造体 ３０ 空気ばね（支持手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 昌尚 東京都渋谷区千駄ヶ谷四丁目６番15号 株 式会社フジタ内 (72)発明者 増田 圭司 東京都渋谷区千駄ヶ谷四丁目６番15号 株 式会社フジタ内 (72)発明者 安田 正志 兵庫県尼崎市南初島町10番地133 特許機 器株式会社内 (72)発明者 松浦 章 兵庫県尼崎市南初島町10番地133 特許機 器株式会社内 Ｆターム(参考） 3J048 AA02 AB07 AD03 BA02 BA08 BE02 CB19 DA01 EA13 5F046 AA23 DA30 DB14 DC14
Claims (24)
- 【請求項１】 下部構造体上で被除振体を支持する除振
機構部とその制御装置部を備え、 前記除振機構部は、下部構造体上に設けられたベース部
と、被除振体に取付可能に設けられた取付手段と、前記
被除振体を前記下部構造体に対して所定方向に移動可能
に支持する支持手段と、前記取付手段の前記所定方向の
振動の加速度を検出する振動検出手段と、前記取付手段
を前記ベース部に対して前記所定方向に変位させる変位
手段とを備え、 前記ベース部、前記取付手段、前記支持手段、前記振動
検出手段、前記変位手段は一体的に設けられ、 前記制御装置部は、前記振動検出手段により検出した前
記所定方向の加速度に対応して前記変位手段を駆動する
ことにより、前記被除振体の所定方向の振動を除去する
ように構成されている、 ことを特徴とするアクティブ型除振装置。 - 【請求項２】 前記被除振体に１または２以上の前記除
振機構部が取り付けられて構成されていることを特徴と
する請求項１記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項３】 １つの前記除振機構部に対して１つの前
記制御装置部が設けられていることを特徴とする請求項
１または２記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項４】 複数の前記除振機構部に対して１つの前
記制御装置部が設けられ、前記制御装置部は、前記各除
振機構部の前記振動検出手段により別々に検出された前
記所定方向の加速度に対応して前記各除振機構部の前記
変位手段を別々に駆動するように構成されていることを
特徴とする請求項１または２記載のアクティブ型除振装
置。 - 【請求項５】 前記変位手段は、前記取付手段に比較的
小さな変位を与えることが可能に構成された小変位アク
チュエータを備え、前記小変位アクチュエータは前記所
定方向と同じ変位方向を有するように前記ベース部と前
記取付手段の間に配設されていることを特徴とする請求
項１乃至４に何れか１項記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項６】 前記小変位アクチュエータは固体アクチ
ュエータから構成されていることを特徴とする請求項５
記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項７】 前記固体アクチュエータは、超磁歪アク
チュエータまたはピエゾアクチュエータであることを特
徴とする請求項６記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項８】 前記小変位アクチュエータは、発生する
変位量の精度が高いが発生する変位量が小さく、かつ、
発生する変位量の周波数応答性が高いことを特徴とする
請求項５、６または７記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項９】 前記支持手段は、前記ベース部と前記取
付手段の間に配設された第１支持部材を有し、前記支持
手段による前記被除振体の支持は、前記第１支持部材に
よって行われていることを特徴とする請求項１乃至８に
何れか１項記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項１０】 前記変位手段は、前記取付手段に比較
的大きな変位を与えることが可能に構成された大変位ア
クチュエータをさらに備え、前記小変位アクチュエータ
と前記大変位アクチュエータは前記所定方向と同じ変位
方向を有するように前記ベース部と前記取付手段の間に
配設されていることを特徴とする請求項５乃至９に何れ
か１項記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項１１】 前記大変位アクチュエータはエアアク
チュエータまたはリニアモータを有して構成されている
ことを特徴とする請求項１０記載のアクティブ型除振装
置。 - 【請求項１２】 前記大変位アクチュエータは、発生す
る変位量の精度が低いが発生する変位量が大きく、か
つ、発生する変位量の周波数応答性が低いことを特徴と
する請求項１０または１１記載のアクティブ型除振装
置。 - 【請求項１３】 前記ベース部と前記取付手段の間に配
設され前記所定方向に移動可能に設けられた中間フレー
ムを設け、前記小変位アクチュエータは、前記中間フレ
ームに取り付けられ、前記大変位アクチュエータは、前
記中間フレームと前記ベース部の間に配設されているこ
とを特徴とする請求項１０、１１または１２記載のアク
ティブ型除振装置。 - 【請求項１４】 前記支持手段は、前記取付手段と前記
中間フレームの間に配設された第２支持部材を有し、前
記取付手段が前記第２支持部材を介して前記中間フレー
ムに支持されていることを特徴とする請求項１３記載の
アクティブ型除振装置。 - 【請求項１５】 前記ベースと前記中間フレームの間に
位置保持手段を設け、前記位置保持手段は、振動非発生
時に前記ベースに対する前記中間フレームの前記所定方
向における位置を所定位置に保持するように構成されて
いることを特徴とする請求項１３または１４記載のアク
ティブ型除振装置。 - 【請求項１６】 前記位置保持手段は、空気ばねによっ
て構成されていることを特徴とする請求項１５記載のア
クティブ型除振装置。 - 【請求項１７】 前記中間フレームは、前記ベース部に
よって前記所定方向に摺動可能に支持され、前記中間フ
レームと前記ベース部との間で発生する前記所定方向の
摩擦抵抗力は所定値に設定され、前記所定値は、前記小
変位アクチュエータが前記所定方向に発生可能な最大の
力以上の値であることを特徴とする請求項１３乃至１６
に何れか１項記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項１８】 前記中間フレームは、所定重量を有す
るように構成され、前記所定重量は、前記小変位アクチ
ュエータが前記所定方向に発生可能な最大の力を発生し
た際に、前記中間フレームによって前記最大の力以上の
慣性反力が生じる状態となる値に設定されていることを
特徴とする請求項１３乃至１６に何れか１項記載のアク
ティブ型除振装置。 - 【請求項１９】 前記中間フレームは、該中間フレーム
と前記ケースの間に設けられた中間フレーム支持手段に
よって前記所定方向に移動可能に支持されていることを
特徴とする請求項１８記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項２０】 前記小変位アクチュエータは、弾性体
を介して前記取付手段に前記所定方向の変位を与えるよ
うに構成され、前記弾性体は前記小変位アクチュエータ
に作用するせん断力を吸収するように構成されているこ
とを特徴とする請求項５乃至１９に何れか１項記載のア
クティブ型除振装置。 - 【請求項２１】 前記非駆動状態の前記小変位アクチュ
エータがその変位方向において受ける予圧縮力を調整す
る予圧縮力調整手段を設けたことを特徴とする請求項５
乃至２０に何れか１項記載のアクティブ型除振装置。 - 【請求項２２】前記所定方向は、上下方向と水平方向の
少なくとも一方または両方であることを特徴とする請求
項１乃至２１に何れか１項記載のアクティブ型除振装
置。 - 【請求項２３】 前記支持手段は、前記被除振体を前記
下部構造体に対して支持する弾性支持部材を有すること
を特徴とする請求項１乃至２２に何れか１項記載のアク
ティブ型除振装置。 - 【請求項２４】 前記弾性支持部材は空気ばねにより構
成されていることを特徴とする請求項２４記載のアクテ
ィブ型除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11050462A JP2000249185A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | アクティブ型除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11050462A JP2000249185A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | アクティブ型除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000249185A true JP2000249185A (ja) | 2000-09-12 |
Family
ID=12859553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11050462A Pending JP2000249185A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | アクティブ型除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000249185A (ja) |
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- 1999-02-26 JP JP11050462A patent/JP2000249185A/ja active Pending
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|
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