JPH07104020A - 作業者帯電検出装置 - Google Patents
作業者帯電検出装置Info
- Publication number
- JPH07104020A JPH07104020A JP25139793A JP25139793A JPH07104020A JP H07104020 A JPH07104020 A JP H07104020A JP 25139793 A JP25139793 A JP 25139793A JP 25139793 A JP25139793 A JP 25139793A JP H07104020 A JPH07104020 A JP H07104020A
- Authority
- JP
- Japan
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- worker
- electrode
- emitting diode
- light emitting
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 アース線を介してアースに接続されるアース
電極を身体に装着してなる作業者に自分自身の身体が確
実にアースされ、静電気が停電していないことを認識可
能とする技術を提供することにある。 【構成】 アース線を介してアースに接続されるアース
電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身
が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出装置
であって、アース電極に流れる電流を検出する電流検出
手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作業者
にアース電極が完全にアースされているか否かを指示す
る手段とを具備する。
電極を身体に装着してなる作業者に自分自身の身体が確
実にアースされ、静電気が停電していないことを認識可
能とする技術を提供することにある。 【構成】 アース線を介してアースに接続されるアース
電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分自身
が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出装置
であって、アース電極に流れる電流を検出する電流検出
手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作業者
にアース電極が完全にアースされているか否かを指示す
る手段とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造工程
等において、作業者の身体に帯電した静電気を検出する
装置に関し、特に、作業者に自分自身が帯電しているこ
と、あるいは作業者に自分自身が帯電していないことを
認識させることが可能な作業者帯電検出装置に関する。
等において、作業者の身体に帯電した静電気を検出する
装置に関し、特に、作業者に自分自身が帯電しているこ
と、あるいは作業者に自分自身が帯電していないことを
認識させることが可能な作業者帯電検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の製造工程等において
は、作業者自身が帯電していると、製品等の被検査体に
静電気を与えて誤測定をしたり、あるいは被検査体を破
壊する恐れがあるため、作業者は、アースバンド、アー
スリング等アース電極を備えた接地器具を身体に装着し
て作業していた。
は、作業者自身が帯電していると、製品等の被検査体に
静電気を与えて誤測定をしたり、あるいは被検査体を破
壊する恐れがあるため、作業者は、アースバンド、アー
スリング等アース電極を備えた接地器具を身体に装着し
て作業していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見
い出した。
者は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見
い出した。
【０００４】前記従来技術では、接地器具を身体に装着
していても、完全にアースされていない場合があり、製
品等の被検査体を破壊したり、あるいは誤測定すると言
う問題点があった。
していても、完全にアースされていない場合があり、製
品等の被検査体を破壊したり、あるいは誤測定すると言
う問題点があった。
【０００５】本発明は、かかる従来技術の問題点を解消
するためになされたものであって、本発明の目的は、ア
ース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自
身の身体に装着してある作業者に自分自身の身体が確実
にアースされ、静電気が停電していないことを認識可能
とする技術を提供することにある。
するためになされたものであって、本発明の目的は、ア
ース線を介してアースに接続されるアース電極を自分自
身の身体に装着してある作業者に自分自身の身体が確実
にアースされ、静電気が停電していないことを認識可能
とする技術を提供することにある。
【０００６】本発明の前記目的並びにその他の目的及び
新規な構成は、本明細書の記載及び添付図面によって明
らかになるであろう。
新規な構成は、本明細書の記載及び添付図面によって明
らかになるであろう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
【０００８】すなわち、アース線を介してアースに接続
されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業
者に自分自身が帯電していないことを認識させる作業者
帯電検出装置であって、アース電極に流れる電流を検出
する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動
作し、作業者にアース電極が完全にアースされているか
否かを指示する指示手段とを具備することを特徴とする
とするものである。
されるアース電極を自分自身の身体に装着してある作業
者に自分自身が帯電していないことを認識させる作業者
帯電検出装置であって、アース電極に流れる電流を検出
する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力により動
作し、作業者にアース電極が完全にアースされているか
否かを指示する指示手段とを具備することを特徴とする
とするものである。
【０００９】
【作用】上述した手段によれば、作業者の身体に装着さ
れた作業者帯電検出装置に、アース電極に流れる電流を
検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力によ
り動作し、アース電極が完全にアースされているか否か
を指示する手段を備えることにより、作業者の身体が完
全にアースされているか否かを作業者自身に認識させる
ことが可能となり、製品等の被検査体の破壊、あるいは
誤測定を防止することできる。
れた作業者帯電検出装置に、アース電極に流れる電流を
検出する電流検出手段と、前記電流検出手段の出力によ
り動作し、アース電極が完全にアースされているか否か
を指示する手段を備えることにより、作業者の身体が完
全にアースされているか否かを作業者自身に認識させる
ことが可能となり、製品等の被検査体の破壊、あるいは
誤測定を防止することできる。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１１】なお、第１図〜第８図において、同一符号
は同一対象物を示す。
は同一対象物を示す。
【００１２】図１は、本発明の一実施例である作業者帯
電検出装置の表側から見た平面図である。
電検出装置の表側から見た平面図である。
【００１３】図２は、図１のＡ−Ａ線で切断した断面図
である。
である。
【００１４】図３は、本発明の一実施例である作業者帯
電検出装置の裏側から見た平面図である。
電検出装置の裏側から見た平面図である。
【００１５】図１、図２および図３において、１はプラ
スチック等で形成された装置の外装ケースであり、透明
プラスチックで形成された窓部２を有する。また、外装
ケース１には、裏蓋１１がネジ１５によりネジ止めされ
ている。
スチック等で形成された装置の外装ケースであり、透明
プラスチックで形成された窓部２を有する。また、外装
ケース１には、裏蓋１１がネジ１５によりネジ止めされ
ている。
【００１６】３は外装ケース１を作業者の腕に取り付け
るリストバンドであり、布、ビニル、皮等の絶縁体で形
成されている。リストバンド３には、銅、アルミニウ
ム、ニッケル等の導電体からなる電極４が設けられてお
り、作業者がリストバンド３を腕に取り付けると、電極
４が作業者の腕に接するようになっている。
るリストバンドであり、布、ビニル、皮等の絶縁体で形
成されている。リストバンド３には、銅、アルミニウ
ム、ニッケル等の導電体からなる電極４が設けられてお
り、作業者がリストバンド３を腕に取り付けると、電極
４が作業者の腕に接するようになっている。
【００１７】作業者は、リストバンド３を腕に取り付
け、アース線５を電極４に接続して作業を開始する。
け、アース線５を電極４に接続して作業を開始する。
【００１８】外装ケース１の内部には、プリント基板６
が収納されており、プリント基板６には、アース電極４
に流れる電流を検出する電流検出手段の構成要素である
回路素子７，８、およびアース電極が完全にアースされ
ているか否かを指示する手段である発光ダイオード９が
取り付けられている。発光ダイオード９は、外装ケース
１の窓部２の下に取り付けられ、点灯したときに外部か
ら確認できるようになっている。
が収納されており、プリント基板６には、アース電極４
に流れる電流を検出する電流検出手段の構成要素である
回路素子７，８、およびアース電極が完全にアースされ
ているか否かを指示する手段である発光ダイオード９が
取り付けられている。発光ダイオード９は、外装ケース
１の窓部２の下に取り付けられ、点灯したときに外部か
ら確認できるようになっている。
【００１９】また、プリント基板６に形成されたアース
ライン３１は、アース線３０によりアースされている。
ライン３１は、アース線３０によりアースされている。
【００２０】なお、図示されてないが、外装ケース１に
は電源スイッチが設けられ、外装ケース１の内部には、
電池が収納されている。
は電源スイッチが設けられ、外装ケース１の内部には、
電池が収納されている。
【００２１】１０は外装ケース１の内部の四隅に設けら
れた突起であり、外装ケースと同じプラスチック材料で
一体的に形成されている。１２は裏蓋１１に設けられた
突起であり、裏蓋１１と同じプラスチック材料で一体的
に、かつ突起１０と対抗する位置に形成されている。
れた突起であり、外装ケースと同じプラスチック材料で
一体的に形成されている。１２は裏蓋１１に設けられた
突起であり、裏蓋１１と同じプラスチック材料で一体的
に、かつ突起１０と対抗する位置に形成されている。
【００２２】プリント基板６は、突起１０および１２に
よって挟持され、ネジ１３により固定されている。
よって挟持され、ネジ１３により固定されている。
【００２３】なお、突起１０にはネジ１３が螺合する雌
ネジが切ってあり、さらに、突起１２にはネジ１３を挿
入し、ネジ止めするのに十分な径と深さの穴１４が穿孔
されている。
ネジが切ってあり、さらに、突起１２にはネジ１３を挿
入し、ネジ止めするのに十分な径と深さの穴１４が穿孔
されている。
【００２４】図４は、本発明の一実施例である作業者帯
電検出装置の回路構成を示す図である。
電検出装置の回路構成を示す図である。
【００２５】４はリストバンド３に設けられた電極であ
り、アース線５に接続される。
り、アース線５に接続される。
【００２６】１６は電池、１７は電源スイッチ、１８は
抵抗であり、１９は抵抗１８に電流が流れている時に出
力を生じるオペアンプを用いた反転増幅器、２０は増幅
器１９の出力を反転する反転増幅器である。また、９は
抵抗１８に電流が流れているときに、発光する発光ダイ
オードであり、ＮＰＮ型のスイッチングトランジスタ２
１のコレクタに接続されている。
抵抗であり、１９は抵抗１８に電流が流れている時に出
力を生じるオペアンプを用いた反転増幅器、２０は増幅
器１９の出力を反転する反転増幅器である。また、９は
抵抗１８に電流が流れているときに、発光する発光ダイ
オードであり、ＮＰＮ型のスイッチングトランジスタ２
１のコレクタに接続されている。
【００２７】なお、発光ダイオード９に直列に接続され
ている抵抗は、電流制限用の抵抗である。
ている抵抗は、電流制限用の抵抗である。
【００２８】次に、本実施例の回路の動作について説明
する。
する。
【００２９】作業者が、リストバンド３の電極４へアー
ス線５を接続し、電源スイッチ１７を投入する。
ス線５を接続し、電源スイッチ１７を投入する。
【００３０】正常にアースされている時には、抵抗１８
を介して電流が流れ、抵抗１８に電圧が発生する。抵抗
１８に発生した電圧は、反転増幅器１９で増幅され、さ
らに、反転増幅器２０で反転され、トランジスタ２１の
ベースに加えられる。
を介して電流が流れ、抵抗１８に電圧が発生する。抵抗
１８に発生した電圧は、反転増幅器１９で増幅され、さ
らに、反転増幅器２０で反転され、トランジスタ２１の
ベースに加えられる。
【００３１】したがって、トランジスタ２１は導通とな
り、発光ダイオード９が点灯し、作業者は自分自身が正
常にアースされており、帯電状態ではないことを確認す
ることができる。
り、発光ダイオード９が点灯し、作業者は自分自身が正
常にアースされており、帯電状態ではないことを確認す
ることができる。
【００３２】もし、正常にアースされていないと、検出
抵抗１８に電流が流れず、増幅器１９に出力が発生せ
ず、そのため、スイッチングトランジスタ２１は導通せ
ず、発光ダイオード９も点灯しない。したがって、作業
者は自分自身が正常にアースされていないことが確認で
きる。
抵抗１８に電流が流れず、増幅器１９に出力が発生せ
ず、そのため、スイッチングトランジスタ２１は導通せ
ず、発光ダイオード９も点灯しない。したがって、作業
者は自分自身が正常にアースされていないことが確認で
きる。
【００３３】なお、本実施例では、アース電極が完全に
アースされているか否かを指示する手段として、発光ダ
イオード９を用いたが、ブザーを用いても良く、さら
に、両者を併用するようにしても良い。
アースされているか否かを指示する手段として、発光ダ
イオード９を用いたが、ブザーを用いても良く、さら
に、両者を併用するようにしても良い。
【００３４】また、本実施例では、抵抗１８に発生した
電圧を、反転増幅器１９で増幅し、さらに、反転増幅器
２０で反転して、トランジスタ２１のベースに加えるよ
うにして、アースが正常な時に発光ダイオード９を点灯
させるようにしたが、抵抗１８に発生した電圧を、反転
増幅器１９で増幅して、トランジスタ２１のベースに加
えるようにして、逆に、アースが正常でない時に、発光
ダイオード９を点灯させるようにしても良い。さらに、
発光ダイオード９を点滅するようにしても良い。
電圧を、反転増幅器１９で増幅し、さらに、反転増幅器
２０で反転して、トランジスタ２１のベースに加えるよ
うにして、アースが正常な時に発光ダイオード９を点灯
させるようにしたが、抵抗１８に発生した電圧を、反転
増幅器１９で増幅して、トランジスタ２１のベースに加
えるようにして、逆に、アースが正常でない時に、発光
ダイオード９を点灯させるようにしても良い。さらに、
発光ダイオード９を点滅するようにしても良い。
【００３５】また、本実施例では、反転増幅器１９，２
０を用いているが、反転増幅器に代えて、非反転増幅器
を用いるようにしても良い。
０を用いているが、反転増幅器に代えて、非反転増幅器
を用いるようにしても良い。
【００３６】図５は、本発明の一実施例である作業者帯
電検出装置の回路構成を示す図である。
電検出装置の回路構成を示す図である。
【００３７】図５の実施例は、スイッチングトランジス
タ２１として、ＰＮＰ型のトランジスタを用いた点で図
４の実施例と相違するが、その動作において、図４の実
施例と何等相違しないので詳細な説明は省略する。
タ２１として、ＰＮＰ型のトランジスタを用いた点で図
４の実施例と相違するが、その動作において、図４の実
施例と何等相違しないので詳細な説明は省略する。
【００３８】図６は、本発明の他の実施例である作業者
帯電検出装置の回路構成を示す図である。
帯電検出装置の回路構成を示す図である。
【００３９】４はリストバンド３に設けられた電極であ
り、アース線５に接続される。
り、アース線５に接続される。
【００４０】１６は電池、１７は電源スイッチ、１８は
電流制限用の抵抗である。
電流制限用の抵抗である。
【００４１】次に、本実施例の回路の動作について説明
する。
する。
【００４２】作業者が、リストバンド３の電極４へアー
ス線５を接続し、電源スイッチ１７を投入する。
ス線５を接続し、電源スイッチ１７を投入する。
【００４３】正常にアースされている時には、発光ダイ
オード９、及び抵抗１８を介して電流が流れ、発光ダイ
オード９が点灯し、作業者は自分自身が正常にアースさ
れており、帯電状態ではないことを確認することができ
る。
オード９、及び抵抗１８を介して電流が流れ、発光ダイ
オード９が点灯し、作業者は自分自身が正常にアースさ
れており、帯電状態ではないことを確認することができ
る。
【００４４】もし、正常にアースされていないと、発光
ダイオード９、及び抵抗１８を介して電流が流れず、そ
のため、発光ダイオード９が点灯しない。
ダイオード９、及び抵抗１８を介して電流が流れず、そ
のため、発光ダイオード９が点灯しない。
【００４５】したがって、作業者は自分自身が正常にア
ースされていないことが確認できる。
ースされていないことが確認できる。
【００４６】なお、本実施例でも、アース電極が完全に
アースされているか否かを指示する手段として、発光ダ
イオード９を用いたが、ブザーを用いても良く、さら
に、両者を併用するようにしても良い。
アースされているか否かを指示する手段として、発光ダ
イオード９を用いたが、ブザーを用いても良く、さら
に、両者を併用するようにしても良い。
【００４７】図７は、本発明の他の実施例である作業者
帯電検出装置の回路構成を示す図である。
帯電検出装置の回路構成を示す図である。
【００４８】４はリストバンド３に設けられた電極であ
り、アース線５に接続される。
り、アース線５に接続される。
【００４９】１６は電池、１７は電源スイッチ、２１は
ＮＰＮ型のスイッチングトランジスタであり、そのコレ
クタには発光ダイオード９が接続されている。
ＮＰＮ型のスイッチングトランジスタであり、そのコレ
クタには発光ダイオード９が接続されている。
【００５０】なお、発光ダイオード９およびスイッチン
グトランジスタ２１のベースに直列に接続されている抵
抗は、電流制限用の抵抗である。
グトランジスタ２１のベースに直列に接続されている抵
抗は、電流制限用の抵抗である。
【００５１】次に、本実施例の回路の動作について説明
する。
する。
【００５２】作業者が、リストバンド３の電極４へアー
ス線５を接続し、電源スイッチ１７を投入する。
ス線５を接続し、電源スイッチ１７を投入する。
【００５３】正常にアースされている時には、トランジ
スタ２１のベースに動作電圧が印加され、トランジスタ
２１は導通となり、発光ダイオード９が点灯する。
スタ２１のベースに動作電圧が印加され、トランジスタ
２１は導通となり、発光ダイオード９が点灯する。
【００５４】したがって、作業者は自分自身が正常にア
ースされており、帯電状態ではないことを確認すること
ができる。
ースされており、帯電状態ではないことを確認すること
ができる。
【００５５】もし、正常にアースされていないと、トラ
ンジスタ２１のベースに動作電圧が印加されず、トラン
ジスタ２１は導通せず、発光ダイオード９も点灯しな
い。
ンジスタ２１のベースに動作電圧が印加されず、トラン
ジスタ２１は導通せず、発光ダイオード９も点灯しな
い。
【００５６】したがって、作業者は自分自身が正常にア
ースされていないことが確認できる。
ースされていないことが確認できる。
【００５７】なお、本実施例では、アース電極が完全に
アースされているか否かを指示する手段として、発光ダ
イオード９を用いたが、ブザーを用いても良く、さら
に、両者を併用するようにしても良い。
アースされているか否かを指示する手段として、発光ダ
イオード９を用いたが、ブザーを用いても良く、さら
に、両者を併用するようにしても良い。
【００５８】また、本実施例でも、発光ダイオード９を
点滅するようにしても良い。
点滅するようにしても良い。
【００５９】図８は、本発明の他の実施例である作業者
帯電検出装置の回路構成を示す図である。
帯電検出装置の回路構成を示す図である。
【００６０】図８の実施例は、スイッチングトランジス
タ２１として、ＰＮＰ型のトランジスタを用いた点で図
７の実施例と相違するが、その動作において、図７の実
施例と何等相違しないので詳細な説明は省略する。
タ２１として、ＰＮＰ型のトランジスタを用いた点で図
７の実施例と相違するが、その動作において、図７の実
施例と何等相違しないので詳細な説明は省略する。
【００６１】以上説明したように、本実施例では、アー
スが正常である時に、発光ダイオードを点灯させて、作
業者に自分自身が確実にアースされていることを認識す
ることができる。
スが正常である時に、発光ダイオードを点灯させて、作
業者に自分自身が確実にアースされていることを認識す
ることができる。
【００６２】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得ること
は言うまでもない。
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更し得ること
は言うまでもない。
【００６３】例えば、回路の電源に太陽電池を用いるこ
とができ、その場合には、電池の交換が不要となり、経
済的である。
とができ、その場合には、電池の交換が不要となり、経
済的である。
【００６４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
作業者の身体に装着された作業者帯電検出装置にアース
電極が完全にアースされているか否かを指示する手段を
備えることにより、作業者の身体が完全にアースされて
いるか否かを作業者自身に認識させることが可能とな
り、これにより、製品等の被検査体の破壊、あるいは誤
測定を防止することできる。それにより、製品の歩留を
向上させることが可能である。
作業者の身体に装着された作業者帯電検出装置にアース
電極が完全にアースされているか否かを指示する手段を
備えることにより、作業者の身体が完全にアースされて
いるか否かを作業者自身に認識させることが可能とな
り、これにより、製品等の被検査体の破壊、あるいは誤
測定を防止することできる。それにより、製品の歩留を
向上させることが可能である。
【図１】 本発明の一実施例である作業者帯電検出装置
の表側から見た平面図である。
の表側から見た平面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ線で切断した断面図である。
【図３】 本発明の一実施例である作業者帯電検出装置
の裏側から見た平面図である。
の裏側から見た平面図である。
【図４】 本発明の一実施例である作業者帯電検出装置
の回路構成を示す図である。
の回路構成を示す図である。
【図５】 本発明の他の実施例である作業者帯電検出装
置の回路構成を示す図である。
置の回路構成を示す図である。
【図６】 本発明の他の実施例である作業者帯電検出装
置の回路構成を示す図である。
置の回路構成を示す図である。
【図７】 本発明の他の実施例である作業者帯電検出装
置の回路構成を示す図である。
置の回路構成を示す図である。
【図８】 本発明の他の実施例である作業者帯電検出装
置の回路構成を示す図である。
置の回路構成を示す図である。
１…外装ケース、２…窓部、３…リストバンド、４…電
極、５…アース線、６…プリント基板、７，８…回路素
子、９…発光ダイオード、１０，１２…突起、１１…裏
蓋、１３，１５…ネジ、１４…穴、１６…電池、１７…
電源スイッチ、１８…抵抗、１９，２０…反転増幅器、
２１…トランジスタ、３０…アース線、３１…プリント
基板のアース線。
極、５…アース線、６…プリント基板、７，８…回路素
子、９…発光ダイオード、１０，１２…突起、１１…裏
蓋、１３，１５…ネジ、１４…穴、１６…電池、１７…
電源スイッチ、１８…抵抗、１９，２０…反転増幅器、
２１…トランジスタ、３０…アース線、３１…プリント
基板のアース線。
Claims (1)
- 【請求項１】 アース線を介してアースに接続されるア
ース電極を自分自身の身体に装着してある作業者に自分
自身が帯電していないことを認識させる作業者帯電検出
装置であって、アース電極に流れる電流を検出する電流
検出手段と、前記電流検出手段の出力により動作し、作
業者にアース電極が完全にアースされているか否かを指
示する指示手段とを具備することを特徴とする作業者帯
電検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25139793A JPH07104020A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 作業者帯電検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25139793A JPH07104020A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 作業者帯電検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07104020A true JPH07104020A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17222240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25139793A Pending JPH07104020A (ja) | 1993-10-07 | 1993-10-07 | 作業者帯電検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104020A (ja) |
-
1993
- 1993-10-07 JP JP25139793A patent/JPH07104020A/ja active Pending
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