JPH07106290A - 電子部品用異物除去装置 - Google Patents
電子部品用異物除去装置Info
- Publication number
- JPH07106290A JPH07106290A JP5244545A JP24454593A JPH07106290A JP H07106290 A JPH07106290 A JP H07106290A JP 5244545 A JP5244545 A JP 5244545A JP 24454593 A JP24454593 A JP 24454593A JP H07106290 A JPH07106290 A JP H07106290A
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- Japan
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- air
- electronic component
- hoop
- cavity
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- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B6/00—Cleaning by electrostatic means
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フープ状電子部品のキャビティ内に付着して
いる異物を確実に除去できる異物除去装置を提供する。 【構成】 箱型ブースに入ったキャビティ１５ａを有す
るフープ状電子部品１５にイオン化エアーを吹き付けて
静電気を中和し、異物除去治具１２のカバー１２ａ内で
異なる吹き付け角度に設置したエアー吹出ノズル１２
ａ，１２ｂ，１２ｃから順次エアーをキャビティ１５ａ
に吹き付け、これらを吸引ノズル１２ｂで吸い込んで異
物を除去するようにしている。このとき、箱型ブース内
はクリーンエアー発生装置によりクリーンエアーで満た
しており、異物除去治具１２を通過したフープ状電子部
品１５に異物の再付着を発生させないようにしている。
このため、キャビティ１５ａ内の如何なる場所に付着し
た異物も完全に除去でき、しかも大型のクリーンルーム
等を要せず再付着を簡単に防止できるものである。
いる異物を確実に除去できる異物除去装置を提供する。 【構成】 箱型ブースに入ったキャビティ１５ａを有す
るフープ状電子部品１５にイオン化エアーを吹き付けて
静電気を中和し、異物除去治具１２のカバー１２ａ内で
異なる吹き付け角度に設置したエアー吹出ノズル１２
ａ，１２ｂ，１２ｃから順次エアーをキャビティ１５ａ
に吹き付け、これらを吸引ノズル１２ｂで吸い込んで異
物を除去するようにしている。このとき、箱型ブース内
はクリーンエアー発生装置によりクリーンエアーで満た
しており、異物除去治具１２を通過したフープ状電子部
品１５に異物の再付着を発生させないようにしている。
このため、キャビティ１５ａ内の如何なる場所に付着し
た異物も完全に除去でき、しかも大型のクリーンルーム
等を要せず再付着を簡単に防止できるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の製造工程に
おいて、電子部品のキャビティ内に付着している異物を
除去する電子部品用異物除去装置に関する。
おいて、電子部品のキャビティ内に付着している異物を
除去する電子部品用異物除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品のキャビティ内に異物が付着し
ている場合、その異物粒子は電子部品にさまざまな影響
を与える恐れがある。例えば、スイッチ等では接触不良
を発生させる原因となる。
ている場合、その異物粒子は電子部品にさまざまな影響
を与える恐れがある。例えば、スイッチ等では接触不良
を発生させる原因となる。
【０００３】以下に従来のこの種の異物除去装置につい
て図３、図４を用いて説明する。すなわち、図３におい
て、１は電子部品のリードフレームであり、リードフレ
ーム１にキャビティ２をインサート成形等で形成し、キ
ャビティ２内に付着した異物５をキャビティ２の近傍に
設けたエアー吹出ノズル３から出るイオン化エアー６で
ある一方向より吹き付け、そのエアー６の圧力と静電気
の中和により異物５を遊離させ、浮遊した異物５をエア
ー６ごと吸引ノズル４で吸引し、排出するようにしてい
た。また、これらの異物除去装置は電子部品を手作業ま
たはコンベアで搬送するバッチ式のものであり、異物除
去装置部から次の工程に搬送される際は外気にさらされ
るため、これらの工程は通常大型のクリーンルーム内に
置かれるのが一般的であった。
て図３、図４を用いて説明する。すなわち、図３におい
て、１は電子部品のリードフレームであり、リードフレ
ーム１にキャビティ２をインサート成形等で形成し、キ
ャビティ２内に付着した異物５をキャビティ２の近傍に
設けたエアー吹出ノズル３から出るイオン化エアー６で
ある一方向より吹き付け、そのエアー６の圧力と静電気
の中和により異物５を遊離させ、浮遊した異物５をエア
ー６ごと吸引ノズル４で吸引し、排出するようにしてい
た。また、これらの異物除去装置は電子部品を手作業ま
たはコンベアで搬送するバッチ式のものであり、異物除
去装置部から次の工程に搬送される際は外気にさらされ
るため、これらの工程は通常大型のクリーンルーム内に
置かれるのが一般的であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来の異物除去装置では、凹凸形状（キャビティ）を有
する電子部品の場合、イオン化エアー６を吹き付ける方
向によっては、図４に示すように、キャビティ２の内側
にエアー陰７すなわちイオン化エアー６の圧力が十分に
加わらない部分が生じ、異物５が除去しきれないという
欠点があった。また、電子部品の搬送時大気中の塵等の
付着を防止するために大型のクリーンルーム内で行う必
要があり、設置場所が自由に選べず、しかもクリーンル
ーム設置に多くの投資が必要であった。また、異物除去
装置そのものは構造がバッチ式であったのでフープ形状
で生産する電子部品にはかならずしも適したものではな
かった。
従来の異物除去装置では、凹凸形状（キャビティ）を有
する電子部品の場合、イオン化エアー６を吹き付ける方
向によっては、図４に示すように、キャビティ２の内側
にエアー陰７すなわちイオン化エアー６の圧力が十分に
加わらない部分が生じ、異物５が除去しきれないという
欠点があった。また、電子部品の搬送時大気中の塵等の
付着を防止するために大型のクリーンルーム内で行う必
要があり、設置場所が自由に選べず、しかもクリーンル
ーム設置に多くの投資が必要であった。また、異物除去
装置そのものは構造がバッチ式であったのでフープ形状
で生産する電子部品にはかならずしも適したものではな
かった。
【０００５】本発明は上記課題を解決するもので、キャ
ビティ内の如何なる場所に付着している異物でも確実に
除去でき、かつ搬送時の再付着も防止できるようにした
電子部品用異物除去装置を提供することを目的としてい
るものである。
ビティ内の如何なる場所に付着している異物でも確実に
除去でき、かつ搬送時の再付着も防止できるようにした
電子部品用異物除去装置を提供することを目的としてい
るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の電子部品用異物除去装置は、空気中に浮遊す
る塵等の異物を除去したクリーンエアーによって満たさ
れた箱形装置と、この箱形装置内を通るフープ状の凹凸
形状を有する電子部品と、前記箱形装置内に設けられク
リーンエアーを異なる角度から吹き付ける複数個のノズ
ルと、前記クリーンエアーによって吹き飛ばされた異物
を吸い込む吸引ノズルとを有したものである。
に本発明の電子部品用異物除去装置は、空気中に浮遊す
る塵等の異物を除去したクリーンエアーによって満たさ
れた箱形装置と、この箱形装置内を通るフープ状の凹凸
形状を有する電子部品と、前記箱形装置内に設けられク
リーンエアーを異なる角度から吹き付ける複数個のノズ
ルと、前記クリーンエアーによって吹き飛ばされた異物
を吸い込む吸引ノズルとを有したものである。
【０００７】
【作用】本発明は上記した構成により、凹凸形状を有す
る電子部品のキャビティ内にあらゆる方向からクリーン
エアーが吹き付けられるため、キャビティ内の如何なる
場所に付着している異物に対しても、十分にエアーの圧
力が伝わりそれらの異物を確実に除去することができ
る。
る電子部品のキャビティ内にあらゆる方向からクリーン
エアーが吹き付けられるため、キャビティ内の如何なる
場所に付着している異物に対しても、十分にエアーの圧
力が伝わりそれらの異物を確実に除去することができ
る。
【０００８】そして、この異物除去の工程から次の工程
に送られる間はクリーンエアーによって満たされている
ため異物の再付着が防止できる。
に送られる間はクリーンエアーによって満たされている
ため異物の再付着が防止できる。
【０００９】
【実施例】以下に本発明の電子部品用異物除去装置の一
実施例について、図１、図２により説明する。すなわ
ち、図１において、１０は空気中に浮遊する塵等の異物
を除去するクリーンエアー発生装置であり、発生したク
リーンエアーは略長方形状の箱型ブース（箱形装置）１
１内に満たされるようにしている。箱型ブース１１の内
部には中央部に異物除去治具１２を配して上下部にロー
ラー１３ａ，１３ｂを有している。そして箱型ブース１
１の下側部のフープ入口１４から入ったフープ状電子部
品１５を異物除去治具１２を通過するようにしてローラ
ー１３ａ，１３ｂに懸架し箱型ブース上側部のフープ出
口１６より送り出すようにしている。ローラー１３ｂと
異物除去治具１２との間には、フープ状電子部品１５に
向けてイオン化エアー１７を吹き出す吹出ノズル１８を
有している。なお、点線矢印１９は箱型ブース１１内で
のエアーの流れを示し、矢印２０はフープ状電子部品１
５の進行方向を示す。
実施例について、図１、図２により説明する。すなわ
ち、図１において、１０は空気中に浮遊する塵等の異物
を除去するクリーンエアー発生装置であり、発生したク
リーンエアーは略長方形状の箱型ブース（箱形装置）１
１内に満たされるようにしている。箱型ブース１１の内
部には中央部に異物除去治具１２を配して上下部にロー
ラー１３ａ，１３ｂを有している。そして箱型ブース１
１の下側部のフープ入口１４から入ったフープ状電子部
品１５を異物除去治具１２を通過するようにしてローラ
ー１３ａ，１３ｂに懸架し箱型ブース上側部のフープ出
口１６より送り出すようにしている。ローラー１３ｂと
異物除去治具１２との間には、フープ状電子部品１５に
向けてイオン化エアー１７を吹き出す吹出ノズル１８を
有している。なお、点線矢印１９は箱型ブース１１内で
のエアーの流れを示し、矢印２０はフープ状電子部品１
５の進行方向を示す。
【００１０】上記構成において、フープ入口１４から入
ったフープ状電子部品１５は、ローラー１３ｂで進行方
向を変え、吹出ノズル１８よりのイオン化エアー１７を
受けてフープ状電子部品１５表面部の静電気を中和した
後、異物除去治具１２内でこれらの異物を除去し、再度
進行方向をローラー１３ａで変えてフープ出口１６から
送り出される。このとき、箱型ブース１１内はクリーン
エアー発生装置１０にて塵等の異物を除去したクリーン
エアーで満たされており、フープ入口１４とフープ出口
１６からクリーンエアーが吹き出し矢印１９の如くエア
ー流が発生している。したがって、塵等の混入した外部
空気の流入は起こらず、異物除去治具１２を通過後フー
プ状電子部品１５に異物の再付着を発生させない。
ったフープ状電子部品１５は、ローラー１３ｂで進行方
向を変え、吹出ノズル１８よりのイオン化エアー１７を
受けてフープ状電子部品１５表面部の静電気を中和した
後、異物除去治具１２内でこれらの異物を除去し、再度
進行方向をローラー１３ａで変えてフープ出口１６から
送り出される。このとき、箱型ブース１１内はクリーン
エアー発生装置１０にて塵等の異物を除去したクリーン
エアーで満たされており、フープ入口１４とフープ出口
１６からクリーンエアーが吹き出し矢印１９の如くエア
ー流が発生している。したがって、塵等の混入した外部
空気の流入は起こらず、異物除去治具１２を通過後フー
プ状電子部品１５に異物の再付着を発生させない。
【００１１】次に図２を用いて上記した異物除去治具１
２について説明する。図において１２ａはカバーであ
り、内部に吸引ノズル１２ｂを有しており、カバー１２
ａ内外部のエアーの吸引と同時に中和した塵等の異物を
吸引するようにしている。そして、吸引ノズル１２ｂの
左右にエアー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，１２ｅをフー
プ状電子部品１５のキャビティ１５ａに向けて異なる角
度に設置している。
２について説明する。図において１２ａはカバーであ
り、内部に吸引ノズル１２ｂを有しており、カバー１２
ａ内外部のエアーの吸引と同時に中和した塵等の異物を
吸引するようにしている。そして、吸引ノズル１２ｂの
左右にエアー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，１２ｅをフー
プ状電子部品１５のキャビティ１５ａに向けて異なる角
度に設置している。
【００１２】このようにすることにより、異物除去治具
１２の手前でイオン化エアー１７を受けて静電気を中和
したフープ状電子部品１５は、異物除去治具１２内を矢
印２０の方向に移動するとき、異なる角度に設置したエ
アー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，１２ｅから順次エアー
を受けることになり、これによりキャビティ１５ａ内の
隅々までエアーの圧力が十分に加わり、キャビティ１５
ａ内の如何なる位置にある異物でも除去が可能となるの
である。このとき、エアー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，
１２ｅからのエアー流量の３倍以上の流量を吸引ノズル
１２ｂによって除去した異物ごと、異物除去装置１２外
に排出するようにしているため、矢印１９のようなエア
ー流が発生し、除去した異物の再付着をほとんど発生さ
せない。
１２の手前でイオン化エアー１７を受けて静電気を中和
したフープ状電子部品１５は、異物除去治具１２内を矢
印２０の方向に移動するとき、異なる角度に設置したエ
アー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，１２ｅから順次エアー
を受けることになり、これによりキャビティ１５ａ内の
隅々までエアーの圧力が十分に加わり、キャビティ１５
ａ内の如何なる位置にある異物でも除去が可能となるの
である。このとき、エアー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，
１２ｅからのエアー流量の３倍以上の流量を吸引ノズル
１２ｂによって除去した異物ごと、異物除去装置１２外
に排出するようにしているため、矢印１９のようなエア
ー流が発生し、除去した異物の再付着をほとんど発生さ
せない。
【００１３】また、エアー吹出ノズル１２ｃ，１２ｄ，
１２ｅよりイオン化したクリーンエアーを吹き出してキ
ャビティ１５ａ内の異物を吹き飛ばし吸引ノズル１２ｂ
で吸い込み除去してもよく、この場合は、異物除去治具
１２の手前でイオン化エアー１７を吹き付けなくてもよ
い。
１２ｅよりイオン化したクリーンエアーを吹き出してキ
ャビティ１５ａ内の異物を吹き飛ばし吸引ノズル１２ｂ
で吸い込み除去してもよく、この場合は、異物除去治具
１２の手前でイオン化エアー１７を吹き付けなくてもよ
い。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明の
電子部品用異物除去装置によれば、異なる吹き付け角度
に設置された複数の吹出ノズルからエアーを順次吹き付
けることにより、キャビティ内の如何なる位置にある異
物でも除去できる効果を有する。また、異物除去の工程
を空気中に浮遊する塵等の異物を除去したクリーンエア
ーによって満たされた箱形装置内に設置することによ
り、異物除去の工程を通過した後も異物の再付着を防止
でき、大型のクリーンルーム等を要しないフープ状電子
部品に適した小型の装置にして供給できる。
電子部品用異物除去装置によれば、異なる吹き付け角度
に設置された複数の吹出ノズルからエアーを順次吹き付
けることにより、キャビティ内の如何なる位置にある異
物でも除去できる効果を有する。また、異物除去の工程
を空気中に浮遊する塵等の異物を除去したクリーンエア
ーによって満たされた箱形装置内に設置することによ
り、異物除去の工程を通過した後も異物の再付着を防止
でき、大型のクリーンルーム等を要しないフープ状電子
部品に適した小型の装置にして供給できる。
【図１】本発明の一実施例の電子部品用異物除去装置の
断面図
断面図
【図２】同異物除去装置内に設置した異物除去治具の要
部断面図
部断面図
【図３】従来の電子部品用異物除去装置のキャビティと
吹出ノズルの位置関係を説明するための側面図
吹出ノズルの位置関係を説明するための側面図
【図４】同キャビティに吹出しエアーが当たる関係を説
明するための側面図
明するための側面図
１１ 箱型ブース（箱形装置） １２ｂ 吸引ノズル １２ｃ，１２ｄ，１２ｅ エアー吹出ノズル １５ フープ状電子部品（電子部品） １７ イオン化エアー
Claims (2)
- 【請求項１】 空気中に浮遊する塵等の異物を除去した
クリーンエアーによって満たされた箱形装置と、この箱
形装置内を通過するフープ状の凹凸形状を有する電子部
品とを有し、前記電子部品の表面の静電気をイオン化エ
アーによって中和し、イオン化していないクリーンエア
ーを吹き付け角度の異なる複数のノズルから順次吹き付
けて前記電子部品の表面に付着している異物を吹き飛ば
し、かつ吸引ノズルで吸い込み除去するようにした電子
部品用異物除去装置。 - 【請求項２】 空気中に浮遊する塵等の異物を除去した
クリーンエアーによって満たされた箱形装置と、この箱
形装置内を通過するフープ状の凹凸形状を有する電子部
品とを有し、この電子部品の表面にクリーンエアーを吹
き付け角度の異なる複数のノズルから順次吹き付けて前
記電子部品の表面に付着している異物を吹き飛ばし、か
つ吸引ノズルで吸い込み除去するようにした電子部品用
異物除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5244545A JPH07106290A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 電子部品用異物除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5244545A JPH07106290A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 電子部品用異物除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07106290A true JPH07106290A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17120298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5244545A Pending JPH07106290A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 電子部品用異物除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07106290A (ja) |
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09150120A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Nec Kagoshima Ltd | ガラス表面吸塵装置 |
| FR2806753A1 (fr) | 2000-03-27 | 2001-09-28 | Toyota Motor Co Ltd | Purificateur des gaz d'echappement pour moteur a combustion interne |
| EP1138889A2 (en) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purifier for internal combustion engine and method for purifying exhaust gas |
| EP1138890A2 (en) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust purifying method and apparatus for an internal combustion engine |
| WO2001073272A1 (en) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust cleaning device for internal combustion engines |
| FR2807099A1 (fr) | 2000-03-29 | 2001-10-05 | Toyota Motor Co Ltd | Purificateur des gaz d'echappement pour moteurs a combustion interne |
| EP1148227A2 (en) | 2000-04-18 | 2001-10-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification device |
| EP1167707A2 (en) | 2000-06-29 | 2002-01-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | A device for purifying the exhaust gas of an internal combustion engine |
| FR2812028A1 (fr) | 2000-07-21 | 2002-01-25 | Toyota Motor Co Ltd | Dispositif d'epuration des gaz d'echappement pour un moteur a combustion interne |
| FR2812029A1 (fr) | 2000-07-24 | 2002-01-25 | Toyota Motor Co Ltd | Procede d'epuration des gaz d'echappement |
| EP1245801A2 (en) | 2001-03-29 | 2002-10-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purifier for internal combustion engine |
| EP1281842A2 (en) | 2001-07-31 | 2003-02-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Emission control apparatus |
| FR2831923A1 (fr) | 2001-11-07 | 2003-05-09 | Toyota Motor Co Ltd | Systeme et procede de purification de gaz d'echappement destines a un moteur a combustion interne |
| US6786041B2 (en) | 2000-02-16 | 2004-09-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification method and exhaust gas purification apparatus |
| US6945036B2 (en) | 2000-09-20 | 2005-09-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust emission control filter and method of controlling exhaust emission |
| US7718143B2 (en) | 2003-01-10 | 2010-05-18 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Filter catalyst for purifying exhaust gases |
| EP2329876A1 (en) | 2005-10-21 | 2011-06-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | PM clean-up system and method for manufacture thereof |
| DE10114972B4 (de) * | 2000-03-27 | 2012-01-19 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Vorrichtung zum Reinigen des Abgases eines Verbrennungsmotors |
| US8409519B2 (en) | 2007-04-09 | 2013-04-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust-gas converting filter and production process for the same |
| US8894943B2 (en) | 2008-03-17 | 2014-11-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Catalyst-carrying filter |
| CN109548262A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 林蓉 | 一种运用尖端放电中和静电的新型真空断路器装配设备 |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP5244545A patent/JPH07106290A/ja active Pending
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09150120A (ja) * | 1995-11-29 | 1997-06-10 | Nec Kagoshima Ltd | ガラス表面吸塵装置 |
| US6786041B2 (en) | 2000-02-16 | 2004-09-07 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification method and exhaust gas purification apparatus |
| DE10114972B4 (de) * | 2000-03-27 | 2012-01-19 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Vorrichtung zum Reinigen des Abgases eines Verbrennungsmotors |
| EP1138889A2 (en) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purifier for internal combustion engine and method for purifying exhaust gas |
| WO2001073272A1 (en) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust cleaning device for internal combustion engines |
| EP1138890A2 (en) | 2000-03-27 | 2001-10-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust purifying method and apparatus for an internal combustion engine |
| US6594991B2 (en) | 2000-03-27 | 2003-07-22 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust purifying method and apparatus of an internal combustion engine |
| US6588204B2 (en) | 2000-03-27 | 2003-07-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Device for purifying the exhaust gas of an internal combustion engine |
| FR2806753A1 (fr) | 2000-03-27 | 2001-09-28 | Toyota Motor Co Ltd | Purificateur des gaz d'echappement pour moteur a combustion interne |
| FR2807099A1 (fr) | 2000-03-29 | 2001-10-05 | Toyota Motor Co Ltd | Purificateur des gaz d'echappement pour moteurs a combustion interne |
| EP1148227A2 (en) | 2000-04-18 | 2001-10-24 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification device |
| US6546721B2 (en) | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purification device |
| US6490857B2 (en) | 2000-06-29 | 2002-12-10 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Device for purifying the exhaust gas of an internal combustion engine |
| EP1167707A2 (en) | 2000-06-29 | 2002-01-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | A device for purifying the exhaust gas of an internal combustion engine |
| DE10135341B4 (de) * | 2000-07-21 | 2013-04-11 | Toyota Jidosha K.K. | Abgasreiniger für einen Verbrennungsmotor |
| FR2812028A1 (fr) | 2000-07-21 | 2002-01-25 | Toyota Motor Co Ltd | Dispositif d'epuration des gaz d'echappement pour un moteur a combustion interne |
| FR2812029A1 (fr) | 2000-07-24 | 2002-01-25 | Toyota Motor Co Ltd | Procede d'epuration des gaz d'echappement |
| US6945036B2 (en) | 2000-09-20 | 2005-09-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust emission control filter and method of controlling exhaust emission |
| EP1245801A2 (en) | 2001-03-29 | 2002-10-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust gas purifier for internal combustion engine |
| EP1281842A2 (en) | 2001-07-31 | 2003-02-05 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Emission control apparatus |
| FR2831923A1 (fr) | 2001-11-07 | 2003-05-09 | Toyota Motor Co Ltd | Systeme et procede de purification de gaz d'echappement destines a un moteur a combustion interne |
| US7718143B2 (en) | 2003-01-10 | 2010-05-18 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Filter catalyst for purifying exhaust gases |
| EP2329876A1 (en) | 2005-10-21 | 2011-06-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | PM clean-up system and method for manufacture thereof |
| US8252374B2 (en) | 2005-10-21 | 2012-08-28 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Particulate matter purifying device and manufacturing method thereof |
| US8409519B2 (en) | 2007-04-09 | 2013-04-02 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Exhaust-gas converting filter and production process for the same |
| US8894943B2 (en) | 2008-03-17 | 2014-11-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Catalyst-carrying filter |
| CN109548262A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 林蓉 | 一种运用尖端放电中和静电的新型真空断路器装配设备 |
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