JPH07106496A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH07106496A
JPH07106496A JP5251956A JP25195693A JPH07106496A JP H07106496 A JPH07106496 A JP H07106496A JP 5251956 A JP5251956 A JP 5251956A JP 25195693 A JP25195693 A JP 25195693A JP H07106496 A JPH07106496 A JP H07106496A
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JP
Japan
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semiconductor element
package
lead
electrodes
lead portion
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JP5251956A
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English (en)
Inventor
Yukinori Aoki
幸典 青木
Satoshi Honda
智 本田
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH07106496A publication Critical patent/JPH07106496A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/50Bond wires
    • H10W72/531Shapes of wire connectors
    • H10W72/5363Shapes of wire connectors the connected ends being wedge-shaped
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/756Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink

Landscapes

  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】多端子化が容易な半導体装置を提供することに
ある。 【構成】端縁部に沿って所定のピッチで配設された多数
の電極25a、25bを有する半導体素子22と、この
半導体素子22を封止したパッケ−ジ28と、一端部が
パッケ−ジ28から導出され他端部がパッケ−ジの外壁
に近接した内部に位置し半導体素子22の電極25a、
25bよりも大きいピッチで配設された多数のリ−ド端
子26を有する第1リ−ド部23と、半導体素子22の
電極25a、25bと第1リ−ド部23とを電気的に接
続する第2リ−ド部30とを具備し、第2リ−ド部30
は、電気的に絶縁して厚さ方向に重ねられた複数のリ−
ド31,32を有し、且つ、両端が電極25a、25b
のピッチ及び第1リ−ド部23のリ−ド端子26のピッ
チに対応して分岐して設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、狭ピッチで多
数のリ−ドが形成された半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、図10に示すSOP(Small Out
line Package) 1や、図11に示すQFP(Quad Flat P
ackage) 2などの半導体装置が知られている。これらの
うちのQFP2においては、図12に示すように半導体
素子3がアイランド4に接合されるとともに、図13に
示すように半導体素子のバンプ電極5が、金属細線6を
介して対応するリ−ド端子7の基端部に接続されてい
る。さらに、半導体素子3は矩形な樹脂製のパッケ−ジ
8に封止されており、多数のリ−ド端子7の一部がパッ
ケ−ジ8の四つの側面から突出している。
【0003】ここで、リ−ド端子7はアイランド4とと
もにリ−ドフレ−ム(図示しない)から打抜かれてい
る。そして、リ−ド端子7の金属細線6が接続された側
の端部はインナリ−ド9であり、パッケ−ジ8から突出
した部分の先端部はアウタリ−ド10である。
【0004】半導体素子3の封止の際には、半導体素子
3が装着されたリ−ドフレ−ムが金型に装填され、金型
にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が供給されて、パッケ
−ジ8がトランスファ成形される。
【0005】なお、図10のSOP1についても、同様
な結線構造及び封止方法を適用することが可能である。
上述のQFP2に代表されるように、高機能な半導体装
置においては、リ−ド端子7の数が極めて多い。一方、
半導体装置には、実装密度を高めることを目的として小
型化が要求されている。そして、多端子化及び小型化を
両立するために、リ−ド端子7の狭ピッチ化が進められ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、リ−ド端子
7の狭ピッチ化を進めるほど、各インナリ−ド9の幅が
小さくなり、金属細線6の接続スペ−スが狭くなる。こ
のため、インナリ−ド9と半導体素子3との距離を拡げ
てインナリ−ドピッチAを増すことによって、インナリ
−ド9の接続スペ−スが確保されている。そして、これ
に伴って、金属細線6は長ル−プ化(金属細線6の長さ
を大とすること)されている。
【0007】しかし、金属細線6を長ル−プ化すると、
樹脂封止の際に樹脂から金属細線6に作用する力が増す
ため、金属細線6の変形が生じ易くなる。そして、変形
が過度に大きい場合には、金属細線6が半導体素子3や
隣の金属細線6と短絡することがある。
【0008】また、金属細線6の接続ピッチには限界が
あるため、電極ピッチBやインナリ−ドピッチAを、金
属細線6の接続可能な最小ピッチよりも小さく設定する
ことはできない。このため、半導体素子3及びパッケ−
ジ8の面積を拡大せずに多端子化を進めることは困難で
ある。
【0009】さらに、近年は、半導体の高集積度化も進
んでいるが、集積度が高まるほど消費電力が増すため、
半導体装置の低熱抵抗化の要求が高まっている。本発明
の目的とするところは、多端子化が容易な半導体装置を
提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するために請求項1の発明は、端縁部に沿って所定の
ピッチで配設された多数の電極を有する半導体素子と、
この半導体素子を封止したパッケ−ジと、一端部がパッ
ケ−ジから導出され他端部がパッケ−ジの外壁に近接し
た内部に位置し半導体素子の電極よりも大きいピッチで
配設された多数のリ−ドを有する第1リ−ド部と、半導
体素子の電極と第1リ−ド部とを電気的に接続する第2
リ−ド部とを具備し、第2リ−ド部は、電気的に絶縁し
て厚さ方向に重ねられた複数のリ−ドを有し、且つ、両
端が電極のピッチ及び第1リ−ド部のリ−ドのピッチに
対応して分岐して設けられている。
【0011】また、請求項6の発明は、端縁部に沿って
所定のピッチで配設された多数の電極を有する半導体素
子と、この半導体素子を封止したパッケ−ジと、一端部
がパッケ−ジから導出され他端部がパッケ−ジの外壁に
近接した内部に位置し半導体素子の電極よりも大きいピ
ッチで配設された多数のリ−ドを有する第1リ−ド部
と、パッケ−ジ内で半導体素子を支持する絶縁性の内部
基板と、この内部基板上に薄膜状に形成され一端部が電
極に電気的に接続されるとともに他端部が内部基板の外
縁部に放射状に延在して電極よりも大きいピッチで拡が
った複数のリ−ドを有する第2リ−ド部と、第1リ−ド
部と第2リ−ド部とを接続するワイヤとを具備した。そ
して、これらの発明は半導体装置を容易に多端子化でき
るようにした。
【0012】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図1〜図9に基づ
いて説明する。図1〜図4は本発明の第1実施例の要部
を示すもので、図1中の符号21はQFP(Quad Flat P
ackage) 型の半導体装置である。この半導体装置21
は、半導体素子22と第1リ−ド部23とを有してい
る。ここで、図1は半導体装置21の約1/4の部分の
みを示しており、その他の部分の図示は省略されてい
る。
【0013】半導体素子22の素子形成面24には多数
の電極としてのバンプ電極(以下、電極と称する)25
a、25bが形成されており、これら電極25a、25
bは半導体素子22の端縁部に沿って二列に千鳥配列さ
れている。ここで、図1中の符号Dは電極25a、25
bのピッチを示している。また、素子形成面24の電極
25a、25b以外の部分には、絶縁性材料がコ−ティ
ングされている。なお、半導体素子22をアイランドに
装着してもよい。
【0014】第1リ−ド部23は多数のリ−ド端子26
によって構成されている。リ−ド端子26は半導体素子
22の各片毎に一列に且つ平行に並べられている。さら
に、リ−ド端子26の半導体素子22の側の端部(イン
ナリ−ド)27は直線状に延びており、リ−ド端子26
のピッチEは略均一に設定されている。そして、リ−ド
23の端部27は略同一平面上に揃っている。
【0015】半導体素子22とリ−ド端子26の端部2
7は矩形なパッケ−ジ28によって封止されており、リ
−ド23はパッケ−ジ28の四つの側面29(外壁)か
ら略垂直に突出している。つまり、リ−ド端子26の端
部27はパッケ−ジ28の、側面29に近接した内部に
位置している。パッケ−ジ28の材質としてエポキシ樹
脂を利用し、成型方法としてトランスファ成形を採用す
ることが可能である。なお、図1においては、パッケ−
ジ26は二点鎖線によって概略的に示されている。
【0016】また、図1中に符号30で示すのは複数の
第2リ−ド部である。各第2リ−ド部30は、図2及び
図3中に示すように、ともに導電性の材質からなる二枚
のリ−ド31、32と、絶縁性の材質からなる両面テ−
プ33とを有している。リ−ド31、32と両面テ−プ
33との幅は略等しく設定されており、リ−ド31、3
2は両面テ−プ33を挟んで積層されている。第2リ−
ド部30は、半導体素子22の周囲に放射状に配設され
ている。そして、第2リ−ド部30の長さは、半導体装
置22(及びパッケ−ジ28)の各片の中央から両端へ
いくほど長い。
【0017】また、各第2リ−ド部30の両端において
は、図3(a)及び図4(a)に示すように、リ−ド3
1、32が異なる方向に延びて分岐している。分岐した
部分においては、リ−ド31、32に両面テ−プ33は
貼着されていない。さらに、上側のリ−ド32両端は、
図3(b)及び図4(b)に示すように、下側のリ−ド
31の端部と同じ高さに位置するよう折曲されている。
【0018】第2リ−ド部30の一方の端部において、
リ−ド31、32の間隔は電極25a、25bのピッチ
Dに略一致しており、この部分は各電極25a、25b
に接合されている。また、他方の端部におけるリ−ド3
1、32の間隔はリ−ド端子26のピッチEに略一致し
ており、この部分はリ−ド端子26に接合されている。
【0019】ここで、リ−ド31、32と電極25a、
25b及びリ−ド端子26との接合方法として、熱圧着
を採用することが可能である。また、本実施例では、リ
−ド31、32の積層は成形の後に行われている。
【0020】上述のような半導体装置21においては、
半導体素子22の電極25a、25bと第1リ−ド部2
3リ−ド端子26とが、第2リ−ド部30を介して接続
されている。さらに、第2リ−ド部30においてはリ−
ド31、32が積層されており、これらリ−ド31、3
2が分岐して電極25a、25b及びリ−ド端子26に
接合されている。
【0021】したがって、金属細線を用いることなく電
極25a、25bをリ−ド端子26に接続することがで
きる。このため、金属細線の接続ピッチによって制限さ
れることなく、電極ピッチDやリ−ド端子ピッチEを狭
く設定することが可能になる。そして、半導体素子22
やパッケ−ジ24の面積を大としなくても、多端子化を
行うことができる。
【0022】また、ル−プ状の金属細線を用いていない
ので、樹脂封止の際に金属細線の変形が生じにくい。し
たがって、断線や短絡を防止することが可能になる。さ
らに、金属細線を用いることなく結線を行っているの
で、電極25a、25bの配置の自由度が高まる。した
がって、半導体素子22の設計の自由度も高まる。
【0023】なお、本発明は、要旨を逸脱しない範囲で
種々に変形することが可能である。例えば、本実施例で
は、第2リ−ド部30のリ−ド31、32が両面テ−プ
33を介して積層されているが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、例えば絶縁性の被膜を利用すること
が可能である。絶縁性の被膜として、高分子材料からな
る塗料や接着剤等が考えられる。
【0024】また、本実施例では、両リ−ド31、32
の端部を同一平面上に揃えているが、例えば、図5に示
すように電極25a、25bに高低差を設ければ、リ−
ド32の折曲が不要になる。この場合、電極25a、2
5bを真横に並べることが可能になるので、更に電極を
狭ピッチ化することができる。高低差の量は、例えばリ
−ド31及び両面テ−プ33の厚みを足し合わせた量に
略等しい。なお、図示しないが、隣合ったリ−ド端子2
6に高低差を設けてもよい。
【0025】また、本実施例では電極25a、25bが
二列に並べられているが、例えば図6に示すように、電
極25を前述の実施例と同じピッチEで一列に並べても
よい。
【0026】さらに、図7に示すように、パッケ−ジ4
2に、アルミ合金等の高熱伝性材料からなるヒ−トシン
ク43をインサ−トしてもよい。図7においては、半導
体素子22の素子形成面24に対して逆側の面44に板
状のヒ−トシンク43が熱伝性の接着剤を介して接合さ
れており、このヒ−トシンク43の放熱面45がパッケ
−ジ42の表面47から面一で露出している。半導体素
子22に発生した熱はヒ−トシンク43に伝わり、ヒ−
トシンク43からパッケ−ジ42の外へ放出される。ま
た、ヒ−トシンク43の側面46はアンダ−カットされ
ており、半導体素子22の側へ拡がりながら傾斜してい
る。そして、この側面46によってヒ−トシンク43の
抜け落ちが防止されている。
【0027】このような半導体装置41によれば、多端
子化の上に低熱抵抗化が可能になる。したがって、この
構造は、高集積化された半導体素子を備えた半導体装置
に適している。なお、ヒ−トシンク43をパッケ−ジ4
2から突出させてもよい。
【0028】また、本発明はQFPに限らず、その他の
種々のタイプの半導体装置に適用可能である。つぎに、
本発明の第2実施例を図8及び図9に基づいて説明す
る。
【0029】図8は本発明の第2実施例の要部を一部破
断して示しており、図中の符号51は半導体装置51で
ある。この半導体装置51はQFP(Quad Flat Packag
e) 型のもので、半導体素子52、内部基板53、矩形
なパッケ−ジ54、及び、第1リ−ド部55を有してい
る。第1リ−ド部55はリ−ドとしての多数のリ−ド端
子56を有している。
【0030】これらのうち半導体素子52は、多数(二
つのみ図示)のバンプ電極(以下、電極と称する)57
を有しており、これら電極57は半導体素子52の四つ
の辺のそれぞれに沿って略等ピッチで一列に並んでい
る。
【0031】また、内部基板53は絶縁性材料からなる
もので、正方形な枠状に加工されている。さらに、内部
基板53の一方の板面58には第2リ−ド部59が形成
されている。第2リ−ド部59は多数の薄膜状のリ−ド
60を有しており、これらのリ−ド60は内部基板53
の貫通孔61を中心として放射状に配設されている。そ
して、リ−ド60の外側の端部のピッチは内側の端部の
ピッチに比べて大きく拡がっている。
【0032】内部基板53の中央には半導体素子52が
装着されている。半導体素子52は内部基板53にフェ
イスダウン式に装着されており、半導体素子52の電極
57がリ−ド60の内側の端部に熱圧着されている。
【0033】リ−ド端子56は内部基板53の周囲に配
設されており、内部基板53の各辺に沿って一列に並ん
でいる。さらに、リ−ド端子56の内側の部分(インナ
リ−ド)は内部基板53に対して放射状に延びており、
外側の部分(アウタリ−ド)は内部基板53の各辺に対
して略垂直に延びている。そして、リ−ド端子56の外
側の部分のピッチは、内側の部分のピッチに比べて大き
く拡がっている。なお、リ−ド端子56の内側の端部は
内部基板53と略同じ高さに位置している。
【0034】内部基板53のリ−ド60の外側の端部
と、リ−ド端子56の内側の端部とは、ワイヤとしての
ボンディングワイヤ(金属細線)62を介して結線され
ている。そして、半導体素子52の電極59、内部基板
53のリ−ド60、ボンディングワイヤ62、及び、リ
−ド端子56によって信号伝達経路が構成されている。
【0035】パッケ−ジ54は、半導体素子52、内部
基板53、ボンディングワイヤ62、及び、リ−ド端子
56の内側の端部を封止している。さらに、リ−ド端子
56の外側の部分はパッケ−ジ54の四つの側面から略
垂直に、且つ、互いに平行に突出している。パッケ−ジ
54の材質としてエポキシ樹脂等を利用し、成形方法と
してトランスファ成形を採用することが可能である。
【0036】また、パッケ−ジ54の中にはヒ−トシン
ク63が組込まれている。このヒ−トシンク63は、例
えばアルミニウム合金等のような高熱伝性材料からなる
もので、平板状に加工されている。また、ヒ−トシンク
63の一方の板面が、半導体素子52の内部基板53に
接合された側の面に対して逆側の面に接合されている。
ヒ−トシンク63と半導体素子52との接合に、充分な
熱伝性を有する接着剤を利用することが可能である。
【0037】ヒ−トシンク63の他方の板面64はパッ
ケ−ジ54の表面65から面一で露出している。さら
に、ヒ−トシンク63の側面66はアンダ−カットされ
ており、半導体素子52の側へ拡がるよう傾斜してい
る。ヒ−トシンク63はパッケ−ジ54の成形時にイン
サ−トされている。そして、傾斜した側面66によっ
て、ヒ−トシンク63の抜け落ちが防止されている。
【0038】半導体素子52に発生した熱は、ヒ−トシ
ンク63へ伝わり、ヒ−トシンク63の露出した板面6
4からパッケ−ジ54の外へ放出される。上述のような
半導体装置51においては、半導体素子52の電極56
とボンディングワイヤ62との間に、内部基板53のリ
−ド60が介在しているので、ボンディングワイヤ61
を従来よりも短くすることができる。この結果、ボンデ
ィングワイヤ62の低ル−プ化が可能になり、封止時に
ボンディングワイヤ62が変形しにくくなる。そして、
半導体装置51の信頼性が向上する。
【0039】また、半導体素子52の電極56とボンデ
ィングワイヤ62との間に、内部基板53のリ−ド60
が介在しているので、半導体素子52の電極56のピッ
チが、ボンディングワイヤ62の半導体素子側の接続ピ
ッチよりも小となる。つまり、ボンディングワイヤ62
の最小の接続可能なピッチに制限されることなく、電極
56を狭ピッチ化することができる。そして、半導体装
置51の狭ピッチ・多端子化が可能になる。また、放射
状に延在されたリ−ド60の外側端部にボンディングワ
イヤ62が接続されるので、接続ピッチが拡がり、ワイ
ヤボンディングが容易になる。
【0040】さらに、ヒ−トシンク63が設けられてい
るので、狭ピッチ・多端子化が可能な上に、熱抵抗を低
減できる。したがって、半導体素子の高集積化が可能に
なる。 また、本実施例の半導体装置51の製造にあた
って、熱圧着、ワイヤボンディング、及び、トランスフ
ァ成形等のように一般的な技術を適用することができ
る。したがって、新たな設備投資や技術開発を行う必要
がない。
【0041】なお、本発明は、要旨を逸脱しない範囲で
種々に変形することが可能である。例えば、本実施例で
はQFPが例として挙げられているが、これ以外の一般
的な種々の半導体装置に適用可能である。また、必要に
応じて、ヒ−トシンク63を省略してもよい。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように請求項1の発明は、
端縁部に沿って所定のピッチで配設された多数の電極を
有する半導体素子と、この半導体素子を封止したパッケ
−ジと、一端部がパッケ−ジから導出され他端部がパッ
ケ−ジの外壁に近接した内部に位置し半導体素子の電極
よりも大きいピッチで配設された多数のリ−ドを有する
第1リ−ド部と、半導体素子の電極と第1リ−ド部とを
電気的に接続する第2リ−ド部とを具備し、第2リ−ド
部は、電気的に絶縁して厚さ方向に重ねられた複数のリ
−ドを有し、且つ、両端が電極のピッチ及び第1リ−ド
部のリ−ドのピッチに対応して分岐して設けられてい
る。
【0043】また、請求項6の発明は、端縁部に沿って
所定のピッチで配設された多数の電極を有する半導体素
子と、この半導体素子を封止したパッケ−ジと、一端部
がパッケ−ジから導出され他端部がパッケ−ジの外壁に
近接した内部に位置し半導体素子の電極よりも大きいピ
ッチで配設された多数のリ−ドを有する第1リ−ド部
と、パッケ−ジ内で半導体素子を支持する絶縁性の内部
基板と、この内部基板上に薄膜状に形成され一端部が電
極に電気的に接続されるとともに他端部が内部基板の外
縁部に放射状に延在して電極よりも大きいピッチで拡が
った複数のリ−ドを有する第2リ−ド部と、第1リ−ド
部と第2リ−ド部とを接続するワイヤとを具備した。そ
して、これらの発明によれば、半導体装置を容易に多端
子化できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の半導体装置を一部省略し
て示す平面図。
【図2】第2リ−ド部と半導体素子との接続状態を拡大
して示す側面図。
【図3】(a)は図1中の円IVで囲った部分の拡大図、
(b)は(a)中に矢印Vで示す方向の矢視図。
【図4】(a)は図1中の円VIで囲った部分の拡大図、
(b)は(a)中に矢印VIIで示す方向の矢視図。
【図5】変形例を示すもので、(a)は平面図、(b)
は側面図。
【図6】他の変形例を示す平面図。
【図7】他の変形例を示す側断面図。
【図8】本発明の第2実施例の半導体装置の要部を示す
側断面図。
【図9】本発明の第2実施例の半導体装置を一部省略し
て示す平面図。
【図10】一般のSOPを示す斜視図。
【図11】一般のQFPを示す斜視図。
【図12】一般のQFPを一部省略して示す平面図。
【図13】QFPのリ−ドと半導体素子との接続状態を
一部省略して示す側面図。
【符号の説明】
21…半導体装置、22…半導体素子、23…第1リ−
ド部、26…リ−ド端子(リ−ド)、25a、25b…
バンプ電極(電極)、28…パッケ−ジ、30…第2リ
−ド部、31、32…リ−ド、41…半導体装置、43
…ヒ−トシンク、51…半導体装置、52…半導体素
子、53…内部基板、54…パッケ−ジ、55…第1リ
−ド部、56…リ−ド端子、57…バンプ電極(電
極)、59…第2リ−ド部、60…リ−ド、62…ワイ
ヤ、63…ヒ−トシンク。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 端縁部に沿って所定のピッチで配設され
    た多数の電極を有する半導体素子と、この半導体素子を
    封止したパッケ−ジと、一端部が上記パッケ−ジから導
    出され他端部が上記パッケ−ジの外壁に近接した内部に
    位置し上記半導体素子の電極よりも大きいピッチで配設
    された多数のリ−ドを有する第1リ−ド部と、上記半導
    体素子の電極と上記第1リ−ド部とを電気的に接続する
    第2リ−ド部とを具備し、上記第2リ−ド部は、電気的
    に絶縁して厚さ方向に重ねられた複数のリ−ドを有し、
    且つ、両端が上記電極のピッチ及び上記第1リ−ド部の
    リ−ドのピッチに対応して分岐して設けられていること
    を特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 電極が複数列に配設されていることを特
    徴とする上記請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 第2リ−ド部の半導体素子側の端部にお
    いて分岐したリ−ドは、同一平面上に揃って設けられて
    いることを特徴とする上記請求項2記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 第2リ−ド部の半導体素子側の端部にお
    いて分岐したリ−ドが高低差を有するとともに、電極が
    各列毎に上記リ−ドに応じた高低差を有していることを
    特徴とする上記請求項2記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 電極の高低差がバンプによって形成され
    ていることを特徴とする上記請求項4記載の半導体装
    置。
  6. 【請求項6】 端縁部に沿って所定のピッチで配設され
    た多数の電極を有する半導体素子と、この半導体素子を
    封止したパッケ−ジと、一端部が上記パッケ−ジから導
    出され他端部が上記パッケ−ジの外壁に近接した内部に
    位置し上記半導体素子の電極よりも大きいピッチで配設
    された多数のリ−ドを有する第1リ−ド部と、上記パッ
    ケ−ジ内で上記半導体素子を支持する絶縁性の内部基板
    と、この内部基板上に薄膜状に形成され一端部が上記電
    極に電気的に接続されるとともに他端部が上記内部基板
    の外縁部に放射状に延在して上記電極よりも大きいピッ
    チで拡がった複数のリ−ドを有する第2リ−ド部と、上
    記第1リ−ド部と上記第2リ−ド部とを接続するワイヤ
    とを具備した半導体装置。
  7. 【請求項7】 パッケ−ジに組込まれ半導体素子に熱伝
    達可能に接合されるとともに上記パッケ−ジから露出し
    たヒ−トシンクを設けたことを特徴とする上記請求項1
    または上記請求項6記載の半導体装置。
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