JPH07109372B2 - 測定系におけるドリフト補正装置 - Google Patents
測定系におけるドリフト補正装置Info
- Publication number
- JPH07109372B2 JPH07109372B2 JP12314489A JP12314489A JPH07109372B2 JP H07109372 B2 JPH07109372 B2 JP H07109372B2 JP 12314489 A JP12314489 A JP 12314489A JP 12314489 A JP12314489 A JP 12314489A JP H07109372 B2 JPH07109372 B2 JP H07109372B2
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- JP
- Japan
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- measurement
- measurement system
- drift
- pressure sensor
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば、生産ラインなどのように、同一の製
品が多量に流れ、長期に亘って安定した計測が必要され
る場合に好適な測定系におけるドリフト補正装置に関す
る。
品が多量に流れ、長期に亘って安定した計測が必要され
る場合に好適な測定系におけるドリフト補正装置に関す
る。
［従来の技術］ 第５図は、従来例の測定系のドリフトを補正する方法を
示す図である。
示す図である。
同図において、12は測定対象の電圧を測定する測定装
置、13は被測定素子、14は測定装置12を適宜校正するた
めの基準として使用される標準サンプル、15は測定対象
を被測定素子13または標準サンプル14のいずれかに切換
えるための切換スイッチである。
置、13は被測定素子、14は測定装置12を適宜校正するた
めの基準として使用される標準サンプル、15は測定対象
を被測定素子13または標準サンプル14のいずれかに切換
えるための切換スイッチである。
従来では、測定すべき特性値が予め分かっている標準サ
ンプル14によって、測定装置12を定期的に校正するよう
にしている。
ンプル14によって、測定装置12を定期的に校正するよう
にしている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来のドリフト補正方法で
は、予め特性値の分かっている標準サンプル14を得るの
が困難であったり、この標準サンプル14の特性が変化し
ないように管理するのが面倒であるなどの難点がある。
は、予め特性値の分かっている標準サンプル14を得るの
が困難であったり、この標準サンプル14の特性が変化し
ないように管理するのが面倒であるなどの難点がある。
本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、測
定系のドリフト量が無視できないような微小な測定量を
計測する場合、標準サンプルによる校正をすることな
く、精度の高い測定が可能なドリフト補正装置を提供す
ることを目的とする。
定系のドリフト量が無視できないような微小な測定量を
計測する場合、標準サンプルによる校正をすることな
く、精度の高い測定が可能なドリフト補正装置を提供す
ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、同一の製品が多量に流れる生産ラインなどの
おける各種の特性の測定では、その値は、基準値（規格
値）を中心としてほぼ正規分布することが殆どであると
いう点に着目してなされたものであり、次のような構成
を有する。
おける各種の特性の測定では、その値は、基準値（規格
値）を中心としてほぼ正規分布することが殆どであると
いう点に着目してなされたものであり、次のような構成
を有する。
すなわち、基準値を中心にその値がほぼ正規分布する複
数個の測定対象を測定する測定系において、前記複数個
の測定対象の測定値が順次記憶される記憶手段と、前記
複数個の測定値の平均値を算出する演算手段と、前記平
均値の前記基準値からのずれに基づいて、前記記憶手段
の複数個の測定値を順次補正して出力する補正手段とを
備えている。
数個の測定対象を測定する測定系において、前記複数個
の測定対象の測定値が順次記憶される記憶手段と、前記
複数個の測定値の平均値を算出する演算手段と、前記平
均値の前記基準値からのずれに基づいて、前記記憶手段
の複数個の測定値を順次補正して出力する補正手段とを
備えている。
［作用］ 上記構成によれば、平均値の基準値からのずれ量を、測
定系のドリフト量として補正手段で補正するので、従来
例のように標準サンプルを必要とせずに、測定系のドリ
フトを補正できることになる。
定系のドリフト量として補正手段で補正するので、従来
例のように標準サンプルを必要とせずに、測定系のドリ
フトを補正できることになる。
［実施例］ 以下、図面によって本発明の実施例について、詳細に説
明する。
明する。
第１図は、本発明の一実施例の概略構成図である。
この実施例では、測定対象として、半導体圧力センサ素
子の抵抗ブリッジのオフセット電圧の測定について説明
する。半導体圧力センサ素子では、第２図の等価回路図
に示されるように、ウェハ上に形成された抵抗Ra,Rb,R
c,Rdが、ブリッジ状に接続され、接続点A,C間に外部よ
り直流電圧Ｅが印加されている。
子の抵抗ブリッジのオフセット電圧の測定について説明
する。半導体圧力センサ素子では、第２図の等価回路図
に示されるように、ウェハ上に形成された抵抗Ra,Rb,R
c,Rdが、ブリッジ状に接続され、接続点A,C間に外部よ
り直流電圧Ｅが印加されている。
このような４つの抵抗Ra,Rb,Rc,Rdをもつウェハに、圧
力が加わっていない場合には、接続点B,D間は、ブリッ
ジが平衡状態にあり、出力電圧Ｅ0は、ゼロボルトとな
るように設計されているが、現実には、ウェハプロセス
の諸条件のバラツキによってオフセット電圧が発生する
のが普通である。このオフセット電圧は、ゼロボルトを
中心に、±方向にほぼ正規分布でバラツク傾向がある
が、例えば、ロット単位でバッチ処理される数百個の半
導体圧力センサ素子の平均をとると、その値は、ゼロボ
ルトとなる。
力が加わっていない場合には、接続点B,D間は、ブリッ
ジが平衡状態にあり、出力電圧Ｅ0は、ゼロボルトとな
るように設計されているが、現実には、ウェハプロセス
の諸条件のバラツキによってオフセット電圧が発生する
のが普通である。このオフセット電圧は、ゼロボルトを
中心に、±方向にほぼ正規分布でバラツク傾向がある
が、例えば、ロット単位でバッチ処理される数百個の半
導体圧力センサ素子の平均をとると、その値は、ゼロボ
ルトとなる。
第１図を参照して、この実施例のドリフト補正装置１
は、基準値であるゼロボルトを中心にその値がほぼ正規
分布するｎ個（例えば、数百個）の半導体圧力センサ素
子２1,22…２nのオフセット電圧を測定する測定系にお
けるドリフトを補正する装置であり、次のような構成を
有する。
は、基準値であるゼロボルトを中心にその値がほぼ正規
分布するｎ個（例えば、数百個）の半導体圧力センサ素
子２1,22…２nのオフセット電圧を測定する測定系にお
けるドリフトを補正する装置であり、次のような構成を
有する。
すなわち、ｎ個の半導体圧力センサ素子２1,22…２nを
順次切換えるマルチプレクサ３と、このマルチプレクサ
３を介して接続される半導体圧力センサ素子２1,22……
２nのオフセット電圧を測定する測定部４と、この測定
部４の測定電圧を増幅するアンプ５と、このアンプ５の
出力電圧をサンプリングホールドするサンプリングホー
ルド回路６と、このサンプリングホールド回路６でホー
ルドされた測定電圧をA/D変換するA/D変換回路７と、A/
D変換された測定データを順次記憶するメモリ８と、A/D
変換された測定データに基づいて、ｎ個の半導体圧力セ
ンサ素子２1,22…２nの測定値の平均を算出する演算手
段と、算出された平均値の基準値（ゼロボルト）からの
ずれに基づいて、メモリ８に記憶されたｎ個の測定値を
順次補正して出力する補正手段10と、補正された測定デ
ータをD/A変換するD/A変換回路11とを備えている。
順次切換えるマルチプレクサ３と、このマルチプレクサ
３を介して接続される半導体圧力センサ素子２1,22……
２nのオフセット電圧を測定する測定部４と、この測定
部４の測定電圧を増幅するアンプ５と、このアンプ５の
出力電圧をサンプリングホールドするサンプリングホー
ルド回路６と、このサンプリングホールド回路６でホー
ルドされた測定電圧をA/D変換するA/D変換回路７と、A/
D変換された測定データを順次記憶するメモリ８と、A/D
変換された測定データに基づいて、ｎ個の半導体圧力セ
ンサ素子２1,22…２nの測定値の平均を算出する演算手
段と、算出された平均値の基準値（ゼロボルト）からの
ずれに基づいて、メモリ８に記憶されたｎ個の測定値を
順次補正して出力する補正手段10と、補正された測定デ
ータをD/A変換するD/A変換回路11とを備えている。
上記構成を有するドリフト補正装置１では、ｎ個の半導
体圧力センサ素子２1,22…２nのオフセット電圧のヒス
トグラムは、第３図に示されるように、基準値であるゼ
ロボルトを中心に正規分布するという点を利用してドリ
フトの影響を補正するものである。
体圧力センサ素子２1,22…２nのオフセット電圧のヒス
トグラムは、第３図に示されるように、基準値であるゼ
ロボルトを中心に正規分布するという点を利用してドリ
フトの影響を補正するものである。
すなわち、演算手段９で算出されるｎ個の半導体圧力セ
ンサ素子２1,22…２nの測定値の平均値は、測定部４、
アンプ５およびサンプリングホールド回路６などの測定
系にドリフトがなければ、本来ゼロボルトになるはずで
ある。しかしながら、実際には、測定系のドリフトによ
り、ｎ個の半導体圧力センサ素子２1,22…２nの測定値
は、第４図の実線のヒストグラムに示されるように、電
圧Ｖを中心とした正規分布となっている。この電圧Ｖ
が、測定系のドリフトの影響によるものであり、この電
圧Ｖは、演算手段９で平均値として算出される。
ンサ素子２1,22…２nの測定値の平均値は、測定部４、
アンプ５およびサンプリングホールド回路６などの測定
系にドリフトがなければ、本来ゼロボルトになるはずで
ある。しかしながら、実際には、測定系のドリフトによ
り、ｎ個の半導体圧力センサ素子２1,22…２nの測定値
は、第４図の実線のヒストグラムに示されるように、電
圧Ｖを中心とした正規分布となっている。この電圧Ｖ
が、測定系のドリフトの影響によるものであり、この電
圧Ｖは、演算手段９で平均値として算出される。
そこで、補正手段10では、メモリ８に記憶されている各
測定データからこのドリフトに対応する電圧Ｖを減算す
ることにより、ドリフトを補正して順次出力するもので
あり、これによって、ドリフトが補正された各測定デー
タが順次得られることになる。なお、第４図の破線は、
補正された測定データのヒストグラムを示している。
測定データからこのドリフトに対応する電圧Ｖを減算す
ることにより、ドリフトを補正して順次出力するもので
あり、これによって、ドリフトが補正された各測定デー
タが順次得られることになる。なお、第４図の破線は、
補正された測定データのヒストグラムを示している。
このようにｎ個の半導体圧力センサ素子２1,22…２nの
オフセット電圧が、基準値であるゼロボルトを中心とし
て正規分布するという点を利用し、ｎ個の測定値の平均
値のゼロボルトからのずれを、測定系のドリフトとして
補正するようにしているので、従来例のように、標準サ
ンプルを用いて校正することなく、精度の高い測定が可
能となる。
オフセット電圧が、基準値であるゼロボルトを中心とし
て正規分布するという点を利用し、ｎ個の測定値の平均
値のゼロボルトからのずれを、測定系のドリフトとして
補正するようにしているので、従来例のように、標準サ
ンプルを用いて校正することなく、精度の高い測定が可
能となる。
上述の実施例では、半導体圧力センサ素子のオフセット
電圧について説明したけれども、本発明はこれに限るも
のではなく、例えば、基準値（規格値）を中心にほぼ正
規分布する電池の起電力の製造ラインにおける測定など
にも同様に適用できるものである。
電圧について説明したけれども、本発明はこれに限るも
のではなく、例えば、基準値（規格値）を中心にほぼ正
規分布する電池の起電力の製造ラインにおける測定など
にも同様に適用できるものである。
［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、複数個の測定対象の特性
値が、基準値を中心としてほぼ正規分布するという点を
利用し、複数個の測定値の平均値の前記基準値からのず
れに基づいて、測定系のドリフトを補正するようにして
いるので、従来例のように、標準サンプルを用いて測定
系の校正を行う必要がなくなる。
値が、基準値を中心としてほぼ正規分布するという点を
利用し、複数個の測定値の平均値の前記基準値からのず
れに基づいて、測定系のドリフトを補正するようにして
いるので、従来例のように、標準サンプルを用いて測定
系の校正を行う必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は半導
体圧力センサ素子の等価回路図、第３図は半導体圧力セ
ンサ素子のオフセット電圧のヒストグラム、第４図は測
定されたオフセット電圧のヒストグラム、第５図は従来
例の構成図である。 ２1,22…２n……半導体圧力センサ素子、８……メモ
リ、９……演算手段、10……補正手段。
体圧力センサ素子の等価回路図、第３図は半導体圧力セ
ンサ素子のオフセット電圧のヒストグラム、第４図は測
定されたオフセット電圧のヒストグラム、第５図は従来
例の構成図である。 ２1,22…２n……半導体圧力センサ素子、８……メモ
リ、９……演算手段、10……補正手段。
Claims (1)
- 【請求項１】基準値を中心にその値がほぼ正規分布する
複数個の測定対象を測定する測定系において、 前記複数個の測定対象の測定値が順次記憶される記憶手
段と、 前記複数個の測定値の平均値を算出する演算手段と、 前記平均値の前記基準値からのずれに基づいて、前記記
憶手段の複数個の測定値を順次補正して出力する補正手
段とを備えることを特徴とする測定系におけるドリフト
補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12314489A JPH07109372B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | 測定系におけるドリフト補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12314489A JPH07109372B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | 測定系におけるドリフト補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02300627A JPH02300627A (ja) | 1990-12-12 |
| JPH07109372B2 true JPH07109372B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=14853283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12314489A Expired - Lifetime JPH07109372B2 (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | 測定系におけるドリフト補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109372B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12270719B2 (en) * | 2023-04-14 | 2025-04-08 | Honeywell International | Pressure transmitter long-term drift detection and correction |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6230106B1 (en) * | 1999-10-13 | 2001-05-08 | Modulation Instruments | Method of characterizing a device under test |
| GB0416882D0 (en) * | 2004-07-29 | 2004-09-01 | Koninkl Philips Electronics Nv | Mosfet device and related method of operation |
| JP2025110906A (ja) * | 2022-06-14 | 2025-07-30 | 日置電機株式会社 | 測定装置、測定方法、及び、測定プログラム |
| CN121546103B (zh) * | 2025-11-14 | 2026-07-10 | 大连景宇科技有限公司 | 一种燃料电池膜电极电压分布测试方法和系统 |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP12314489A patent/JPH07109372B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12270719B2 (en) * | 2023-04-14 | 2025-04-08 | Honeywell International | Pressure transmitter long-term drift detection and correction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02300627A (ja) | 1990-12-12 |
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Legal Events
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