JPH07110570A - フォトマスク保護用積層粘着フイルム - Google Patents
フォトマスク保護用積層粘着フイルムInfo
- Publication number
- JPH07110570A JPH07110570A JP25683393A JP25683393A JPH07110570A JP H07110570 A JPH07110570 A JP H07110570A JP 25683393 A JP25683393 A JP 25683393A JP 25683393 A JP25683393 A JP 25683393A JP H07110570 A JPH07110570 A JP H07110570A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated
- film
- photomask
- protecting
- adhesive layer
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- Pending
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- Laminated Bodies (AREA)
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 厚みの薄い基材を用いて高い光線透過率を維
持しながら、しわの発生を防止できるフォトマスク保護
用積層粘着フイルムを提供することを目的とする。 【構成】 厚さ６μｍの透明なポリエステル基材１１の
片面に厚さ２μｍの粘着剤層１２が、該基材１１の他面
に剥離層１３が設けられてなるフォトマスク保護用フイ
ルム１の粘着剤層１２面にポリエステルフイルムからな
る剥離紙２が積層されてなり、厚み２５μｍのポリエチ
レンテレフタレートフイルム３１の片面にアクリル系粘
着剤層３２を有する保護材３の粘着剤層が上記剥離層１
３に積層されてなる。
持しながら、しわの発生を防止できるフォトマスク保護
用積層粘着フイルムを提供することを目的とする。 【構成】 厚さ６μｍの透明なポリエステル基材１１の
片面に厚さ２μｍの粘着剤層１２が、該基材１１の他面
に剥離層１３が設けられてなるフォトマスク保護用フイ
ルム１の粘着剤層１２面にポリエステルフイルムからな
る剥離紙２が積層されてなり、厚み２５μｍのポリエチ
レンテレフタレートフイルム３１の片面にアクリル系粘
着剤層３２を有する保護材３の粘着剤層が上記剥離層１
３に積層されてなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、製版等に用いられるフ
ォトマスクなどの写真材料フイルムを保護するための粘
着フイルムに関する。
ォトマスクなどの写真材料フイルムを保護するための粘
着フイルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、フォトマスク保護用粘着フイルム
としては、例えば特開平４−３５５７５９号公報に記載
のような、ポリエステル基材の片面に粘着剤層が、他面
に離型層が設けられてなるものが使用されている。この
ポリエステル基材の厚さは３〜２５μｍである。
としては、例えば特開平４−３５５７５９号公報に記載
のような、ポリエステル基材の片面に粘着剤層が、他面
に離型層が設けられてなるものが使用されている。この
ポリエステル基材の厚さは３〜２５μｍである。
【０００３】又、ＵＳＰ４０７７８３０号公報には、厚
みが０．００２インチよりも薄い保護シートの一面に接
着剤層が設けられ、該接着剤層に剥離紙が積層されてな
る写真製版用材料が記載されている。
みが０．００２インチよりも薄い保護シートの一面に接
着剤層が設けられ、該接着剤層に剥離紙が積層されてな
る写真製版用材料が記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記公報に記載されて
いるものは、高い光線透過率が必要とされるためいずれ
も厚みの薄い基材が使用されている。使用の際には剥離
紙を剥離して製版材料に貼り付けられる。このとき、基
材の厚みが非常に薄いので製版材料に貼り付けたときに
基材にしわが発生し易く、製版に支障をきたすという問
題がある。
いるものは、高い光線透過率が必要とされるためいずれ
も厚みの薄い基材が使用されている。使用の際には剥離
紙を剥離して製版材料に貼り付けられる。このとき、基
材の厚みが非常に薄いので製版材料に貼り付けたときに
基材にしわが発生し易く、製版に支障をきたすという問
題がある。
【０００５】本発明は、上記従来の問題点を解消し、厚
みの薄い基材を用いて高い光線透過率を維持しながら、
しわの発生を防止できるフォトマスク保護用積層粘着フ
イルムを提供することを目的とする。
みの薄い基材を用いて高い光線透過率を維持しながら、
しわの発生を防止できるフォトマスク保護用積層粘着フ
イルムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】フォトマスク保護用フイ
ルムとしては、（１）高い光線透過率を有すること、
（２）紫外線により粘着力等の品質が低下しないこと、
（３）製版材料に粘着剤を残さずに剥離できること、と
いう条件を満たすことが要求される。従って、しわを発
生させずに貼り合わせるという作業性の向上を目的とし
て、単に基材の厚みを厚くするのでは光線透過率が低下
するので本発明の目的を達成することはできない。本発
明は上記目的を達成するために以下の手段とした。
ルムとしては、（１）高い光線透過率を有すること、
（２）紫外線により粘着力等の品質が低下しないこと、
（３）製版材料に粘着剤を残さずに剥離できること、と
いう条件を満たすことが要求される。従って、しわを発
生させずに貼り合わせるという作業性の向上を目的とし
て、単に基材の厚みを厚くするのでは光線透過率が低下
するので本発明の目的を達成することはできない。本発
明は上記目的を達成するために以下の手段とした。
【０００７】請求項１記載のフォトマスク保護用積層粘
着フイルムは、透明な合成樹脂基材の片面に粘着剤層
が、他面に剥離層が設けられてなるフォトマスク保護用
フイルムの粘着剤層面に剥離紙が積層され、片面に粘着
剤層を有する保護材の粘着剤層が上記剥離層に積層され
てなることを特徴とするものである。
着フイルムは、透明な合成樹脂基材の片面に粘着剤層
が、他面に剥離層が設けられてなるフォトマスク保護用
フイルムの粘着剤層面に剥離紙が積層され、片面に粘着
剤層を有する保護材の粘着剤層が上記剥離層に積層され
てなることを特徴とするものである。
【０００８】又、請求項２記載のフォトマスク保護用積
層粘着フイルムは、透明な合成樹脂基材の片面に粘着剤
層が、他面に剥離層が設けられてなるフォトマスク保護
用フイルムの剥離層に、片面が剥離層となされ、他面に
粘着剤層を有する保護材の粘着剤層が積層されてなるこ
とを特徴とするものである。
層粘着フイルムは、透明な合成樹脂基材の片面に粘着剤
層が、他面に剥離層が設けられてなるフォトマスク保護
用フイルムの剥離層に、片面が剥離層となされ、他面に
粘着剤層を有する保護材の粘着剤層が積層されてなるこ
とを特徴とするものである。
【０００９】本発明でフォトマスク保護用フイルムに用
いられる合成樹脂基材は、透明で光線透過率の高いポリ
エステルフイルムなどが好適である。その厚みは４〜２
５μｍが好ましい。上記基材の片面に設けられる粘着剤
層も光線透過率が高いものが使用され、アクリル系樹脂
をベースとする厚み２５μｍ以下のものが好ましい。剥
離層は従来用いられているようなシリコン系のものが用
いられる。剥離層は基材に直接設けられてもよいが、基
材面に帯電防止層を形成し、この面に剥離層が設けられ
るのが好ましい。
いられる合成樹脂基材は、透明で光線透過率の高いポリ
エステルフイルムなどが好適である。その厚みは４〜２
５μｍが好ましい。上記基材の片面に設けられる粘着剤
層も光線透過率が高いものが使用され、アクリル系樹脂
をベースとする厚み２５μｍ以下のものが好ましい。剥
離層は従来用いられているようなシリコン系のものが用
いられる。剥離層は基材に直接設けられてもよいが、基
材面に帯電防止層を形成し、この面に剥離層が設けられ
るのが好ましい。
【００１０】請求項１記載のフォトマスク保護用積層粘
着フイルムにおいて、フォトマスク保護用フイルムの粘
着剤層に積層される剥離紙はポリエステルフイルム等従
来用いられているものが使用できる。
着フイルムにおいて、フォトマスク保護用フイルムの粘
着剤層に積層される剥離紙はポリエステルフイルム等従
来用いられているものが使用できる。
【００１１】又、剥離層に積層される保護材は、支持体
としてポリエステル、ポリプロピレン、ポリアミド等の
合成樹脂フイルム、紙等が使用できるが透明性を有する
合成樹脂フイルムで、その厚みは１０〜５０μｍのもの
が好ましい。上記保護材に設けられる粘着剤層はアクリ
ル系、ゴム系等のものが使用でき、上記フォトマスク保
護用フイルムが有する粘着剤層と同等もしくはそれより
も低い粘着力を有するものが好ましい。又該粘着剤層の
厚みは３０μｍ以下のものが好ましい。
としてポリエステル、ポリプロピレン、ポリアミド等の
合成樹脂フイルム、紙等が使用できるが透明性を有する
合成樹脂フイルムで、その厚みは１０〜５０μｍのもの
が好ましい。上記保護材に設けられる粘着剤層はアクリ
ル系、ゴム系等のものが使用でき、上記フォトマスク保
護用フイルムが有する粘着剤層と同等もしくはそれより
も低い粘着力を有するものが好ましい。又該粘着剤層の
厚みは３０μｍ以下のものが好ましい。
【００１２】次に、請求項２記載のフォトマスク保護用
積層粘着フイルムに用いられる保護材の支持体及び粘着
剤層は、請求項１記載のものと同様のものが使用され
る。該保護材に設けられる剥離層は前記請求項１記載の
剥離紙に用いたものと同様のものが使用できる。
積層粘着フイルムに用いられる保護材の支持体及び粘着
剤層は、請求項１記載のものと同様のものが使用され
る。該保護材に設けられる剥離層は前記請求項１記載の
剥離紙に用いたものと同様のものが使用できる。
【００１３】
【作用】請求項１記載のフォトマスク保護用積層粘着フ
イルムは、保護材がフォトマスク保護用フイルムと積層
されたまゝ製版用材料に貼り合わされるので、フォトマ
スク保護用フイルムが厚みが薄くてこしが弱く、しわが
発生し易いものであっても、保護材に支持されてしわが
発生せずに貼り合わされる。保護材はその後に剥離され
る。
イルムは、保護材がフォトマスク保護用フイルムと積層
されたまゝ製版用材料に貼り合わされるので、フォトマ
スク保護用フイルムが厚みが薄くてこしが弱く、しわが
発生し易いものであっても、保護材に支持されてしわが
発生せずに貼り合わされる。保護材はその後に剥離され
る。
【００１４】請求項２記載のフォトマスク保護用積層粘
着フイルムは保護材の片面が剥離層となされているの
で、剥離紙が不要であり、巻重体となされても嵩ばら
ず、保護材が積層されたまゝ該フイルムを製版材料に貼
り付ける際に、厚みの薄いフォトマスク保護用フイルム
は保護材に支持されてしわが発生せずに貼り合わされ
る。保護材はその後に剥離される。
着フイルムは保護材の片面が剥離層となされているの
で、剥離紙が不要であり、巻重体となされても嵩ばら
ず、保護材が積層されたまゝ該フイルムを製版材料に貼
り付ける際に、厚みの薄いフォトマスク保護用フイルム
は保護材に支持されてしわが発生せずに貼り合わされ
る。保護材はその後に剥離される。
【００１５】
【実施例】以下に本発明フォトマスク保護用積層粘着フ
イルムの実施例を図面を参照して説明する。 （実施例１）図１は請求項１記載の本発明フォトマスク
保護用積層粘着フイルムの実施例を示す断面図であり、
１はフォトマスク保護用フイルムで厚さ６μｍの透明な
ポリエステル基材１１の片面に厚さ２μｍの粘着剤層１
２が、該基材１１の他面に剥離層１３が設けられてい
る。上記粘着剤層１２には厚さ２５μｍのポリエステル
フイルムからなる剥離紙２が積層されてなる。
イルムの実施例を図面を参照して説明する。 （実施例１）図１は請求項１記載の本発明フォトマスク
保護用積層粘着フイルムの実施例を示す断面図であり、
１はフォトマスク保護用フイルムで厚さ６μｍの透明な
ポリエステル基材１１の片面に厚さ２μｍの粘着剤層１
２が、該基材１１の他面に剥離層１３が設けられてい
る。上記粘着剤層１２には厚さ２５μｍのポリエステル
フイルムからなる剥離紙２が積層されてなる。
【００１６】３は保護材であり、厚さ２５μｍのポリエ
ステルシート３１の片面に厚さ１０μｍのアクリル系粘
着剤層３２が積層されたもので、該粘着剤層３２が上記
剥離層１３に貼り合わされてなる。
ステルシート３１の片面に厚さ１０μｍのアクリル系粘
着剤層３２が積層されたもので、該粘着剤層３２が上記
剥離層１３に貼り合わされてなる。
【００１７】次に、図５に示すように、上記フォトマス
ク保護用積層粘着フイルムを剥離紙２を内側にして巻き
取ったロール状テープ４から繰り出し、剥離紙２を剥ぎ
取りながら圧着ロール５、５の間に送り、一方、アンダ
ーフイルム６を圧着ロール５、５の間に送りながら該ア
ンダーフイルム６上に５１０ｍｍ×５１０ｍｍの大きさ
の厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフイル
ム７を載置し、圧着ロール５、５の間で圧着してラミネ
ートした。８、８はアンダーフイルム６のガイド板であ
る。このラミネート品を１０枚製作した。尚、上記厚み
１００μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム７は
フォトマスクの代用として用いたものである。上記ラミ
ネート品の貼り合わせ状態を観察したところ、しわの発
生したものはなかった。
ク保護用積層粘着フイルムを剥離紙２を内側にして巻き
取ったロール状テープ４から繰り出し、剥離紙２を剥ぎ
取りながら圧着ロール５、５の間に送り、一方、アンダ
ーフイルム６を圧着ロール５、５の間に送りながら該ア
ンダーフイルム６上に５１０ｍｍ×５１０ｍｍの大きさ
の厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフイル
ム７を載置し、圧着ロール５、５の間で圧着してラミネ
ートした。８、８はアンダーフイルム６のガイド板であ
る。このラミネート品を１０枚製作した。尚、上記厚み
１００μｍのポリエチレンテレフタレートフイルム７は
フォトマスクの代用として用いたものである。上記ラミ
ネート品の貼り合わせ状態を観察したところ、しわの発
生したものはなかった。
【００１８】（実施例２）図２は請求項１記載の本発明
フォトマスク保護用積層粘着フイルムの他の実施例を示
す断面図であり、透明なポリエステル基材１１の他面に
帯電防止剤１４が塗布され、該帯電防止剤１４面に剥離
層１３が設けられているフォトマスク保護用フイルム
１′を用いた他は実施例１のものと同じ構成である。
フォトマスク保護用積層粘着フイルムの他の実施例を示
す断面図であり、透明なポリエステル基材１１の他面に
帯電防止剤１４が塗布され、該帯電防止剤１４面に剥離
層１３が設けられているフォトマスク保護用フイルム
１′を用いた他は実施例１のものと同じ構成である。
【００１９】これを用いて実施例１と同様に５１０ｍｍ
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。上記ラミネート品の貼り合わせ状態を観察し
たところ、しわの発生したものはなかった。
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。上記ラミネート品の貼り合わせ状態を観察し
たところ、しわの発生したものはなかった。
【００２０】（実施例３）図３は請求項２記載の本発明
フォトマスク保護用積層粘着フイルムの実施例を示す断
面図であり、実施例１で用いたものと同じフォトマスク
保護用フイルム１の剥離層１３面に、厚さ２５μｍのポ
リエステルシート３１の片面にアクリル系粘着剤層３２
が厚さ１０μｍで設けられ、該ポリエステルシート３１
の他面が剥離層３３となされた保護材３′の粘着剤層３
２が貼り合わされてなる。
フォトマスク保護用積層粘着フイルムの実施例を示す断
面図であり、実施例１で用いたものと同じフォトマスク
保護用フイルム１の剥離層１３面に、厚さ２５μｍのポ
リエステルシート３１の片面にアクリル系粘着剤層３２
が厚さ１０μｍで設けられ、該ポリエステルシート３１
の他面が剥離層３３となされた保護材３′の粘着剤層３
２が貼り合わされてなる。
【００２１】これを用いて実施例１と同様に５１０ｍｍ
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。但し、実施例３のものは実施例１における剥
離紙２が用いられていないので、図５における剥離紙２
の剥離は行われない。上記ラミネート品の貼り合わせ状
態を観察したところ、しわの発生したものはなかった。
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。但し、実施例３のものは実施例１における剥
離紙２が用いられていないので、図５における剥離紙２
の剥離は行われない。上記ラミネート品の貼り合わせ状
態を観察したところ、しわの発生したものはなかった。
【００２２】（実施例４）図４は請求項２記載の本発明
フォトマスク保護用積層粘着フイルムの他の実施例を示
す断面図であり、実施例２で用いたものと同じフォトマ
スク保護用フイルム１′を用いた他は実施例３のものと
同じ構成である。
フォトマスク保護用積層粘着フイルムの他の実施例を示
す断面図であり、実施例２で用いたものと同じフォトマ
スク保護用フイルム１′を用いた他は実施例３のものと
同じ構成である。
【００２３】これを用いて実施例１と同様に５１０ｍｍ
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。但し、実施例４のものは実施例１における剥
離紙２が用いられていないので、図５における剥離紙２
の剥離は行われない。上記ラミネート品の貼り合わせ状
態を観察したところ、しわの発生したものはなかった。
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。但し、実施例４のものは実施例１における剥
離紙２が用いられていないので、図５における剥離紙２
の剥離は行われない。上記ラミネート品の貼り合わせ状
態を観察したところ、しわの発生したものはなかった。
【００２４】（比較例）厚み６μｍの片面離型処理して
なるポリエチレンテレフタレートフイルムの非処理面に
厚み４μｍのアクリル系粘着剤層が設けられた保護フイ
ルムの粘着剤層面に、厚み２５μｍのポリエチレンテレ
フタレートからなる剥離フイルムの剥離処理面が貼り合
わされてなるフォトマスク保護用フイルムである（図示
略）。
なるポリエチレンテレフタレートフイルムの非処理面に
厚み４μｍのアクリル系粘着剤層が設けられた保護フイ
ルムの粘着剤層面に、厚み２５μｍのポリエチレンテレ
フタレートからなる剥離フイルムの剥離処理面が貼り合
わされてなるフォトマスク保護用フイルムである（図示
略）。
【００２５】上記フォトマスク保護用フイルムを実施例
１と同様にして剥離フイルムを剥がしながら５１０ｍｍ
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。上記ラミネート品の貼り合わせ状態を観察し
たところ４枚にしわが発生していた。
１と同様にして剥離フイルムを剥がしながら５１０ｍｍ
×５１０ｍｍの大きさの厚み１００μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムにラミネートしたものを１０枚
製作した。上記ラミネート品の貼り合わせ状態を観察し
たところ４枚にしわが発生していた。
【００２６】
【発明の効果】本発明フォトマスク保護用積層粘着フイ
ルムは以上の構成であり、請求項１記載のものは、保護
材がフォトマスク保護用フイルムと積層されたまゝ製版
用材料に貼り合わされるので、保護材に支持されてしわ
が発生せずに貼り合わされる。
ルムは以上の構成であり、請求項１記載のものは、保護
材がフォトマスク保護用フイルムと積層されたまゝ製版
用材料に貼り合わされるので、保護材に支持されてしわ
が発生せずに貼り合わされる。
【００２７】請求項２記載の本発明フォトマスク保護用
積層粘着フイルムは、保護材の片面が剥離層となされて
いるので、剥離紙が不要であり、巻重体となされても嵩
ばらず、保護材が積層されたまゝ該フイルムを製版材料
に貼り付ける際に、保護材に支持されてしわが発生せず
に貼り合わされる。
積層粘着フイルムは、保護材の片面が剥離層となされて
いるので、剥離紙が不要であり、巻重体となされても嵩
ばらず、保護材が積層されたまゝ該フイルムを製版材料
に貼り付ける際に、保護材に支持されてしわが発生せず
に貼り合わされる。
【００２８】従って、請求項１及び請求項２記載の本発
明フォトマスク保護用積層粘着フイルムによると、厚み
の薄い基材を用いて高い光線透過率を維持しながら、し
わを発生せずに製版材料に貼り付けることができる。
明フォトマスク保護用積層粘着フイルムによると、厚み
の薄い基材を用いて高い光線透過率を維持しながら、し
わを発生せずに製版材料に貼り付けることができる。
【００２９】
【図１】請求項１記載の本発明フォトマスク保護用積層
粘着フイルムの実施例を示す断面図。
粘着フイルムの実施例を示す断面図。
【図２】請求項１記載の本発明フォトマスク保護用積層
粘着フイルムの他の実施例を示す断面図。
粘着フイルムの他の実施例を示す断面図。
【図３】請求項２記載の本発明フォトマスク保護用積層
粘着フイルムの実施例を示す断面図。
粘着フイルムの実施例を示す断面図。
【図４】請求項２記載の本発明フォトマスク保護用積層
粘着フイルムの他の実施例を示す断面図。
粘着フイルムの他の実施例を示す断面図。
【図５】請求項１記載の本発明フォトマスク保護用積層
粘着フイルムを他のフイルムに貼り合わせるラミネート
する状態を説明するための説明図である。
粘着フイルムを他のフイルムに貼り合わせるラミネート
する状態を説明するための説明図である。
１，１′：フォトマスク保護用フイルム ２ ：剥離紙 ３，３′：保護材 １１ ：ポリエステル基材 １２ ：粘着剤層 １３，３３：剥離層 １４ ：帯電防止剤 ３１ ：ポリエステルシート ３２ ：アクリル系粘着剤層
Claims (2)
- 【請求項１】 透明な合成樹脂基材の片面に粘着剤層
が、他面に剥離層が設けられてなるフォトマスク保護用
フイルムの粘着剤層面に剥離紙が積層され、片面に粘着
剤層を有する保護材の粘着剤層が上記剥離層に積層され
てなることを特徴とするフォトマスク保護用積層粘着フ
イルム。 - 【請求項２】 透明な合成樹脂基材の片面に粘着剤層
が、他面に剥離層が設けられてなるフォトマスク保護用
フイルムの剥離層に、片面が剥離層となされ、他面に粘
着剤層を有する保護材の粘着剤層が積層されてなること
を特徴とするフォトマスク保護用積層粘着フイルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25683393A JPH07110570A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | フォトマスク保護用積層粘着フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25683393A JPH07110570A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | フォトマスク保護用積層粘着フイルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110570A true JPH07110570A (ja) | 1995-04-25 |
Family
ID=17298068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25683393A Pending JPH07110570A (ja) | 1993-10-14 | 1993-10-14 | フォトマスク保護用積層粘着フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07110570A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013107940A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Arisawa Mfg Co Ltd | キャリアフィルム付き保護フィルム |
-
1993
- 1993-10-14 JP JP25683393A patent/JPH07110570A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013107940A (ja) * | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Arisawa Mfg Co Ltd | キャリアフィルム付き保護フィルム |
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