JPH07111462B2 - 物品整列用治具への物品セッティング方法 - Google Patents
物品整列用治具への物品セッティング方法Info
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- JPH07111462B2 JPH07111462B2 JP7849790A JP7849790A JPH07111462B2 JP H07111462 B2 JPH07111462 B2 JP H07111462B2 JP 7849790 A JP7849790 A JP 7849790A JP 7849790 A JP7849790 A JP 7849790A JP H07111462 B2 JPH07111462 B2 JP H07111462B2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
この発明は、物品整列用治具への物品セッティング方法
に関し、詳しくは、物品整列用治具に所定間隔おきに列
状に配設された物品収容孔内に漏れなく物品をセッティ
ングするための方法に関する。
に関し、詳しくは、物品整列用治具に所定間隔おきに列
状に配設された物品収容孔内に漏れなく物品をセッティ
ングするための方法に関する。
たとえば、ダイオード等の電子部品は、半導体素子（以
下、ペレットという。）をリードフレーム等の取付け基
体に対してボンディングするという製造工程を経る。こ
のペレットボンディングに際しては、あらかじめ多数個
のペレットをセットしたペレット整列用治具から、吸着
コレット等のハンドリング装置によってペレットを一つ
ずつピックアップし、これをボンディング位置まで運ぶ
という手順を踏む 第６図に示すように、上記ペレット整列用治具ａは、ボ
ード状の形態をなし、その表面には、ペレットＰを保持
するためのペレット収容孔ｂが複数行複数列にわたり一
定間隔おきに多数配設されている。上記ペレット収納孔
ｂは、第７図に示すように、上端大径部ｃとこれを貫通
させる下端小径部ｄとからなり、上端大径部ｃにペレッ
トＰを載せ置いてこれを収容保持する。また、ペレット
整列用治具ａへのペレットのセッティングは、多数のペ
レットを治具上に載せるとともに、各ペレット収納孔ｂ
にその底部から負圧かけながら、適宜の装置によって治
具を前後左右に揺すって、ペレットをペレット収容孔内
に落とし込むことにより行われる。 ところで、ペレット整列用治具からのペレットの取り出
しは自動化されており、また、そのペレットの取り出し
の前には、ペレット整列状況検出装置によって、治具上
におけるペレットの整列状況が調べられる。上記セッテ
ィング作業によって、限られた時間内で全てのペレット
収容孔にペレットを確実にセットすることは困難であ
り、また、生産効率の悪化を避けるため、セッティング
作業は大まかに行われることから、ほとんどの場合、一
部のペレット収容孔は空になっていることが多い。そこ
で、ロスをなくすため、あらかじめ、各ペレット収容孔
内のペレットの有無を調べ、その情報に基づき、ペレッ
トのハンドリング装置を制御するのである。 従来、ペレット整列状況検出装置としては、第６図に示
すように、発光ダイオードｅとフォトトランジスタｆを
ペレット整列用治具ａの上下に配置し、フォトトランジ
スタｆのオン／オフによって、ペレット収容孔ｂ内のペ
レットの有無を検出するようにしたものがある。横一列
に並ぶペレット収容孔と同数の発光ダイオードｅおよび
フォトトランジスタｆが、それぞれのホルダg,hにペレ
ット収容孔と同一ピッチ間隔で取付けられているととも
に、これら発光装置と受光装置とが、一列に並ぶペレッ
ト収容孔の上下に位置するように配置され、列単位でペ
レットの整列状況を検出する。ペレット収容孔ｂは貫通
状に形成されていることから、ペレット収容孔ｂ内にペ
レットが入っていない場合は、発光ダイオードｅの光が
ペレット収容孔ｂを通過してフォトトランジスタｆに届
く。したがって、フォトトランジスタｆのオン／オフに
よって各ペレット収容孔ｂ内のペレットの有無を検出で
きる。一列分の検知が終われば、上記発光装置および受
光装置は、治具の行方向（第６図矢印方向）に移動させ
られ、次の列のペレットの整列状況の検出が行われる。
下、ペレットという。）をリードフレーム等の取付け基
体に対してボンディングするという製造工程を経る。こ
のペレットボンディングに際しては、あらかじめ多数個
のペレットをセットしたペレット整列用治具から、吸着
コレット等のハンドリング装置によってペレットを一つ
ずつピックアップし、これをボンディング位置まで運ぶ
という手順を踏む 第６図に示すように、上記ペレット整列用治具ａは、ボ
ード状の形態をなし、その表面には、ペレットＰを保持
するためのペレット収容孔ｂが複数行複数列にわたり一
定間隔おきに多数配設されている。上記ペレット収納孔
ｂは、第７図に示すように、上端大径部ｃとこれを貫通
させる下端小径部ｄとからなり、上端大径部ｃにペレッ
トＰを載せ置いてこれを収容保持する。また、ペレット
整列用治具ａへのペレットのセッティングは、多数のペ
レットを治具上に載せるとともに、各ペレット収納孔ｂ
にその底部から負圧かけながら、適宜の装置によって治
具を前後左右に揺すって、ペレットをペレット収容孔内
に落とし込むことにより行われる。 ところで、ペレット整列用治具からのペレットの取り出
しは自動化されており、また、そのペレットの取り出し
の前には、ペレット整列状況検出装置によって、治具上
におけるペレットの整列状況が調べられる。上記セッテ
ィング作業によって、限られた時間内で全てのペレット
収容孔にペレットを確実にセットすることは困難であ
り、また、生産効率の悪化を避けるため、セッティング
作業は大まかに行われることから、ほとんどの場合、一
部のペレット収容孔は空になっていることが多い。そこ
で、ロスをなくすため、あらかじめ、各ペレット収容孔
内のペレットの有無を調べ、その情報に基づき、ペレッ
トのハンドリング装置を制御するのである。 従来、ペレット整列状況検出装置としては、第６図に示
すように、発光ダイオードｅとフォトトランジスタｆを
ペレット整列用治具ａの上下に配置し、フォトトランジ
スタｆのオン／オフによって、ペレット収容孔ｂ内のペ
レットの有無を検出するようにしたものがある。横一列
に並ぶペレット収容孔と同数の発光ダイオードｅおよび
フォトトランジスタｆが、それぞれのホルダg,hにペレ
ット収容孔と同一ピッチ間隔で取付けられているととも
に、これら発光装置と受光装置とが、一列に並ぶペレッ
ト収容孔の上下に位置するように配置され、列単位でペ
レットの整列状況を検出する。ペレット収容孔ｂは貫通
状に形成されていることから、ペレット収容孔ｂ内にペ
レットが入っていない場合は、発光ダイオードｅの光が
ペレット収容孔ｂを通過してフォトトランジスタｆに届
く。したがって、フォトトランジスタｆのオン／オフに
よって各ペレット収容孔ｂ内のペレットの有無を検出で
きる。一列分の検知が終われば、上記発光装置および受
光装置は、治具の行方向（第６図矢印方向）に移動させ
られ、次の列のペレットの整列状況の検出が行われる。
しかしながら、この従来のペレット整列状況検出装置に
おいては、発光ダイオードの光の指向性が強いことか
ら、上記発光装置および受光装置がペレット整列用治具
に対して平行に位置していなかったり、発光ダイオード
およびフォトトランジスタの位置がペレット収容孔に対
してずれていたりすると、発光ダイオードの光が適切に
フォトトランジスタに届かない場合があり、正確な検知
が行えない。そのため、上記発光装置および受光装置と
ペレット整列用治具との間の平行度、およびペレット整
列用治具の位置決め精度が要求されるとともに、そのた
めの調整に手間がかかるという面倒さがあった。 また、ペレットがペレット収容孔内にずれて入っている
ために光漏れが生じた場合には、ペレットが有るにもか
かわらず、ペレット無しの判定がなされてしまう不都合
も栄、。 さらに、ペレット収容孔と、発光ダイオードおよびフォ
トトランジスタとを、１対１で対応させる必要があるた
め、発光ダイオードやフォトトランジスタの大きさより
も小さなピッチ間隔でペレット収容孔が形成されるペレ
ット整列用治具に対しては、ペレット整列状況の検出を
行えない。 さらに、発光ダイオードやフォトトランジスタの場合、
感度にバラツキがあることが多いことから、検知の正確
さに欠ける問題もある。 本願発明は、以上の事情のもとで考えだされたものであ
って、上記ペレット整列用治具のような物品整列用治具
に整列させられる物品の有無をより適切に検知するとと
もに、物品整列用治具の各物品収容孔への物品のセッテ
ィングを適切に行い、物品収容孔に物品が保持されてい
ない状態を極力なくしてその物品の製造工程をより合理
化することをその課題としている。
おいては、発光ダイオードの光の指向性が強いことか
ら、上記発光装置および受光装置がペレット整列用治具
に対して平行に位置していなかったり、発光ダイオード
およびフォトトランジスタの位置がペレット収容孔に対
してずれていたりすると、発光ダイオードの光が適切に
フォトトランジスタに届かない場合があり、正確な検知
が行えない。そのため、上記発光装置および受光装置と
ペレット整列用治具との間の平行度、およびペレット整
列用治具の位置決め精度が要求されるとともに、そのた
めの調整に手間がかかるという面倒さがあった。 また、ペレットがペレット収容孔内にずれて入っている
ために光漏れが生じた場合には、ペレットが有るにもか
かわらず、ペレット無しの判定がなされてしまう不都合
も栄、。 さらに、ペレット収容孔と、発光ダイオードおよびフォ
トトランジスタとを、１対１で対応させる必要があるた
め、発光ダイオードやフォトトランジスタの大きさより
も小さなピッチ間隔でペレット収容孔が形成されるペレ
ット整列用治具に対しては、ペレット整列状況の検出を
行えない。 さらに、発光ダイオードやフォトトランジスタの場合、
感度にバラツキがあることが多いことから、検知の正確
さに欠ける問題もある。 本願発明は、以上の事情のもとで考えだされたものであ
って、上記ペレット整列用治具のような物品整列用治具
に整列させられる物品の有無をより適切に検知するとと
もに、物品整列用治具の各物品収容孔への物品のセッテ
ィングを適切に行い、物品収容孔に物品が保持されてい
ない状態を極力なくしてその物品の製造工程をより合理
化することをその課題としている。
上記の課題を解決するため、本願発明では、次の技術的
手段を講じている。すなわち、本願発明は、上面に列状
に配設された複数の貫通状の物品収容孔を有する物品整
列用治具上に多数の物品を投入し、上記各物品収容孔に
その底部から負圧をかけながら上記治具を揺すり、物品
を各物品収容孔内に落とし込む物品整列用治具への物品
セッティング方法であって、次の各ステップを含むこと
を特徴とする。 （ａ） 上記物品整列用治具の上方に配置されるイメー
ジセンサと、上記物品整列用治具における少なくとも上
記の一列に並ぶ物品収容孔と対応する直線状の連続した
範囲に対して物品整列用治具の裏側から光を照射しうる
照明装置と、上記イメージセンサによって検出した上記
の物品収容孔の列全体のイメージから、物品収容孔内の
物品の有無を判定する判定手段とを備えた物品整列状況
検出装置を用い、物品セッティング後の物品整列用治具
における物品整列状況を検出するステップ。 （ｂ） 上記検出された物品整列状況に応じ、物品整列
用治具上への物品の投入を調整するステップ。
手段を講じている。すなわち、本願発明は、上面に列状
に配設された複数の貫通状の物品収容孔を有する物品整
列用治具上に多数の物品を投入し、上記各物品収容孔に
その底部から負圧をかけながら上記治具を揺すり、物品
を各物品収容孔内に落とし込む物品整列用治具への物品
セッティング方法であって、次の各ステップを含むこと
を特徴とする。 （ａ） 上記物品整列用治具の上方に配置されるイメー
ジセンサと、上記物品整列用治具における少なくとも上
記の一列に並ぶ物品収容孔と対応する直線状の連続した
範囲に対して物品整列用治具の裏側から光を照射しうる
照明装置と、上記イメージセンサによって検出した上記
の物品収容孔の列全体のイメージから、物品収容孔内の
物品の有無を判定する判定手段とを備えた物品整列状況
検出装置を用い、物品セッティング後の物品整列用治具
における物品整列状況を検出するステップ。 （ｂ） 上記検出された物品整列状況に応じ、物品整列
用治具上への物品の投入を調整するステップ。
上記物品整列状況検出装置における物品整列用治具の上
方には、イメージセンサが配置されている。照明装置
は、物品整列用治具における少なくとも一列に並ぶ物品
収容孔の列と対応する範囲に対して物品整列用治具の裏
側から光を照射する。本願発明方法における第１のステ
ップは、このときの物品収容孔の列全体のイメージがイ
メージセンサによって検知され、その画像情報に基づ
き、判定手段が物品収容孔内の物品の有無を判定する。
物品収容孔は貫通状に形成されているので、物品が入っ
ていない物品収容孔では照明光が画像でとらえられ、一
方、物品の入っている物品収容孔では、孔が物品によっ
て塞がれ、照明光は画像でとらえられないことから、画
像情報から各物品収容孔内の物品の有無を判別できる。 このように、本願発明方法における上記物品整列状況検
出装置による物品整列状況の判定は、一列に並ぶ物品収
容孔の列全体のイメージを検出し、その画像情報に基づ
いて行う。この場合、イメージセンサと物品収容孔の列
との平行度等の位置関係が多少ラフであっても、物品収
容孔の全体の画像を取り込みさえすれば、列上の全ての
物品収容孔内における物品の有無を判定できる。また、
照明装置は、少なくとも物品収容孔の列全体に対して光
を照射することから、また、光源として発光ダイオード
等の指向性の強いものを用いるものでもないので、照明
装置と治具との間に厳しい位置決め精度が要求されるこ
ともない。 すなわち、装置と物品整列用治具との位置関係がラフに
なった場合でも、物品整列状況の検出を適切に行えるこ
とから、これらの位置関係の調整にさほど注意を払わな
くても済む。 また、照明装置は、少なくとも物品収容孔の列全体に対
応する直線状の連続した範囲に対して光を照射するので
あって、従来の装置のように、光源と物品収容孔とが１
対１に対応するのではい。さらに、各物品収容孔内の物
品の有無の判定は、イメージセンサによって物品収容孔
の列全体のイメージを検出することによって行う。した
がって、物品収容孔のピッチ間隔が光源の大きさなどに
よる制限を受けることはなく、物品収容孔を小さなピッ
チ間隔で形成した物品整列用治具に対する物品整列状況
の検出を何ら問題なく行える。 さらに、物品収容孔内における物品のずれによって水漏
れが生じた場合でも、その光の大きさを、物品収容孔が
空の場合の光の大きさと比較することにより、単なる物
品のずれによる光漏れであるか否かも判別できる。した
がって、物品収容孔内に物品がずれて入っているような
場合でも、物品収容孔内の物品の有無を正確に判定でき
る。 このように列ごとに物品整列状況を検知することによ
り、物品整列用治具のどの領域における物品収容孔が空
になりやすいか、あるいは空になる程度はどのようなも
のであるかといった傾向が分かる。 本願発明方法の第２のステップでは、上記のようにして
得られた物品整列状況データに基づき、物品整列用治具
上への物品の投入を調整する。これは、具体的には、物
品整列用治具への物品のセッティング装置を制御するこ
とによって行う。 物品セッティング後の物品整列用治具における空の物品
収容孔の出現の傾向により、たとえば、ある特定の領域
において物品収容孔が空になる確率が高いという傾向が
生じている場合には、空になる確率の高い領域に集中し
て物品を投入するという対処を行う。また、全体的に空
になる物品収容孔が多い傾向が生まれた場合には、物品
整列用治具に対する物品投入量を通常より多くする。 このようにすることにより、物品整列用治具に列状に配
置される多数の物品収容孔にまんべんなく物品を収容保
持させることができるようになり、この物品整列用治具
に収容保持された物品をハンドリングしてこの物品に対
する更なる工程処理を行う場合の効率が高められる。
方には、イメージセンサが配置されている。照明装置
は、物品整列用治具における少なくとも一列に並ぶ物品
収容孔の列と対応する範囲に対して物品整列用治具の裏
側から光を照射する。本願発明方法における第１のステ
ップは、このときの物品収容孔の列全体のイメージがイ
メージセンサによって検知され、その画像情報に基づ
き、判定手段が物品収容孔内の物品の有無を判定する。
物品収容孔は貫通状に形成されているので、物品が入っ
ていない物品収容孔では照明光が画像でとらえられ、一
方、物品の入っている物品収容孔では、孔が物品によっ
て塞がれ、照明光は画像でとらえられないことから、画
像情報から各物品収容孔内の物品の有無を判別できる。 このように、本願発明方法における上記物品整列状況検
出装置による物品整列状況の判定は、一列に並ぶ物品収
容孔の列全体のイメージを検出し、その画像情報に基づ
いて行う。この場合、イメージセンサと物品収容孔の列
との平行度等の位置関係が多少ラフであっても、物品収
容孔の全体の画像を取り込みさえすれば、列上の全ての
物品収容孔内における物品の有無を判定できる。また、
照明装置は、少なくとも物品収容孔の列全体に対して光
を照射することから、また、光源として発光ダイオード
等の指向性の強いものを用いるものでもないので、照明
装置と治具との間に厳しい位置決め精度が要求されるこ
ともない。 すなわち、装置と物品整列用治具との位置関係がラフに
なった場合でも、物品整列状況の検出を適切に行えるこ
とから、これらの位置関係の調整にさほど注意を払わな
くても済む。 また、照明装置は、少なくとも物品収容孔の列全体に対
応する直線状の連続した範囲に対して光を照射するので
あって、従来の装置のように、光源と物品収容孔とが１
対１に対応するのではい。さらに、各物品収容孔内の物
品の有無の判定は、イメージセンサによって物品収容孔
の列全体のイメージを検出することによって行う。した
がって、物品収容孔のピッチ間隔が光源の大きさなどに
よる制限を受けることはなく、物品収容孔を小さなピッ
チ間隔で形成した物品整列用治具に対する物品整列状況
の検出を何ら問題なく行える。 さらに、物品収容孔内における物品のずれによって水漏
れが生じた場合でも、その光の大きさを、物品収容孔が
空の場合の光の大きさと比較することにより、単なる物
品のずれによる光漏れであるか否かも判別できる。した
がって、物品収容孔内に物品がずれて入っているような
場合でも、物品収容孔内の物品の有無を正確に判定でき
る。 このように列ごとに物品整列状況を検知することによ
り、物品整列用治具のどの領域における物品収容孔が空
になりやすいか、あるいは空になる程度はどのようなも
のであるかといった傾向が分かる。 本願発明方法の第２のステップでは、上記のようにして
得られた物品整列状況データに基づき、物品整列用治具
上への物品の投入を調整する。これは、具体的には、物
品整列用治具への物品のセッティング装置を制御するこ
とによって行う。 物品セッティング後の物品整列用治具における空の物品
収容孔の出現の傾向により、たとえば、ある特定の領域
において物品収容孔が空になる確率が高いという傾向が
生じている場合には、空になる確率の高い領域に集中し
て物品を投入するという対処を行う。また、全体的に空
になる物品収容孔が多い傾向が生まれた場合には、物品
整列用治具に対する物品投入量を通常より多くする。 このようにすることにより、物品整列用治具に列状に配
置される多数の物品収容孔にまんべんなく物品を収容保
持させることができるようになり、この物品整列用治具
に収容保持された物品をハンドリングしてこの物品に対
する更なる工程処理を行う場合の効率が高められる。
以下、本願発明の実施例を図面を参照しつつ具体的に説
明する。 以下に説明する実施例は、半導体ペレットをペレット整
列用治具にセッティングする場合の例である。 第１図および第２図において、符号１はペレット整列用
治具を示す。これは、ボード状の形態をなし、その上面
には、一定ピッチ間隔で列状に並ぶ多数のペレット収容
孔２が複数行にわたり形成されている。上記ペレット収
容孔２は、ペレットＰのセッティング時、底部から負圧
をかける都合上、貫通状に形成されている。また、ペレ
ット収容孔２は、上端大径部2aと、下端小径部2bとから
なり、上端大径部2aにペレットＰを載せ置いた状態でこ
れを収容保持する。 本願発明において用いられる整列状況検出装置は、上記
ペレット整列用治具１の上方に配置されるイメージセン
サ３と、ペレット整列用治具１に対して光を照射する照
明装置４と、イメージセンサ３によって検出する上記横
一列に並ぶペレット収容孔２…の列全体の画像情報か
ら、ペレット収容孔２内のペレットの有無を判定する判
定手段５とを備える。 上記イメージセンサ３には、列状に蜜に並ぶ多数のセン
サ素子からなるCCDラインセンサが用いられている。こ
れは、ペレット整列用治具１の上方に配置されるカメラ
６に内蔵されており、横一列に並ぶペレット収容孔２の
列全体の像が、カメラ６のレンズ７を通してイメージセ
ンサ３に結像させられる。 上記照明装置４は、少なくとも、一列に並ぶペレット収
容孔２…の列全体と対応する直線状の連続した範囲に対
し、ペレット整列用治具１の裏側から光を照射する。本
実施例では、この照明装置４には、ペレット収容孔２…
の列の長さよりもやや長い直線状のフィラメントを備え
た棒状の白熱ランプを用いており、これをペレット整列
用治具１の下方に配置している。また、照明装置４に
は、上記ランプの下方に配置され、ランプの光をペレッ
ト整列用治具１に集光させるための反射板８を付設して
いる。 なお、上記カメラ６と照明装置４はともに、図示しない
キャリヤバーに連結保持されており、また、このキャリ
ヤバーは、送りモータ等を備えた送り機構によってペレ
ット整列用治具１の行方向（第１図矢印方向）に移動さ
せられるように構成されている。ペレット整列状況の検
出は、列単位で行われ、一列分の検出が終われば、カメ
ラ６および照明装置４が次の列と対応する位置に移動さ
せられる。 また、上記判定手段５は、CPU9などにより構成される。
イメージセンサ３により検出されるイメージ信号は、ア
ンプ10で増幅されてA/D変換器11へ送られ、このA/D変換
器11でデジタル信号に変換された後、フレームメモリ12
に送出される。CPU9は、フレームメモリ12からデータを
読み出し、判定処理プログラムに従って、列上の各ペレ
ット保持孔２…のペレットＰの有無を判定するととも
に、その情報に基づきペレットのハンドリング装置等が
制御される。なお、フレームメモリ12には、その記憶開
始とイメージセンサ３からの読み出し信号の最初の位置
とを一致させるために、イメージセンサ３からの同期信
号も送られる。 次に、上記ペレット整列状況検出装置の作動を説明す
る。 第１図に示すように、ペレット整列用治具１の上下に配
置されたカメラ６および照明装置４は、整列状況を検出
しようとするペレット収容孔２の列に上下にそれぞれ位
置させられる。照明装置４は、ペレット整列用治具１の
裏側からペレット収容孔２…の列と対応する範囲に対し
て光を照射し、このときのペレット収容孔２…の列全体
のイメージがイメージセンサ３により検出される。この
画像情報は、上述のようにフレームメモリ12に送出され
るとともに、そのデータに基づき、CPU9がペレットＰの
整列状況を判定する。 ペレット収容孔２は貫通状に形成されていることから、
ペレットＰが入っていないペレット収容孔２では、穴を
通過する照明装置（白熱ランプ）４の光（白点）が画像
で認識される。一方、ペレットＰが入っているペレット
収容孔２では、穴がペレットＰによって塞がれ、光は通
過しないので、黒点が画像で認識される。したがって、
イメージセンサ３からのイメージ信号により、各ペレッ
ト収容孔２内のペレットＰの有無を判定できる。この場
合、たとえば、白点のイメージ信号がHIGHレベル信号と
して、黒点のイメージ信号がLOWレベル信号として出力
される。 上記ペレット整列状況検出装置では、一列に並ぶペレッ
ト収容孔の列全体のイメージを検出し、その画像情報に
基づいて、ペレット整列状況の判定を行う。したがっ
て、イメージセンサ３とペレット収容孔の列との平行度
等の位置関係が多少ラフになっていても、ペレットＰの
整列状況の検出を何ら問題なく行える。 たとえば、以下のような検出方法を採ることにより、第
３図に示すように、ペレット整列用治具１の配置状態が
悪く、ペレット収容孔２…の列とイメージセンサ３の画
像取り込みラインＬとが平行に位置していないような場
合であっても、ペレットの整列状況を適切に検出でき
る。 すなわち、カメラ６および照明装置４を移動させなが
ら、画像内に白点が出てくる時点から、画像がすべて黒
となる時点までの画像を複数回ないしは多数回にわたり
取り込む。なお、第３図において、画像取り込み位置L1
は、白点が現れだした時点を示しており、また、カメラ
６がペレット収容孔か２…の列を通りすぎれば、画像は
すべて黒点になる。 各画像取り込み位置L1,L2,L3,L4等で取り込んだ画像情
報は、異なるエリアのメモリにそれぞれ記憶しておく。
そして、上記各画像取り込み位置のデータ（第４図
（ａ）参照）の“OR"をとることにより、第４図（ｂ）
に示すような列全体の画像データを作成でき、これに基
づき、列上の全ペレット収容孔２…のペレットＰの有無
を検出できる。各ペレット収容孔２…と対応する位置に
おけるイメージ信号が、上記HIGH信号であるか、あるい
はLOW信号であるかにより、ペレット収容孔２における
ペレットＰの有無が判定される。 なお、説明の便宜上、第３図においてはペレット収容孔
２の数は実際より少なく示してあり、また、第３図およ
び第４図は、かなり粗くスキャンした場合を示してい
る。実際の検出においては、画像取り込み回数をより多
くとることが望ましく、それにより検出精度を高めるこ
とができる。 また、画像で認識される白点が、単なるペレット収容孔
２内でのペレットＰのずれによる光漏れによるものであ
るか否かは、白点の大きさが所定値以下であるか否かを
みることにより判定できる。これは、イメージセンサ３
から出力される信号の範囲の大小をみることによって判
定できる。白点が大きくなれば、これを認識するイメー
ジセンサ３の画素数も多くなり、また、それに応じて、
第５図に示すように、イメージセンサ３から出力される
信号の範囲も大きくなるからである。第５図に示すHIGH
信号のうち、左側の幅広のものは、空のペレット収容孔
の画像に基づく信号であり、右側の細いものは、ペレッ
ト収容孔２内のペレットＰのずれによる光漏れをとらえ
た画像に基づく信号を示している。 このように、上記ペレット整列状況検出装置によれば、
装置とペレット整列用治具１との位置関係がラフになっ
ても、列上の全ペレット収容孔２内のペレットの有無を
適切に判定でき、また、ペレットのずれによる光漏れの
判定も行え、ペレットの整列状況がより正確に検出でき
る。 しかも、照明装置４には、一列に並ぶペレット収容孔２
…の列全体と対応する直線状の連続した範囲に対して光
を照射するものを採用しており、また、イメージセンサ
３によって検出するペレット収容孔の列全体の画像から
ペレットの整列状況を判定するようにしていることか
ら、ペレット収容孔２のピッチ間隔が小さいペレット整
列用治具に対しても何ら問題なくペレット整列状況の検
出を行える。 本願発明方法ではさらに、ペレット整列用治具１へのペ
レットのセッティングにおいて、上記のペレット整列状
況検出装置によって得られたデータに基づいて、ペレッ
ト整列用治具１上への物品の投入を調整する。これは、
具体的には、ペレット整列用治具１への物品のセッティ
ング装置を制御することによって行う。 ペレットセッティング後のペレット整列用治具における
空のペレット収容孔２の出現の傾向により、たとえば、
ある特定の領域においてペレット収容孔２が空になる確
率が高いという傾向が生じている場合には、空になる確
率の高い領域に集中してペレットを投入するという対処
を行う。また、全体的に空になるペレット収容孔が多い
傾向が生まれた場合には、ペレット整列用治具１に対す
るペレット投入量を通常より多くする。 このようにすることにより、ペレット整列用治具に列状
に配置される多数のペレット収容孔にまんべんなくペレ
ットを収容保持させることができるようになり、このペ
レット整列用治具に収容保持されたペレットをハンドリ
ングしてこのペレットに対する更なる工程処理を行う場
合の効率が高められるのである。 本願発明の範囲は上述の実施例に限定されない。たとえ
ば、ペレット整列状況検出装置における照明装置は、白
熱ランプ以外のものを使用するようにしても構わない。
また、ランプの形状が棒状である必要も特にない。さら
に、ランプを治具の上方に配置し、反射照明で光を治具
の裏面に照射するようにしてもよい。 また、本願発明は、半導体ペレット以外の物品をその整
列用治具にセッティングする場合にも適用することがで
きる。
明する。 以下に説明する実施例は、半導体ペレットをペレット整
列用治具にセッティングする場合の例である。 第１図および第２図において、符号１はペレット整列用
治具を示す。これは、ボード状の形態をなし、その上面
には、一定ピッチ間隔で列状に並ぶ多数のペレット収容
孔２が複数行にわたり形成されている。上記ペレット収
容孔２は、ペレットＰのセッティング時、底部から負圧
をかける都合上、貫通状に形成されている。また、ペレ
ット収容孔２は、上端大径部2aと、下端小径部2bとから
なり、上端大径部2aにペレットＰを載せ置いた状態でこ
れを収容保持する。 本願発明において用いられる整列状況検出装置は、上記
ペレット整列用治具１の上方に配置されるイメージセン
サ３と、ペレット整列用治具１に対して光を照射する照
明装置４と、イメージセンサ３によって検出する上記横
一列に並ぶペレット収容孔２…の列全体の画像情報か
ら、ペレット収容孔２内のペレットの有無を判定する判
定手段５とを備える。 上記イメージセンサ３には、列状に蜜に並ぶ多数のセン
サ素子からなるCCDラインセンサが用いられている。こ
れは、ペレット整列用治具１の上方に配置されるカメラ
６に内蔵されており、横一列に並ぶペレット収容孔２の
列全体の像が、カメラ６のレンズ７を通してイメージセ
ンサ３に結像させられる。 上記照明装置４は、少なくとも、一列に並ぶペレット収
容孔２…の列全体と対応する直線状の連続した範囲に対
し、ペレット整列用治具１の裏側から光を照射する。本
実施例では、この照明装置４には、ペレット収容孔２…
の列の長さよりもやや長い直線状のフィラメントを備え
た棒状の白熱ランプを用いており、これをペレット整列
用治具１の下方に配置している。また、照明装置４に
は、上記ランプの下方に配置され、ランプの光をペレッ
ト整列用治具１に集光させるための反射板８を付設して
いる。 なお、上記カメラ６と照明装置４はともに、図示しない
キャリヤバーに連結保持されており、また、このキャリ
ヤバーは、送りモータ等を備えた送り機構によってペレ
ット整列用治具１の行方向（第１図矢印方向）に移動さ
せられるように構成されている。ペレット整列状況の検
出は、列単位で行われ、一列分の検出が終われば、カメ
ラ６および照明装置４が次の列と対応する位置に移動さ
せられる。 また、上記判定手段５は、CPU9などにより構成される。
イメージセンサ３により検出されるイメージ信号は、ア
ンプ10で増幅されてA/D変換器11へ送られ、このA/D変換
器11でデジタル信号に変換された後、フレームメモリ12
に送出される。CPU9は、フレームメモリ12からデータを
読み出し、判定処理プログラムに従って、列上の各ペレ
ット保持孔２…のペレットＰの有無を判定するととも
に、その情報に基づきペレットのハンドリング装置等が
制御される。なお、フレームメモリ12には、その記憶開
始とイメージセンサ３からの読み出し信号の最初の位置
とを一致させるために、イメージセンサ３からの同期信
号も送られる。 次に、上記ペレット整列状況検出装置の作動を説明す
る。 第１図に示すように、ペレット整列用治具１の上下に配
置されたカメラ６および照明装置４は、整列状況を検出
しようとするペレット収容孔２の列に上下にそれぞれ位
置させられる。照明装置４は、ペレット整列用治具１の
裏側からペレット収容孔２…の列と対応する範囲に対し
て光を照射し、このときのペレット収容孔２…の列全体
のイメージがイメージセンサ３により検出される。この
画像情報は、上述のようにフレームメモリ12に送出され
るとともに、そのデータに基づき、CPU9がペレットＰの
整列状況を判定する。 ペレット収容孔２は貫通状に形成されていることから、
ペレットＰが入っていないペレット収容孔２では、穴を
通過する照明装置（白熱ランプ）４の光（白点）が画像
で認識される。一方、ペレットＰが入っているペレット
収容孔２では、穴がペレットＰによって塞がれ、光は通
過しないので、黒点が画像で認識される。したがって、
イメージセンサ３からのイメージ信号により、各ペレッ
ト収容孔２内のペレットＰの有無を判定できる。この場
合、たとえば、白点のイメージ信号がHIGHレベル信号と
して、黒点のイメージ信号がLOWレベル信号として出力
される。 上記ペレット整列状況検出装置では、一列に並ぶペレッ
ト収容孔の列全体のイメージを検出し、その画像情報に
基づいて、ペレット整列状況の判定を行う。したがっ
て、イメージセンサ３とペレット収容孔の列との平行度
等の位置関係が多少ラフになっていても、ペレットＰの
整列状況の検出を何ら問題なく行える。 たとえば、以下のような検出方法を採ることにより、第
３図に示すように、ペレット整列用治具１の配置状態が
悪く、ペレット収容孔２…の列とイメージセンサ３の画
像取り込みラインＬとが平行に位置していないような場
合であっても、ペレットの整列状況を適切に検出でき
る。 すなわち、カメラ６および照明装置４を移動させなが
ら、画像内に白点が出てくる時点から、画像がすべて黒
となる時点までの画像を複数回ないしは多数回にわたり
取り込む。なお、第３図において、画像取り込み位置L1
は、白点が現れだした時点を示しており、また、カメラ
６がペレット収容孔か２…の列を通りすぎれば、画像は
すべて黒点になる。 各画像取り込み位置L1,L2,L3,L4等で取り込んだ画像情
報は、異なるエリアのメモリにそれぞれ記憶しておく。
そして、上記各画像取り込み位置のデータ（第４図
（ａ）参照）の“OR"をとることにより、第４図（ｂ）
に示すような列全体の画像データを作成でき、これに基
づき、列上の全ペレット収容孔２…のペレットＰの有無
を検出できる。各ペレット収容孔２…と対応する位置に
おけるイメージ信号が、上記HIGH信号であるか、あるい
はLOW信号であるかにより、ペレット収容孔２における
ペレットＰの有無が判定される。 なお、説明の便宜上、第３図においてはペレット収容孔
２の数は実際より少なく示してあり、また、第３図およ
び第４図は、かなり粗くスキャンした場合を示してい
る。実際の検出においては、画像取り込み回数をより多
くとることが望ましく、それにより検出精度を高めるこ
とができる。 また、画像で認識される白点が、単なるペレット収容孔
２内でのペレットＰのずれによる光漏れによるものであ
るか否かは、白点の大きさが所定値以下であるか否かを
みることにより判定できる。これは、イメージセンサ３
から出力される信号の範囲の大小をみることによって判
定できる。白点が大きくなれば、これを認識するイメー
ジセンサ３の画素数も多くなり、また、それに応じて、
第５図に示すように、イメージセンサ３から出力される
信号の範囲も大きくなるからである。第５図に示すHIGH
信号のうち、左側の幅広のものは、空のペレット収容孔
の画像に基づく信号であり、右側の細いものは、ペレッ
ト収容孔２内のペレットＰのずれによる光漏れをとらえ
た画像に基づく信号を示している。 このように、上記ペレット整列状況検出装置によれば、
装置とペレット整列用治具１との位置関係がラフになっ
ても、列上の全ペレット収容孔２内のペレットの有無を
適切に判定でき、また、ペレットのずれによる光漏れの
判定も行え、ペレットの整列状況がより正確に検出でき
る。 しかも、照明装置４には、一列に並ぶペレット収容孔２
…の列全体と対応する直線状の連続した範囲に対して光
を照射するものを採用しており、また、イメージセンサ
３によって検出するペレット収容孔の列全体の画像から
ペレットの整列状況を判定するようにしていることか
ら、ペレット収容孔２のピッチ間隔が小さいペレット整
列用治具に対しても何ら問題なくペレット整列状況の検
出を行える。 本願発明方法ではさらに、ペレット整列用治具１へのペ
レットのセッティングにおいて、上記のペレット整列状
況検出装置によって得られたデータに基づいて、ペレッ
ト整列用治具１上への物品の投入を調整する。これは、
具体的には、ペレット整列用治具１への物品のセッティ
ング装置を制御することによって行う。 ペレットセッティング後のペレット整列用治具における
空のペレット収容孔２の出現の傾向により、たとえば、
ある特定の領域においてペレット収容孔２が空になる確
率が高いという傾向が生じている場合には、空になる確
率の高い領域に集中してペレットを投入するという対処
を行う。また、全体的に空になるペレット収容孔が多い
傾向が生まれた場合には、ペレット整列用治具１に対す
るペレット投入量を通常より多くする。 このようにすることにより、ペレット整列用治具に列状
に配置される多数のペレット収容孔にまんべんなくペレ
ットを収容保持させることができるようになり、このペ
レット整列用治具に収容保持されたペレットをハンドリ
ングしてこのペレットに対する更なる工程処理を行う場
合の効率が高められるのである。 本願発明の範囲は上述の実施例に限定されない。たとえ
ば、ペレット整列状況検出装置における照明装置は、白
熱ランプ以外のものを使用するようにしても構わない。
また、ランプの形状が棒状である必要も特にない。さら
に、ランプを治具の上方に配置し、反射照明で光を治具
の裏面に照射するようにしてもよい。 また、本願発明は、半導体ペレット以外の物品をその整
列用治具にセッティングする場合にも適用することがで
きる。
第１図は本願発明方法に用いられる物品整列状況検出装
置の一例を示した図、第２図は実施例にかかる物品整列
状況検出装置のシステムブロック図、第３図ないし第５
図は上記物品整列状況検出装置の作用を説明するための
図、第６図は物品整列状況検出装置の従来例を示した
図、第７図は第６図のVII−VII線断面図である。 １……物品整列用治具（ペレット整列用治具）、２……
物品収容孔（ペレット収容孔）、３……イメージセン
サ、４……照明装置、５……判定手段
置の一例を示した図、第２図は実施例にかかる物品整列
状況検出装置のシステムブロック図、第３図ないし第５
図は上記物品整列状況検出装置の作用を説明するための
図、第６図は物品整列状況検出装置の従来例を示した
図、第７図は第６図のVII−VII線断面図である。 １……物品整列用治具（ペレット整列用治具）、２……
物品収容孔（ペレット収容孔）、３……イメージセン
サ、４……照明装置、５……判定手段
Claims (1)
- 【請求項１】上面に列状に配設された複数の貫通状の物
品収容孔を有する物品整列用治具上に多数の物品を投入
し、上記各物品収容孔にその底部から負圧をかけながら
上記治具を揺すり、物品を各物品収容孔内に落とし込む
物品整列用治具への物品セッティング方法であって、次
の各ステップを含むもの。 （ａ） 上記物品整列用治具の上方に配置されるイメー
ジセンサと、上記物品整列用治具における少なくとも上
記の一列に並ぶ物品収容孔と対応する直線状の連続した
範囲に対して物品整列用治具の裏側から光を照射しうる
照明装置と、上記イメージセンサによって検出した上記
の物品収容孔の列全体のイメージから、物品収容孔内の
物品の有無を判定する判定手段とを備えた物品整列状況
検出装置を用い、物品セッティング後の物品整列用治具
における物品整列状況を検出するステップ、 （ｂ） 上記検出された物品整列状況に応じ、物品整列
用治具上への物品の投入を調整するステップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7849790A JPH07111462B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 物品整列用治具への物品セッティング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7849790A JPH07111462B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 物品整列用治具への物品セッティング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03276092A JPH03276092A (ja) | 1991-12-06 |
| JPH07111462B2 true JPH07111462B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=13663603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7849790A Expired - Fee Related JPH07111462B2 (ja) | 1990-03-26 | 1990-03-26 | 物品整列用治具への物品セッティング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111462B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2011148629A1 (ja) * | 2010-05-27 | 2013-07-25 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102939648B (zh) | 2010-06-01 | 2015-05-27 | 松下电器产业株式会社 | 等离子处理装置以及等离子处理方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042900A (ja) * | 1983-08-18 | 1985-03-07 | ロ−ム株式会社 | 治具上の電子部品等の有無認識装置 |
| JPS63163150A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント基板検査装置 |
-
1990
- 1990-03-26 JP JP7849790A patent/JPH07111462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2011148629A1 (ja) * | 2010-05-27 | 2013-07-25 | パナソニック株式会社 | プラズマ処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03276092A (ja) | 1991-12-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |