JPH07111992B2 - 素子収納用トレイ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体素子等の各種の素子を収納し、そのまま
で素子の各種試験を行なうようにするための素子収納用
トレイに関し、特にユニバーサルハンドラに好適な素子
収納用トレイに関する。

［従来の技術］ 従来、半導体のテスト工程において各種試験を行なう場
合、被試験体である素子のパッケージが多種多様にわた
るため、それぞれの種類に合わせた専用機器（テストハ
ンドラ）が必要とされていたが、素子の多品種少量生産
化に対応し、コンタクト部のユニット等の交換により一
台で多くの形状の素子を測定可能にしたユニバーサルハ
ンドラが開発されている。

このようなユニバーサルハンドラへの素子供給形態とし
てトレイ方式があり、このトレイ方式は第２図に示すよ
うなトレイ10の素子収納部11に素子２を搭載してハンド
ラにセットし、トレイ10上の素子２を順次、テストヘッ
ドの接触子とコンタクトさせていくものである。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このような従来のユニバーサルハンドラ用の
トレイにおいては、収納される素子の寸法にはそれ自体
公差バラツキがある他、素子の出し入れを容易にするた
め収納部11の大きさは素子２より若干大きく形成されて
いるため、テストヘッドの接触子と各素子の入出力ピン
との位置合わせは各素子毎に行なわなければならず、複
数の素子を一括してコンタクトすることは困難であっ
た。

本発明はこのような従来の問題点を解決するためになさ
れたもので、トレイに対する一回の位置合わせのみで、
各素子と接触子との高精度な位置決めが可能で、複数個
の素子の全部又は一部を同時にコンタクトさせることの
できる素子収納用トレイを提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成する本発明の素子収納用トレイ
は、素子を試験するために配列された接触子を備えたハ
ンドラにセットされる複数の素子を収納する素子収納用
トレイであって、ハンドラに対応する所定の形状を有す
ると共に複数の素子をそれぞれ着脱自在に収納する収納
部を備え、収納部はハンドラの接触子の配列に対応する
所定の位置に素子の端子ピンが接続される入出力用端子
を有し、この入出力用端子は素子収納用トレイがハンド
ラにセットされると電気的にハンドラの接触子に接続さ
れるものである。

［作用］ トレイ上に高精度に配置された入出力用端子に合わせて
各素子を搭載した後、トレイをハンドラにセットし、ト
レイの入出力用端子とテストヘッドの接触子とを位置合
わせする。これにより同時にトレイ上の素子の全部又は
一部と接触子との電気的コンタクトを図ることができ測
定可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の好ましい実施例を図面に基き説明する。

第１図に示すトレイ１は素子検査装置にセットされるも
ので所定の形状、サイズを有する絶縁材料より成る板状
体で搭載すべき素子２に対応して素子２より若干大きい
サイズの凹状の収納部３が所定の間隔で複数個形成され
ており、この収納部３内に素子２が搭載される。そして
各収納部３には素子２の端子ピンが接続され、かつ素子
検査装置のテストヘッドの接触子とコンタクトするため
の入出力用端子４が形成されている。入出力端子４は例
えば素子２の端子ピンと係合するソケット構造、又はピ
ン、あるいはプリントされたパターンなどで構成され、
いずれにしても素子２の端子ピンとテストヘッドの接触
子との電気的接続を可能にする構造を有し、少なくとも
テストヘッドの接触子が接続される部分は、適用される
テストヘッドに対応し、トレイ内の所定の位置に高精度
に配列されているものとする。

このように構成されたトレイ１の収納部３に素子２の端
子ピンと入出力用端子４が合致するように素子２を搭載
した後、トレイごとユニバーサルハンドラ等の素子検査
装置（テスト装置）にセットし、トレイ全体を素子検査
装置（テスト装置）に対し所定の位置に位置合わせす
る。入出力用端子４はトレイ上に高精度に配列されてい
るので、トレイ１のみを位置合わせしただけで、直ちに
テストヘッドの接触子と入出力用端子４をコンタクトさ
せることができる。これにより素子２はテストヘッドと
電気的に接続され測定が可能になる。

尚、トレイは素子の種類に応じて対応する収納部及び入
出力用端子を設けた専用トレイを用意する必要がある
が、これらのトレイは、その対応する素子の形状に関係
なく一定の寸法、形状に形成されているので、このトレ
イ単位で素子を取り扱うことにより一つの装置で各種の
素子をハンドリングできる。

［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明においては、
トレイを一定の規格に構成すると共にトレイ上に精度良
く配列した素子用の入出力用端子を形成したので、トレ
イのみを位置合わせするだけで素子と素子検査装置（テ
スト装置）を個々に位置合わせすることなくその接続を
図ることができ、操作効率を大幅に改善することができ
る。しかもこのようなトレイ単位で素子を取り扱うこと
により従来のように素子の種類に合わせた専用機器を不
要とし、一つの装置で各種の素子をハンドリング可能に
した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の素子収納用トレイの一実施例を示す
図、第２図は従来のトレイを示す図である。 １……トレイ ２……素子 ３……収納部 ４……入出力用端子

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】素子を試験するために配列された接触子を
   備えたハンドラにセットされる複数の素子を収納する素
   子収納用トレイであって、前記ハンドラに対応する所定
   の形状を有すると共に前記複数の素子をそれぞれ着脱自
   在に収納する収納部を備え、前記収納部は前記ハンドラ
   の前記接触子の配列に対応する所定の位置に前記素子の
   端子ピンが接続される入出力用端子を有し、この入出力
   用端子は前記素子収納用トレイが前記ハンドラにセット
   されると電気的に前記ハンドラの接触子に接続されるこ
   とを特徴とする素子収納用トレイ。
2. 【請求項２】前記入出力用端子は、ソケットの端子をな
   すことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の素子収
   納用トレイ。