JPH07113182A - 金属基板を金属又は金属合金の被覆層で被覆する方法及び 装置 - Google Patents
金属基板を金属又は金属合金の被覆層で被覆する方法及び 装置Info
- Publication number
- JPH07113182A JPH07113182A JP6116691A JP11669194A JPH07113182A JP H07113182 A JPH07113182 A JP H07113182A JP 6116691 A JP6116691 A JP 6116691A JP 11669194 A JP11669194 A JP 11669194A JP H07113182 A JPH07113182 A JP H07113182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- chamber
- metal
- substrate
- adhesive layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
- C23C14/025—Metallic sublayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
- C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】金属基板上に強力に密着する被覆を形成しうる
被覆方法及び装置を提供する。 【構成】基板は、洗浄と脱脂の後活性化され、金属を蒸
着する。また装置は、材料入口ロック室（２）と、活性
化室（３）と被覆材の適用のための被覆室（７）とを含
む真空室と、材料出口ロック室（８）とを備え、真空室
は被覆材の適用のための被覆材室と活性化室（３）との
間に、接着材層を適用するための付加的被覆室（４）を
備えている。
被覆方法及び装置を提供する。 【構成】基板は、洗浄と脱脂の後活性化され、金属を蒸
着する。また装置は、材料入口ロック室（２）と、活性
化室（３）と被覆材の適用のための被覆室（７）とを含
む真空室と、材料出口ロック室（８）とを備え、真空室
は被覆材の適用のための被覆材室と活性化室（３）との
間に、接着材層を適用するための付加的被覆室（４）を
備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属基板特にストリッ
プ状の綱板又はアルミニウム シートを金属又は金属合
金で被覆する方法であって基板を洗浄し、脱脂し、活性
化する工程を含む方法、並びにこの方法を実施するため
の装置であって、材料入口ロック室と、被覆を施すため
の被覆剤室と活性化室とを含む真空室と、材料出口ロッ
ク室と、を備えた装置に関する。
プ状の綱板又はアルミニウム シートを金属又は金属合
金で被覆する方法であって基板を洗浄し、脱脂し、活性
化する工程を含む方法、並びにこの方法を実施するため
の装置であって、材料入口ロック室と、被覆を施すため
の被覆剤室と活性化室とを含む真空室と、材料出口ロッ
ク室と、を備えた装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属を他の金属又は金属合金で被覆する
ことは、ベース金属を種々の目的により適するようにす
るために広く用いられた方法である。従って、例えば、
重量を軽くするために自動車の車体の材料としてアルミ
ニウム合金を用いる試みが最近増大している。この目的
のために、先ず第１に、内装材料として自硬性のＡｌＭ
ｇ４．５Ｍｎ０．３を用いることができ、第２に、ボデ
ィ シェル構成要素として硬化可能で流線加工可能なＡ
ｌＭｇ０．４Ｓｉ１．２を用いることができる。硬化可
能な合金ＡｌＭｇ０．４Ｓｉ１．２のアルミニウム シ
ート金属は、綱板に匹敵しうる強度特性を提供するけれ
ども、それにも拘わらず、このようなシート金属は、４
５％の重量軽減に拘わらず、現在では自動車の構成のた
めのみ採用されているに過ぎない。その理由は、それ
故、綱と比較してリン酸処理性及びエナメル加工性が悪
く、酸化物層から生ずる高い電気抵抗のためスポット溶
接性が悪く、その理由で、前述のアルミニウム シート
は、現在の製造ラインにおいて加工することはできな
い。
ことは、ベース金属を種々の目的により適するようにす
るために広く用いられた方法である。従って、例えば、
重量を軽くするために自動車の車体の材料としてアルミ
ニウム合金を用いる試みが最近増大している。この目的
のために、先ず第１に、内装材料として自硬性のＡｌＭ
ｇ４．５Ｍｎ０．３を用いることができ、第２に、ボデ
ィ シェル構成要素として硬化可能で流線加工可能なＡ
ｌＭｇ０．４Ｓｉ１．２を用いることができる。硬化可
能な合金ＡｌＭｇ０．４Ｓｉ１．２のアルミニウム シ
ート金属は、綱板に匹敵しうる強度特性を提供するけれ
ども、それにも拘わらず、このようなシート金属は、４
５％の重量軽減に拘わらず、現在では自動車の構成のた
めのみ採用されているに過ぎない。その理由は、それ
故、綱と比較してリン酸処理性及びエナメル加工性が悪
く、酸化物層から生ずる高い電気抵抗のためスポット溶
接性が悪く、その理由で、前述のアルミニウム シート
は、現在の製造ラインにおいて加工することはできな
い。
【０００３】従って、亜鉛被覆の適応によりこれらの欠
点を避けるため益々多くの試みがなされている。最初
に、これは電解処理で試みられた。強力な接着被覆を得
るためには、被覆する前に高度に反応性の酸化物を除去
することが必要である。特公平２−０５０９８９号公報
及び特開平１−０４７８９５号には、この目的のための
方法が記載されており、この方法においては、浸漬処理
（亜鉛酸塩処理）によって酸化物層が除去され、同時に
薄い（０．５μｍ）亜鉛層が形成される。亜鉛被覆自体
は、引き続いて電解的に行われる。特開平３−２０７８
８５号公報及び特開平３−１４６６８８号公報は、フッ
ク化物又は塩化物を含む槽内における亜鉛被覆の電解的
適用を開示している。然しながら、これらの方法は、エ
ネルギの消費が大きく、廃液の問題を生じ、亜鉛のスラ
ッジが生じ、このスラッジは処分しなければならず、多
くの場合、多段階の工程を経てのみ処分しうるにすぎな
い。
点を避けるため益々多くの試みがなされている。最初
に、これは電解処理で試みられた。強力な接着被覆を得
るためには、被覆する前に高度に反応性の酸化物を除去
することが必要である。特公平２−０５０９８９号公報
及び特開平１−０４７８９５号には、この目的のための
方法が記載されており、この方法においては、浸漬処理
（亜鉛酸塩処理）によって酸化物層が除去され、同時に
薄い（０．５μｍ）亜鉛層が形成される。亜鉛被覆自体
は、引き続いて電解的に行われる。特開平３−２０７８
８５号公報及び特開平３−１４６６８８号公報は、フッ
ク化物又は塩化物を含む槽内における亜鉛被覆の電解的
適用を開示している。然しながら、これらの方法は、エ
ネルギの消費が大きく、廃液の問題を生じ、亜鉛のスラ
ッジが生じ、このスラッジは処分しなければならず、多
くの場合、多段階の工程を経てのみ処分しうるにすぎな
い。
【０００４】より最近においては、真空蒸着による被覆
が、環境にやさしい方法として重要性を増してきた。真
空内での蒸着により前述の欠点を避けることができる。
この方法で強力な接着被覆を得るために、金属基板を真
空内で前処理すること（一般に、２００℃ないし３００
℃の温度でストリップを前処理することを含む）が好ま
しい。基板金属がアルミニウムである場合、酸化物層の
故に、約３００℃ないし４００℃のより高い予熱温度が
必要である。綱にあっては、特に亜鉛被覆を適用すると
きには、約４００℃ないし５００℃のより高い温度が必
要である。再蒸発を避けるために、被覆前に基板を冷却
しなければならず、この冷却は工程の観点から著しい不
利益を伴う。更に、硬化しうるアルミニウム材料の場合
には、材料の性質の劣化が起きる。
が、環境にやさしい方法として重要性を増してきた。真
空内での蒸着により前述の欠点を避けることができる。
この方法で強力な接着被覆を得るために、金属基板を真
空内で前処理すること（一般に、２００℃ないし３００
℃の温度でストリップを前処理することを含む）が好ま
しい。基板金属がアルミニウムである場合、酸化物層の
故に、約３００℃ないし４００℃のより高い予熱温度が
必要である。綱にあっては、特に亜鉛被覆を適用すると
きには、約４００℃ないし５００℃のより高い温度が必
要である。再蒸発を避けるために、被覆前に基板を冷却
しなければならず、この冷却は工程の観点から著しい不
利益を伴う。更に、硬化しうるアルミニウム材料の場合
には、材料の性質の劣化が起きる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】それ故、本発明の目的
は、従来の方法の欠点をなくし、環境に大きい悪影響を
及ぼすことなく、金属基板上に強力に接着する被覆を形
成しうる被覆方法を提供することである。もう１つの目
的は、この方法を実施するための装置を提供することで
ある。
は、従来の方法の欠点をなくし、環境に大きい悪影響を
及ぼすことなく、金属基板上に強力に接着する被覆を形
成しうる被覆方法を提供することである。もう１つの目
的は、この方法を実施するための装置を提供することで
ある。
【０００６】上述の目的を達成するために、本発明の方
法は、活性化の後に接着剤層を適用することを特徴とす
る。接着剤の層を設けることにより、真空工程により大
きい接着強度をもつ被覆を金属基板上に形成することが
可能であり、それによって環境的に優しい方法で行うこ
とができる。この方法では、特に、綱又はアルミニウム
（この用語はアルミニウム合金を含むものとする）に強
力に接着する被覆好ましくは亜鉛被覆を形成することが
できる。この文脈において、基板は、個々の加工片の形
で又はストリップの形で供給されてよい。本発明の方法
に従って作られた加工片上で行われた接着強度テスト、
エナメル処理テスト、及びスポット溶接性テストによれ
ば、例えばアルミニウム基板上に亜鉛被覆を施す場合、
鋼板の場合と同様に良好な性質を得ることができる。従
って、鋼板及び被覆されたアルミニウム シートで構成
された車体の部品に適用するとき、一回の処理工程で浸
漬リン酸塩処理を行うことができる。更に、処分の必要
なスラッジや廃液を出さないので、環境的に非常にやさ
しい方法で適用することができる。接着剤層の上に適用
される皮膜の厚さは非常に広い限界内で移動することが
でき、例えば亜鉛の場合０．１μｍと２０μｍとの間、
好ましくは２μｍと７μｍとの間の大きさである。そし
てこれは、ストリップ状基板の場合には片側と両側の両
者に適用される。
法は、活性化の後に接着剤層を適用することを特徴とす
る。接着剤の層を設けることにより、真空工程により大
きい接着強度をもつ被覆を金属基板上に形成することが
可能であり、それによって環境的に優しい方法で行うこ
とができる。この方法では、特に、綱又はアルミニウム
（この用語はアルミニウム合金を含むものとする）に強
力に接着する被覆好ましくは亜鉛被覆を形成することが
できる。この文脈において、基板は、個々の加工片の形
で又はストリップの形で供給されてよい。本発明の方法
に従って作られた加工片上で行われた接着強度テスト、
エナメル処理テスト、及びスポット溶接性テストによれ
ば、例えばアルミニウム基板上に亜鉛被覆を施す場合、
鋼板の場合と同様に良好な性質を得ることができる。従
って、鋼板及び被覆されたアルミニウム シートで構成
された車体の部品に適用するとき、一回の処理工程で浸
漬リン酸塩処理を行うことができる。更に、処分の必要
なスラッジや廃液を出さないので、環境的に非常にやさ
しい方法で適用することができる。接着剤層の上に適用
される皮膜の厚さは非常に広い限界内で移動することが
でき、例えば亜鉛の場合０．１μｍと２０μｍとの間、
好ましくは２μｍと７μｍとの間の大きさである。そし
てこれは、ストリップ状基板の場合には片側と両側の両
者に適用される。
【０００７】
【好ましい実施態様の説明】本発明の方法の一実施態様
によれば、基板の活性化が予熱により進行する。もう１
つの実施態様によれば、基板の活性化は、イオン エッ
チングにより行われ、選択的に基板の予熱の後に行うこ
と、を特徴とする。好ましくは、アルミニウムの接着剤
被覆が適用れる。綱基板の場合には、このアルミニウム
接着剤被覆は、綱基板の耐熱性を向上させるという利点
がある。その理由は、一方において、被覆剤層がより良
く接着し、同時に、アルミニウム層自体が耐蝕保護を与
えるからである。
によれば、基板の活性化が予熱により進行する。もう１
つの実施態様によれば、基板の活性化は、イオン エッ
チングにより行われ、選択的に基板の予熱の後に行うこ
と、を特徴とする。好ましくは、アルミニウムの接着剤
被覆が適用れる。綱基板の場合には、このアルミニウム
接着剤被覆は、綱基板の耐熱性を向上させるという利点
がある。その理由は、一方において、被覆剤層がより良
く接着し、同時に、アルミニウム層自体が耐蝕保護を与
えるからである。
【０００８】基板材料の機械的性質を変えないために、
特にアルミニウム基板の場合には、本発明のもう１つの
特徴は、接着剤層の適用が、３００℃以下の温度、好ま
しくは２５０℃以下、特に１４０℃未満、好ましくは１
００℃未満で行われ、引き続く工程においては３００℃
の温度以下好ましくは１９０℃以下であること、であ
る。アルミニウム基板の場合においてさえも、亜鉛被覆
の適用後のその温度は、シートの厚さ及び被覆の厚さに
左右されるが、３００℃以下であり、より好ましくは１
６０℃と１９０℃との間であり、従って適用された被覆
の再蒸発を防ぐことができるようになっている。
特にアルミニウム基板の場合には、本発明のもう１つの
特徴は、接着剤層の適用が、３００℃以下の温度、好ま
しくは２５０℃以下、特に１４０℃未満、好ましくは１
００℃未満で行われ、引き続く工程においては３００℃
の温度以下好ましくは１９０℃以下であること、であ
る。アルミニウム基板の場合においてさえも、亜鉛被覆
の適用後のその温度は、シートの厚さ及び被覆の厚さに
左右されるが、３００℃以下であり、より好ましくは１
６０℃と１９０℃との間であり、従って適用された被覆
の再蒸発を防ぐことができるようになっている。
【０００９】接着剤層は、０．１μｍないし２μｍの厚
さ好ましくは０．３μｍの厚さが得られるまで適用され
るのが好ましい。本発明のもう１つの特徴によれば、接
着剤層がスパッタにより適用される。金属基板の両側に
接着剤層と被覆剤層とを設けることができるのは当然で
ある。
さ好ましくは０．３μｍの厚さが得られるまで適用され
るのが好ましい。本発明のもう１つの特徴によれば、接
着剤層がスパッタにより適用される。金属基板の両側に
接着剤層と被覆剤層とを設けることができるのは当然で
ある。
【００１０】本発明により、真空内で金属基板を被覆す
るための装置は、被覆剤層の適用のための被覆室と活性
化室との間の真空室内に、接着剤層を適用するための付
加的被覆剤室を備えていること、を特徴とする。この装
置は、個々の加工片を被覆するようにも、またストリッ
プの形の基板を被覆するようにも設計することが可能で
ある。加工片又はストリップの両側に被覆をするために
は、接着剤層用の材料を入れる少なくとも２つの蒸発器
るつぼが、金属基板の対向する両側に１つずつ設けられ
る。蒸発器るつぼ内の材料を加熱するため、電子ビーム
を発生するための少なくとも１つの手段が設けられてい
ること、が好ましい。これに関連して、電子ビーム発生
手段は、単一の電子ビームを発生させるように機能し、
一度に蒸発器るつぼの１つの中へ交互に前記単一の電子
ビームを周期的又は振動的に偏向させるための手段と組
合されていること、により装置の構造を単純化すること
ができる。
るための装置は、被覆剤層の適用のための被覆室と活性
化室との間の真空室内に、接着剤層を適用するための付
加的被覆剤室を備えていること、を特徴とする。この装
置は、個々の加工片を被覆するようにも、またストリッ
プの形の基板を被覆するようにも設計することが可能で
ある。加工片又はストリップの両側に被覆をするために
は、接着剤層用の材料を入れる少なくとも２つの蒸発器
るつぼが、金属基板の対向する両側に１つずつ設けられ
る。蒸発器るつぼ内の材料を加熱するため、電子ビーム
を発生するための少なくとも１つの手段が設けられてい
ること、が好ましい。これに関連して、電子ビーム発生
手段は、単一の電子ビームを発生させるように機能し、
一度に蒸発器るつぼの１つの中へ交互に前記単一の電子
ビームを周期的又は振動的に偏向させるための手段と組
合されていること、により装置の構造を単純化すること
ができる。
【００１１】以下、添付図面を参照して本発明を更に説
明する。図は、ストリップ状金属基板を被覆するための
本発明による装置の概略図である。金属ストリップ１
は、材料入口ロック室２を通して装置の真空領域へ導入
される。その途中で、ストリップのきれいな洗浄及び／
又は活性化が、１０-1ないし１０-4ミリバール好ましく
は１０-3ミリバールの圧力下で行われる。ベルト１は予
熱室３に入り、その後ベルト１上に接着剤層を適用する
ための被覆剤室４に進む。被覆室４内には蒸発器るつぼ
５が設けられ、その各々は、ベルト１の両側でベルト１
に適用されるべき金属又は金属合金を入れてある。被覆
室４内には更に、少なくとも１つの電子ビーム６ａを発
生するための手段６が設けられている。好ましくは、単
一の電子ビームは、図示されていない手段によって、２
つの蒸発器るつぼ５内に交互に放射される。電子ビーム
による代わりに抵抗加熱によりるつぼ５内の材料を加熱
することが可能である。
明する。図は、ストリップ状金属基板を被覆するための
本発明による装置の概略図である。金属ストリップ１
は、材料入口ロック室２を通して装置の真空領域へ導入
される。その途中で、ストリップのきれいな洗浄及び／
又は活性化が、１０-1ないし１０-4ミリバール好ましく
は１０-3ミリバールの圧力下で行われる。ベルト１は予
熱室３に入り、その後ベルト１上に接着剤層を適用する
ための被覆剤室４に進む。被覆室４内には蒸発器るつぼ
５が設けられ、その各々は、ベルト１の両側でベルト１
に適用されるべき金属又は金属合金を入れてある。被覆
室４内には更に、少なくとも１つの電子ビーム６ａを発
生するための手段６が設けられている。好ましくは、単
一の電子ビームは、図示されていない手段によって、２
つの蒸発器るつぼ５内に交互に放射される。電子ビーム
による代わりに抵抗加熱によりるつぼ５内の材料を加熱
することが可能である。
【００１２】最後に，接着剤被覆を備えたストリップ１
は、被覆剤を適用するための被覆室７の中へはいる。こ
の被覆室７は、被覆室４と同様に設計してもよく、また
異なる設計としてもよい。被覆室７内の真空度及び好ま
しくは被覆室４内の真空度も、１０-2ないし１０-4ミリ
バールの大きさであり、好ましくは１０-3ミリバールで
ある。
は、被覆剤を適用するための被覆室７の中へはいる。こ
の被覆室７は、被覆室４と同様に設計してもよく、また
異なる設計としてもよい。被覆室７内の真空度及び好ま
しくは被覆室４内の真空度も、１０-2ないし１０-4ミリ
バールの大きさであり、好ましくは１０-3ミリバールで
ある。
【００１３】接着剤層及び被覆剤層で完全に被覆された
ベルト１は、材料出口ロック室８を通って、本発明の装
置から再び出てくる。
ベルト１は、材料出口ロック室８を通って、本発明の装
置から再び出てくる。
【００１４】
【実施例１】厚さ１ｍｍを有するアルミニウム合金Ａｌ
Ｍｇ０．４Ｓｉ１．２のシートが、イオン エッチング
によって表面を前処理し活性化することにより、従来の
脱脂浴内で脱脂することにより前処理された。その後、
接着剤の被覆（この場合には、アルミニウム被覆）と引
続き亜鉛の被覆層が適用された。この目的のために、蒸
発器手段として電子ビームが用いられた。工程のパラメ
ータは次の表から明らかである。（与えられた温度はす
べて、少なくとも夫々の工程手段の終わりに適用され
る。）
Ｍｇ０．４Ｓｉ１．２のシートが、イオン エッチング
によって表面を前処理し活性化することにより、従来の
脱脂浴内で脱脂することにより前処理された。その後、
接着剤の被覆（この場合には、アルミニウム被覆）と引
続き亜鉛の被覆層が適用された。この目的のために、蒸
発器手段として電子ビームが用いられた。工程のパラメ
ータは次の表から明らかである。（与えられた温度はす
べて、少なくとも夫々の工程手段の終わりに適用され
る。）
【表１】
【００１５】
【実施例２】０．６５ｍｍの厚さを有する綱ストリップ
が、実施例１のアルミニウム基板と同様に処理された。
工程パラメータは次の通りである。
が、実施例１のアルミニウム基板と同様に処理された。
工程パラメータは次の通りである。
【表２】
【図１】本発明によってストリップ状の金属基板を被覆
するための装置の概略図である。
するための装置の概略図である。
１・・・ストリップ（金属基板） ２・・・材料入口 ロック室 ３・・・活性化室 ４、７・・・被覆室 ８・・・材料出口 ロック室 ５・・・蒸発るつぼ ６ａ・・・電子ビーム ６・・・電子ビーム発生手段
Claims (12)
- 【請求項１】金属基板を金属又は金属合金の被覆層で被
覆するための方法であって、洗浄と脱脂と、次に真空内
での蒸気蒸着により被覆剤層を適用することを含む方法
において：綱のシート、非鉄金属の重いシート、又はア
ルミニウム シートが好ましくはストップ状で用いら
れ、基板は、洗浄と脱脂の後活性化され、活性化の後接
着剤層が適用されること、を特徴とする金属基板を金属
又は金属合金の被覆層で被覆する方法。 - 【請求項２】基板の活性化が予熱により進行すること、
を特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】基板の活性化は、イオン エッチングによ
り行われ、選択的に基板の予熱の後に行うこと、を特徴
とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項４】アルミニウムの接着剤層が適用されるこ
と、を特徴とする請求項１ないし３項の何れか一項に記
載の方法。 - 【請求項５】接着剤層の適用が、３００℃以下の温度、
好ましくは２５０℃以下、特に１４０℃未満、好ましく
は１００℃未満で行われ、引き続く工程においては、３
００℃の温度以下好ましくは１９０℃以下であること、
を特徴とする請求項１ないし４項の何れか一項に記載の
方法。 - 【請求項６】接着剤層が、０．１μｍないし２μｍの厚
さ、好ましくは０．３μｍの厚さが得られるまで適用さ
れること、を特徴とする請求項１ないし６項の何れか一
項に記載の方法。 - 【請求項７】接着剤層がスパッタにより適用されるこ
と、を特徴とする請求項１ないし６項の何れか一項に記
載の方法。 - 【請求項８】金属基板の両側に接着剤層と被覆剤層とが
被覆されること、を特徴とする請求項１ないし７項の何
れか一項に記載の方法。 - 【請求項９】材料入口ロック室（２）と、活性化室
（３）と被覆剤層の適用のための被覆室（７）とを含む
真空室と、材料出口ロック室（８）と、を備えた、真空
内で金属基板を被覆するための装置において、前期真空
室は、被覆剤層の適用のための被覆剤室と活性化室
（３）との間に、接着剤層を適用するための付加的被覆
室（４）を備えていること、を特徴とする真空内で金属
基板を被覆するための装置。 - 【請求項１０】接着剤層用の材料を入れる少なくとも２
つの蒸発器るつぼが、金属基板（１）の対向する両側に
１つずつ設けられていること、を特徴とする請求項９に
記載の装置。 - 【請求項１１】蒸発器るつぼ（５）内の材料を加熱する
ため、電子ビーム（６ａ）を発生するための少なくとも
１つの手段（６）が設けられていること、を特徴とする
請求項１０に記載の装置。 - 【請求項１２】電子ビーム発生手段（６）は、単一の電
子ビーム（６ａ）を発生させるように機能し、一度に蒸
発器るつぼ（５）の１つの中へ交互に前記単一の電子ビ
ームを周期的又は振動的に偏向させるための手段と組み
合わせれていること、を特徴とする請求項１１に記載の
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT0107093A AT400040B (de) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von metallsubstraten, insbesondere stahl- oder aluminiumbblechen in bandform |
| AT1070/93 | 1993-06-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113182A true JPH07113182A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=3505959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6116691A Pending JPH07113182A (ja) | 1993-06-02 | 1994-05-30 | 金属基板を金属又は金属合金の被覆層で被覆する方法及び 装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5616362A (ja) |
| EP (1) | EP0627496A3 (ja) |
| JP (1) | JPH07113182A (ja) |
| KR (1) | KR950000918A (ja) |
| AT (1) | AT400040B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1291883B1 (it) * | 1997-04-18 | 1999-01-21 | Sviluppo Materiali Spa | Procedimento per la produzione in continuo, tramite deposizione fisica da fase vapore, di nastri metallici rivestiti con elevata |
| RU2142519C1 (ru) * | 1998-07-13 | 1999-12-10 | Плитко Александр Павлович | Установка для обработки лент и фольги |
| GB2339800B (en) * | 1998-07-24 | 2003-04-09 | Gen Vacuum Equipment Ltd | A vacuum process for depositing zinc sulphide and other coatings on flexible moving web |
| RU2153025C1 (ru) * | 1998-10-27 | 2000-07-20 | Сенокосов Евгений Степанович | Способ обработки металлических лент или проволоки в вакууме и устройство для его реализации |
| US6875318B1 (en) | 2000-04-11 | 2005-04-05 | Metalbond Technologies, Llc | Method for leveling and coating a substrate and an article formed thereby |
| DE10354090B4 (de) * | 2003-11-10 | 2009-01-08 | Creavac-Creative Vakuumbeschichtung Gmbh | Einrichtung zur Beschichtung von Flachbandkabel |
| KR101382997B1 (ko) * | 2012-02-08 | 2014-04-08 | 현대자동차주식회사 | 코팅층 표면 처리 방법 |
| CN111945112A (zh) * | 2019-05-14 | 2020-11-17 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种真空镀锡板的制造方法 |
| DE102021127116A1 (de) | 2021-10-19 | 2023-04-20 | Thyssenkrupp Steel Europe Ag | Verfahren zur Beschichtung eines Stahlflachproduktes mit geringer Lackkrateranfälligkeit |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3326177A (en) * | 1963-09-12 | 1967-06-20 | Pennsalt Chemicals Corp | Metal vapor coating apparatus |
| US3278331A (en) * | 1965-07-26 | 1966-10-11 | Pennsalt Chemicals Corp | Process for coating steel with zinc |
| BE728876A (ja) * | 1969-02-24 | 1969-08-01 | ||
| BE762681A (nl) * | 1971-02-09 | 1971-07-16 | Bekaert Sa Nv | Inrichting voor het opdampen van een metalen deklaag op een langwerpig substraat met behulp van tenminste een elektronenkanon. |
| JPS59153880A (ja) * | 1983-02-22 | 1984-09-01 | Hitachi Cable Ltd | 帯状金属体の連続蒸着法 |
| US4514437A (en) * | 1984-05-02 | 1985-04-30 | Energy Conversion Devices, Inc. | Apparatus for plasma assisted evaporation of thin films and corresponding method of deposition |
| JPH0791643B2 (ja) * | 1985-08-19 | 1995-10-04 | 松下電器産業株式会社 | 半連続巻取式真空蒸着装置 |
| DE3601439C1 (de) * | 1986-01-20 | 1987-04-09 | Glyco Metall Werke | Schichtverbundwerkstoff,insbesondere fuer Gleit- und Reibelemente,sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| JPS62228498A (ja) * | 1986-03-29 | 1987-10-07 | Nisshin Steel Co Ltd | 塗装用めつき鋼板 |
| JPS62224667A (ja) * | 1986-03-26 | 1987-10-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 金属板連続塗装方法及びその装置 |
| JPS6320447A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-28 | Nisshin Steel Co Ltd | 金属帯を連続的にセラミツクでコ−テイングする方法と装置 |
| JPS6379966A (ja) * | 1986-09-20 | 1988-04-09 | Nippon Steel Corp | 帯板の連続複合コ−テイング設備 |
| JPS6428351A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Nisshin Steel Co Ltd | Method for hot dip aluminizing hardly aluminizable steel sheet |
| DE3742317A1 (de) * | 1987-12-14 | 1989-06-22 | Repenning Detlev | Verfahren zur herstellung korrosion-, verschleiss- und pressfester schichten |
| US4820392A (en) * | 1987-12-21 | 1989-04-11 | Ford Motor Company | Method of increasing useful life of tool steel cutting tools |
| DE3809139A1 (de) * | 1988-03-18 | 1989-09-28 | Lpw Chemie Gmbh | Verwendung einer palladium/nickel-legierungsschicht als zwischenschicht zwischen einem nichtkorrosionsbestaendigen oder wenig korrosionsbestaendigen metallischen grundmaterial und einer nach dem pvd-verfahren aufgebrachten beschichtung |
| JPH0211767A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Kawasaki Steel Corp | 長尺物の連続ドライプレーティング装置 |
| EP0349925A1 (de) * | 1988-07-04 | 1990-01-10 | INTERATOM Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zum Beschichten von Gegenständen aus hochschmelzenden Metallen |
| NL8902760A (nl) * | 1989-11-08 | 1991-06-03 | Philips Nv | Werkwijze voor het aanbrengen van een boorlaag op een stalen substraat en gereedschap voorzien van een boorlaag. |
| EP0481346B1 (en) * | 1990-10-17 | 1994-08-17 | Nisshin Steel Co., Ltd. | Multilayer metal-coated steel sheet |
| EP0572673B1 (en) * | 1991-11-21 | 1997-06-25 | Nisshin Steel Co., Ltd. | Method of forming layer of evaporation coating |
-
1993
- 1993-06-02 AT AT0107093A patent/AT400040B/de not_active IP Right Cessation
-
1994
- 1994-05-30 JP JP6116691A patent/JPH07113182A/ja active Pending
- 1994-05-30 KR KR1019940011981A patent/KR950000918A/ko not_active Ceased
- 1994-05-30 EP EP94108300A patent/EP0627496A3/de not_active Withdrawn
-
1995
- 1995-07-21 US US08/505,481 patent/US5616362A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0627496A2 (de) | 1994-12-07 |
| AT400040B (de) | 1995-09-25 |
| EP0627496A3 (de) | 1995-06-14 |
| ATA107093A (de) | 1995-01-15 |
| KR950000918A (ko) | 1995-01-03 |
| US5616362A (en) | 1997-04-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6505126B2 (ja) | 複数層基板および製造方法 | |
| MXPA06001802A (es) | Metodo y aparato para la fabricacion de productos de acero recubiertos de metal. | |
| KR20170007355A (ko) | 금속 코팅을 갖는 강 시트의 열간 성형에 의해 성형되는 강 부품을 제조하는 방법, 이러한 강 시트, 및 열간 성형 공정에 의해 상기 강 시트로부터 제조된 강 부품 | |
| EP0572673B1 (en) | Method of forming layer of evaporation coating | |
| US5616362A (en) | Process and apparatus for the coating of metal | |
| JP2782451B2 (ja) | 高耐食性重畳めっき鋼板 | |
| JP3390776B2 (ja) | アルミニウムの拡散希釈を利用した鋼の表面改質方法 | |
| JPH02194162A (ja) | Ｚｎ―Ｍｇ合金めっき金属材料の製造方法 | |
| JP2019089339A (ja) | 複数層基板および製造方法 | |
| CN114952186A (zh) | 一种用于热冲压成形的拼焊零件制造方法 | |
| JP3637255B2 (ja) | アルミニウム窒化材およびその製造方法 | |
| JPS63153283A (ja) | 鋼材の乾式めつき方法 | |
| JPH05156490A (ja) | リン酸塩処理性、塗装後耐食性に優れたアルミニウム合金板 | |
| JPH07157864A (ja) | プレス成形用Ａｌ系めっき金属材 | |
| JP2003286556A (ja) | 粉体塗装性に優れた合金化溶融亜鉛めっき鋼板 | |
| JPH04218660A (ja) | 高耐食性Ｚｎ−Ｓｉ系蒸着めっき金属材 | |
| JP2575747B2 (ja) | 高耐食性Ａ１−Ｃｒ合金蒸着めっき製品およびその製造方法 | |
| EP0481346B1 (en) | Multilayer metal-coated steel sheet | |
| KR0140835B1 (ko) | 단일증발원에 의한 알루미늄-크롬 합금증착 도금강판의 제조방법 | |
| JPH06158285A (ja) | Ａｌ系蒸着めっき材の製造方法 | |
| JPH0723531B2 (ja) | アルミニウム材の表面処理方法 | |
| JPH02170987A (ja) | 蒸着Ｚｎ合金めっき方法 | |
| JPH04325667A (ja) | ＺｎおよびＺｎ合金被覆アルミニウム合金板の製造方法 | |
| JPS6280260A (ja) | 鋼板の表面処理方法 | |
| JPH06146013A (ja) | 耐食性に優れた積層型蒸着Ａｌ系めっき金属材及びその製造方法 |