JPH07113586A - 材料実験炉 - Google Patents
材料実験炉Info
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- JPH07113586A JPH07113586A JP26102593A JP26102593A JPH07113586A JP H07113586 A JPH07113586 A JP H07113586A JP 26102593 A JP26102593 A JP 26102593A JP 26102593 A JP26102593 A JP 26102593A JP H07113586 A JPH07113586 A JP H07113586A
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- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来より高い温度で加熱を行い得る材料実験
炉を提供する。 【構成】 発熱体シート５’に互い違いに切れ込み６を
入れ且つ該各切り込み６の両側を折り曲げて起立させる
ことによりＵ字状断面としたジグザグ状の発熱構造体
を、前記切れ込み６と平行な軸線を中心とする円筒状に
丸めて炉内に配置し、前記発熱構造体にジグザグ状に連
続して形成される電導路９の両端部１０，１１に、炉壁
を貫通させた正負のパワーリードを夫々接合し、両パワ
ーリードにより前記発熱構造体を支持する。補強部材と
しての碍子が不要となり、碍子の耐熱温度による加熱温
度の制限がなくなる。
炉を提供する。 【構成】 発熱体シート５’に互い違いに切れ込み６を
入れ且つ該各切り込み６の両側を折り曲げて起立させる
ことによりＵ字状断面としたジグザグ状の発熱構造体
を、前記切れ込み６と平行な軸線を中心とする円筒状に
丸めて炉内に配置し、前記発熱構造体にジグザグ状に連
続して形成される電導路９の両端部１０，１１に、炉壁
を貫通させた正負のパワーリードを夫々接合し、両パワ
ーリードにより前記発熱構造体を支持する。補強部材と
しての碍子が不要となり、碍子の耐熱温度による加熱温
度の制限がなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、材料実験炉に関するも
のである。
のである。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の材料実験炉の一例を示すも
ので、この種の材料実験炉ａ内には供試体を加熱する為
の複数本の発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅ（説明の便宜上、図示
する例では４本としてある）が配設されており、このう
ち一対の発熱体ｂ，ｃの夫々一端には炉外の電源ｆから
導いた正負のパワーリードｇ，ｈが接続されていると共
に、前記一対の発熱体ｂ，ｃに対し残りの発熱体ｄ，ｅ
がコネクタｉ，ｊ，ｋを介して直列に接続されていて、
前記発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅに炉外の電源ｆから通電する
ことにより、各発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅの抵抗加熱で供試
体（図示せず）を加熱し、各種加熱実験を行い得るよう
にしてある。
ので、この種の材料実験炉ａ内には供試体を加熱する為
の複数本の発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅ（説明の便宜上、図示
する例では４本としてある）が配設されており、このう
ち一対の発熱体ｂ，ｃの夫々一端には炉外の電源ｆから
導いた正負のパワーリードｇ，ｈが接続されていると共
に、前記一対の発熱体ｂ，ｃに対し残りの発熱体ｄ，ｅ
がコネクタｉ，ｊ，ｋを介して直列に接続されていて、
前記発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅに炉外の電源ｆから通電する
ことにより、各発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅの抵抗加熱で供試
体（図示せず）を加熱し、各種加熱実験を行い得るよう
にしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の材料実験炉ａにおいては、発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅ自
体が構造部材としての剛性を有していなかった為、図示
の如く一対のリング状の碍子ｍ，ｎにより前記各発熱体
ｂ，ｃ，ｄ，ｅの両端部を貫通固定せしめて剛性を持た
せるようにしていたので、前記碍子ｍ，ｎの耐熱温度で
供試体に対する加熱温度が決められてしまうという不具
合があった。
来の材料実験炉ａにおいては、発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅ自
体が構造部材としての剛性を有していなかった為、図示
の如く一対のリング状の碍子ｍ，ｎにより前記各発熱体
ｂ，ｃ，ｄ，ｅの両端部を貫通固定せしめて剛性を持た
せるようにしていたので、前記碍子ｍ，ｎの耐熱温度で
供試体に対する加熱温度が決められてしまうという不具
合があった。
【０００４】即ち、前記碍子ｍ，ｎは発熱体ｂ，ｃ，
ｄ，ｅ相互が短絡しないよう絶縁材質により製作する必
要があるが、例えばアルミナ製の碍子ｍ，ｎとした場合
には約１０００℃程度までしか耐えられず、例えばタン
グステン製とした発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅが抵抗値の設定
により約２０００℃程度まで発熱することが可能である
としても、材料実験炉ａの加熱能力としてはアルミナ製
の碍子ｍ，ｎの耐熱温度である約１０００℃程度が加熱
限界となっていた。
ｄ，ｅ相互が短絡しないよう絶縁材質により製作する必
要があるが、例えばアルミナ製の碍子ｍ，ｎとした場合
には約１０００℃程度までしか耐えられず、例えばタン
グステン製とした発熱体ｂ，ｃ，ｄ，ｅが抵抗値の設定
により約２０００℃程度まで発熱することが可能である
としても、材料実験炉ａの加熱能力としてはアルミナ製
の碍子ｍ，ｎの耐熱温度である約１０００℃程度が加熱
限界となっていた。
【０００５】本発明は上述の実情に鑑みてなしたもの
で、従来より高い温度で加熱を行い得る材料実験炉を提
供することを目的としている。
で、従来より高い温度で加熱を行い得る材料実験炉を提
供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、発熱体シート
に互い違いに切れ込みを入れ且つ該各切り込みの両側を
折り曲げて起立させることによりＵ字状断面としたジグ
ザグ状の発熱構造体を、前記切れ込みと平行な軸線を中
心とする円筒状に丸めて炉内に配置し、前記発熱構造体
にジグザグ状に連続して形成される電導路の両端部に、
炉壁を貫通させた正負のパワーリードを夫々接合し、両
パワーリードにより前記発熱構造体を支持したことを特
徴とする材料実験炉、に係るものである。
に互い違いに切れ込みを入れ且つ該各切り込みの両側を
折り曲げて起立させることによりＵ字状断面としたジグ
ザグ状の発熱構造体を、前記切れ込みと平行な軸線を中
心とする円筒状に丸めて炉内に配置し、前記発熱構造体
にジグザグ状に連続して形成される電導路の両端部に、
炉壁を貫通させた正負のパワーリードを夫々接合し、両
パワーリードにより前記発熱構造体を支持したことを特
徴とする材料実験炉、に係るものである。
【０００７】
【作用】従って本発明では、Ｕ字状断面のジグザグ状に
形成された発熱構造体を円筒状に丸めて炉内に配置する
と、前記発熱構造体の剛性が著しく向上され、従来の如
くリング状の碍子等の補強部材を必要とすることなく発
熱構造体自身の有する剛性で炉内に容易に支持すること
が可能となるので、補強部材としての碍子が不要とな
り、碍子の耐熱温度による加熱温度の制限がなくなる。
形成された発熱構造体を円筒状に丸めて炉内に配置する
と、前記発熱構造体の剛性が著しく向上され、従来の如
くリング状の碍子等の補強部材を必要とすることなく発
熱構造体自身の有する剛性で炉内に容易に支持すること
が可能となるので、補強部材としての碍子が不要とな
り、碍子の耐熱温度による加熱温度の制限がなくなる。
【０００８】また、発熱構造体は発熱体シートに切り込
みを入れて曲げ加工するだけで極めて容易に製作するこ
とが可能で、しかもパワーリードに接合するだけで極め
て容易に炉内に支持することが可能であるので、従来構
造と比較して製作・設置に要する手間が大幅に軽減さ
れ、製作コストも大幅に削減される。
みを入れて曲げ加工するだけで極めて容易に製作するこ
とが可能で、しかもパワーリードに接合するだけで極め
て容易に炉内に支持することが可能であるので、従来構
造と比較して製作・設置に要する手間が大幅に軽減さ
れ、製作コストも大幅に削減される。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照しつつ説明
する。
する。
【００１０】図１〜図４は本発明の一実施例を示すもの
で、図１中１は材料実験炉、２は該材料実験炉１の炉
壁、３は該炉壁２の内側に配設された断熱材を示し、該
断熱材３により包囲された炉心空間４には以下に詳述す
る発熱構造体５が配置されている。
で、図１中１は材料実験炉、２は該材料実験炉１の炉
壁、３は該炉壁２の内側に配設された断熱材を示し、該
断熱材３により包囲された炉心空間４には以下に詳述す
る発熱構造体５が配置されている。
【００１１】即ち、図１に図示されている発熱構造体５
は、図２に示す如くタングステン等の金属からなる発熱
体シート５’にカッター若しくはレーザー等を用いて互
い違いに切れ込み６を入れ、且つ該各切れ込み６の先端
部分にもＴ字状に切れ込み７を入れた上で、前記各切り
込み６の両側を折り曲げて起立させることにより、図３
に示す如くＵ字状断面のジグザグ状に形成された発熱構
造体５とし、これを更に図４に示す如く前記切れ込み６
と平行な軸線８を中心とする円筒状に丸めて炉内に配置
したものであり、この円筒状にした発熱構造体５にジグ
ザグ状に連続して形成される電導路９（図２参照）の端
部１０，１１には、断熱材３及び炉壁２を貫通させた正
負のパワーリード１２，１３が夫々溶接又はロウ付け等
により接合されており、前記発熱構造体５は両パワーリ
ード１２，１３により前記炉心空間４に支持されてい
る。
は、図２に示す如くタングステン等の金属からなる発熱
体シート５’にカッター若しくはレーザー等を用いて互
い違いに切れ込み６を入れ、且つ該各切れ込み６の先端
部分にもＴ字状に切れ込み７を入れた上で、前記各切り
込み６の両側を折り曲げて起立させることにより、図３
に示す如くＵ字状断面のジグザグ状に形成された発熱構
造体５とし、これを更に図４に示す如く前記切れ込み６
と平行な軸線８を中心とする円筒状に丸めて炉内に配置
したものであり、この円筒状にした発熱構造体５にジグ
ザグ状に連続して形成される電導路９（図２参照）の端
部１０，１１には、断熱材３及び炉壁２を貫通させた正
負のパワーリード１２，１３が夫々溶接又はロウ付け等
により接合されており、前記発熱構造体５は両パワーリ
ード１２，１３により前記炉心空間４に支持されてい
る。
【００１２】ここで本実施例では、発熱構造体５の軸線
方向において前記電導路９の端部１０，１１側に対し反
対側となる位置１４，１５を補助的にサポートロッド１
６，１７で支持するようにしているが、前記両パワーリ
ード１２，１３による片持ち支持で十分に発熱構造体５
を支持し得る場合には、前記サポートロッド１６，１７
による支持を不要としても良い。
方向において前記電導路９の端部１０，１１側に対し反
対側となる位置１４，１５を補助的にサポートロッド１
６，１７で支持するようにしているが、前記両パワーリ
ード１２，１３による片持ち支持で十分に発熱構造体５
を支持し得る場合には、前記サポートロッド１６，１７
による支持を不要としても良い。
【００１３】尚、１８，１９はパワーリード１２，１３
及びサポートロッド１６，１７の断熱材３及び炉壁２に
対する貫通部分に外嵌されたスリーブ状の碍子を示す。
及びサポートロッド１６，１７の断熱材３及び炉壁２に
対する貫通部分に外嵌されたスリーブ状の碍子を示す。
【００１４】従って上記構成によれば、Ｕ字状断面のジ
グザグ状に形成された発熱構造体５を円筒状に丸めて炉
内に配置することにより、前記発熱構造体５の剛性を著
しく向上することができ、従来の如くリング状の碍子等
の補強部材を必要とすることなく発熱構造体５自身の有
する剛性で炉内に容易に支持することができるので、碍
子の耐熱温度による加熱温度の制限がなくなり、従来よ
り大幅に高い温度で加熱を行うことが可能となる。
グザグ状に形成された発熱構造体５を円筒状に丸めて炉
内に配置することにより、前記発熱構造体５の剛性を著
しく向上することができ、従来の如くリング状の碍子等
の補強部材を必要とすることなく発熱構造体５自身の有
する剛性で炉内に容易に支持することができるので、碍
子の耐熱温度による加熱温度の制限がなくなり、従来よ
り大幅に高い温度で加熱を行うことが可能となる。
【００１５】また、発熱体シート５’に切り込み６，７
を入れて曲げ加工するだけで極めて容易に製作できると
共に、前記発熱構造体５をパワーリード１２，１３に接
合（必要に応じてサポートロッド１６，１７も接合）す
るだけで極めて容易に炉１内に支持することができるの
で、従来構造と比較して製作・設置に要する手間を大幅
に軽減することができ、製作コストも大幅に削減するこ
とができる。
を入れて曲げ加工するだけで極めて容易に製作できると
共に、前記発熱構造体５をパワーリード１２，１３に接
合（必要に応じてサポートロッド１６，１７も接合）す
るだけで極めて容易に炉１内に支持することができるの
で、従来構造と比較して製作・設置に要する手間を大幅
に軽減することができ、製作コストも大幅に削減するこ
とができる。
【００１６】尚、本発明の材料実験炉は、上述の実施例
にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であ
る。
にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であ
る。
【００１７】
【発明の効果】上記した本発明の材料実験炉によれば、
下記の如き種々の優れた効果を奏し得る。
下記の如き種々の優れた効果を奏し得る。
【００１８】（Ｉ）Ｕ字状断面のジグザグ状に形成され
た発熱構造体を円筒状に丸めて炉内に配置することによ
り、前記発熱構造体の剛性を著しく向上することがで
き、従来の如くリング状の碍子等の補強部材を必要とす
ることなく発熱構造体自身の有する剛性で炉内に容易に
支持することができるので、碍子の耐熱温度による加熱
温度の制限がなくなり、従来より大幅に高い温度で加熱
を行うことが可能となる。
た発熱構造体を円筒状に丸めて炉内に配置することによ
り、前記発熱構造体の剛性を著しく向上することがで
き、従来の如くリング状の碍子等の補強部材を必要とす
ることなく発熱構造体自身の有する剛性で炉内に容易に
支持することができるので、碍子の耐熱温度による加熱
温度の制限がなくなり、従来より大幅に高い温度で加熱
を行うことが可能となる。
【００１９】（ＩＩ）発熱体シートに切り込みを入れて
曲げ加工するだけで極めて容易に製作できると共に、発
熱構造体をパワーリードに接合するだけで極めて容易に
炉内に支持することができるので、従来構造と比較して
製作・設置に要する手間を大幅に軽減することができ、
製作コストも大幅に削減することができる。
曲げ加工するだけで極めて容易に製作できると共に、発
熱構造体をパワーリードに接合するだけで極めて容易に
炉内に支持することができるので、従来構造と比較して
製作・設置に要する手間を大幅に軽減することができ、
製作コストも大幅に削減することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１の発熱構造体の製作過程における発熱体シ
ートの平面図である。
ートの平面図である。
【図３】図２の発熱体シートの切り込みの両側を折り曲
げて起立させた状態を示す斜視図である。
げて起立させた状態を示す斜視図である。
【図４】図３の発熱構造体を切れ込みと平行な軸線を中
心とする円筒状に丸めた状態を示す斜視図である。
心とする円筒状に丸めた状態を示す斜視図である。
【図５】従来例を示す概略図である。
１ 材料実験炉 ２ 炉壁 ５’ 発熱体シート ５ 発熱構造体 ６ 切れ込み ８ 軸線 ９ 電導路 １０，１１ 端部 １１，１２ パワーリード
Claims (1)
- 【請求項１】 発熱体シートに互い違いに切れ込みを入
れ且つ該各切り込みの両側を折り曲げて起立させること
によりＵ字状断面としたジグザグ状の発熱構造体を、前
記切れ込みと平行な軸線を中心とする円筒状に丸めて炉
内に配置し、前記発熱構造体にジグザグ状に連続して形
成される電導路の両端部に、炉壁を貫通させた正負のパ
ワーリードを夫々接合し、両パワーリードにより前記発
熱構造体を支持したことを特徴とする材料実験炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26102593A JP3371489B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 材料実験炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26102593A JP3371489B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 材料実験炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07113586A true JPH07113586A (ja) | 1995-05-02 |
| JP3371489B2 JP3371489B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=17356006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26102593A Expired - Fee Related JP3371489B2 (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 材料実験炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3371489B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008140647A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Momentive Performance Materials Japan Kk | ヒータ |
| WO2011110369A1 (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-15 | Centrotherm Thermal Solutions Gmbh & Co. Kg | Apparatus for thermally treating semiconductor substrates |
| US8847124B2 (en) | 2009-07-21 | 2014-09-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Heating device having a meander-shaped heating element with an insulating body accomodating the same, and the substrate processing apparatus including the same |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102230744B (zh) * | 2011-06-21 | 2013-02-06 | 中国电子科技集团公司第二研究所 | 一种真空设备加热带支撑座 |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP26102593A patent/JP3371489B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008140647A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Momentive Performance Materials Japan Kk | ヒータ |
| US8847124B2 (en) | 2009-07-21 | 2014-09-30 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Heating device having a meander-shaped heating element with an insulating body accomodating the same, and the substrate processing apparatus including the same |
| US9449849B2 (en) | 2009-07-21 | 2016-09-20 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Method of manufacturing semiconductor device using meander-shaped heating element |
| WO2011110369A1 (en) * | 2010-03-12 | 2011-09-15 | Centrotherm Thermal Solutions Gmbh & Co. Kg | Apparatus for thermally treating semiconductor substrates |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3371489B2 (ja) | 2003-01-27 |
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Legal Events
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