JPH07115237A - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
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- JPH07115237A JPH07115237A JP26137493A JP26137493A JPH07115237A JP H07115237 A JPH07115237 A JP H07115237A JP 26137493 A JP26137493 A JP 26137493A JP 26137493 A JP26137493 A JP 26137493A JP H07115237 A JPH07115237 A JP H07115237A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 少ない本数のレーザロッドで、大出力化およ
び耐久性向上を実現する。 【構成】 内側に反射面３を有する反射筒と、この反射
筒の内部に設けたレーザ媒質としてのレーザロッド４
と、反射筒の内部に設けられレーザロッドに励起光を投
入する励起源としての励起ランプ５、とを備え、前記反
射筒の反射面は拡散反射体で形成するとともに断面円形
の筒状とし、前記励起ランプ５は少なくとも３本以上配
置した。
び耐久性向上を実現する。 【構成】 内側に反射面３を有する反射筒と、この反射
筒の内部に設けたレーザ媒質としてのレーザロッド４
と、反射筒の内部に設けられレーザロッドに励起光を投
入する励起源としての励起ランプ５、とを備え、前記反
射筒の反射面は拡散反射体で形成するとともに断面円形
の筒状とし、前記励起ランプ５は少なくとも３本以上配
置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ媒質としてレー
ザロッドを用い、励起源として励起ランプを用いる固体
レーザ装置に関するものである。
ザロッドを用い、励起源として励起ランプを用いる固体
レーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の固体レーザ装置において
大出力を得るための方法としては、レーザロッドを複
数本並べて用いる方法と、 励起ランプを複数本用い
る方法、の二つの方法 が多く採用されている。
大出力を得るための方法としては、レーザロッドを複
数本並べて用いる方法と、 励起ランプを複数本用い
る方法、の二つの方法 が多く採用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述従
来の方法では次のような問題があった。複数本のレーザ
ロッドを並べて用いた大出力レーザシステムの場合に
は、光学調整が面倒であり、メンテナンス性も悪いなど
の欠点があった。したがって、レーザロッドの本数は少
ない方、より好ましくは１本であることが望ましい。
来の方法では次のような問題があった。複数本のレーザ
ロッドを並べて用いた大出力レーザシステムの場合に
は、光学調整が面倒であり、メンテナンス性も悪いなど
の欠点があった。したがって、レーザロッドの本数は少
ない方、より好ましくは１本であることが望ましい。
【０００４】一方、レーザロッドを１本にして、励起ラ
ンプを複数本用いた大出力レーザシステムの場合には、
励起ランプを２本にして大出力を得ようとすると、励起
ランプへの投入電力がその限界を越えるようになり、励
起ランプの寿命が短くなるという問題が発生した。
ンプを複数本用いた大出力レーザシステムの場合には、
励起ランプを２本にして大出力を得ようとすると、励起
ランプへの投入電力がその限界を越えるようになり、励
起ランプの寿命が短くなるという問題が発生した。
【０００５】また、一般に固体レーザ装置の反射筒には
鏡面反射型の多重楕円反射筒を用いているため、励起ラ
ンプを３本以上用いて大出力を得ようとすると励起効率
が低下し実用的でなかった。
鏡面反射型の多重楕円反射筒を用いているため、励起ラ
ンプを３本以上用いて大出力を得ようとすると励起効率
が低下し実用的でなかった。
【０００６】本発明は上述従来の技術の問題点に鑑みて
なされたものであり、少ない本数のレーザロッドで大出
力を得ることができ、且つ、耐久性にも富む固体レーザ
装置を提供することを目的とする。
なされたものであり、少ない本数のレーザロッドで大出
力を得ることができ、且つ、耐久性にも富む固体レーザ
装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上述目的を達成
するために、以下の構成を採用した。すなわち、本発明
の固体レーザ装置は、内側に反射面を有する反射筒と、
この反射筒の内部に設けたレーザ媒質としてのレーザロ
ッドと、反射筒の内部に設けられレーザロッドに励起光
を投入する励起源としての励起ランプとを備え、前記反
射筒の反射面は拡散反射体で形成するとともに断面円形
の筒状とし、前記励起ランプは少なくとも３本以上配置
した。
するために、以下の構成を採用した。すなわち、本発明
の固体レーザ装置は、内側に反射面を有する反射筒と、
この反射筒の内部に設けたレーザ媒質としてのレーザロ
ッドと、反射筒の内部に設けられレーザロッドに励起光
を投入する励起源としての励起ランプとを備え、前記反
射筒の反射面は拡散反射体で形成するとともに断面円形
の筒状とし、前記励起ランプは少なくとも３本以上配置
した。
【０００８】以下、本発明の各構成をより詳細に説明す
る。本発明の反射筒の反射面を構成する拡散反射体に
は、例えば、マイカセラミックス、若しくは、硫酸バリ
ウムを例えば１０〜２０重量％含有するフッ素樹脂など
を用いることができる。前記マイカセラミックスとし
て、快削性セラミックス（例えば、三井鉱山株式会社製
の商品名「マセライト」）を使用することができ、この
場合には製造加工が容易になる。
る。本発明の反射筒の反射面を構成する拡散反射体に
は、例えば、マイカセラミックス、若しくは、硫酸バリ
ウムを例えば１０〜２０重量％含有するフッ素樹脂など
を用いることができる。前記マイカセラミックスとし
て、快削性セラミックス（例えば、三井鉱山株式会社製
の商品名「マセライト」）を使用することができ、この
場合には製造加工が容易になる。
【０００９】尚、拡散反射体の拡散反射率は実質的に９
５％以上が好ましく、より好ましくは１００％に近いも
のが適している。拡散反射率が実質的に９５％以上とい
うことは入射光に対して９５％以上反射するという意味
ではなく、励起ランプで発生した光が反射筒内で散乱を
繰り返すうちその被検出エネルギがレーザロッドに９５
％以上実質的に吸収されるという意味である。
５％以上が好ましく、より好ましくは１００％に近いも
のが適している。拡散反射率が実質的に９５％以上とい
うことは入射光に対して９５％以上反射するという意味
ではなく、励起ランプで発生した光が反射筒内で散乱を
繰り返すうちその被検出エネルギがレーザロッドに９５
％以上実質的に吸収されるという意味である。
【００１０】また、本発明では赤外から近赤外領域にわ
たって実質的に９５％の拡散反射率であることが、レー
ザロッドの励起効率を上げるという点で望まれる。前記
反射面に金または銀のうち少なくとも一つをコーティン
グすることによって拡散反射率を向上させることができ
る。
たって実質的に９５％の拡散反射率であることが、レー
ザロッドの励起効率を上げるという点で望まれる。前記
反射面に金または銀のうち少なくとも一つをコーティン
グすることによって拡散反射率を向上させることができ
る。
【００１１】本発明のレーザロッドの材料は、ＹＡＧ材
料の他、アレキサンドライト、ガラス、ルビー等の材料
が採用可能である。また、本発明では、ロッド状（例え
ば円柱状）であれば、レーザロッドの長さや直径につい
ての制限はないが、特にロッド長１００〜２５０ｍｍ
で、直径６〜１５ｍｍのロッドが好ましい。
料の他、アレキサンドライト、ガラス、ルビー等の材料
が採用可能である。また、本発明では、ロッド状（例え
ば円柱状）であれば、レーザロッドの長さや直径につい
ての制限はないが、特にロッド長１００〜２５０ｍｍ
で、直径６〜１５ｍｍのロッドが好ましい。
【００１２】レーザロッドは、従来の固体レーザ装置の
ように、レーザロッドの両端を２つのロッドホルダで固
定、保持して使用してもよいが、好ましくはレーザロッ
ドを光軸方向（長さ方向）にのみ伸縮可能となるよう保
持する。例えば、レーザロッドの一端は一方のロッドホ
ルダで固定、保持し、レーザロッドの他端は他方のロッ
ドホルダにより、レーザロッドが長さ方向にのみ伸縮可
能となるような自由状態に保持できるように、一方のロ
ッドホルダ（両方のホルダでもよい）を改良した固体レ
ーザ装置を用いることが好ましい。
ように、レーザロッドの両端を２つのロッドホルダで固
定、保持して使用してもよいが、好ましくはレーザロッ
ドを光軸方向（長さ方向）にのみ伸縮可能となるよう保
持する。例えば、レーザロッドの一端は一方のロッドホ
ルダで固定、保持し、レーザロッドの他端は他方のロッ
ドホルダにより、レーザロッドが長さ方向にのみ伸縮可
能となるような自由状態に保持できるように、一方のロ
ッドホルダ（両方のホルダでもよい）を改良した固体レ
ーザ装置を用いることが好ましい。
【００１３】本発明の励起ランプの数は３本に限るもの
ではなく、３本以上であれば４本あるいは５本以上であ
っても構わない。励起ランプとしては、クリプトン型や
キセノン型が採用可能である。
ではなく、３本以上であれば４本あるいは５本以上であ
っても構わない。励起ランプとしては、クリプトン型や
キセノン型が採用可能である。
【００１４】レーザロッドの外径と、励起ランプの内径
と、反射筒における反射面の内径との比は、１：（０．
５〜１．５）：（３．０〜６．０）が好ましい。各径
が、この範囲内にあるときに特に高い励起効率が得られ
好ましい。
と、反射筒における反射面の内径との比は、１：（０．
５〜１．５）：（３．０〜６．０）が好ましい。各径
が、この範囲内にあるときに特に高い励起効率が得られ
好ましい。
【００１５】
【作用】各励起ランプからそれぞれ出射した光は、反射
筒の反射面で拡散反射するため、鏡面反射のときに比
べ、他の励起ランプによって吸収・反射されレーザロッ
ドに到達しない光の量が少なくなり、高い励起効率が得
られる。その結果、励起ランプへの投入電力が投入電力
限界よりも低いにもかかわらず、大きな出力の励起光を
レーザロッドに投入でき、励起ランプの寿命を延ばすこ
とができるとともに、固体レーザ装置から大出力を得る
ことができるようになる。
筒の反射面で拡散反射するため、鏡面反射のときに比
べ、他の励起ランプによって吸収・反射されレーザロッ
ドに到達しない光の量が少なくなり、高い励起効率が得
られる。その結果、励起ランプへの投入電力が投入電力
限界よりも低いにもかかわらず、大きな出力の励起光を
レーザロッドに投入でき、励起ランプの寿命を延ばすこ
とができるとともに、固体レーザ装置から大出力を得る
ことができるようになる。
【００１６】反射筒の反射面はレーザロッドおよび励起
ランプに近い方が反射効率がよい。したがって、３本以
上の励起ランプを配置する場合、断面円形がよい。ま
た、断面が円形であるので加工が容易だという利点もあ
り、特に、快削性のマイカセラミックスを用いれば、精
密な形状の切削加工が可能である。
ランプに近い方が反射効率がよい。したがって、３本以
上の励起ランプを配置する場合、断面円形がよい。ま
た、断面が円形であるので加工が容易だという利点もあ
り、特に、快削性のマイカセラミックスを用いれば、精
密な形状の切削加工が可能である。
【００１７】一般に、レーザ媒質（レーザロッド）によ
る光ポンピングによって熱が発生し、その熱の影響でレ
ーザ媒質（レーザロッド）が膨張するという特性がある
が、本発明によれば、レーザロッドはレーザビームの光
軸方向に伸縮可能となるように少なくとも一端が自由状
態で共振器内に保持されているので、この熱膨張分はレ
ーザロッドの光軸方向への伸長で吸収される。
る光ポンピングによって熱が発生し、その熱の影響でレ
ーザ媒質（レーザロッド）が膨張するという特性がある
が、本発明によれば、レーザロッドはレーザビームの光
軸方向に伸縮可能となるように少なくとも一端が自由状
態で共振器内に保持されているので、この熱膨張分はレ
ーザロッドの光軸方向への伸長で吸収される。
【００１８】さらに具体的には、レーザロッドの両端が
ロッドホルダで保持されている場合、一方のロッドホル
ダが共振器本体内に固定され、他方のロッドホルダが共
振器本体に対してレーザロッドの長さ方向に移動可能
で、その結果、レーザロッドがその長さ方向に伸長でき
るよう自由状態にあれば、この熱膨張分は他方のロッド
ホルダとともに伸長するレーザ媒質の長さ方向への伸長
に吸収される。
ロッドホルダで保持されている場合、一方のロッドホル
ダが共振器本体内に固定され、他方のロッドホルダが共
振器本体に対してレーザロッドの長さ方向に移動可能
で、その結果、レーザロッドがその長さ方向に伸長でき
るよう自由状態にあれば、この熱膨張分は他方のロッド
ホルダとともに伸長するレーザ媒質の長さ方向への伸長
に吸収される。
【００１９】さらにはロッドホルダ自体が、前記レーザ
ロッドをその長さ方向に伸縮（移動）可能となるような
自由状態で保持していれば、ロッドホルダが共振器本体
に固定されていてもレーザロッドは長さ方向に伸長可能
となり、その膨張分を吸収できる。
ロッドをその長さ方向に伸縮（移動）可能となるような
自由状態で保持していれば、ロッドホルダが共振器本体
に固定されていてもレーザロッドは長さ方向に伸長可能
となり、その膨張分を吸収できる。
【００２０】本発明において、レーザロッドの外径と、
励起ランプの内径と、反射筒における反射面の内径との
比は前述のように、１：（０．５〜１．５）：（３．０
〜６．０）が好ましい。
励起ランプの内径と、反射筒における反射面の内径との
比は前述のように、１：（０．５〜１．５）：（３．０
〜６．０）が好ましい。
【００２１】励起ランプの内径が前記範囲よりも小さく
なると、励起パワーが低下してしまう。また前記範囲よ
りも大きくなると反射面からの反射光に対して励起ラン
プが影となり、レーザロッドに到達する光量が減少す
る。一方、反射面がレーザロッドから離れるほどレーザ
ロッドに到達する光量は減少する。したがって、反射面
の内径は小さい程よいが、レーザロッドと励起ランプ等
を収容するための最低限の空間は必要である。よって、
前述のようにレーザロッドの外径と、励起ランプの内径
と、反射筒における反射面の内径との比は、１：（０．
５〜１．５）：（３．０〜６．０）が最も好ましい。
なると、励起パワーが低下してしまう。また前記範囲よ
りも大きくなると反射面からの反射光に対して励起ラン
プが影となり、レーザロッドに到達する光量が減少す
る。一方、反射面がレーザロッドから離れるほどレーザ
ロッドに到達する光量は減少する。したがって、反射面
の内径は小さい程よいが、レーザロッドと励起ランプ等
を収容するための最低限の空間は必要である。よって、
前述のようにレーザロッドの外径と、励起ランプの内径
と、反射筒における反射面の内径との比は、１：（０．
５〜１．５）：（３．０〜６．０）が最も好ましい。
【００２２】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図１〜図５の図面
に基いて説明する。図１は固体レーザ装置の断面図であ
り、固体レーザ装置は反射筒１を有している。反射筒１
は三井鉱山株式会社製の商品名「マセライト」（拡散反
射体）により形成されている。このマセライトは金属ア
ルコキシドを出発原料としゾルゲル法によりフッ素金雲
母結晶をガラス状のマトリックス中に析出させたもので
ある。
に基いて説明する。図１は固体レーザ装置の断面図であ
り、固体レーザ装置は反射筒１を有している。反射筒１
は三井鉱山株式会社製の商品名「マセライト」（拡散反
射体）により形成されている。このマセライトは金属ア
ルコキシドを出発原料としゾルゲル法によりフッ素金雲
母結晶をガラス状のマトリックス中に析出させたもので
ある。
【００２３】この反射筒１はブロック１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄを重ね合わせて構成されていて角柱状をなし、
その中央には軸心方向に沿って断面円形（内径５８ｍ
ｍ）のチャンバ２が形成されている。そして、この反射
筒１の内面、すなわちチャンバ２の表面が反射面３にな
っている。
ｃ，１ｄを重ね合わせて構成されていて角柱状をなし、
その中央には軸心方向に沿って断面円形（内径５８ｍ
ｍ）のチャンバ２が形成されている。そして、この反射
筒１の内面、すなわちチャンバ２の表面が反射面３にな
っている。
【００２４】反射筒１の内部には、１本のＹＡＧレーザ
ロッド４と４本の励起ランプ５が配置されている。尚、
図２は反射筒１の一方のブロック１ｂ，１ｄを取り外
し、このブロック１ｂ，１ｄ側に収容された２本の励起
ランプ５を省略した斜視図である。
ロッド４と４本の励起ランプ５が配置されている。尚、
図２は反射筒１の一方のブロック１ｂ，１ｄを取り外
し、このブロック１ｂ，１ｄ側に収容された２本の励起
ランプ５を省略した斜視図である。
【００２５】前記レーザロッド４は外径が１２．７ｍ
ｍ、長さ１９５ｍｍの円筒状をなし、その中心軸を反射
筒１の中心軸に一致させて配置されている。そしてレー
ザロッド４の両端は後述のロッドホルダ８によって伸縮
自在に保持されている。
ｍ、長さ１９５ｍｍの円筒状をなし、その中心軸を反射
筒１の中心軸に一致させて配置されている。そしてレー
ザロッド４の両端は後述のロッドホルダ８によって伸縮
自在に保持されている。
【００２６】前記レーザロッド４の周囲に配置された励
起ランプ５は４本とも、内径が１０ｍｍ、長さ２００ｍ
ｍの円筒状をなしている。各励起ランプ５はレーザロッ
ド４の周りに周方向等間隔（すなわち９０ ゜間隔）に
配され、レーザロッド４に対し平行な姿勢にされてい
る。各励起ランプ５の中心軸は、反射筒１の中心軸を中
心とする直径３９ｍｍの同一ピッチ円上に配置されてい
る。
起ランプ５は４本とも、内径が１０ｍｍ、長さ２００ｍ
ｍの円筒状をなしている。各励起ランプ５はレーザロッ
ド４の周りに周方向等間隔（すなわち９０ ゜間隔）に
配され、レーザロッド４に対し平行な姿勢にされてい
る。各励起ランプ５の中心軸は、反射筒１の中心軸を中
心とする直径３９ｍｍの同一ピッチ円上に配置されてい
る。
【００２７】このようにこの実施例では、レーザロッド
４の外径と、励起ランプ５の内径と、反射筒１における
反射面３の内径との比が、ほぼ １：０．８：４．６
になっている。
４の外径と、励起ランプ５の内径と、反射筒１における
反射面３の内径との比が、ほぼ １：０．８：４．６
になっている。
【００２８】反射筒１内において、レーザロッド４は、
ガラスで形成された透明管６内に収容され、この透明管
６は前記チャンバ２内にあって、反射筒１の内部に通じ
ている。そして、透明管６と反射筒１内には水などの冷
却液７が充填されて、レーザロッド４を冷却している。
ガラスで形成された透明管６内に収容され、この透明管
６は前記チャンバ２内にあって、反射筒１の内部に通じ
ている。そして、透明管６と反射筒１内には水などの冷
却液７が充填されて、レーザロッド４を冷却している。
【００２９】図３に示すように、レーザロッド４の一端
は前述のロッドホルダ８によって包み込まれるように保
持されており、この保持部分にはＯリング１０が固定さ
れ、レーザロッド４と透明管６との間の冷却水がロッド
ホルダ８内に入り込まないよう液密性が高められてい
る。
は前述のロッドホルダ８によって包み込まれるように保
持されており、この保持部分にはＯリング１０が固定さ
れ、レーザロッド４と透明管６との間の冷却水がロッド
ホルダ８内に入り込まないよう液密性が高められてい
る。
【００３０】ロッドホルダ８の外端側の外周部と反射筒
１の間にもＯリング１１が嵌装されており、反射筒本体
内の液密性が保持されている。当該ロッドホルダ８は、
図１および図３に示すように、一方（図では上方）が１
つのボールプランジャ１６で、他方（図では下方）が一
対のフリーボール付スクリュ１７，１７で保持され、こ
れら１つのボールプランジャ１６とフリーボール付スク
リュ１７，１７の組が図３で示すように２組設けられて
いる。
１の間にもＯリング１１が嵌装されており、反射筒本体
内の液密性が保持されている。当該ロッドホルダ８は、
図１および図３に示すように、一方（図では上方）が１
つのボールプランジャ１６で、他方（図では下方）が一
対のフリーボール付スクリュ１７，１７で保持され、こ
れら１つのボールプランジャ１６とフリーボール付スク
リュ１７，１７の組が図３で示すように２組設けられて
いる。
【００３１】ボールプランジャ１６は図４に示すよう
に、基部に六角レンチ孔Ｈを有し、周囲に螺子条を切っ
てあるネジ本体２１の先端に、金属球２２が回転可能に
収容されており、この金属球２２はネジ本体２１の内部
に収容されたスプリング２３により突出方向に付勢され
ている。
に、基部に六角レンチ孔Ｈを有し、周囲に螺子条を切っ
てあるネジ本体２１の先端に、金属球２２が回転可能に
収容されており、この金属球２２はネジ本体２１の内部
に収容されたスプリング２３により突出方向に付勢され
ている。
【００３２】また、フリーボール付スクリュ１７も、図
５に示すように、基部に六角レンチ孔Ｈを有し、周囲に
螺子条を切ってあるネジ本体２４の先端に、金属球２５
が回転可能に収容された構造を有している。
５に示すように、基部に六角レンチ孔Ｈを有し、周囲に
螺子条を切ってあるネジ本体２４の先端に、金属球２５
が回転可能に収容された構造を有している。
【００３３】これら、ボールプランジャ１６とフリーボ
ール付スクリュ１７とによってロッドホルダ８はその長
さ方向、すなわちレーザロッド４の長さ方向に移動可能
（伸縮可能）となるよう反射筒１内に自由状態で保持さ
れている。
ール付スクリュ１７とによってロッドホルダ８はその長
さ方向、すなわちレーザロッド４の長さ方向に移動可能
（伸縮可能）となるよう反射筒１内に自由状態で保持さ
れている。
【００３４】前記構成からなる固体レーザ装置におい
て、４本の励起ランプ５を連続的あるいはパルス的に点
灯すると、各励起ランプ５から出射した励起光の一部が
直接にレーザロッド４に照射され、残りが反射筒１の反
射面３で拡散反射した後、その反射光がレーザロッド４
に照射される。これによって、レーザロッド４がレーザ
発振して両端からレーザビームが発射される。ここで、
反射面３で拡散反射した間接光は他の励起ランプによっ
て吸収・反射される割合が少ないため、発振効率が向上
する。その結果、励起ランプ５への投入電力が投入電力
限界よりも低い割に、大きな出力の励起光をレーザロッ
ド４に投入でき、励起ランプ５の寿命を延ばすことがで
きるとともに、固体レーザ装置から大出力を得ることが
できるようになる。
て、４本の励起ランプ５を連続的あるいはパルス的に点
灯すると、各励起ランプ５から出射した励起光の一部が
直接にレーザロッド４に照射され、残りが反射筒１の反
射面３で拡散反射した後、その反射光がレーザロッド４
に照射される。これによって、レーザロッド４がレーザ
発振して両端からレーザビームが発射される。ここで、
反射面３で拡散反射した間接光は他の励起ランプによっ
て吸収・反射される割合が少ないため、発振効率が向上
する。その結果、励起ランプ５への投入電力が投入電力
限界よりも低い割に、大きな出力の励起光をレーザロッ
ド４に投入でき、励起ランプ５の寿命を延ばすことがで
きるとともに、固体レーザ装置から大出力を得ることが
できるようになる。
【００３５】本実施例では、投入電力に対して下記のレ
ーザ出力を得ることができた。
ーザ出力を得ることができた。
【００３６】
【表１】
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の固体レー
ザ装置によれば、反射筒の反射面を拡散反射体で形成し
て断面円形の筒状とし、この反射筒の内部に３本以上の
励起ランプを配したので、励起ランプから出射した光は
特定の部分に合焦することなく拡散され、他の励起ラン
プによって吸収・反射される割合が少なくなるため効率
が良くなる。そのため、使用するレーザロッドの本数を
低減でき、たとえばレーザロッド１本でも大出力を得る
ことができ、小型で大出力の固体レーザ装置の製造が可
能になる。
ザ装置によれば、反射筒の反射面を拡散反射体で形成し
て断面円形の筒状とし、この反射筒の内部に３本以上の
励起ランプを配したので、励起ランプから出射した光は
特定の部分に合焦することなく拡散され、他の励起ラン
プによって吸収・反射される割合が少なくなるため効率
が良くなる。そのため、使用するレーザロッドの本数を
低減でき、たとえばレーザロッド１本でも大出力を得る
ことができ、小型で大出力の固体レーザ装置の製造が可
能になる。
【００３８】さらに、励起ランプへの投入電力が投入電
力限界よりも低くても大出力の励起光をレーザロッドに
照射できるので、励起ランプ寿命を延ばすことができ、
固体レーザ装置の耐久性が向上する。
力限界よりも低くても大出力の励起光をレーザロッドに
照射できるので、励起ランプ寿命を延ばすことができ、
固体レーザ装置の耐久性が向上する。
【図１】 本発明の固体レーザ装置の縦断面図である。
【図２】 本発明の固体レーザ装置において、反射筒の
一方のブロックと２本の励起ランプを取り外した状態を
示す外観斜視図である。
一方のブロックと２本の励起ランプを取り外した状態を
示す外観斜視図である。
【図３】 本発明の固体レーザ装置の横断面図である。
【図４】 本発明の固体レーザ装置に用いるボールプラ
ンジャの断面図である。
ンジャの断面図である。
【図５】 本発明の固体レーザ装置に用いるフリーボー
ル付スクリュの断面図である。
ル付スクリュの断面図である。
１ 反射筒 ２ チャンバ ３ 反射面 ４ レーザロッド ５ 励起ランプ ６ 透明管 ７ 冷却液 ８ ロッドホルダ １０，１１ Ｏリング １６ ボールプランジャ １７ フリーボール付スクリュ ２１ ネジ本体 ２２ 金属球 ２３ スプリング ２４ ネジ本体 ２５ 金属球 Ｈ 六角レンチ孔
Claims (4)
- 【請求項１】 内側に反射面を有する反射筒と、この反
射筒の内部に設けたレーザ媒質としてのレーザロッド
と、反射筒の内部に設けられレーザロッドに励起光を投
入する励起源としての励起ランプ、とを備えた固体レー
ザ装置において、 前記反射筒はその反射面が拡散反射体で形成されかつ断
面円形の筒状をなし、 前記励起ランプは少なくとも３本以上配置されているこ
とを特徴とする固体レーザ装置。 - 【請求項２】 前記レーザロッドは、少なくとも一端が
軸方向に伸縮可能となるよう自由状態で保持されている
ことを特徴とする請求項１記載の固体レーザ装置。 - 【請求項３】 前記レーザロッドの外径と、前記励起
ランプの内径と、前記反射面の内径の比が、１：（０．
５〜１．５）：（３．０〜６．０）にされていることを
特徴とする請求項１または２に記載の固体レーザ装置。 - 【請求項４】 前記拡散反射体がマイカセラミックスよ
りなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載
の固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26137493A JPH07115237A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26137493A JPH07115237A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 固体レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07115237A true JPH07115237A (ja) | 1995-05-02 |
Family
ID=17360961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26137493A Pending JPH07115237A (ja) | 1993-10-19 | 1993-10-19 | 固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07115237A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008098622A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザー照射装置 |
| WO2009072270A1 (ja) | 2007-12-04 | 2009-06-11 | Panasonic Corporation | レーザユニット |
| US7577179B2 (en) | 2006-09-12 | 2009-08-18 | Panasonic Corporation | Laser irradiation apparatus |
| WO2022050071A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置、及びレーザ装置の製造方法 |
-
1993
- 1993-10-19 JP JP26137493A patent/JPH07115237A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008098622A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザー照射装置 |
| US7577179B2 (en) | 2006-09-12 | 2009-08-18 | Panasonic Corporation | Laser irradiation apparatus |
| WO2009072270A1 (ja) | 2007-12-04 | 2009-06-11 | Panasonic Corporation | レーザユニット |
| WO2022050071A1 (ja) * | 2020-09-04 | 2022-03-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ装置、及びレーザ装置の製造方法 |
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