JPH07118057B2 - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH07118057B2 JPH07118057B2 JP59164586A JP16458684A JPH07118057B2 JP H07118057 B2 JPH07118057 B2 JP H07118057B2 JP 59164586 A JP59164586 A JP 59164586A JP 16458684 A JP16458684 A JP 16458684A JP H07118057 B2 JPH07118057 B2 JP H07118057B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
-
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は、基板上に薄膜により順次積層され、エッチン
グにより成形された磁性体、コイル導体、ギャップ層、
絶縁体層等を備えてなり、ギャップ層の一端面を磁気記
録媒体に当接させて記録再生を行なう薄膜磁気ヘッドの
製造方法に関するものである。
グにより成形された磁性体、コイル導体、ギャップ層、
絶縁体層等を備えてなり、ギャップ層の一端面を磁気記
録媒体に当接させて記録再生を行なう薄膜磁気ヘッドの
製造方法に関するものである。
（発明の技術的背景および先行技術） 従来より、磁気記録媒体を用いて各種の信号を記録再生
する磁気記録再生装置が種々開発されており、近年、磁
気記録媒体の形状が多様化、小型化するにつれて、これ
らの媒体に情報を記録し、この記録された情報を再生す
る手段である磁気ヘッドについても、多様な媒体に適し
た種々の磁気ヘッドの開発が進められている。特に小型
の円板状磁気記録媒体（例えば最内周記録半径が15mm、
最外周記録半径が20mm程度のもの）を用いて記録再生を
行なうための磁気ヘッドとしては、磁気ヘッド自体も小
型である必要があることから、従来のバルク型の磁性材
料を用いたバルクヘッドに代って薄膜型の磁気ヘッドが
多く用いられるようになっており、この薄膜磁気ヘッド
はマルチチャンネル化が図れる等の利点もあることから
主として小型の磁気記録媒体用のヘッドとして主流とな
りつつある。
する磁気記録再生装置が種々開発されており、近年、磁
気記録媒体の形状が多様化、小型化するにつれて、これ
らの媒体に情報を記録し、この記録された情報を再生す
る手段である磁気ヘッドについても、多様な媒体に適し
た種々の磁気ヘッドの開発が進められている。特に小型
の円板状磁気記録媒体（例えば最内周記録半径が15mm、
最外周記録半径が20mm程度のもの）を用いて記録再生を
行なうための磁気ヘッドとしては、磁気ヘッド自体も小
型である必要があることから、従来のバルク型の磁性材
料を用いたバルクヘッドに代って薄膜型の磁気ヘッドが
多く用いられるようになっており、この薄膜磁気ヘッド
はマルチチャンネル化が図れる等の利点もあることから
主として小型の磁気記録媒体用のヘッドとして主流とな
りつつある。
この薄膜磁気ヘッドの構造をその製造工程にしたがって
説明すると、まず基板上に下部磁性層が薄膜により形成
され、次に第１絶縁層が同じく薄膜により形成され、次
いでコイル導体が前記第１絶縁層上に薄膜により形成さ
れ、その後このコイル導体はエッチングされ、コイルを
形成する。さらにこれら積層体上に第２絶縁層が薄膜に
より形成された後、第１及び第２絶縁層をテーパ形状に
エッチングする。このテーパエッチング終了後、ギャッ
プ層および上部磁性層が薄膜によりさらに形成される。
ところで薄膜磁気ヘッドにおいて、記録再生効率を向上
させるために、上部磁性層と下部磁性層の間隔を十分大
きくすることおよび媒体との摺動面からコイル導体の最
外周部分までの距離（いわゆるスロートハイト）をでき
る限り小さくすることが望ましい。しかし、前記上部磁
性層と下部磁性層との間隔をあける程度大きくした場
合、上部および下部絶縁層を一定のテーパ角でエッチン
グしようとすると上部絶縁層の上に設けたレジスト膜も
エッチングを受けるため、いわゆるレジストの後退現象
が生じ、このためにコイル導体のうち、摺動面に最も近
い最外周部分がエッチングされて細ってしまうという危
険があった。
説明すると、まず基板上に下部磁性層が薄膜により形成
され、次に第１絶縁層が同じく薄膜により形成され、次
いでコイル導体が前記第１絶縁層上に薄膜により形成さ
れ、その後このコイル導体はエッチングされ、コイルを
形成する。さらにこれら積層体上に第２絶縁層が薄膜に
より形成された後、第１及び第２絶縁層をテーパ形状に
エッチングする。このテーパエッチング終了後、ギャッ
プ層および上部磁性層が薄膜によりさらに形成される。
ところで薄膜磁気ヘッドにおいて、記録再生効率を向上
させるために、上部磁性層と下部磁性層の間隔を十分大
きくすることおよび媒体との摺動面からコイル導体の最
外周部分までの距離（いわゆるスロートハイト）をでき
る限り小さくすることが望ましい。しかし、前記上部磁
性層と下部磁性層との間隔をあける程度大きくした場
合、上部および下部絶縁層を一定のテーパ角でエッチン
グしようとすると上部絶縁層の上に設けたレジスト膜も
エッチングを受けるため、いわゆるレジストの後退現象
が生じ、このためにコイル導体のうち、摺動面に最も近
い最外周部分がエッチングされて細ってしまうという危
険があった。
このコイル導体がエッチングされて細ってしまい、その
ために記録電流を流したときに断線するという危険を回
避するためには、エッチングの際にコイル導体にまでエ
ッチングが及ばないように第２絶縁層をコイル導体の摺
動面側に残すようにしなければならない。しかし、この
ようにした場合スロートハイト（T.H）が長くなり、良
好な記録再生効率が得られないという問題があった。
ために記録電流を流したときに断線するという危険を回
避するためには、エッチングの際にコイル導体にまでエ
ッチングが及ばないように第２絶縁層をコイル導体の摺
動面側に残すようにしなければならない。しかし、この
ようにした場合スロートハイト（T.H）が長くなり、良
好な記録再生効率が得られないという問題があった。
（発明の目的） 本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたものであ
り、薄膜の積層体をテーパ形状にエッチングする際にコ
イル導体をエッチングにより必要な幅以下に細らせて断
線を生じさせてしまうことを防止し、製品歩留りを向上
させるとともに、スロートハイトを十分短くして効率的
な記録再生を行なうことのできる構造を備えた薄膜磁気
ヘッドの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
り、薄膜の積層体をテーパ形状にエッチングする際にコ
イル導体をエッチングにより必要な幅以下に細らせて断
線を生じさせてしまうことを防止し、製品歩留りを向上
させるとともに、スロートハイトを十分短くして効率的
な記録再生を行なうことのできる構造を備えた薄膜磁気
ヘッドの製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
（発明の構成） 本発明の磁気ヘッドの製造方法は、 下部磁性層と上部磁性層との間にギャップ層を有し、こ
のギャップ層の一端面を磁気記録媒体に当接させて記録
再生を行なう薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 基板上に、下部磁性層、該下部磁性層上に位置する第１
絶縁層、該第１絶縁層上に複数回巻かれた断面略台形の
スパイラル構造を有するコイル導体、および該コイル導
体を覆って前記第１絶縁層上に位置する第２絶縁層をこ
の順に形成し、次いで前記第１および第２絶縁層の前記
磁気記録媒体側およびその反対側をテーパ形状にエッチ
ングし、その後前記下部磁性層、前記エッチングにより
形成された第1,第２絶縁層のテーパ面および前記第２絶
縁層上にギャップ層および上部磁性層をこの順に形成す
ると共に、 前記スパイラル状のコイル導体のうち前記磁気記録媒体
側の最外周コイル導体および前記磁気記録媒体側と反対
側の最内周コイル導体を他の部分のコイル導体よりも大
きい幅に形成し、 かつ、前記最外周コイル導体と最内周コイル導体とを、
前記第１および第２絶縁層のエッチングと同時にエッチ
ングすることにより、それらのコイル導体の幅を小さく
することを特徴とするものである。
のギャップ層の一端面を磁気記録媒体に当接させて記録
再生を行なう薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 基板上に、下部磁性層、該下部磁性層上に位置する第１
絶縁層、該第１絶縁層上に複数回巻かれた断面略台形の
スパイラル構造を有するコイル導体、および該コイル導
体を覆って前記第１絶縁層上に位置する第２絶縁層をこ
の順に形成し、次いで前記第１および第２絶縁層の前記
磁気記録媒体側およびその反対側をテーパ形状にエッチ
ングし、その後前記下部磁性層、前記エッチングにより
形成された第1,第２絶縁層のテーパ面および前記第２絶
縁層上にギャップ層および上部磁性層をこの順に形成す
ると共に、 前記スパイラル状のコイル導体のうち前記磁気記録媒体
側の最外周コイル導体および前記磁気記録媒体側と反対
側の最内周コイル導体を他の部分のコイル導体よりも大
きい幅に形成し、 かつ、前記最外周コイル導体と最内周コイル導体とを、
前記第１および第２絶縁層のエッチングと同時にエッチ
ングすることにより、それらのコイル導体の幅を小さく
することを特徴とするものである。
なお、上記大きい幅とは、テーパ形状にエッチングする
際にコイル導体をわずかにエッチングして、エッチング
された分だけコイル導体が細ってしまってもなお十分な
大きさの幅を有し、記録電流を流した場合にも断線する
危険性のない大きさの幅を意味する。
際にコイル導体をわずかにエッチングして、エッチング
された分だけコイル導体が細ってしまってもなお十分な
大きさの幅を有し、記録電流を流した場合にも断線する
危険性のない大きさの幅を意味する。
（実施態様） 以下、図面を参照して本発明の実施態様について詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの概要を示す平面図で
あり、第２図（ａ）〜（ｇ）はその構造を製造プロセス
を基に説明するための第１図のＡ−Ａ線部分に相当する
断面図である。
あり、第２図（ａ）〜（ｇ）はその構造を製造プロセス
を基に説明するための第１図のＡ−Ａ線部分に相当する
断面図である。
一般に薄膜磁気ヘッドは、フェライト等の磁性体あるい
は、Al2O3等の非磁性体からなる基板１上に、下部磁性
層４、第１絶縁層５、コイル導体２、第２絶縁層６、上
部磁性層８が順次積層され構成されている。これらの薄
膜の積層、およびパターン形成の工程は第２図（ａ）〜
（ｇ）に示すとおりである。この工程によると、まず基
板１上にパーマロイ、アモルファス等の磁性材料が蒸
着、スパッタリング等の方法により成膜され下部磁性層
４が形成される。（第２図（ａ））。次にこの下部磁性
層４上にSiO2あるいはAl2O3等からなる第１絶縁層５が
蒸着、スパッタリング等の方法で形成され（同図
（ｂ））、さらに第１絶縁層５上にAlあるいはCuなどが
蒸着あるいはスパッタリング等により成膜された後イオ
ンエッチングなどによりコイル導体２が形成される（同
図（ｃ））。このコイル導体２を形成する際に、磁気ヘ
ッドの摺動面側の最外周コイル部分２′および最内周コ
イル部分２″は、他の部分よりも大きい幅を有するよう
に形成される。このようにコイル導体２が形成された後
前記第１絶縁層５が形成されたのと同様の方法でさらに
第２絶縁層６が成膜され（同図（ｄ））、イオンエッチ
ングなどにより、第２絶縁層６が平坦にされる（同図
（ｅ））。次に第２絶縁層６および第１絶縁層５の両側
端がイオンエッチング等の方法により角度αでテーパ状
に成形されるが（同図（ｆ））、本発明のヘッドのコイ
ル導体２の最外周コイル部分２′および最内周コイル部
分２″は他の部分よりも大きい幅を有しているため、テ
ーパエッチングを行なう際に上部磁性層上のレジスタ膜
（図示せず）の後退現象が生じて前記最外周コイル部分
２′および最内周コイル部分２″がエッチングされても
十分な幅が残る。このため従来の構造のコイル導体の最
外周部分のようにエッチングにより断線してしまう、あ
るいは細くなる事により記録電流を流した時に断線する
ということがない。このテーパエッチング終了後、Si
O2、Al2O3などがスパッタリングなどにより下部磁性層
４、第２絶縁層６およびテーパ面上に成膜されてギャッ
プ層７が形成され、さらに摺動面と反対側の前記下部磁
性層上に成膜されたバックギャップ部分がエッチングさ
れる。このギャップ層の厚さは、ギャップ長を規定する
ように設定されている。そして最後に前記下部磁性層４
と同様な磁性材料が蒸着、スパッタリング等により前記
ギャップ層７上に成膜され、上部磁性層８が形成され
る。なお、上述した本発明の実施態様においてはコイル
導体が５ターン型のものを例にとって説明したがコイル
導体のターン数は５ターンに限らず任意に設定してよい
ことは言うまでもない。このような構造の本発明の薄膜
磁気ヘッドは、最外周コイル部分２′および最内周コイ
ル部分２″の幅が他のコイル部分の幅よりも大きくなっ
ていることからテーパエッチングを行なう際にコイル導
体をテーパ面に露出させることができるのでスロートハ
イト（T.H.）は従来のものに比べて小さくなっており、
しかも上部磁性層と下部磁性層との間隔ｌは従来通りの
大きさを保つとともに、テーパエッチングを行なう際に
内周側についてもコイル導体をエッチングしても断線す
る恐れがないことからテーパ角αを大きくすることがで
き、磁路長を短く設定することができる。
は、Al2O3等の非磁性体からなる基板１上に、下部磁性
層４、第１絶縁層５、コイル導体２、第２絶縁層６、上
部磁性層８が順次積層され構成されている。これらの薄
膜の積層、およびパターン形成の工程は第２図（ａ）〜
（ｇ）に示すとおりである。この工程によると、まず基
板１上にパーマロイ、アモルファス等の磁性材料が蒸
着、スパッタリング等の方法により成膜され下部磁性層
４が形成される。（第２図（ａ））。次にこの下部磁性
層４上にSiO2あるいはAl2O3等からなる第１絶縁層５が
蒸着、スパッタリング等の方法で形成され（同図
（ｂ））、さらに第１絶縁層５上にAlあるいはCuなどが
蒸着あるいはスパッタリング等により成膜された後イオ
ンエッチングなどによりコイル導体２が形成される（同
図（ｃ））。このコイル導体２を形成する際に、磁気ヘ
ッドの摺動面側の最外周コイル部分２′および最内周コ
イル部分２″は、他の部分よりも大きい幅を有するよう
に形成される。このようにコイル導体２が形成された後
前記第１絶縁層５が形成されたのと同様の方法でさらに
第２絶縁層６が成膜され（同図（ｄ））、イオンエッチ
ングなどにより、第２絶縁層６が平坦にされる（同図
（ｅ））。次に第２絶縁層６および第１絶縁層５の両側
端がイオンエッチング等の方法により角度αでテーパ状
に成形されるが（同図（ｆ））、本発明のヘッドのコイ
ル導体２の最外周コイル部分２′および最内周コイル部
分２″は他の部分よりも大きい幅を有しているため、テ
ーパエッチングを行なう際に上部磁性層上のレジスタ膜
（図示せず）の後退現象が生じて前記最外周コイル部分
２′および最内周コイル部分２″がエッチングされても
十分な幅が残る。このため従来の構造のコイル導体の最
外周部分のようにエッチングにより断線してしまう、あ
るいは細くなる事により記録電流を流した時に断線する
ということがない。このテーパエッチング終了後、Si
O2、Al2O3などがスパッタリングなどにより下部磁性層
４、第２絶縁層６およびテーパ面上に成膜されてギャッ
プ層７が形成され、さらに摺動面と反対側の前記下部磁
性層上に成膜されたバックギャップ部分がエッチングさ
れる。このギャップ層の厚さは、ギャップ長を規定する
ように設定されている。そして最後に前記下部磁性層４
と同様な磁性材料が蒸着、スパッタリング等により前記
ギャップ層７上に成膜され、上部磁性層８が形成され
る。なお、上述した本発明の実施態様においてはコイル
導体が５ターン型のものを例にとって説明したがコイル
導体のターン数は５ターンに限らず任意に設定してよい
ことは言うまでもない。このような構造の本発明の薄膜
磁気ヘッドは、最外周コイル部分２′および最内周コイ
ル部分２″の幅が他のコイル部分の幅よりも大きくなっ
ていることからテーパエッチングを行なう際にコイル導
体をテーパ面に露出させることができるのでスロートハ
イト（T.H.）は従来のものに比べて小さくなっており、
しかも上部磁性層と下部磁性層との間隔ｌは従来通りの
大きさを保つとともに、テーパエッチングを行なう際に
内周側についてもコイル導体をエッチングしても断線す
る恐れがないことからテーパ角αを大きくすることがで
き、磁路長を短く設定することができる。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方
法によれば、コイル導体の摺動面側の最外周部分の幅を
他のコイル部分の幅よりも大きくする事により、テーパ
形状にエッチングを行なう際にコイル導体をエッチング
しても断線することがない。そのため、エッチング後導
体上を第２絶縁層を残す必要性がなくなり、スロートハ
イトを短くすることができる。従って記録再生効率を向
上させることができるとともに、製品歩留りも大幅に向
上させることができる。また、テーパエッチングを行な
う際に、最外周コイルが現われた位置でエッチングを終
了させるようにすればよいので、テーパエッチングの終
点検出の精度の向上もはかることができる。さらに、コ
イル導体の摺動面側と反対側の最内周コイル部分の幅
も、最外周コイル部分と同様に他の部分よりも大きくし
ており、最内周コイル部分側のテーパ角を大きくするこ
とができるため、磁路長を短くできるという効果もあわ
せて得られる。
法によれば、コイル導体の摺動面側の最外周部分の幅を
他のコイル部分の幅よりも大きくする事により、テーパ
形状にエッチングを行なう際にコイル導体をエッチング
しても断線することがない。そのため、エッチング後導
体上を第２絶縁層を残す必要性がなくなり、スロートハ
イトを短くすることができる。従って記録再生効率を向
上させることができるとともに、製品歩留りも大幅に向
上させることができる。また、テーパエッチングを行な
う際に、最外周コイルが現われた位置でエッチングを終
了させるようにすればよいので、テーパエッチングの終
点検出の精度の向上もはかることができる。さらに、コ
イル導体の摺動面側と反対側の最内周コイル部分の幅
も、最外周コイル部分と同様に他の部分よりも大きくし
ており、最内周コイル部分側のテーパ角を大きくするこ
とができるため、磁路長を短くできるという効果もあわ
せて得られる。
第１図は本発明の第１の実施態様による薄膜磁気ヘッド
の概要を示す平面図、 第２図は本発明の第１の実施態様による薄膜磁気ヘッド
の構造を製造プロセスにより説明するための第１図のＡ
−Ａ線部分の断面図である。 １……基板、２……コイル導体 ４……下部磁性層、５……第１絶縁層 ６……第２絶縁層、８……上部磁性層
の概要を示す平面図、 第２図は本発明の第１の実施態様による薄膜磁気ヘッド
の構造を製造プロセスにより説明するための第１図のＡ
−Ａ線部分の断面図である。 １……基板、２……コイル導体 ４……下部磁性層、５……第１絶縁層 ６……第２絶縁層、８……上部磁性層
Claims (1)
- 【請求項１】下部磁性層と上部磁性層との間にギャップ
層を有し、このギャップ層の一端面を磁気記録媒体に当
接させて記録再生を行なう薄膜磁気ヘッドの製造方法に
おいて、 基板上に、下部磁性層、該下部磁性層上に位置する第１
絶縁層、該第１絶縁層上に複数回巻かれた断面略台形の
スパイラル構造を有するコイル導体、および該コイル導
体を覆って前記第１絶縁層上に位置する第２絶縁層をこ
の順に形成し、次いで前記第１および第２絶縁層の前記
磁気記録媒体側およびその反対側をテーパ形状にエッチ
ングし、その後前記下部磁性層、前記エッチングにより
形成された第1,第２絶縁層のテーパ面および前記第２絶
縁層上にギャップ層および上部磁性層をこの順に形成す
ると共に、 前記スパイラル状のコイル導体のうち前記磁気記録媒体
側の最外周コイル導体および前記磁気記録媒体側と反対
側の最内周コイル導体を他の部分のコイル導体よりも大
きい幅に形成し、 かつ、前記最外周コイル導体と最内周コイル導体とを、
前記第１および第２絶縁層のエッチングと同時にエッチ
ングすることにより、それらのコイル導体の幅を小さく
することを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164586A JPH07118057B2 (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
| US06/760,279 US4751599A (en) | 1984-08-06 | 1985-07-29 | Thin-film magnetic head with a coil conductor having a plurality of turns of different widths |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164586A JPH07118057B2 (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142716A JPS6142716A (ja) | 1986-03-01 |
| JPH07118057B2 true JPH07118057B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=15795986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59164586A Expired - Lifetime JPH07118057B2 (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4751599A (ja) |
| JP (1) | JPH07118057B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63193896A (ja) * | 1987-02-06 | 1988-08-11 | 株式会社東芝 | 薄膜電磁変換器 |
| DE3831803C2 (de) * | 1988-09-19 | 1995-02-09 | Siemens Ag | Dünnfilm-Magnetkopf mit einer flachen Schreib-/Lesespulenwicklung |
| US5241440A (en) * | 1989-08-23 | 1993-08-31 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head and manufacturing method therefor |
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