JPH07118071A - 誘電体磁器製造用コウ鉢 - Google Patents
誘電体磁器製造用コウ鉢Info
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- JPH07118071A JPH07118071A JP5264680A JP26468093A JPH07118071A JP H07118071 A JPH07118071 A JP H07118071A JP 5264680 A JP5264680 A JP 5264680A JP 26468093 A JP26468093 A JP 26468093A JP H07118071 A JPH07118071 A JP H07118071A
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- dielectric
- dielectric ceramic
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は誘電体磁器の特性のバラツキを小さ
くすることができ製品得率の高い誘電体磁器製造用コウ
鉢を提供することを目的とする。 【構成】 本発明の誘電体磁器製造用コウ鉢1は、アル
ミナ系とジルコニア系の1:99乃至99:1(重量
比)、好ましくは60:40乃至95:5(重量比)の
無機混合物を主成分とし、誘電体磁器材料の成形体5を
載置する載置面2に波形凹凸部3を有し、少なくとも前
記載置面2の表面にY2O3とZrO2のコーティング層
4が形成された構成を有している。
くすることができ製品得率の高い誘電体磁器製造用コウ
鉢を提供することを目的とする。 【構成】 本発明の誘電体磁器製造用コウ鉢1は、アル
ミナ系とジルコニア系の1:99乃至99:1(重量
比)、好ましくは60:40乃至95:5(重量比)の
無機混合物を主成分とし、誘電体磁器材料の成形体5を
載置する載置面2に波形凹凸部3を有し、少なくとも前
記載置面2の表面にY2O3とZrO2のコーティング層
4が形成された構成を有している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はチタン酸バリウムを主成
分とする誘電体磁器の焼成の際に用いられる誘電体磁器
製造用コウ鉢に関するものである。
分とする誘電体磁器の焼成の際に用いられる誘電体磁器
製造用コウ鉢に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、民生機器や産業機器にセラミック
コンデンサ等の電子部品として誘電体磁器が広範囲に利
用されている。
コンデンサ等の電子部品として誘電体磁器が広範囲に利
用されている。
【0003】以下に従来の誘電体磁器の製造方法及びそ
れに使用するコウ鉢について、説明する。図3(a)は
従来の誘電体磁器製造用コウ鉢の平面図であり、図3
(b)はそのY−Y′線断面図である。11はアルミナ
系(代表成分:Al2O3 90.7%,SiO2 8.
8%)、ムライト系(代表成分:Al2O3 77%,S
iO2 21%)、コージェライト系(代表成分:Al2
O3 45%,SiO248%,MgO 5%)等の無機
材料からなる誘電体磁器製造用コウ鉢、12は誘電体磁
器製造用コウ鉢1の誘電体磁器材料の成形体を載置する
載置面、13は載置面12にマス形に切削形成された底
面が平坦な凹部である。
れに使用するコウ鉢について、説明する。図3(a)は
従来の誘電体磁器製造用コウ鉢の平面図であり、図3
(b)はそのY−Y′線断面図である。11はアルミナ
系(代表成分:Al2O3 90.7%,SiO2 8.
8%)、ムライト系(代表成分:Al2O3 77%,S
iO2 21%)、コージェライト系(代表成分:Al2
O3 45%,SiO248%,MgO 5%)等の無機
材料からなる誘電体磁器製造用コウ鉢、12は誘電体磁
器製造用コウ鉢1の誘電体磁器材料の成形体を載置する
載置面、13は載置面12にマス形に切削形成された底
面が平坦な凹部である。
【0004】以上のように構成された従来の誘電体磁器
製造用コウ鉢を用い、以下従来の誘電体磁器の成形体の
焼成工程について説明する。
製造用コウ鉢を用い、以下従来の誘電体磁器の成形体の
焼成工程について説明する。
【0005】図4は焼成工程における誘電体磁器材料の
成形体を誘電体磁器製造用コウ鉢の載置面に載置した状
態を示す要部断面図である。14は誘電体磁器製造用コ
ウ鉢11の凹部13の底面や周縁部の表面に100〜3
00μmの厚みでコーティングされたZrO2等のコー
ティング層、15は焼成のため誘電体磁器製造用コウ鉢
11の載置面12の凹部13に配置された誘電体磁器材
料の成形体である。
成形体を誘電体磁器製造用コウ鉢の載置面に載置した状
態を示す要部断面図である。14は誘電体磁器製造用コ
ウ鉢11の凹部13の底面や周縁部の表面に100〜3
00μmの厚みでコーティングされたZrO2等のコー
ティング層、15は焼成のため誘電体磁器製造用コウ鉢
11の載置面12の凹部13に配置された誘電体磁器材
料の成形体である。
【0006】誘電体磁器の原料粉末とポリビニルアルコ
ール樹脂等の有機バインダーを混合し、誘電体磁器材料
を所定形状に成形した後、成形体15を誘電体磁器製造
用コウ鉢11の凹部13に平積みに並べ1200〜14
00℃で焼成する焼成工程を経て作製される。
ール樹脂等の有機バインダーを混合し、誘電体磁器材料
を所定形状に成形した後、成形体15を誘電体磁器製造
用コウ鉢11の凹部13に平積みに並べ1200〜14
00℃で焼成する焼成工程を経て作製される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、誘電体磁器材料の成形体を、各材質からな
る誘電体磁器製造用コウ鉢中で焼成する場合、誘電体磁
器材料中にPbO、Bi 2O3等の低融点の酸化物が含ま
れていると、これらの成分が該コウ鉢の組織内に拡散し
ていき、該コウ鉢に含まれるシリカ成分との間で反応し
PbO・SiO2ガラス等の化合物を生成し、更に、該
成形体が焼成された焼成体との間で反応し、特性のバラ
ツキを大きくしてしまうという問題点があった。これを
回避するために、コウ鉢の表面に100〜300μmの
ZrO2等のコーティング層を形成させる方法が採用さ
れているが、低融点酸化物の拡散とヒートサイクルによ
り、ZrO2のコーティング層が剥離し始め、その結果
再び該焼成体とコウ鉢とが反応し、上記と同様な問題点
を生じていた。
の構成では、誘電体磁器材料の成形体を、各材質からな
る誘電体磁器製造用コウ鉢中で焼成する場合、誘電体磁
器材料中にPbO、Bi 2O3等の低融点の酸化物が含ま
れていると、これらの成分が該コウ鉢の組織内に拡散し
ていき、該コウ鉢に含まれるシリカ成分との間で反応し
PbO・SiO2ガラス等の化合物を生成し、更に、該
成形体が焼成された焼成体との間で反応し、特性のバラ
ツキを大きくしてしまうという問題点があった。これを
回避するために、コウ鉢の表面に100〜300μmの
ZrO2等のコーティング層を形成させる方法が採用さ
れているが、低融点酸化物の拡散とヒートサイクルによ
り、ZrO2のコーティング層が剥離し始め、その結果
再び該焼成体とコウ鉢とが反応し、上記と同様な問題点
を生じていた。
【0008】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、特性のバラツキの小さい高品質な誘電体磁器を高収
率で生産することができる誘電体磁器製造用コウ鉢を提
供することを目的とする。
で、特性のバラツキの小さい高品質な誘電体磁器を高収
率で生産することができる誘電体磁器製造用コウ鉢を提
供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の誘電体磁器製造用コウ鉢は、アルミナ系とジ
ルコニア系の1:99乃至99:1(重量比)、好まし
くは60:40乃至95:5(重量比)の無機混合物を
主成分とし、誘電体磁器材料の成形体を載置する載置面
に波形凹凸部を有し、少なくとも前記載置面の表面にY
2O3とZrO2のコーティング層が形成された構成を有
している。
に本発明の誘電体磁器製造用コウ鉢は、アルミナ系とジ
ルコニア系の1:99乃至99:1(重量比)、好まし
くは60:40乃至95:5(重量比)の無機混合物を
主成分とし、誘電体磁器材料の成形体を載置する載置面
に波形凹凸部を有し、少なくとも前記載置面の表面にY
2O3とZrO2のコーティング層が形成された構成を有
している。
【0010】ここで、誘電体磁器製造用コウ鉢の原料と
しては、副成分としてのシリカ成分が5wt%以下、好ま
しくは1wt%以下にするのが好ましい。ヒートサイクル
等によりSiO2成分がコウ鉢表面に析出しコーティン
グ層のY2O3やZrO2の安定化を損なうのを防止する
ためである。誘電体磁器材料の成形体の載置面の波形凹
凸部は、凸部が載置面より突出して形成してもよいし又
は載置面より下面に形成してもよい。誘電体磁器の大小
や形状の相違、焼成方法の相違に対応するためである。
載置面への誘電体磁器の成形体の載置は波形凹凸部の凹
部に該成形体を縦長に嵌めて立ててもよいし、又は、凸
部間に架け渡して載置するか、凹部に凸部と平行に並べ
て凸部に立て掛けて載置してもよい。焼成方法や誘電体
磁器の原料に応じて均一焼成するためである。コウ鉢の
気孔率は50%以上好ましくは55%以上に調整され
る。気孔率の調整は有機材料の量及び分散量を調整する
ことにより行われる。気孔率を高めることによりコウ鉢
の熱容量を小さくでき対ヒートサイクル性を向上させ耐
久性を向上させることができるためである。ZrO2と
しては市販の通常のZrO2でもよいが安定化ZrO2の
方が物性が安定しているので好ましい。
しては、副成分としてのシリカ成分が5wt%以下、好ま
しくは1wt%以下にするのが好ましい。ヒートサイクル
等によりSiO2成分がコウ鉢表面に析出しコーティン
グ層のY2O3やZrO2の安定化を損なうのを防止する
ためである。誘電体磁器材料の成形体の載置面の波形凹
凸部は、凸部が載置面より突出して形成してもよいし又
は載置面より下面に形成してもよい。誘電体磁器の大小
や形状の相違、焼成方法の相違に対応するためである。
載置面への誘電体磁器の成形体の載置は波形凹凸部の凹
部に該成形体を縦長に嵌めて立ててもよいし、又は、凸
部間に架け渡して載置するか、凹部に凸部と平行に並べ
て凸部に立て掛けて載置してもよい。焼成方法や誘電体
磁器の原料に応じて均一焼成するためである。コウ鉢の
気孔率は50%以上好ましくは55%以上に調整され
る。気孔率の調整は有機材料の量及び分散量を調整する
ことにより行われる。気孔率を高めることによりコウ鉢
の熱容量を小さくでき対ヒートサイクル性を向上させ耐
久性を向上させることができるためである。ZrO2と
しては市販の通常のZrO2でもよいが安定化ZrO2の
方が物性が安定しているので好ましい。
【0011】
【作用】この構成によって、コウ鉢の原料において、シ
リカ成分が1wt%以下でアルミナ系及びジルコニア系の
二成分にすることで、低融点酸化物との化合物の生成を
抑制することができる。またその表面にY2O3と安定Z
rO2コーティング層を有しているので低融点酸化物と
の反応を抑制することができる。コウ鉢の誘電体磁器材
料の成形体の載置面を、波形凹凸状にしたので、焼成体
との接触を面から線に接触面積を低下させることがで
き、その結果低融点成分のコウ鉢からの拡散やコウ鉢へ
の拡散が大幅に減少させることができる。更に、高気孔
率の材質を用いたので、該低融点成分の拡散が、コウ鉢
と焼成体との接触面に集中することを防ぎ、全体的に分
散して拡散させることができるとともに、コウ鉢の熱容
量を小さくすることができヒートショックを緩和するこ
とができるのでZrO2コーティング層の拡散とヒート
サイクルによる自己破壊をおさえることができ耐久性を
向上させることができる。
リカ成分が1wt%以下でアルミナ系及びジルコニア系の
二成分にすることで、低融点酸化物との化合物の生成を
抑制することができる。またその表面にY2O3と安定Z
rO2コーティング層を有しているので低融点酸化物と
の反応を抑制することができる。コウ鉢の誘電体磁器材
料の成形体の載置面を、波形凹凸状にしたので、焼成体
との接触を面から線に接触面積を低下させることがで
き、その結果低融点成分のコウ鉢からの拡散やコウ鉢へ
の拡散が大幅に減少させることができる。更に、高気孔
率の材質を用いたので、該低融点成分の拡散が、コウ鉢
と焼成体との接触面に集中することを防ぎ、全体的に分
散して拡散させることができるとともに、コウ鉢の熱容
量を小さくすることができヒートショックを緩和するこ
とができるのでZrO2コーティング層の拡散とヒート
サイクルによる自己破壊をおさえることができ耐久性を
向上させることができる。
【0012】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【0013】図1(a)は本発明の一実施例における誘
電体磁器製造用コウ鉢の平面図であり、図1(b)はそ
のX−X′線の断面図であり、図1(c)は図1(b)
のA部の拡大図である。1はアルミナとジルコニアの無
機混合物を主成分とする無機原料を成形後焼成してなる
誘電体磁器製造用コウ鉢、2は誘電体磁器製造用コウ鉢
1の誘電体磁器の載置面、3は載置面2に形成された波
形凹凸部、4は誘電体磁器製造用コウ鉢1の全表面に被
覆されたY2O3や安定ZrO2からなるコーティング層
である。
電体磁器製造用コウ鉢の平面図であり、図1(b)はそ
のX−X′線の断面図であり、図1(c)は図1(b)
のA部の拡大図である。1はアルミナとジルコニアの無
機混合物を主成分とする無機原料を成形後焼成してなる
誘電体磁器製造用コウ鉢、2は誘電体磁器製造用コウ鉢
1の誘電体磁器の載置面、3は載置面2に形成された波
形凹凸部、4は誘電体磁器製造用コウ鉢1の全表面に被
覆されたY2O3や安定ZrO2からなるコーティング層
である。
【0014】以上のように構成された本実施例の誘電体
磁器製造用コウ鉢1について、以下その製造方法を説明
する。
磁器製造用コウ鉢1について、以下その製造方法を説明
する。
【0015】コウ鉢製造用の無機原料として、アルミナ
87wt%、ジルコニア11wt%、シリカ成分1wt%とな
るよう混合して泥しょう化し、石膏型を用いて鋳込み成
形する。乾燥後、得られた成形体を1000〜1200
℃で焼成し、更に表面に200μmのY2O3安定ZrO
2等のコーティング層を刷毛塗り等で形成した後、16
00℃で焼成して本実施例の誘電体磁器製造用コウ鉢1
を得た。その気孔率を常法に従い測定したところ(表
1)に示すように58.6%であった。(表1)は誘電
体磁器製造用コウ鉢の概要を示す一覧表である。
87wt%、ジルコニア11wt%、シリカ成分1wt%とな
るよう混合して泥しょう化し、石膏型を用いて鋳込み成
形する。乾燥後、得られた成形体を1000〜1200
℃で焼成し、更に表面に200μmのY2O3安定ZrO
2等のコーティング層を刷毛塗り等で形成した後、16
00℃で焼成して本実施例の誘電体磁器製造用コウ鉢1
を得た。その気孔率を常法に従い測定したところ(表
1)に示すように58.6%であった。(表1)は誘電
体磁器製造用コウ鉢の概要を示す一覧表である。
【0016】
【表1】
【0017】(実験例)本実施例で得た誘電体磁器製造
用コウ鉢1を用い、誘電体磁器材料の成形体の焼成時の
誘電体磁器製造用コウ鉢1との反応を確認するため焼成
試験を行った(誘電体磁器の作製)。
用コウ鉢1を用い、誘電体磁器材料の成形体の焼成時の
誘電体磁器製造用コウ鉢1との反応を確認するため焼成
試験を行った(誘電体磁器の作製)。
【0018】主成分であるチタン酸バリウムに酸化ビス
マス、酸化マンガン、チタン酸カルシウム、チタン酸鉛
を0.01〜10モル%の範囲で添加し、ボールミルで
混合する。更に、この粉末にポリビニルアルコール等の
有機バインダーを混合し、スプレードライヤー等の乾燥
造粒装置により球状の顆粒にする。この顆粒を油圧プレ
スで成形し、直径16.5mm、厚み2.5mmの円板状の
誘電体磁器の成形体を得た。
マス、酸化マンガン、チタン酸カルシウム、チタン酸鉛
を0.01〜10モル%の範囲で添加し、ボールミルで
混合する。更に、この粉末にポリビニルアルコール等の
有機バインダーを混合し、スプレードライヤー等の乾燥
造粒装置により球状の顆粒にする。この顆粒を油圧プレ
スで成形し、直径16.5mm、厚み2.5mmの円板状の
誘電体磁器の成形体を得た。
【0019】(焼成試験)図2は本発明の一実施例にお
ける焼成工程の誘電体磁器材料の成形体を誘電体磁器製
造用コウ鉢1の載置面に載置した状態を示す要部断面図
である。5は波形凹凸部3に載置された誘電体磁器材料
の成形体である。成形体5を本実施例の誘電体磁器製造
用コウ鉢1の波形凹凸部に立て載置し、トンネル式焼成
炉に入れ大気雰囲気中、1350℃にて焼成し誘電体磁
器の焼成体を得た。尚、誘電体磁器製造用コウ鉢1と焼
成体との反応を確認するため、焼成試験は100回行っ
た。その結果を(表2)に示した。(表2)は焼成試験
結果及び静電容量の測定結果を示す一覧表である。
ける焼成工程の誘電体磁器材料の成形体を誘電体磁器製
造用コウ鉢1の載置面に載置した状態を示す要部断面図
である。5は波形凹凸部3に載置された誘電体磁器材料
の成形体である。成形体5を本実施例の誘電体磁器製造
用コウ鉢1の波形凹凸部に立て載置し、トンネル式焼成
炉に入れ大気雰囲気中、1350℃にて焼成し誘電体磁
器の焼成体を得た。尚、誘電体磁器製造用コウ鉢1と焼
成体との反応を確認するため、焼成試験は100回行っ
た。その結果を(表2)に示した。(表2)は焼成試験
結果及び静電容量の測定結果を示す一覧表である。
【0020】
【表2】
【0021】(静電容量の確認試験)誘電体磁器の焼成
体の特性品質を確認するため、焼成体の両側にニッケル
メッキからなる電極を形成し、LCRメータにより静電
容量を測定した。その結果を(表2)に示した。
体の特性品質を確認するため、焼成体の両側にニッケル
メッキからなる電極を形成し、LCRメータにより静電
容量を測定した。その結果を(表2)に示した。
【0022】(比較例1)比較例1として、(表1)に
示すコウ鉢の原料、表面コーティング層及び凹部の形
状、気孔率を有する図3に示す従来の誘電体磁器製造用
コウ鉢11を用い、実施例と同一の条件で焼成試験及び
静電容量の確認試験を行った。その結果を(表2)に示
した。
示すコウ鉢の原料、表面コーティング層及び凹部の形
状、気孔率を有する図3に示す従来の誘電体磁器製造用
コウ鉢11を用い、実施例と同一の条件で焼成試験及び
静電容量の確認試験を行った。その結果を(表2)に示
した。
【0023】(比較例2〜4)比較例2としては、従来
の材質で形状を波形凹凸部に変更した誘電体磁器製造用
コウ鉢を用い、比較例3としては、材質及び形状を変更
したが表面コーティング層として従来のコーティング層
を形成した誘電体磁器製造用コウ鉢を用い、比較例4と
しては、材質,形状,表面コーティング層を変更したが
気孔率が従来の誘電体磁器製造用コウ鉢と同一のコウ鉢
を用い、実施例と同一条件で焼成試験及び静電容量の確
認試験を行った。その結果を(表2)に示した。尚、誘
電体磁器の焼成体の誘電体磁器製造用コウ鉢への配置
は、比較例1では、図4に示すように成形体を平積みに
載置して、焼成,測定を行い、比較例2〜4では、実施
例と同様に立てて行った。また、比較例1〜4の誘電体
磁器製造用コウ鉢は、プレス成形で作製したものであ
る。
の材質で形状を波形凹凸部に変更した誘電体磁器製造用
コウ鉢を用い、比較例3としては、材質及び形状を変更
したが表面コーティング層として従来のコーティング層
を形成した誘電体磁器製造用コウ鉢を用い、比較例4と
しては、材質,形状,表面コーティング層を変更したが
気孔率が従来の誘電体磁器製造用コウ鉢と同一のコウ鉢
を用い、実施例と同一条件で焼成試験及び静電容量の確
認試験を行った。その結果を(表2)に示した。尚、誘
電体磁器の焼成体の誘電体磁器製造用コウ鉢への配置
は、比較例1では、図4に示すように成形体を平積みに
載置して、焼成,測定を行い、比較例2〜4では、実施
例と同様に立てて行った。また、比較例1〜4の誘電体
磁器製造用コウ鉢は、プレス成形で作製したものであ
る。
【0024】(表2)から明らかなように、本実施例に
よれば従来に比べ5〜10倍以上の焼成回数でも反応し
ない焼成体が得られる。しかも、誘電体磁器製造用コウ
鉢のZrO2コーティング層も全く剥離していないこと
がわかる。また、静電容量のバラツキも大幅に改善し、
高品質の誘電体磁器を与えることがわかった。
よれば従来に比べ5〜10倍以上の焼成回数でも反応し
ない焼成体が得られる。しかも、誘電体磁器製造用コウ
鉢のZrO2コーティング層も全く剥離していないこと
がわかる。また、静電容量のバラツキも大幅に改善し、
高品質の誘電体磁器を与えることがわかった。
【0025】
【発明の効果】以上のように本発明は、誘電体磁器の特
性のバラツキの極めて小さい高品質の誘電体磁器を高い
製品得率で与えることのできる耐久性に優れ低原価で量
産性に優れた誘電体磁器製造用コウ鉢を実現できるもの
である。
性のバラツキの極めて小さい高品質の誘電体磁器を高い
製品得率で与えることのできる耐久性に優れ低原価で量
産性に優れた誘電体磁器製造用コウ鉢を実現できるもの
である。
【図1】(a)は本発明の一実施例における誘電体磁器
製造用コウ鉢の平面図 (b)は図1(a)のX−X′線の断面図 (c)は図1(b)のA部の拡大図
製造用コウ鉢の平面図 (b)は図1(a)のX−X′線の断面図 (c)は図1(b)のA部の拡大図
【図2】本発明の一実施例における焼成工程の誘電体磁
器材料の成形体を誘電体磁器製造用コウ鉢の載置面に載
置した状態を示す要部断面図
器材料の成形体を誘電体磁器製造用コウ鉢の載置面に載
置した状態を示す要部断面図
【図3】(a)は従来の誘電体磁器製造用コウ鉢の平面
図 (b)は図3(a)のY−Y′線断面図
図 (b)は図3(a)のY−Y′線断面図
【図4】従来の誘電体磁器の成形体の焼成工程における
誘電体磁器材料の成形体を誘電体磁器製造用コウ鉢の載
置面に載置した状態を示す要部断面図
誘電体磁器材料の成形体を誘電体磁器製造用コウ鉢の載
置面に載置した状態を示す要部断面図
1 誘電体磁器製造用コウ鉢 2 載置面 3 波形凹凸部 4 コーティング層 5 成形体 11 誘電体磁器製造用コウ鉢 12 載置面 13 凹部 14 コーティング層 15 成形体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 F27D 3/12 S 7141−4K H01B 3/12 303 9059−5G
Claims (2)
- 【請求項1】アルミナ系とジルコニア系の1:99乃至
99:1(重量比)の無機混合物を主成分とし、誘電体
磁器材料の成形体を載置する載置面に波形凹凸部を有
し、少なくとも前記載置面の表面にY2O3とZrO2の
コーティング層が形成されていることを特徴とする誘電
体磁器製造用コウ鉢。 - 【請求項2】アルミナ系とジルコニア系の60:40乃
至95:5(重量比)の無機混合物を主成分とし、誘電
体磁器材料の成形体を載置する載置面に波形凹凸部を有
し、少なくとも前記載置面の表面にY2O3とZrO2の
コーティング層が形成されていることを特徴とする誘電
体磁器製造用コウ鉢。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264680A JPH07118071A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 誘電体磁器製造用コウ鉢 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264680A JPH07118071A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 誘電体磁器製造用コウ鉢 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07118071A true JPH07118071A (ja) | 1995-05-09 |
Family
ID=17406713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5264680A Pending JPH07118071A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 誘電体磁器製造用コウ鉢 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118071A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006062920A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | セラミック焼結体の製法およびセラミック焼結体 |
| WO2025135035A1 (ja) * | 2023-12-22 | 2025-06-26 | 株式会社 東芝 | セラミックスセッター、セラミックスボール用素材の製造方法、およびセラミックスボールの製造方法 |
-
1993
- 1993-10-22 JP JP5264680A patent/JPH07118071A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006062920A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Kyocera Corp | セラミック焼結体の製法およびセラミック焼結体 |
| WO2025135035A1 (ja) * | 2023-12-22 | 2025-06-26 | 株式会社 東芝 | セラミックスセッター、セラミックスボール用素材の製造方法、およびセラミックスボールの製造方法 |
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