JPH07120691A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH07120691A JPH07120691A JP26722293A JP26722293A JPH07120691A JP H07120691 A JPH07120691 A JP H07120691A JP 26722293 A JP26722293 A JP 26722293A JP 26722293 A JP26722293 A JP 26722293A JP H07120691 A JPH07120691 A JP H07120691A
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】アパーチャによる回折の影響を有効に軽減し、
デフォーカス量に対する光スポット径変動の小さい光走
査装置を実現する。 【構成】光源装置と光偏向器の偏向反射面との間に配備
され、レーザー光束の光束周辺部の光を遮断するアパー
チャ3が、シリンダレンズ系における第1,第2シリン
ダレンズ41,42間に配備され、光偏向器による偏向
光束の偏向の起点と、基準偏向光束の結像点との間の距
離をL、アパーチャ3以降の光学系によるアパーチャの
共役像と上記結像点との間の距離をΔとするとき、Lと
Δとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するように上記アパーチャの位置を定めた。
デフォーカス量に対する光スポット径変動の小さい光走
査装置を実現する。 【構成】光源装置と光偏向器の偏向反射面との間に配備
され、レーザー光束の光束周辺部の光を遮断するアパー
チャ3が、シリンダレンズ系における第1,第2シリン
ダレンズ41,42間に配備され、光偏向器による偏向
光束の偏向の起点と、基準偏向光束の結像点との間の距
離をL、アパーチャ3以降の光学系によるアパーチャの
共役像と上記結像点との間の距離をΔとするとき、Lと
Δとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するように上記アパーチャの位置を定めた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は光走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】LD光源を光源とする光源装置からのレ
ーザー光束を偏向反射面により反射して偏向光束とし、
走査結像光学系により被走査面上に光スポットとして集
光させて光走査を行う光走査方式は光プリンター等に関
連して広く知られている(特公昭60−642号公報、
特開平1−302217号公報等)。
ーザー光束を偏向反射面により反射して偏向光束とし、
走査結像光学系により被走査面上に光スポットとして集
光させて光走査を行う光走査方式は光プリンター等に関
連して広く知られている(特公昭60−642号公報、
特開平1−302217号公報等)。
【0003】高密度記録等の高精度の光走査を実現する
には「光スポット径」が安定していなければならない。
光スポット径の不安定さの原因となるものの一つとし
て、光源装置と光偏向器との間に配備されるアパーチャ
の存在がある。
には「光スポット径」が安定していなければならない。
光スポット径の不安定さの原因となるものの一つとし
て、光源装置と光偏向器との間に配備されるアパーチャ
の存在がある。
【0004】アパーチャは本来、光スポット形状や光ス
ポット径の調整や迷光の除去等の目的で配備され、光源
装置からのレーザー光束の光束周辺部を遮光する。この
光束周辺部の遮光により、アパーチャを通過したレーザ
ー光束の光強度分布は、レーザー光束本来のガウス型の
光強度分布の裾野の部分をカットされた形状となり、被
走査面上に集光される光スポットの強度分布にはアパー
チャの開口による回折の影響が現れる。
ポット径の調整や迷光の除去等の目的で配備され、光源
装置からのレーザー光束の光束周辺部を遮光する。この
光束周辺部の遮光により、アパーチャを通過したレーザ
ー光束の光強度分布は、レーザー光束本来のガウス型の
光強度分布の裾野の部分をカットされた形状となり、被
走査面上に集光される光スポットの強度分布にはアパー
チャの開口による回折の影響が現れる。
【0005】特に上記各公報開示の光走査装置によう
に、走査結像光学系の「副走査対応方向(光源から被走
査面に到る光路を光軸に沿って直線的に展開した仮想的
な光路上で、副走査方向と平行的に対応する方向を言
う。また上記仮想的な光路上で、主走査方向と平行的に
対応する方向を「主走査対応方向」と言う。)」の結像
倍率が1より小さい場合には、走査結像光学系を含むア
パーチャ以降の光学系によるアパーチャの実像が、アパ
ーチャの位置によっては被走査面近傍にでき、回折の影
響により光スポット径が、偏向光束結像位置と被走査面
とのずれ、即ち「デフォーカス量」に応じて著しく変動
し、安定した光スポット径を得ることができない。
に、走査結像光学系の「副走査対応方向(光源から被走
査面に到る光路を光軸に沿って直線的に展開した仮想的
な光路上で、副走査方向と平行的に対応する方向を言
う。また上記仮想的な光路上で、主走査方向と平行的に
対応する方向を「主走査対応方向」と言う。)」の結像
倍率が1より小さい場合には、走査結像光学系を含むア
パーチャ以降の光学系によるアパーチャの実像が、アパ
ーチャの位置によっては被走査面近傍にでき、回折の影
響により光スポット径が、偏向光束結像位置と被走査面
とのずれ、即ち「デフォーカス量」に応じて著しく変動
し、安定した光スポット径を得ることができない。
【0006】特開平4ー229819号公報には、アパ
ーチャの実像を被走査面の手前側に形成する光走査装置
が示されているが、フレネル回折の影響により、上記デ
フォーカス量に応じて光スポット径の変動が大きいとい
う問題がある。
ーチャの実像を被走査面の手前側に形成する光走査装置
が示されているが、フレネル回折の影響により、上記デ
フォーカス量に応じて光スポット径の変動が大きいとい
う問題がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたもので、アパーチャによる回折の影
響を有効に軽減し、デフォーカス量に対する光スポット
径変動の小さい新規な光走査装置の提供を目的とする。
情に鑑みてなされたもので、アパーチャによる回折の影
響を有効に軽減し、デフォーカス量に対する光スポット
径変動の小さい新規な光走査装置の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明の光走査装置
は、「LD光源とカップリングレンズ系とを有する光源
装置からのレーザー光束をシリンダレンズ系により副走
査対応方向へ収束させ、主走査対応方向に長い線像とし
て結像させ、上記線像の結像位置近傍に偏向反射面を有
する光偏向器による偏向させ、偏向光束を走査結像光学
系により被走査面上に光スポットとして集光させて光走
査を行う光走査装置」であって、走査結像光学系の副走
査対応方向に関する共役横倍率が1より小さく、光源装
置と光偏向器の偏向反射面との間に、レーザー光束の光
束周辺部の光を遮断するアパーチャを有する。
は、「LD光源とカップリングレンズ系とを有する光源
装置からのレーザー光束をシリンダレンズ系により副走
査対応方向へ収束させ、主走査対応方向に長い線像とし
て結像させ、上記線像の結像位置近傍に偏向反射面を有
する光偏向器による偏向させ、偏向光束を走査結像光学
系により被走査面上に光スポットとして集光させて光走
査を行う光走査装置」であって、走査結像光学系の副走
査対応方向に関する共役横倍率が1より小さく、光源装
置と光偏向器の偏向反射面との間に、レーザー光束の光
束周辺部の光を遮断するアパーチャを有する。
【0009】「シリンダレンズ系」は、光源装置側から
順に、正の屈折力を持つ第1シリンダレンズ、負の屈折
力を持つ第2シリンダレンズ、正の屈折力を持つ第3シ
リンダレンズを配して構成する。「アパーチャ」は、シ
リンダレンズ系における第1,第2シリンダレンズ間に
配備される。
順に、正の屈折力を持つ第1シリンダレンズ、負の屈折
力を持つ第2シリンダレンズ、正の屈折力を持つ第3シ
リンダレンズを配して構成する。「アパーチャ」は、シ
リンダレンズ系における第1,第2シリンダレンズ間に
配備される。
【0010】光偏向器による偏向光束の偏向の起点と、
基準偏向光束の結像点との間の距離をL、アパーチャ以
降の光学系によるアパーチャの共役像と上記結像点との
間の距離をΔとするとき、LとΔとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するようにアパーチャの位置が定められる。
基準偏向光束の結像点との間の距離をL、アパーチャ以
降の光学系によるアパーチャの共役像と上記結像点との
間の距離をΔとするとき、LとΔとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するようにアパーチャの位置が定められる。
【0011】上記「基準偏向光束」とは、光偏向器によ
り偏向される偏向光束のうち、偏向角が0であるもの、
即ち、その主光線が走査結像光学系の光軸と平行になる
光束であり、その結像点は被走査面上にあるのが理想で
ある。また偏向の起点とは、偏向反射面による基準偏向
光束の反射位置である。
り偏向される偏向光束のうち、偏向角が0であるもの、
即ち、その主光線が走査結像光学系の光軸と平行になる
光束であり、その結像点は被走査面上にあるのが理想で
ある。また偏向の起点とは、偏向反射面による基準偏向
光束の反射位置である。
【0012】光源装置からのレーザー光束は、光偏向器
の偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像として結
像するから、偏向光束は副走査対応方向には発散性であ
り、走査結像光学系は、この偏向光束を被走査面上に光
スポットとして集光させるから、「走査結像光学系」
は、副走査対応方向に関して偏向反射面位置と被走査面
位置とを幾何光学的に略共役な関係とし、その共役横倍
率は前述の如く1より小さい。
の偏向反射面近傍に主走査対応方向に長い線像として結
像するから、偏向光束は副走査対応方向には発散性であ
り、走査結像光学系は、この偏向光束を被走査面上に光
スポットとして集光させるから、「走査結像光学系」
は、副走査対応方向に関して偏向反射面位置と被走査面
位置とを幾何光学的に略共役な関係とし、その共役横倍
率は前述の如く1より小さい。
【0013】このような光走査装置は、周知の如く「面
倒れ補正機能」を有し、光偏向器の偏向反射面に面倒れ
(回転軸や揺動軸の変動や偏向反射面自体の、上記軸に
対する平行度等の誤差等により生じる)があっても、光
走査に実質的な影響を及ぼさない。「光偏向器」として
は、回転多面鏡や回転単面鏡、回転2面鏡やガルバノミ
ラー等を利用できる。
倒れ補正機能」を有し、光偏向器の偏向反射面に面倒れ
(回転軸や揺動軸の変動や偏向反射面自体の、上記軸に
対する平行度等の誤差等により生じる)があっても、光
走査に実質的な影響を及ぼさない。「光偏向器」として
は、回転多面鏡や回転単面鏡、回転2面鏡やガルバノミ
ラー等を利用できる。
【0014】「走査結像光学系」としては、光偏向器が
回転多面鏡や回転単面鏡、回転2面鏡野場合にはfθレ
ンズ、光偏向器がガルバノミラーの場合にはf・sin
θレンズを用いることができる。
回転多面鏡や回転単面鏡、回転2面鏡野場合にはfθレ
ンズ、光偏向器がガルバノミラーの場合にはf・sin
θレンズを用いることができる。
【0015】シリンダレンズ系を構成する第1〜第3シ
リンダレンズの屈折力を順次、ψ1(>0),ψ2(<
0),ψ3(>0)とすると、これらは、条件 ψ1<−ψ2<ψ3 (2) を満足することが、光利用効率の観点から望ましい(請
求項2)。
リンダレンズの屈折力を順次、ψ1(>0),ψ2(<
0),ψ3(>0)とすると、これらは、条件 ψ1<−ψ2<ψ3 (2) を満足することが、光利用効率の観点から望ましい(請
求項2)。
【0016】カップリングレンズ系とともに光源装置を
構成するLD光源は、単一のレーザー発光部を持つ、通
常のLD光源で良いことは勿論であるが、これに限ら
ず、複数のレーザー発光部を1方向に当間隔に配列した
モノリシックな「LDアレイ」をLD光源として用いて
も良い。
構成するLD光源は、単一のレーザー発光部を持つ、通
常のLD光源で良いことは勿論であるが、これに限ら
ず、複数のレーザー発光部を1方向に当間隔に配列した
モノリシックな「LDアレイ」をLD光源として用いて
も良い。
【0017】その場合には、LDアレイを「LD発光部
の配列方向が主走査対応方向に対し微小角(数度程度)
傾く」ようにけて配備し、「カップリングレンズ系」の
焦点距離:fcp,第1シリンダレンズの副走査対応方向
に関する焦点距離:fc1、第2シリンダレンズ以降の光
学系の副走査対応方向の前側主点と第1シリンダレンズ
との距離:Dとするとき、これらが条件 D<fcp・fc1/(fcp+fc1) (3) を満足するようにし、アパーチャを「カップリングレン
ズ系と第1シリンダレンズとの副走査対応方向の合成焦
点位置」に配備するのが良い(請求項3)。
の配列方向が主走査対応方向に対し微小角(数度程度)
傾く」ようにけて配備し、「カップリングレンズ系」の
焦点距離:fcp,第1シリンダレンズの副走査対応方向
に関する焦点距離:fc1、第2シリンダレンズ以降の光
学系の副走査対応方向の前側主点と第1シリンダレンズ
との距離:Dとするとき、これらが条件 D<fcp・fc1/(fcp+fc1) (3) を満足するようにし、アパーチャを「カップリングレン
ズ系と第1シリンダレンズとの副走査対応方向の合成焦
点位置」に配備するのが良い(請求項3)。
【0018】
【作用】上記のように、この発明においては、光偏向器
による偏向光束の偏向の起点と、基準偏向光束の結像点
との間の距離をL、アパーチャ以降の光学系によるアパ
ーチャの共役像と上記結像点との間の距離をΔとすると
き、LとΔとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するようにアパーチャの位置が定められる。この
条件(1)は、アパーチャによる回折の影響を有効に軽
減し、デフォーカス量に対する光スポット径変動を小さ
くするための条件である。即ち、上記条件(1)が満足
されるとき、デフォーカス量をパラメータとした副走査
方向の光スポット径の変化は傾きが小さく「なだらか」
となる。
による偏向光束の偏向の起点と、基準偏向光束の結像点
との間の距離をL、アパーチャ以降の光学系によるアパ
ーチャの共役像と上記結像点との間の距離をΔとすると
き、LとΔとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するようにアパーチャの位置が定められる。この
条件(1)は、アパーチャによる回折の影響を有効に軽
減し、デフォーカス量に対する光スポット径変動を小さ
くするための条件である。即ち、上記条件(1)が満足
されるとき、デフォーカス量をパラメータとした副走査
方向の光スポット径の変化は傾きが小さく「なだらか」
となる。
【0019】また、「シリンダレンズ系」を、光源装置
側から順に、正の屈折力を持つ第1シリンダレンズ、負
の屈折力を持つ第2シリンダレンズ、正の屈折力を持つ
第3シリンダレンズを配して構成し、「アパーチャ」
を、上記第1,第2シリンダレンズ間に配備することに
より、第1シリンダレンズから走査結像光学系に到る光
路長を有効に短縮することが可能となる。
側から順に、正の屈折力を持つ第1シリンダレンズ、負
の屈折力を持つ第2シリンダレンズ、正の屈折力を持つ
第3シリンダレンズを配して構成し、「アパーチャ」
を、上記第1,第2シリンダレンズ間に配備することに
より、第1シリンダレンズから走査結像光学系に到る光
路長を有効に短縮することが可能となる。
【0020】上記条件(2)を満足することにより、光
利用効率を有効に大きく保つことが可能である。また条
件(3)を満足しつつ、アパーチャをカップリングレン
ズ系と第1シリンダレンズとの副走査対応方向の合成焦
点位置に配備することにより、LDアレイの各発光部か
らのレーザー光束による光スポット同志のスポット径の
差違を除去することが可能になる。
利用効率を有効に大きく保つことが可能である。また条
件(3)を満足しつつ、アパーチャをカップリングレン
ズ系と第1シリンダレンズとの副走査対応方向の合成焦
点位置に配備することにより、LDアレイの各発光部か
らのレーザー光束による光スポット同志のスポット径の
差違を除去することが可能になる。
【0021】
【実施例】具体的な実施例に先立ち、一般的な光走査装
置の光学配置に即して、上記の条件(1)の意義を説明
する。
置の光学配置に即して、上記の条件(1)の意義を説明
する。
【0022】図2は、LD光源を用いる典型的な光走査
装置における光学配置を、LD光源1から被走査面8に
到る光路を光学系の光軸に沿って直線的に展開し、副走
査対応方向が上下方向となるように描いたものである。
主走査対応方向は図面に直交する方向である。
装置における光学配置を、LD光源1から被走査面8に
到る光路を光学系の光軸に沿って直線的に展開し、副走
査対応方向が上下方向となるように描いたものである。
主走査対応方向は図面に直交する方向である。
【0023】LD光源1から放射された発散性の光束
は、LD光源1とともに光源装置をなすカップリングレ
ンズ系2により平行光束化され、アパーチャ3により光
束周辺部を遮光され、シリンダレンズ系4により副走査
対応方向に収束されて、光偏向器の偏向反射面5の位置
に主走査対応方向に長い線像として結像する。偏向反射
面5により反射された偏向光束は、レンズ6,7により
構成されるアナモフィックな走査結像光学系により被走
査面8上に光スポットとして集光する。
は、LD光源1とともに光源装置をなすカップリングレ
ンズ系2により平行光束化され、アパーチャ3により光
束周辺部を遮光され、シリンダレンズ系4により副走査
対応方向に収束されて、光偏向器の偏向反射面5の位置
に主走査対応方向に長い線像として結像する。偏向反射
面5により反射された偏向光束は、レンズ6,7により
構成されるアナモフィックな走査結像光学系により被走
査面8上に光スポットとして集光する。
【0024】図2に示すように、アパーチャ3における
「副走査対応方向の開口幅」をWS1とし、偏向反射面5
上に結像した線像の「幅」即ち、線像位置におけるレー
ザー光束の副走査対応方向の光束幅(光強度のピーク値
の1/e2以上となる光束部分の幅)をWS2被走査面近
傍に結像する光スポットにおけるビームウエストの径を
WS3とすると、これらWS1,WS2,WS3の間には、回折
の影響を無視すると、近似的に以下の関係が成り立つ。 WS2=k(λ/π)(fcy/WS1) (4) WS3=β・WS2 (5) ここに、λはレーザー光束の波長、kは比例係数、fcy
はシリンダレンズ系4の副走査対応方向の焦点距離、β
は走査結像光学系の共役横倍率を表している。
「副走査対応方向の開口幅」をWS1とし、偏向反射面5
上に結像した線像の「幅」即ち、線像位置におけるレー
ザー光束の副走査対応方向の光束幅(光強度のピーク値
の1/e2以上となる光束部分の幅)をWS2被走査面近
傍に結像する光スポットにおけるビームウエストの径を
WS3とすると、これらWS1,WS2,WS3の間には、回折
の影響を無視すると、近似的に以下の関係が成り立つ。 WS2=k(λ/π)(fcy/WS1) (4) WS3=β・WS2 (5) ここに、λはレーザー光束の波長、kは比例係数、fcy
はシリンダレンズ系4の副走査対応方向の焦点距離、β
は走査結像光学系の共役横倍率を表している。
【0025】上記関係から明らかなように、副走査方向
の光スポット径として、所望の径:W3Sを得る場合、共
役横ばい率:βを小さく設定するほど、アパーチャ3の
開口幅:WS1を小さくしなければならない。この発明の
光走査装置におけるように、β<1の場合には、所望の
光スポット径:W3Sを得るためにアパーチャ3の開口
幅:WS1が小さくなりやすく、アパーチャ3の開口によ
るフレネル回折が発生し易い。その結果、「偏向光束の
結像位置と被走査面とのずれ量であるデフォーカス量に
対する副走査対応方向の光スポット径の変動」が顕著に
なり易い。なお、走査結像光学系が、副走査対応方向に
おいて、「偏向の起点と被走査面位置とを、幾何光学的
な共役関係としているので、主走査対応方向については
フレネル回折の影響は発生しない。
の光スポット径として、所望の径:W3Sを得る場合、共
役横ばい率:βを小さく設定するほど、アパーチャ3の
開口幅:WS1を小さくしなければならない。この発明の
光走査装置におけるように、β<1の場合には、所望の
光スポット径:W3Sを得るためにアパーチャ3の開口
幅:WS1が小さくなりやすく、アパーチャ3の開口によ
るフレネル回折が発生し易い。その結果、「偏向光束の
結像位置と被走査面とのずれ量であるデフォーカス量に
対する副走査対応方向の光スポット径の変動」が顕著に
なり易い。なお、走査結像光学系が、副走査対応方向に
おいて、「偏向の起点と被走査面位置とを、幾何光学的
な共役関係としているので、主走査対応方向については
フレネル回折の影響は発生しない。
【0026】しかるに、「開口手段」であるアパーチャ
3を、シリンダレンズ系4の前側焦点位置に置くと、被
走査面8がアパーチャ3からみて光学的に見て無限遠と
なるため、前記共役横倍率:βが1より小さくても、被
走査面を含むかなりの領域において、偏向光束の結像は
アパーチャ開口部のフラウンホーファー回折像となり、
デフォーカス量をパラメータとした副走査方向の光スポ
ット径の変化は傾きが小さく「なだらか」となり、偏向
光束の結像位置と被走査面との間に多少のデフォーカス
があっても、副走査対応方向における光スポット径の変
動は少ない。
3を、シリンダレンズ系4の前側焦点位置に置くと、被
走査面8がアパーチャ3からみて光学的に見て無限遠と
なるため、前記共役横倍率:βが1より小さくても、被
走査面を含むかなりの領域において、偏向光束の結像は
アパーチャ開口部のフラウンホーファー回折像となり、
デフォーカス量をパラメータとした副走査方向の光スポ
ット径の変化は傾きが小さく「なだらか」となり、偏向
光束の結像位置と被走査面との間に多少のデフォーカス
があっても、副走査対応方向における光スポット径の変
動は少ない。
【0027】図2におけるアパーチュア3以降の光学配
置における光学系データの具体的な1例として、以下の
ものを挙げる。
置における光学系データの具体的な1例として、以下の
ものを挙げる。
【0028】Xとあるのは、前述の光源から被走査面に
到る光路を光軸に沿って直線的に展開した仮想的な光路
上で、アパーチャ3からシリンダレンズ4の光源側レン
ズ面に到る光路上の距離、Rとあるのは、各光学素子に
おける副走査対応方向の曲率半径、Dとあるのは光学素
子の各面の面間隔、Nとあるのは屈折率を表す。
到る光路を光軸に沿って直線的に展開した仮想的な光路
上で、アパーチャ3からシリンダレンズ4の光源側レン
ズ面に到る光路上の距離、Rとあるのは、各光学素子に
おける副走査対応方向の曲率半径、Dとあるのは光学素
子の各面の面間隔、Nとあるのは屈折率を表す。
【0029】 R D N アパーチャ3 ∞ X 1.0 シリンダレンズ系4 48 5 1.511 シリンダレンズ系4 ∞ 325 1.0 レンズ6 ∞ 13 1.766 レンズ6 −137.0 98 1.0 レンズ7 48 3 1.511 レンズ7 ∞ 79 1.0 レンズ7に関するD=79は、レンズ7の被走査面側レ
ンズ面と被走査面との間の光軸上の距離を表す。レンズ
6,7により構成される走査結像光学系の副走査対応方
向の共役横倍率:βは0.39である。なお、レンズ7
は「長尺シリンダレンズ」である。
ンズ面と被走査面との間の光軸上の距離を表す。レンズ
6,7により構成される走査結像光学系の副走査対応方
向の共役横倍率:βは0.39である。なお、レンズ7
は「長尺シリンダレンズ」である。
【0030】上記のXの値を、69mm,119.94
mm,129.94mm,139.94mmとしたと
き、前記L,Δ,Δ/Lおよび深度の値は以下のように
なる。
mm,129.94mm,139.94mmとしたと
き、前記L,Δ,Δ/Lおよび深度の値は以下のように
なる。
【0031】 X Δ L Δ/L 深度(mm) 69 22 430 0.05 3.00 119.94 136 430 0.32 6.00 129.94 ∞ 430 ∞ 6.30 139.94 136 430 0.32 6.20 。
【0032】被走査面上に形成される光スポットの副走
査方向の径は、偏向光束の副走査対応方向の結像位置と
被走査面とのずれ(デフォーカス量)により変化する。
上記の「深度」は、光スポットの副走査対応方向の径
が、設計値:80μm以下となるデフォーカス量の範囲
であり、深度の数値(mm)が大きいほど、デフォーカ
ス量の広い範囲で光スポットの副走査対応方向の径は安
定していることになる。
査方向の径は、偏向光束の副走査対応方向の結像位置と
被走査面とのずれ(デフォーカス量)により変化する。
上記の「深度」は、光スポットの副走査対応方向の径
が、設計値:80μm以下となるデフォーカス量の範囲
であり、深度の数値(mm)が大きいほど、デフォーカ
ス量の広い範囲で光スポットの副走査対応方向の径は安
定していることになる。
【0033】上記の例では、Δ/Lが0.32以上であ
ると、深度は6mm以上と十分に大きく、光スポット径
は安定している。しかるに、Δ/Lが0.32より小さ
くなり、例えば上の例のように、Δ/L=0.05では
深度は3mmと小さくなり、安定した径の光スポットで
光走査を行うのは困難である。
ると、深度は6mm以上と十分に大きく、光スポット径
は安定している。しかるに、Δ/Lが0.32より小さ
くなり、例えば上の例のように、Δ/L=0.05では
深度は3mmと小さくなり、安定した径の光スポットで
光走査を行うのは困難である。
【0034】図3(a),(b),(c),(d)に、
上記Xの値を、69mm,119.94mm,129.
94mm,139.94mmとしたときの、副走査対応
方向の光スポット径(縦軸)と、デフォーカス量(横
軸)との関係を示す。これらの図において、関係曲線が
光スポット径:80μm以下になる横軸領域が「深度」
である。Δ/L=0.05に相当する図3(a)におい
て、深度:3mmと小さくなっているのは、開口手段で
あるアパーチャ3によるフレネル回折の影響によるもの
である。
上記Xの値を、69mm,119.94mm,129.
94mm,139.94mmとしたときの、副走査対応
方向の光スポット径(縦軸)と、デフォーカス量(横
軸)との関係を示す。これらの図において、関係曲線が
光スポット径:80μm以下になる横軸領域が「深度」
である。Δ/L=0.05に相当する図3(a)におい
て、深度:3mmと小さくなっているのは、開口手段で
あるアパーチャ3によるフレネル回折の影響によるもの
である。
【0035】図4は光走査装置の別の例を図2に倣って
示している。図2の例との違いは、走査結像光学系が3
枚のレンズ60,61,70により構成されている点で
ある。レンズ70は長尺トロイダルレンズである。
示している。図2の例との違いは、走査結像光学系が3
枚のレンズ60,61,70により構成されている点で
ある。レンズ70は長尺トロイダルレンズである。
【0036】図4におけるアパーチュア3以降の光学配
置における光学系データの具体的な1例として、以下の
ものを挙げる。記載の要領は図1の例の場合と同様であ
る。
置における光学系データの具体的な1例として、以下の
ものを挙げる。記載の要領は図1の例の場合と同様であ
る。
【0037】 R D N アパーチャ3 ∞ X 1.0 シリンダレンズ系4 64.5 3 1.511 シリンダレンズ系4 ∞ 162 1.0 レンズ60 −140.1 18.8 1.572 レンズ60 −113.9 2.7 1.0 レンズ61 ∞ 23.5 1.572 レンズ61 −150.0 111.5 1.0 レンズ70 −43.6 3 1.572 レンズ70 −20.3 88 1.0 レンズ60,61,70により構成される走査結像光学
系の副走査対応方向の共役横倍率:βは0.6である。
系の副走査対応方向の共役横倍率:βは0.6である。
【0038】上記のXの値を、30mm,180mm,
247.9mm,315mmとしたとき、前記L,Δ,
Δ/Lおよび深度の値は以下のようになる。
247.9mm,315mmとしたとき、前記L,Δ,
Δ/Lおよび深度の値は以下のようになる。
【0039】 X Δ L Δ/L 深度(mm) 30 26.5 293 0.09 4.69 180 93 293 0.32 7.00 247.9 ∞ 293 ∞ 6.49 315 93 293 0.32 7.00 。
【0040】この例でも、「深度」は、光スポットの副
走査対応方向の径が、設計値:80μm以下となるデフ
ォーカス量の範囲である。この例でも、Δ/Lが0.3
2以上であると、深度は十分に大きく、光スポット径は
安定している。しかるに、Δ/Lが0.32より小さく
なり、例えば上の例のように、Δ/L=0.09では深
度は4.69mmと小さくなり、安定した径の光スポッ
トで光走査を行うのは困難である。
走査対応方向の径が、設計値:80μm以下となるデフ
ォーカス量の範囲である。この例でも、Δ/Lが0.3
2以上であると、深度は十分に大きく、光スポット径は
安定している。しかるに、Δ/Lが0.32より小さく
なり、例えば上の例のように、Δ/L=0.09では深
度は4.69mmと小さくなり、安定した径の光スポッ
トで光走査を行うのは困難である。
【0041】図5(a),(b),(c),(d)に、
図4の例で、Xの値を30mm,180mm,247.
9mm,315mmとしたときの、副走査対応方向の光
スポット径(縦軸)と、デフォーカス量(横軸)との関
係を示す。Δ/L=0.09に相当する図4(a)にお
いて、深度:4.69mmと小さくなっているのは、開
口手段であるアパーチャ3によるフレネル回折の影響に
よるものである。
図4の例で、Xの値を30mm,180mm,247.
9mm,315mmとしたときの、副走査対応方向の光
スポット径(縦軸)と、デフォーカス量(横軸)との関
係を示す。Δ/L=0.09に相当する図4(a)にお
いて、深度:4.69mmと小さくなっているのは、開
口手段であるアパーチャ3によるフレネル回折の影響に
よるものである。
【0042】これらの例から、一般に、アパーチャ以後
の光学系に対して、条件(1)が満足されるとき、光ス
ポット径(副走査方向)を安定させて、良好な光走査を
行い得ることが理解されるであろう。前述の如く、主走
査方向には、開口手段によるフレネル回折の影響は現れ
ないので、主走査方向の光スポット径は、安定した状態
にある。
の光学系に対して、条件(1)が満足されるとき、光ス
ポット径(副走査方向)を安定させて、良好な光走査を
行い得ることが理解されるであろう。前述の如く、主走
査方向には、開口手段によるフレネル回折の影響は現れ
ないので、主走査方向の光スポット径は、安定した状態
にある。
【0043】しかし、上記の2例では、光スポット径の
安定のために、Δ/Lを0.32以上に設定しようとす
ると、開口手段であるアパーチャ3からシリンダレンズ
系4にいたる光路長即ちXの値は、図2の例で119.
94mm、図3の例で180mmと、かなりの長さにな
り、光走査装置をコンパクトに構成するには、例えば、
アパーチャ3とシリンダレンズ系4との間に、平面鏡を
1以上介して光路を屈曲させるなどの工夫が必要とな
る。
安定のために、Δ/Lを0.32以上に設定しようとす
ると、開口手段であるアパーチャ3からシリンダレンズ
系4にいたる光路長即ちXの値は、図2の例で119.
94mm、図3の例で180mmと、かなりの長さにな
り、光走査装置をコンパクトに構成するには、例えば、
アパーチャ3とシリンダレンズ系4との間に、平面鏡を
1以上介して光路を屈曲させるなどの工夫が必要とな
る。
【0044】上記Xを小さくする方策の一つは、シリン
ダレンズ系4のパワーを大きくすること、即ち、シリン
ダレンズ系4の焦点距離:fcyを小さくである。しか
し、このようにすると、(4)式により、所望のWS2を
実現するためには、アパーチュア3の開口幅:WS1を小
さくせざるを得ず、これは直ちに、光走査に与る光の光
利用効率の低下につながる。
ダレンズ系4のパワーを大きくすること、即ち、シリン
ダレンズ系4の焦点距離:fcyを小さくである。しか
し、このようにすると、(4)式により、所望のWS2を
実現するためには、アパーチュア3の開口幅:WS1を小
さくせざるを得ず、これは直ちに、光走査に与る光の光
利用効率の低下につながる。
【0045】このような光利用効率の低下を有効に抑
え、尚且つ、光走査装置のコンパクト化を達成するた
め、この発明では、前述の如く、シリンダレンズ系を、
光源装置側から順に、正の屈折力を持つ第1シリンダレ
ンズ、負の屈折力を持つ第2シリンダレンズ、正の屈折
力を持つ第3シリンダレンズを配して構成し、アパーチ
ャを第1,第2シリンダレンズ間に配備するのである。
え、尚且つ、光走査装置のコンパクト化を達成するた
め、この発明では、前述の如く、シリンダレンズ系を、
光源装置側から順に、正の屈折力を持つ第1シリンダレ
ンズ、負の屈折力を持つ第2シリンダレンズ、正の屈折
力を持つ第3シリンダレンズを配して構成し、アパーチ
ャを第1,第2シリンダレンズ間に配備するのである。
【0046】この状態を、図1(a)に示す。符号41
は第1シリンダレンズ、符号42が第2シリンダレン
ズ、符号43が第3シリンダレンズを示しており、アパ
ーチャ3は、第1シリンダレンズ41と第2シリンダレ
ンズ42との間に配備されている。
は第1シリンダレンズ、符号42が第2シリンダレン
ズ、符号43が第3シリンダレンズを示しており、アパ
ーチャ3は、第1シリンダレンズ41と第2シリンダレ
ンズ42との間に配備されている。
【0047】このような構成にすると、アパーチャ3以
降の光学系は、第2,第3シリンダレンズ42,43お
よび図示されない走査結像光学系である。光源装置側か
らのレーザー光束は、第1および第2シリンダレンズ4
1,42よによりビームコンプレスされる。
降の光学系は、第2,第3シリンダレンズ42,43お
よび図示されない走査結像光学系である。光源装置側か
らのレーザー光束は、第1および第2シリンダレンズ4
1,42よによりビームコンプレスされる。
【0048】図1(a)に示す系の元の具体的な数値
を、前述の例に倣って記すると以下のようになる。 R D N 第1シリンダレンズ 81.89 3 1.511 第1シリンダレンズ ∞ 3.2 1.0 アパーチャ 75 1.0 第2シリンダレンズ −40.94 2 1.511 第2シリンダレンズ ∞ 52.8 1.0 第3シリンダレンズ 32.5 3 1.511 第3シリンダレンズ ∞ 103.78 1.0 このような光学配置で、光偏向器以降の走査結像光学系
の配置を前述の図3の例と同じにした場合の、副走査対
応方向の光スポット径(縦軸)と、デフォーカス量(横
軸)との関係を、図1(b)に示す。
を、前述の例に倣って記すると以下のようになる。 R D N 第1シリンダレンズ 81.89 3 1.511 第1シリンダレンズ ∞ 3.2 1.0 アパーチャ 75 1.0 第2シリンダレンズ −40.94 2 1.511 第2シリンダレンズ ∞ 52.8 1.0 第3シリンダレンズ 32.5 3 1.511 第3シリンダレンズ ∞ 103.78 1.0 このような光学配置で、光偏向器以降の走査結像光学系
の配置を前述の図3の例と同じにした場合の、副走査対
応方向の光スポット径(縦軸)と、デフォーカス量(横
軸)との関係を、図1(b)に示す。
【0049】副走査方向の光スポット径は、設計値が7
6μmであり、関係曲線が76μm以下になる横軸領域
が「深度」であり、この深度は7.3mmと非常に大き
い。また、このとき、アパーチャ3から走査結像光学系
のレンズ60の入射側レンズ面に到る光路上の距離は、
239.8mmであり、例えば、これを図3の光学配置
で、X=247.9mmとした場合の、417.7mm
に比べてみれば、アパーチャ3と走査結像光学系との間
の光路長を有効に短縮できることが明らかである。
6μmであり、関係曲線が76μm以下になる横軸領域
が「深度」であり、この深度は7.3mmと非常に大き
い。また、このとき、アパーチャ3から走査結像光学系
のレンズ60の入射側レンズ面に到る光路上の距離は、
239.8mmであり、例えば、これを図3の光学配置
で、X=247.9mmとした場合の、417.7mm
に比べてみれば、アパーチャ3と走査結像光学系との間
の光路長を有効に短縮できることが明らかである。
【0050】第1〜第3シリンダレンズ41,42,4
3の屈折力を順次、ψ1,ψ2,ψ3とすると、アパーチ
ャ3が、それ以降の光学系の前側焦点位置にあり、しか
も第1,第2シリンダレンズ系41,42の間にあるた
めには、「ψ3>−ψ2」である必要があり、尚且つ、第
1,第2シリンダレンズ41,42がビームコンプレス
を行うためには、「ψ1<−ψ2」で有る必要がある。こ
れらの条件を合わせると、「ψ1<−ψ2<ψ3」であれ
ば、光源の光効率を有効に大きく保ちつつ、深度の大き
い光走査装置を実現できることになる(請求項2)。
3の屈折力を順次、ψ1,ψ2,ψ3とすると、アパーチ
ャ3が、それ以降の光学系の前側焦点位置にあり、しか
も第1,第2シリンダレンズ系41,42の間にあるた
めには、「ψ3>−ψ2」である必要があり、尚且つ、第
1,第2シリンダレンズ41,42がビームコンプレス
を行うためには、「ψ1<−ψ2」で有る必要がある。こ
れらの条件を合わせると、「ψ1<−ψ2<ψ3」であれ
ば、光源の光効率を有効に大きく保ちつつ、深度の大き
い光走査装置を実現できることになる(請求項2)。
【0051】上に説明した例は、光源装置に用いるLD
光源が、単一の発光部を有する通常のLD光源である場
合であった。
光源が、単一の発光部を有する通常のLD光源である場
合であった。
【0052】この発明はまた、LD光源が、複数の発光
部を有するLDアレイで有る場合にも適用できる(請求
項3)。LDアレイにおける発光部の数には、特に制限
はないが、ここでは、発光部の数が2個であるものを例
に取って説明する。
部を有するLDアレイで有る場合にも適用できる(請求
項3)。LDアレイにおける発光部の数には、特に制限
はないが、ここでは、発光部の数が2個であるものを例
に取って説明する。
【0053】図6(a)において、符号10はLDアレ
イを示す。LDアレイ10は2つの発光部10A,10
Bを有し、それぞれが、楕円型のファーフィールドパタ
ーンを持つ発散光束を独立に放射する。光走査装置に、
このようなLDアレイ10を用いると、各発光部10
A,10Bによるレーザー光束を、共通の光学系により
被走査面上に別個の光スポットとして集光させることに
より、一度に2ラインを光走査出来、光走査の効率を高
めることができる。
イを示す。LDアレイ10は2つの発光部10A,10
Bを有し、それぞれが、楕円型のファーフィールドパタ
ーンを持つ発散光束を独立に放射する。光走査装置に、
このようなLDアレイ10を用いると、各発光部10
A,10Bによるレーザー光束を、共通の光学系により
被走査面上に別個の光スポットとして集光させることに
より、一度に2ラインを光走査出来、光走査の効率を高
めることができる。
【0054】この場合、発光部10A,10Bによる光
スポットが、被走査面上において所望のピッチとなるよ
うに、通常は、図6(a)に示すように、発光部10
A,10Bの配列方向が主走査対応方向に対して微小角
(数度程度)傾くようにして、LDアレイ10が配備さ
れる。
スポットが、被走査面上において所望のピッチとなるよ
うに、通常は、図6(a)に示すように、発光部10
A,10Bの配列方向が主走査対応方向に対して微小角
(数度程度)傾くようにして、LDアレイ10が配備さ
れる。
【0055】このようにすると、光源装置からのレーザ
ー光束は、その光束幅が副走査対応方向において大きく
なる。従って、アパーチャにより周辺光束を規制するの
に、通常のLD光源を用いる場合(発散光束のファーフ
ィールドパターンを表す楕円形状の長軸方向が主走査対
応方向に平行になるようにLD光源の配置が設定され
る)と同じアパーチュアを用いると、アパーチャによる
光束遮光量が過多となって、光の利用効率が悪くなる。
ー光束は、その光束幅が副走査対応方向において大きく
なる。従って、アパーチャにより周辺光束を規制するの
に、通常のLD光源を用いる場合(発散光束のファーフ
ィールドパターンを表す楕円形状の長軸方向が主走査対
応方向に平行になるようにLD光源の配置が設定され
る)と同じアパーチュアを用いると、アパーチャによる
光束遮光量が過多となって、光の利用効率が悪くなる。
【0056】この場合にも、図1に説明したように、シ
リンダレンズ系を第1〜第3シリンダレンズ41,4
2,43により構成し、第1,第2シリンダレンズによ
りビームコンプレスを行うことにより、光利用効率の低
下を有効に防止することができる。
リンダレンズ系を第1〜第3シリンダレンズ41,4
2,43により構成し、第1,第2シリンダレンズによ
りビームコンプレスを行うことにより、光利用効率の低
下を有効に防止することができる。
【0057】さらに、図6(b)に示すように、アパー
チャ3を、カップリングレンズ2とシリンダレンズ系に
おける第1シリンダレンズ41との合成焦点の位置に配
備すると、発光部10A,10Bからのレーザー光束
は、いずれも、その主光線が、副走査対応方向におい
て、アパーチャ3の中心を通ることになるので、アパー
チャ3による光束規制量が、発光部10A,10Bから
のレーザー光束に就いて同じになり、従って、被走査面
上に集光される光スポットのスポット径も同じになり、
同じサイズの2つの光スポットを得ることができる。
チャ3を、カップリングレンズ2とシリンダレンズ系に
おける第1シリンダレンズ41との合成焦点の位置に配
備すると、発光部10A,10Bからのレーザー光束
は、いずれも、その主光線が、副走査対応方向におい
て、アパーチャ3の中心を通ることになるので、アパー
チャ3による光束規制量が、発光部10A,10Bから
のレーザー光束に就いて同じになり、従って、被走査面
上に集光される光スポットのスポット径も同じになり、
同じサイズの2つの光スポットを得ることができる。
【0058】カップリングレンズ2と第1シリンダレン
ズ41の合成焦点距離は、カップリングレンズ2の焦点
距離を調整することにより調整できる。例えば、カップ
リングレンズ2を焦点距離:15mmの薄肉レンズとす
ると、カップリングレンズ2と第1シリンダレンズ41
との距離は約9.8mmとなる。
ズ41の合成焦点距離は、カップリングレンズ2の焦点
距離を調整することにより調整できる。例えば、カップ
リングレンズ2を焦点距離:15mmの薄肉レンズとす
ると、カップリングレンズ2と第1シリンダレンズ41
との距離は約9.8mmとなる。
【0059】カップリングレンズ2の焦点距離をfcp、
第1シリンダレンズ41の副走査対応方向に関する焦点
距離をfc1とし、これら両者の合成焦点距離をfとする
と、上記両レンズの肉厚を無視し、両レンズを密着させ
た場合、周知の如く、 (1/f)=(1/fcp)+(1/fc1) が成り立つから、f=fcpfc1/(fcp+fc1)とな
り、従って、第1シリンダレンズ41と第2シリンダレ
ンズ42以降の光学系の副走査対応方向の前側焦点との
距離をDとして、 D<fcpfc1/(fcp+fc1) であれば、カップリングレンズ2と第1シリンダレンズ
41との合成焦点位置にアパーチャ3を配置することが
できることになる(請求項3)。
第1シリンダレンズ41の副走査対応方向に関する焦点
距離をfc1とし、これら両者の合成焦点距離をfとする
と、上記両レンズの肉厚を無視し、両レンズを密着させ
た場合、周知の如く、 (1/f)=(1/fcp)+(1/fc1) が成り立つから、f=fcpfc1/(fcp+fc1)とな
り、従って、第1シリンダレンズ41と第2シリンダレ
ンズ42以降の光学系の副走査対応方向の前側焦点との
距離をDとして、 D<fcpfc1/(fcp+fc1) であれば、カップリングレンズ2と第1シリンダレンズ
41との合成焦点位置にアパーチャ3を配置することが
できることになる(請求項3)。
【0060】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば新規な
光走査装置を提供できる。この発明は上記の如き構成と
なっているから、アパーチャによる回折の影響を有効に
軽減して、安定した光スポット径により良好な光走査を
行なえ、しかもコンパクトに構成可能な光走査装置が実
現る。
光走査装置を提供できる。この発明は上記の如き構成と
なっているから、アパーチャによる回折の影響を有効に
軽減して、安定した光スポット径により良好な光走査を
行なえ、しかもコンパクトに構成可能な光走査装置が実
現る。
【図1】この発明の特徴部分を説明するための図である
図である。
図である。
【図2】光走査装置の光学配置の1例を示す図である。
【図3】上記光学配置における、光スポットの深度が、
アパーチャの位置によりどのように変化するかを説明す
るための図である。
アパーチャの位置によりどのように変化するかを説明す
るための図である。
【図4】光走査装置の光学配置の別例を示す図である。
【図5】図4の光学配置における、光スポットの深度
が、アパーチャの位置によりどのように変化するかを説
明するための図である。
が、アパーチャの位置によりどのように変化するかを説
明するための図である。
【図6】請求項3記載の発明の特徴部分を説明するため
の図である。
の図である。
3 アパーチャ 41 第1シリンダレンズ 42 第2シリンダレンズ 43 第3シリンダレンズ
Claims (3)
- 【請求項1】LD光源とカップリングレンズ系とを有す
る光源装置からのレーザー光束をシリンダレンズ系によ
り副走査対応方向へ収束させ、主走査対応方向に長い線
像として結像させ、上記線像の結像位置近傍に偏向反射
面を有する光偏向器による偏向させ、偏向光束を走査結
像光学系により被走査面上に光スポットとして集光させ
て光走査を行う光走査装置において、 上記走査結像光学系は、副走査対応方向に関する共役横
倍率が1より小さく、 上記光源装置と光偏向器の偏向反射面との間に配備さ
れ、レーザー光束の光束周辺部の光を遮断するアパーチ
ャを有し、 シリンダレンズ系が、光源装置側から順に、正の屈折力
を持つ第1シリンダレンズ、負の屈折力を持つ第2シリ
ンダレンズ、正の屈折力を持つ第3シリンダレンズを配
して構成され、 上記アパーチャが上記シリンダレンズ系における第1,
第2シリンダレンズ間に配備され、 上記光偏向器による偏向光束の偏向の起点と、基準偏向
光束の結像点との間の距離をL、アパーチャ以降の光学
系によるアパーチャの共役像と上記結像点との間の距離
をΔとするとき、LとΔとが条件 Δ/L>0.32 (1) を満足するように上記アパーチャの位置を定めたことを
特徴とする光走査装置。 - 【請求項2】請求項1記載の光走査装置において、 シリンダレンズ系の第1〜第3シリンダレンズの屈折力
を順次、ψ1(>0),ψ2(<0),ψ3(>0)とす
るとき、これらが条件 ψ1<−ψ2<ψ3 (2) を満足することを特徴とする光走査装置。 - 【請求項3】請求項1または2記載の光走査装置におい
て、 光源装置のLD光源がLDアレイで、LD発光部の配列
方向を主走査対応方向に対し微小角傾けて配備され、 カップリングレンズ系の焦点距離をfcp,第1シリンダ
レンズの副走査対応方向に関する焦点距離をfc1、第2
シリンダレンズ以降の光学系の副走査対応方向の前側主
点と第1シリンダレンズとの距離をDとするとき、これ
らが条件 D<fcp・fc1/(fcp+fc1) (3) を満足し、 アパーチャが、カップリングレンズ系と第1シリンダレ
ンズとの副走査対応方向の合成焦点位置に配備されるこ
とを特徴とする光走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26722293A JPH07120691A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26722293A JPH07120691A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 光走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120691A true JPH07120691A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17441838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26722293A Pending JPH07120691A (ja) | 1993-10-26 | 1993-10-26 | 光走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120691A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102346302A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-02-08 | 夏普株式会社 | 光扫描装置以及图像形成装置 |
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1993
- 1993-10-26 JP JP26722293A patent/JPH07120691A/ja active Pending
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