JPH07122886A - 磁気シールドルームにおける出入口開口部 - Google Patents
磁気シールドルームにおける出入口開口部Info
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- JPH07122886A JPH07122886A JP5264533A JP26453393A JPH07122886A JP H07122886 A JPH07122886 A JP H07122886A JP 5264533 A JP5264533 A JP 5264533A JP 26453393 A JP26453393 A JP 26453393A JP H07122886 A JPH07122886 A JP H07122886A
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- magnetically shielded
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- shielded room
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Abstract
(57)【要約】
【目的】施工性がよく、安価に形成可能にすとともに使
い勝手を良好にし、そのうえ磁気シールドルームを医療
用に用いても患者の不安感をなくすとともに、緊急時の
脱出を容易にする。 【構成】磁気シールドルーム１内は、超電導体からなる
筒状体５および開口３を通して常時外部に開放されてい
る。そして、筒状体５を超電導状態に転移させることに
より、筒状体５内をマイスナー効果による超電導磁気シ
ールド状態にする。これにより、磁気シールドルーム１
内は外部に開放されていても、磁気シールドルーム１内
には磁気的に密閉された磁気シールド空間Ａが形成され
る。また、従来のような戸扉４がないので磁気シールド
ルーム１に対する出入りが容易となって、磁気シールド
ルーム１における出入口開口部の使い勝手が良好にな
る。
い勝手を良好にし、そのうえ磁気シールドルームを医療
用に用いても患者の不安感をなくすとともに、緊急時の
脱出を容易にする。 【構成】磁気シールドルーム１内は、超電導体からなる
筒状体５および開口３を通して常時外部に開放されてい
る。そして、筒状体５を超電導状態に転移させることに
より、筒状体５内をマイスナー効果による超電導磁気シ
ールド状態にする。これにより、磁気シールドルーム１
内は外部に開放されていても、磁気シールドルーム１内
には磁気的に密閉された磁気シールド空間Ａが形成され
る。また、従来のような戸扉４がないので磁気シールド
ルーム１に対する出入りが容易となって、磁気シールド
ルーム１における出入口開口部の使い勝手が良好にな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、パーマロイ等の磁気シ
ールド材からなる側壁、天井および床等の室構成部材に
より比較的大型の磁気シールド空間が形成された磁気シ
ールドルームに関し、特にこの磁気シールドルームに対
して出入りするための磁気シールドルーム出入口開口部
に関する。
ールド材からなる側壁、天井および床等の室構成部材に
より比較的大型の磁気シールド空間が形成された磁気シ
ールドルームに関し、特にこの磁気シールドルームに対
して出入りするための磁気シールドルーム出入口開口部
に関する。
【０００２】
【従来の技術】生体磁場計測や精密物理計測等の微小磁
場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の分野においては
磁気シールド空間が必要であり、このためこれらの分野
においては、従来比較的大型の磁気シールド空間が形成
された磁気シールドルームが用いられている。
場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の分野においては
磁気シールド空間が必要であり、このためこれらの分野
においては、従来比較的大型の磁気シールド空間が形成
された磁気シールドルームが用いられている。
【０００３】図９に示すように、従来の磁気シールドル
ーム１は、パーマロイからなる側壁２、天井（不図示）
および床（不図示）の室構成部材により形成されてい
る。そして、この磁気シールドルーム１に対して出入り
するために、開口３が側壁２に設けられているととも
に、磁気シールド空間Ａ内の磁気遮蔽性能を保持するた
めに、パーマロイからなる戸扉４がこの開口３に開閉可
能に設けられている。
ーム１は、パーマロイからなる側壁２、天井（不図示）
および床（不図示）の室構成部材により形成されてい
る。そして、この磁気シールドルーム１に対して出入り
するために、開口３が側壁２に設けられているととも
に、磁気シールド空間Ａ内の磁気遮蔽性能を保持するた
めに、パーマロイからなる戸扉４がこの開口３に開閉可
能に設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の磁気シールドルーム１では、パーマロイからなる戸
扉４が、磁気遮蔽性能を保持しながら磁気的に導通を図
る必要があることから、複雑な構造となっている。そし
て、磁気シールドルーム１の磁気遮蔽性能を高くしよう
とすれば高くするほど、この戸扉４の構造がより複雑と
なるため、戸扉４の製造がより一層難しくなるばかりで
なく、重量が大きくなってしまう。このため、戸扉４の
施工性が悪いばかりでなく、コストが高いものとなり、
しかも戸扉４の開閉の容易性、すなわち使い勝手が悪い
という問題がある。
来の磁気シールドルーム１では、パーマロイからなる戸
扉４が、磁気遮蔽性能を保持しながら磁気的に導通を図
る必要があることから、複雑な構造となっている。そし
て、磁気シールドルーム１の磁気遮蔽性能を高くしよう
とすれば高くするほど、この戸扉４の構造がより複雑と
なるため、戸扉４の製造がより一層難しくなるばかりで
なく、重量が大きくなってしまう。このため、戸扉４の
施工性が悪いばかりでなく、コストが高いものとなり、
しかも戸扉４の開閉の容易性、すなわち使い勝手が悪い
という問題がある。
【０００５】また、磁気シールドルーム１を医療用に用
いた場合には、磁気シールド空間Ａが密閉空間となって
いるため、この密閉空間により、磁気シールドルーム１
内にいる患者は不安感を抱くばかりでなく、戸扉４が設
けられているため、緊急時に患者の室外への脱出が難し
いという問題がある。
いた場合には、磁気シールド空間Ａが密閉空間となって
いるため、この密閉空間により、磁気シールドルーム１
内にいる患者は不安感を抱くばかりでなく、戸扉４が設
けられているため、緊急時に患者の室外への脱出が難し
いという問題がある。
【０００６】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであって、その目的は、施工性がよく安価に形成
することができるとともに使い勝手が良好である磁気シ
ールドルームにおける出入口開口部を提供することであ
る。
たものであって、その目的は、施工性がよく安価に形成
することができるとともに使い勝手が良好である磁気シ
ールドルームにおける出入口開口部を提供することであ
る。
【０００７】また、本発明の他の目的は、磁気シールド
ルームを医療用に用いても患者の不安感をなくすととも
に、緊急時の脱出を容易にすることのできる磁気シール
ドルームにおける出入口開口部を提供することである。
ルームを医療用に用いても患者の不安感をなくすととも
に、緊急時の脱出を容易にすることのできる磁気シール
ドルームにおける出入口開口部を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、パーマロイ等の磁気シールド
材からなる側壁、天井および床等の室構成部材により磁
気シールド空間が形成されている磁気シールドルームに
おいて、前記側壁に形成された開口と、この開口周縁の
前記側壁に設けられ超電導材からなる筒状体とから形成
されていることを特徴としている。
めに、請求項１の発明は、パーマロイ等の磁気シールド
材からなる側壁、天井および床等の室構成部材により磁
気シールド空間が形成されている磁気シールドルームに
おいて、前記側壁に形成された開口と、この開口周縁の
前記側壁に設けられ超電導材からなる筒状体とから形成
されていることを特徴としている。
【０００９】また請求項２の発明は、前記側壁に、前記
磁気シールド材からなる筒状突出部が前記開口から突設
されているとともに、前記超電導材からなる筒状体が前
記筒状突出部の外周に嵌合されて前記側壁に固定されて
いることを特徴としている。更に請求項３の発明は、前
記筒状突出部に、長手方向と直交する方向に延びる所定
数の孔が長手方向に沿って穿設されていることを特徴と
している。
磁気シールド材からなる筒状突出部が前記開口から突設
されているとともに、前記超電導材からなる筒状体が前
記筒状突出部の外周に嵌合されて前記側壁に固定されて
いることを特徴としている。更に請求項３の発明は、前
記筒状突出部に、長手方向と直交する方向に延びる所定
数の孔が長手方向に沿って穿設されていることを特徴と
している。
【００１０】
【作用】このように構成された本発明においては、従来
のような戸扉が設けられなく、磁気シールドルーム内
は、常時外部に開放されるようになる。そして、超電導
材からなる筒状体を超電導状態に転移させることによ
り、筒状体内がマイスナー効果による超電導磁気シール
ド状態にされる。これにより、磁気シールドルーム内は
外部に開放されていても、磁気的に密閉された磁気シー
ルド空間が形成される。
のような戸扉が設けられなく、磁気シールドルーム内
は、常時外部に開放されるようになる。そして、超電導
材からなる筒状体を超電導状態に転移させることによ
り、筒状体内がマイスナー効果による超電導磁気シール
ド状態にされる。これにより、磁気シールドルーム内は
外部に開放されていても、磁気的に密閉された磁気シー
ルド空間が形成される。
【００１１】また、従来のような戸扉が設けられないこ
とから、磁気シールドルームに対する出入りの際戸扉を
いちいち開閉する必要がなくなるので、磁気シールドル
ームに対する出入りが容易となって、磁気シールドルー
ムにおける出入口開口部の使い勝手が良好になる。
とから、磁気シールドルームに対する出入りの際戸扉を
いちいち開閉する必要がなくなるので、磁気シールドル
ームに対する出入りが容易となって、磁気シールドルー
ムにおける出入口開口部の使い勝手が良好になる。
【００１２】更に、本実施例の出入口開口部を、換気用
開口部および信号ケーブル用開口部に兼用することによ
り、磁気シールド性能低下につながるこれらの換気用開
口部および信号ケーブル用開口部を別途設ける必要がな
くなる。したがって、磁気シールド性能低下が防止され
るとともに、これらの開口部の加工が不要となりコスト
が低減する。
開口部および信号ケーブル用開口部に兼用することによ
り、磁気シールド性能低下につながるこれらの換気用開
口部および信号ケーブル用開口部を別途設ける必要がな
くなる。したがって、磁気シールド性能低下が防止され
るとともに、これらの開口部の加工が不要となりコスト
が低減する。
【００１３】更に、本発明の磁気シールドルームを医療
用として用いた場合、磁気シールドルーム内が常時外部
に開放していることから、医療の作業効率が向上すると
ともに、緊急時の患者等の脱出が容易となり、そのうえ
患者は密閉による不安感を抱くことがなくなる。
用として用いた場合、磁気シールドルーム内が常時外部
に開放していることから、医療の作業効率が向上すると
ともに、緊急時の患者等の脱出が容易となり、そのうえ
患者は密閉による不安感を抱くことがなくなる。
【００１４】更に、例えば生体磁場計測や精密物理計測
等の微小磁場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の医療
用以外に本発明の磁気シールドルームを用いた場合に
も、同様に戸扉を開閉することはないので、それらの作
業効率が向上する。
等の微小磁場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の医療
用以外に本発明の磁気シールドルームを用いた場合に
も、同様に戸扉を開閉することはないので、それらの作
業効率が向上する。
【００１５】更に、磁気シールド性能が高くなるほどコ
ストが高くなる戸扉が不要となるので、きわめて高い磁
気シールド性能を有する磁気シールドルームの製造コス
トを低減することができる。
ストが高くなる戸扉が不要となるので、きわめて高い磁
気シールド性能を有する磁気シールドルームの製造コス
トを低減することができる。
【００１６】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例について
説明する。図１は、本発明にかかる磁気シールドルーム
における出入口開口部の一実施例を模式的に示す、図９
と同様の断面図である。なお、前述の従来の磁気シール
ドルームと同じ構成要素には同じ符号を付すことによ
り、その説明は省略する。
説明する。図１は、本発明にかかる磁気シールドルーム
における出入口開口部の一実施例を模式的に示す、図９
と同様の断面図である。なお、前述の従来の磁気シール
ドルームと同じ構成要素には同じ符号を付すことによ
り、その説明は省略する。
【００１７】図１に示すように、この実施例では、前述
の従来の磁気シールドルームにおける戸扉４は設けられ
ていなく、側壁２の開口３には超電導体磁気シールド体
からなる筒状体５が設けられている。その場合、筒状体
５の一部５ａが開口３を貫通して磁気シールド空間Ａ内
に突設されている。この筒状体５の断面形状は四角形を
始めとする多角形、円形、楕円形あるいは長円形等の適
宜の断面形状に形成されている。この筒状体５により、
磁気シールドルーム１内の磁気シールド空間Ａは常時外
部に開放されている。
の従来の磁気シールドルームにおける戸扉４は設けられ
ていなく、側壁２の開口３には超電導体磁気シールド体
からなる筒状体５が設けられている。その場合、筒状体
５の一部５ａが開口３を貫通して磁気シールド空間Ａ内
に突設されている。この筒状体５の断面形状は四角形を
始めとする多角形、円形、楕円形あるいは長円形等の適
宜の断面形状に形成されている。この筒状体５により、
磁気シールドルーム１内の磁気シールド空間Ａは常時外
部に開放されている。
【００１８】そして、磁気シールドルーム１に対する出
入りは筒状体５を通って行われるようになっている。す
なわち、開口３および筒状体５により、本発明の出入口
開口部が構成されている。この筒状体５において要求さ
れる磁気遮蔽率は、筒状体５の長さをＬ、筒状体５の径
を２Ｒとすると、 要求磁気遮蔽率 ≧ ｅｘｐ｛ー（ｋＬ）／（２Ｒ）｝ （ｋ：定数） で表される。したがって、この要求磁気遮蔽率が得られ
るように、筒状体５の超電導磁気シールド体を超電導状
態に転移させるようにする。
入りは筒状体５を通って行われるようになっている。す
なわち、開口３および筒状体５により、本発明の出入口
開口部が構成されている。この筒状体５において要求さ
れる磁気遮蔽率は、筒状体５の長さをＬ、筒状体５の径
を２Ｒとすると、 要求磁気遮蔽率 ≧ ｅｘｐ｛ー（ｋＬ）／（２Ｒ）｝ （ｋ：定数） で表される。したがって、この要求磁気遮蔽率が得られ
るように、筒状体５の超電導磁気シールド体を超電導状
態に転移させるようにする。
【００１９】このように構成されている本実施例の磁気
シールドルーム１においては、従来のような戸扉が設け
られなく、磁気シールドルーム１内は、開口３および筒
状体５を通して常時外部に開放されるようになる。そし
て、筒状体５の超電導磁気シールド体を超電導状態に転
移させることにより、筒状体５内をマイスナー効果によ
る超電導磁気シールド状態にする。これにより、磁気シ
ールドルーム１内は外部に開放されていても、磁気シー
ルドルーム１内には、従来のパーマロイからなる磁気シ
ールド空間と同様の磁気的に密閉された磁気シールド空
間Ａが形成される。
シールドルーム１においては、従来のような戸扉が設け
られなく、磁気シールドルーム１内は、開口３および筒
状体５を通して常時外部に開放されるようになる。そし
て、筒状体５の超電導磁気シールド体を超電導状態に転
移させることにより、筒状体５内をマイスナー効果によ
る超電導磁気シールド状態にする。これにより、磁気シ
ールドルーム１内は外部に開放されていても、磁気シー
ルドルーム１内には、従来のパーマロイからなる磁気シ
ールド空間と同様の磁気的に密閉された磁気シールド空
間Ａが形成される。
【００２０】また、従来のような戸扉４が設けられない
ことから、磁気シールドルーム１に対する出入りの際戸
扉をいちいち開閉する必要がなくなるので、磁気シール
ドルーム１に対する出入りが容易となって、磁気シール
ドルーム１における出入口開口部の使い勝手が良好にな
る。
ことから、磁気シールドルーム１に対する出入りの際戸
扉をいちいち開閉する必要がなくなるので、磁気シール
ドルーム１に対する出入りが容易となって、磁気シール
ドルーム１における出入口開口部の使い勝手が良好にな
る。
【００２１】更に、本実施例の出入口開口部を、換気用
開口部および信号ケーブル用開口部に兼用することによ
り、磁気シールド性能低下につながるこれらの換気用開
口部および信号ケーブル用開口部を別途設ける必要がな
くなる。したがって、磁気シールド性能低下が防止され
るとともに、これらの開口部の加工が不要となりコスト
が低減する。
開口部および信号ケーブル用開口部に兼用することによ
り、磁気シールド性能低下につながるこれらの換気用開
口部および信号ケーブル用開口部を別途設ける必要がな
くなる。したがって、磁気シールド性能低下が防止され
るとともに、これらの開口部の加工が不要となりコスト
が低減する。
【００２２】更に、本実施例の磁気シールドルーム１を
医療用として用いた場合、磁気シールドルーム１内が常
時外部に開放していることから、医療の作業効率が向上
するとともに、緊急時の患者等の脱出が容易となり、そ
のうえ患者は密閉による不安感を抱くことがなくなる。
医療用として用いた場合、磁気シールドルーム１内が常
時外部に開放していることから、医療の作業効率が向上
するとともに、緊急時の患者等の脱出が容易となり、そ
のうえ患者は密閉による不安感を抱くことがなくなる。
【００２３】更に、例えば生体磁場計測や精密物理計測
等の微小磁場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の医療
用以外に本実施例の磁気シールドルーム１を用いた場合
にも、同様に戸扉を開閉することはないので、それらの
作業効率が向上する。
等の微小磁場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の医療
用以外に本実施例の磁気シールドルーム１を用いた場合
にも、同様に戸扉を開閉することはないので、それらの
作業効率が向上する。
【００２４】更に、磁気シールド性能が高くなるほどコ
ストが高くなる戸扉が不要となるので、きわめて高い磁
気シールド性能を有する磁気シールドルームの製造コス
トを低減することができる。
ストが高くなる戸扉が不要となるので、きわめて高い磁
気シールド性能を有する磁気シールドルームの製造コス
トを低減することができる。
【００２５】図２は、本発明の他の実施例を示す図１と
同様の断面図である。図２に示すように、この実施例の
超電導磁気シールド体からなる筒状体５では、前述の図
１に示す実施例における磁気シールド空間Ａ内に突出す
る突出部５ａが外方にフランジ状に折り曲げられている
とともに、この突出部５ａが開口３周縁の側壁２に固定
されている。
同様の断面図である。図２に示すように、この実施例の
超電導磁気シールド体からなる筒状体５では、前述の図
１に示す実施例における磁気シールド空間Ａ内に突出す
る突出部５ａが外方にフランジ状に折り曲げられている
とともに、この突出部５ａが開口３周縁の側壁２に固定
されている。
【００２６】図３は、本発明の更に他の実施例を示す図
１と同様の断面図である。図３に示すように、この実施
例では、前述の図１に示す実施例の筒状体と同じ材料か
らなる筒状体５が開口３を貫通することなく、開口３周
縁の側壁２の外面に固定されている。すなわち、筒状体
５の断面積が開口３の断面積より大きく設定されてい
る。
１と同様の断面図である。図３に示すように、この実施
例では、前述の図１に示す実施例の筒状体と同じ材料か
らなる筒状体５が開口３を貫通することなく、開口３周
縁の側壁２の外面に固定されている。すなわち、筒状体
５の断面積が開口３の断面積より大きく設定されてい
る。
【００２７】図４は、本発明の更に他の実施例を示す図
１と同様の断面図である。図４に示すように、この実施
例では、前述の図３に示す実施例の筒状体の固定側端部
５ｂが外方にフランジ状に折り曲げられているととも
に、この固定側端部５ｂが開口３周縁の側壁２の外面に
固定されている。
１と同様の断面図である。図４に示すように、この実施
例では、前述の図３に示す実施例の筒状体の固定側端部
５ｂが外方にフランジ状に折り曲げられているととも
に、この固定側端部５ｂが開口３周縁の側壁２の外面に
固定されている。
【００２８】図５は、本発明の更に他の実施例を示す図
１と同様の断面図である。図５に示すように、この実施
例では、磁気シールドルーム１の本体１ａの開口３周縁
の側壁２に、外方に突出する筒状突出部２ａが形成され
ているとともに、この筒状突出部２ａの外周に超電導磁
気シールド体からなる筒状体５が嵌合されて固定されて
いる。その場合、筒状突出部２ａの長さＬ1は筒状体５
の長さＬ2の２分の１以下に、すなわちＬ1≦Ｌ2となる
ように設定されている。図２ないし図５に示す各実施例
の磁気シールドルーム１は、ともに図１に示す実施例の
磁気シールドルーム１とほぼ同じ作用効果を奏する。
１と同様の断面図である。図５に示すように、この実施
例では、磁気シールドルーム１の本体１ａの開口３周縁
の側壁２に、外方に突出する筒状突出部２ａが形成され
ているとともに、この筒状突出部２ａの外周に超電導磁
気シールド体からなる筒状体５が嵌合されて固定されて
いる。その場合、筒状突出部２ａの長さＬ1は筒状体５
の長さＬ2の２分の１以下に、すなわちＬ1≦Ｌ2となる
ように設定されている。図２ないし図５に示す各実施例
の磁気シールドルーム１は、ともに図１に示す実施例の
磁気シールドルーム１とほぼ同じ作用効果を奏する。
【００２９】図６、図７および図８は、本発明の更に他
の実施例を示す斜視図である。図６に示すように、この
実施例の磁気シールドルーム１は、図５に示す実施例の
磁気シールドルーム１とほぼ同じである構成を有してい
るが、この実施例では、筒状突出部２ａに所定数の円弧
状の孔２ｂ,２ｂ,…（図示例では６個）が長手方向に沿
って設けられている。その場合、筒状突出部２ａの固定
側端部２ｃにはこれらの孔２ｂは設けられなく、したが
って筒状突出部２ａの固定側端部２ｃは全周にわたって
本体１ａに固定されていて、筒状突出部２ａから本体１
ａへの横磁場の通り道が形成されるようになっている。
の実施例を示す斜視図である。図６に示すように、この
実施例の磁気シールドルーム１は、図５に示す実施例の
磁気シールドルーム１とほぼ同じである構成を有してい
るが、この実施例では、筒状突出部２ａに所定数の円弧
状の孔２ｂ,２ｂ,…（図示例では６個）が長手方向に沿
って設けられている。その場合、筒状突出部２ａの固定
側端部２ｃにはこれらの孔２ｂは設けられなく、したが
って筒状突出部２ａの固定側端部２ｃは全周にわたって
本体１ａに固定されていて、筒状突出部２ａから本体１
ａへの横磁場の通り道が形成されるようになっている。
【００３０】これにより、筒状突出部２ａは磁気的に一
部導通するようになり、その場合横磁場の通り道は筒状
突出部２ａの周方向部分から形成されるとともに、縦磁
場の筒状突出部２ａの長手方向部分から形成される。ま
た、図７に示す実施例では、筒状突出部２ａに孔が何等
設けられていなく、したがって、筒状突出部２ａは全体
が磁気的に導通するようになっている。
部導通するようになり、その場合横磁場の通り道は筒状
突出部２ａの周方向部分から形成されるとともに、縦磁
場の筒状突出部２ａの長手方向部分から形成される。ま
た、図７に示す実施例では、筒状突出部２ａに孔が何等
設けられていなく、したがって、筒状突出部２ａは全体
が磁気的に導通するようになっている。
【００３１】そして、図６および図７に示すように筒状
突出部２ａを構成することにより、図８に示すように筒
状突出部２ａの長さＬ1と筒状体５の長さＬ2とが等しく
なるように、すなわちＬ1＝Ｌ2＝Ｌとなるように設定す
ることができる。したがって、筒状突出部２ａの長さを
短くすることができるようになり、その分設置スペース
が少なくて済み、設置スペースの自由度が向上する。ま
た、筒状突出部２ａの長さが短くなることから、高価な
超電導体の使用量を少なくできるので、コストが低減す
る。なお、図６ないし図８に示す実施例においても図１
に示す実施例と同じ作用効果を奏する。
突出部２ａを構成することにより、図８に示すように筒
状突出部２ａの長さＬ1と筒状体５の長さＬ2とが等しく
なるように、すなわちＬ1＝Ｌ2＝Ｌとなるように設定す
ることができる。したがって、筒状突出部２ａの長さを
短くすることができるようになり、その分設置スペース
が少なくて済み、設置スペースの自由度が向上する。ま
た、筒状突出部２ａの長さが短くなることから、高価な
超電導体の使用量を少なくできるので、コストが低減す
る。なお、図６ないし図８に示す実施例においても図１
に示す実施例と同じ作用効果を奏する。
【００３２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、磁気シールドルーム内が超電導材からなる筒
状体を通して外部に常時開放されるとともに、筒状体の
内部が超電導状態に転移されることにより超電導磁気シ
ールド状態にされるようにしているので、磁気的に密閉
された磁気シールド空間を確実に形成することができ
る。
によれば、磁気シールドルーム内が超電導材からなる筒
状体を通して外部に常時開放されるとともに、筒状体の
内部が超電導状態に転移されることにより超電導磁気シ
ールド状態にされるようにしているので、磁気的に密閉
された磁気シールド空間を確実に形成することができ
る。
【００３３】また、従来のような戸扉を設けないで、磁
気シールドルームに対する出入りの際戸扉をいちいち開
閉する必要をなくしているので、磁気シールドルームに
対する出入りが容易となって、磁気シールドルームにお
ける出入口開口部の使い勝手が良好になる。
気シールドルームに対する出入りの際戸扉をいちいち開
閉する必要をなくしているので、磁気シールドルームに
対する出入りが容易となって、磁気シールドルームにお
ける出入口開口部の使い勝手が良好になる。
【００３４】更に、本実施例の出入口開口部を、換気用
開口部および信号ケーブル用開口部に兼用することによ
り、磁気シールド性能低下につながるこれらの換気用開
口部および信号ケーブル用開口部を別途設ける必要をな
くしているので、磁気シールド性能の低下を防止できる
とともに、これらの開口部の加工が不要となるので、コ
ストを低減できる。
開口部および信号ケーブル用開口部に兼用することによ
り、磁気シールド性能低下につながるこれらの換気用開
口部および信号ケーブル用開口部を別途設ける必要をな
くしているので、磁気シールド性能の低下を防止できる
とともに、これらの開口部の加工が不要となるので、コ
ストを低減できる。
【００３５】更に、本発明の磁気シールドルームを医療
用として用いた場合、磁気シールドルーム内が常時外部
に開放していることから、医療の作業効率を向上できる
とともに、緊急時の患者等の脱出を容易にでき、そのう
え患者に密閉による不安感を抱かせることはなくなる。
用として用いた場合、磁気シールドルーム内が常時外部
に開放していることから、医療の作業効率を向上できる
とともに、緊急時の患者等の脱出を容易にでき、そのう
え患者に密閉による不安感を抱かせることはなくなる。
【００３６】更に、例えば生体磁場計測や精密物理計測
等の微小磁場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の医療
用以外に本発明の磁気シールドルームを用いた場合に
も、同様に戸扉を開閉することはないので、それらの作
業効率を向上できる。
等の微小磁場計測、半導体製造装置のＥＢ露光等の医療
用以外に本発明の磁気シールドルームを用いた場合に
も、同様に戸扉を開閉することはないので、それらの作
業効率を向上できる。
【００３７】更に、磁気シールド性能が高くなるほどコ
ストが高くなる戸扉が不要となるので、きわめて高い磁
気シールド性能を有する磁気シールドルームの製造コス
トを低減することができる。
ストが高くなる戸扉が不要となるので、きわめて高い磁
気シールド性能を有する磁気シールドルームの製造コス
トを低減することができる。
【図１】 本発明にかかる磁気シールドルームにおける
出入口開口部の一実施例を模式的に示す断面図である。
出入口開口部の一実施例を模式的に示す断面図である。
【図２】 本発明の他の実施例を模式的に示す断面図で
ある。
ある。
【図３】 本発明の更に他の実施例を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図４】 本発明の更に他の実施例を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図５】 本発明の更に他の実施例を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図６】 本発明の更に他の実施例を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図７】 本発明の更に他の実施例を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図８】 本発明の更に他の実施例を模式的に示す断面
図である。
図である。
【図９】 従来の磁気シールドルームの断面図である。
１…磁気シールドルーム、１ａ…本体、２…側壁、２ａ
…筒状突出部、２ｂ…孔、２ｃ…筒状突出部の固定端
部、３…開口、５…筒状体
…筒状突出部、２ｂ…孔、２ｃ…筒状突出部の固定端
部、３…開口、５…筒状体
フロントページの続き (72)発明者 小嶋正太 東京都千代田区丸の内一丁目８番２号 同 和鉱業株式会社内 (72)発明者 長谷山秀悦 東京都千代田区丸の内一丁目８番２号 同 和鉱業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 パーマロイ等の磁気シールド材からなる
側壁、天井および床等の室構成部材により磁気シールド
空間が形成されている磁気シールドルームにおいて、 前記側壁に形成された開口と、この開口周縁の前記側壁
に設けられ超電導材からなる筒状体とから形成されてい
ることを特徴とする磁気シールドルームにおける出入口
開口部。 - 【請求項２】 前記側壁に、前記磁気シールド材からな
る筒状突出部が前記開口から突設されているとともに、
前記超電導材からなる筒状体が前記筒状突出部の外周に
嵌合されて前記側壁に固定されていることを特徴とする
請求項１記載の磁気シールドルームにおける出入口開口
部。 - 【請求項３】 前記筒状突出部に、長手方向と直交する
方向に延びる所定数の孔が長手方向に沿って穿設されて
いることを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルー
ムにおける出入口開口部。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264533A JPH07122886A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 磁気シールドルームにおける出入口開口部 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5264533A JPH07122886A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 磁気シールドルームにおける出入口開口部 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122886A true JPH07122886A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17404588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5264533A Pending JPH07122886A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | 磁気シールドルームにおける出入口開口部 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122886A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6265723B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-07-24 | Nec Corporation | Magnetic shield apparatus |
| JP2008053499A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Takenaka Komuten Co Ltd | 多層磁気シールドルーム |
-
1993
- 1993-10-22 JP JP5264533A patent/JPH07122886A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6265723B1 (en) | 1997-12-22 | 2001-07-24 | Nec Corporation | Magnetic shield apparatus |
| EP0924749A3 (en) * | 1997-12-22 | 2002-10-02 | Nec Corporation | Magnetic shield apparatus |
| JP2008053499A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Takenaka Komuten Co Ltd | 多層磁気シールドルーム |
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