JPH07122888A - 半導体装置の移し換え治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体装置をトレーからトレーへ移し換える
とき、外部リードが移し換え治具などによって曲がるの
を防ぐ。 【構成】 移し換え治具３の下面に、トレー上に収納さ
れた複数の半導体装置１に夫々対向する位置に吸着口５
を設け、この吸着口が外部の真空源に連結される真空ポ
ンプ接続口８に連通されている。吸着口には所望の半導
体装置のみを吸着させるために、不要の吸着口には閉鎖
部材７を着脱自在に装着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の製造におい
て半導体をトレーからトレーへ移し換えるときに使用す
る半導体装置の移し換え治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、トレーに収納されている半導体装
置の他のトレーへの移し換えはピンセットを用いて１個
ずつ挟んで行っていた。またピンセットを用いずに移し
換えを行う技術としては、例えば特開昭５９−１８９６
４４号公報によると、図４に示すように、穴１２のあい
たトレーの下面に沿って移動できるスライド板１３を有
する治具１０を上下に重ね、半導体装置を載せた上方の
トレーのスライド板をスライドさせて、半導体装置を上
方のトレーから下方のトレーへ移し換えていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】これら従来の治具で
は、半導体装置のトレーからトレーへの移し換えのとき
に、トレーの一部分が半導体装置の外部リードに触れて
しまうためにリード曲がりを起こしリードの成形寸法の
維持が困難であった。また、スライド板を下面に有する
トレーは、半導体装置を上方のトレーから下方のトレー
へ落下させるように構成されているため、落下時にリー
ド曲がりを発生させるという問題点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の移し換え治具
は、半導体装置を収納するための複数の穴が、各々互い
に対応する位置に配列されているトレー間で半導体装置
を移し換えるための移し換え治具において、前記移し換
え治具の下面に、前記トレーの複数の穴の夫々に対応す
る位置に少くとも１個の、半導体装置を真空により吸着
するための吸着口が設けられており、これら吸着口が、
前記移し換え治具に設けられて外部真空源に接続される
真空接続口に連通しており、前記吸着口には、これら吸
着口を選択的に気密に閉鎖するための閉鎖部材が着脱可
能に設けられている構成を有する。

【０００５】吸着口は半導体装置１個に対して１個ずつ
設けられるが、吸着力を強化するため２個または２個以
上ずつ設けてもよい。半導体装置を吸着するために閉鎖
部材が取付けられていない吸着口の外端部には、半導体
装置を吸着したとき、半導体装置との間の気密を保つシ
ール部材が着脱可能に設けられている。

【０００６】

【作用】トレー上の穴に収納された半導体装置１を他の
トレーへ移し換えるときは、移し換えの対象となる半導
体装置１を吸着する吸着口５にはパッキン４を、吸着し
ない吸着口５にはゴムふた７を装着した移し換え治具３
を、図３に示すように、半導体装置１が収納されている
トレー９の上方から重ねあわせて各吸着口５をこれに対
応する半導体装置１に係合させる。このとき、真空ポン
プ接続口８より、真空ポンプ（不図示）により移し換え
治具３の真空部６を真空にし、半導体装置１を吸着す
る。次に半導体装置１を吸着した状態で移し換え治具３
を上方から空トレーへ重ね、真空状態を解除して半導体
装置１を空のトレーへ移し、次いで移し換え治具３を取
り去り半導体装置１の移し換えを終了する。

【０００７】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図３に示すように移し換え治具３は、移し換えの対
象となる半導体装置１を収納する穴が上面に配列された
トレー９の形状に対応する形状を有し、その下面には、
図１（Ａ）に示すようにトレー９上に配列された穴に対
応する位置に半導体装置１を吸着するための複数の吸着
口５が設けられている。これらの吸着口５は、図３に示
すように移し換え治具３に設けられた真空ポンプ接続口
８に、この治具３の内部に設けられた真空部６を介して
連通している。

【０００８】また、吸着口５の下端部には、半導体装置
１を吸着したとき気密を保つためのゴムなどからなるシ
ール部材であるパッキン４が設けられているが、トレー
９上の半導体装置１を選択的に吸着するとき、吸着を行
なわない吸着口５には図１（Ｂ）に示すように閉鎖部材
であるゴムふた７を装着して吸着を防ぐことができる。
移し換え治具３の下面の吸着口５の周りには、半導体装
置１を吸着するときその上端部周りに係合して位置決め
するための突出部１４が設けられているが、この突出部
１４は、半導体３が吸着されたとき、その外部リード２
には接触しない構造になっている。このような構成によ
り、半導体装置１が吸着口５に吸着されたとき、その外
部リード２が移し換え治具３のどの部分にも接触するこ
とはなく固定されるので、半導体装置の外部リードの曲
がりの発生を防ぐことができる。また、移し換え治具３
から半導体装置１を空のトレーへ移すときは、治具３を
空のトレーの上に重ね合わせた後に真空を解除して半導
体装置を移すので、その落下に起因する外部リードの曲
がりは発生することはない。

【０００９】図２は本発明の第２実施例の半導体装置吸
着時の治具の断面図である。吸着口５を２ケ所設けるこ
とにより半導体装置１の吸着時の固定度が補強される。

【００１０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体装
置を移し換えるとき、真空吸着を用いることにより、半
導体装置の外部リードの移し換え治具への接触と、半導
体装置のトレー上への落下を防止したので、移し換え作
業中の半導体装置の外部リードの曲がり発生率を格段に
減少するという結果を有する。従来技術によるリード曲
がり発生率と本発明によるリード曲がり発生率との比較
は図５に示す通りである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は本発明の移し換え治具の一実施例の部
分断面図。（Ｂ）は本発明の移し換え治具の一実施例の
部分断面図。

【図２】本発明の第２の実施例の部分断面図。

【図３】本発明の移し換え治具による移し換え作業の一
例を示す斜視図。

【図４】従来例の断面図。

【図５】リード曲がり発生率を示す図。

【符号の説明】

１ 半導体装置 ２ 外部リード ３ 移し換え治具 ４ シール部材 ５ 吸着口 ６ 真空部 ７ 閉鎖部分 ８ 真空ポンプ接続口 ９ トレー １０ 従来治具

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置を収納するための複数の穴
   が、各々互いに対応する位置に配列されているトレー間
   で半導体装置を移し換えるための移し換え治具におい
   て、 前記移し換え治具の下面に、前記トレーの複数の穴の夫
   々に対応する位置に少くとも１個の、半導体装置を真空
   により吸着するための吸着口が設けられており、これら
   吸着口が、前記移し換え治具に設けられて外部真空源に
   接続される真空ポンプ接続口に連通しており、 前記吸着口には、これら吸着口を選択的に気密に閉鎖す
   るための閉鎖部材が着脱可能に設けられていることを特
   徴とする半導体装置の移し換え治具。
2. 【請求項２】 トレーの複数の穴の夫々に対応する位置
   に吸着口が１個ずつ設けられている請求項１記載の半導
   体装置の移し換え治具。
3. 【請求項３】 トレーの複数の穴の夫々に対応する位置
   に吸着口が２個ずつ設けられている請求項１記載の半導
   体装置の移し換え治具。
4. 【請求項４】 閉鎖部材が取付けられていない吸着口の
   外端部に、半導体装置を吸着したとき半導体装置との間
   の気密を保つシール部材が着脱可能に設けられている請
   求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体装置の移し換
   え治具。