JPH07122933B2 - 磁気記録ディスク及びその製造方法 - Google Patents

磁気記録ディスク及びその製造方法

Info

Publication number
JPH07122933B2
JPH07122933B2 JP5150247A JP15024793A JPH07122933B2 JP H07122933 B2 JPH07122933 B2 JP H07122933B2 JP 5150247 A JP5150247 A JP 5150247A JP 15024793 A JP15024793 A JP 15024793A JP H07122933 B2 JPH07122933 B2 JP H07122933B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
coating
nickel
nickel oxide
underlayer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP5150247A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0676279A (ja
Inventor
メアリー・エフ・デルナー
タダシ・ヨギ
アンソニー・ウー
ダン・エス・パーカー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of JPH0676279A publication Critical patent/JPH0676279A/ja
Publication of JPH07122933B2 publication Critical patent/JPH07122933B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
    • G11B5/82—Disk carriers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B25/00—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus
    • G11B25/04—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card
    • G11B25/043—Apparatus characterised by the shape of record carrier employed but not specific to the method of recording or reproducing, e.g. dictating apparatus; Combinations of such apparatus using flat record carriers, e.g. disc, card using rotating discs
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/14—Reducing influence of physical parameters, e.g. temperature change, moisture, dust
    • G11B33/148—Reducing friction, adhesion, drag
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
    • G11B5/727—Inorganic carbon protective coating, e.g. graphite, diamond like carbon or doped carbon
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
    • G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
    • G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
    • G11B5/739—Magnetic recording media substrates
    • G11B5/73911—Inorganic substrates
    • G11B5/73913—Composites or coated substrates
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
    • G11B5/739—Magnetic recording media substrates
    • G11B5/73911—Inorganic substrates
    • G11B5/73917—Metallic substrates, i.e. elemental metal or metal alloy substrates
    • G11B5/73919—Aluminium or titanium elemental or alloy substrates
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/90—Magnetic feature
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12736—Al-base component
    • Y10T428/1275—Next to Group VIII or IB metal-base component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜金属合金磁気記録
ディスク及びこのディスクを製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来型の回転する剛性ディスク・ファイ
ルでは、各読取り／書込み変換器（またはヘッド）が、
キャリア（またはスライダ）上に支持されており、この
キャリアは、ディスクがその動作速度で回転していると
き、その関連するディスクの表面の上方のクッションま
たは空気軸受上に載っている。スライダは、比較的もろ
いサスペンションによって線形または回転式のアクチュ
エータに連結されている。ディスク・ファイル内に複数
のディスクのスタックがあり、アクチュエータが複数の
スライダを支持することもある。アクチュエータは、各
ヘッドがその関連するディスク表面の記録領域にアクセ
スできるように、スライダを半径方向に移動させる。こ
うした従来型のディスク・ファイルでは、スライダは、
サスペンションからの小さな力によってディスク表面に
向かってバイアスされている。スライダはディスク・フ
ァイルがオンにされた時からディスク表面と接触してお
り、ディスクが十分な速度に達してスライダを空気軸受
上に載せるまでそれが続き、ディスク・ファイルがオフ
にされてディスクの回転速度が空気軸受を生成するのに
必要な速度以下に落ちたとき、再びディスク表面に接触
するので、このようなディスク・ファイルは、接触調歩
式（ＣＳＳ：コンタクト スタート ストップ式）ディ
スク・ファイルと呼ばれる。ＣＳＳディスク・ファイル
では、スライダが接触するのは始動動作と停止動作の時
だけなので、ディスク表面が非常に平滑である必要はな
い。その代わりに、ディスク表面にきめ（テクスチュ
ア）をつけて、スライダがディスク表面上で静止してい
る時にスライダとディスクの間の静止摩擦を減らすこと
が望ましい。
【０００３】上記の従来型のＣＳＳ磁気記録ディスク・
ファイルの他に、「接触」記録式剛性ディスク・ファイ
ルが提唱されている。「液体軸受」接触記録と呼ばれる
形式の接触記録では、ヘッド・ディスク界面は、変換器
キャリアとディスクの間の液体軸受として、液体薄膜を
含む。この形式の接触記録式ディスク・ファイルの例
は、欧州特許出願公告第３６７５１０号として１９９０
年５月９日に公告されている。「乾式」接触記録と呼ば
れるもう１つの形式の接触記録では、ディスク・ファイ
ルは、統合ヘッド・サスペンションを使用し、読取り動
作中及び書込み動作中にそれがディスク表面と物理的に
接触する。たとえば米国特許第５０４１９３２号に記載
されているこの形式のヘッド・サスペンションでは、ヘ
ッドの一部分が、ディスク・ファイルの耐用期間中ずっ
とディスクと摩擦接触するために、実際に摩耗してしま
う。上記の両形式の接触記録式ディスク・ファイルで
は、ヘッドとディスクの間隔が狭いため、ディスク表面
を極めて平滑にすることが必要である。
【０００４】剛性ディスク・ファイルで使用されてきた
１つの形式のディスクは、一般に、ニッケル・リン（Ｎ
ｉＰ）の表面被覆を有するアルミニウム・マグネシウム
（ＡｌＭｇ）合金などの基板と、基板上に磁気層として
スパッタ付着されたＣｏＰｔやＣｏＮｉ合金などコバル
トを主体とする合金と、磁気層の上に形成されたスパッ
タ付着非晶質（アモルファス）水素化炭素被膜などの保
護膜とを含む、薄膜金属合金ディスクである。この薄膜
ディスクは、磁気層及び保護膜に加えて、基板と磁気層
の間にクロム（Ｃｒ）、クロム−バナジウム（Ｃｒ
Ｖ）、タングステン（Ｗ）の層などのスパッタ付着され
た下地層、及び磁気層と保護層の間にＣｒ、Ｗ、チタン
（Ｔｉ）などのスパッタ付着された接着層をも含むこと
ができる。この従来型のディスクはＣＳＳディスク・フ
ァイル用には適切であるが、接触記録ディスク・ファイ
ル中でディスクを使用する場合に必要なようにＡｌＭｇ
−ＮｉＰ基板が非常に平滑に作られているときは、従来
の方法でディスクを製造しながら必要なディスク保磁力
を達成することは不可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、接触
記録ディスク・ファイル中で使用でき、ファイルが、必
要とされる平滑なヘッド・ディスク界面もディスク保磁
力も有することができる、従来のディスク技術に基づく
改良された薄膜金属合金磁気記録ディスクを提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気記録ディ
スク及びこのディスクを製作する方法に関するものであ
る。ディスク基板上の超仕上げしたきめのないＮｉＰ被
覆を酸化して、ＮｉＯ被膜を形成する。このＮｉＯ被膜
により、後でスパッタ付着される磁気層は非常に高い保
磁力を有することができ、そのためにこのディスクが接
触記録の応用例で使用できるようになる。このＮｉＯ被
膜と、後で付着される、ディスクを構成する層は、研磨
されたＮｉＰの平滑な表面と共形（コンフォーム）であ
り、したがって、接触記録式ディスク・ファイルに必要
なディスクの上層の非常に平滑な表面を保存する。
【０００７】基板上にＮｉＯ被膜を形成するための好ま
しい方法では、基板を空気中でＮｉＰ被膜を結晶化させ
る温度より低い温度でアニールする。
【０００８】
【実施例】まず図１には、本発明のディスク・ファイル
の液体軸受接触記録実施例が概略断面図で示されてい
る。ディスク・ファイルは、ベース１０、これに取り付
けたディスク駆動モータ１２とアクチュエータ１４、及
びカバー１１を有する。ベース１０とカバー１１は、デ
ィスク駆動機構の実質的に密閉されたケーシングとな
る。一般に、ベース１０とカバー１１の間にガスケット
１３があり、またディスク・ファイルの内部と外部環境
の間の圧力を等しくするための小さな通気口（図示せ
ず）がある。この形式のディスク・ファイルは、駆動モ
ータ１２が完全にケーシング内にあり、内部の構成要素
を冷却するための外部強制空気供給もないので、実質的
に密封されていると記述される。磁気記録ディスク１６
が、駆動モータ１２によって回転するように取り付けた
ハブ１８上に載っている。読取り／書込みヘッドすなわ
ち変換器（図示せず）が、変換器キャリア２０上に形成
されている。キャリア２０は、剛性アーム２２とサスペ
ンション２４によってアクチュエータ１４に連結され、
サスペンション２４は変換器キャリア２０にバイアス力
を与えて、これを記録ディスク１６の表面に押し付け
る。ディスク・ファイルの動作中、駆動モータ１２がデ
ィスク１６を一定速度で回転させ、また一般に線形また
は回転式のボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）であるア
クチュエータ１４が、変換器キャリア２０を通常はディ
スク１６の表面を横切って半径方向に移動させ、これに
よって読取り／書込みヘッドがディスク１６上の様々な
データ・トラックにアクセスできるようになる。
【０００９】図２は、カバー１１を外したディスク・フ
ァイル内部の上面図であり、潤滑液をデイスク１６の表
面に補給する潤滑液供給手段として働く、環状の潤滑液
だめ３０が示されている。潤滑液の連続した薄膜がデイ
スク１６表面上に維持され、動作中に環状潤滑液だめ３
０から潤滑液が補給される。図２には、サスペンション
２４もより詳しく示してあり、これはキャリア２０に力
をかけて、これをディスク１６上の潤滑液薄膜と接触し
た状態に維持する。サスペンションは、空気軸受スライ
ダを有する磁気ディスク・ファイルで使用されるよう
な、従来型のサスペンションでよい。その１例は、本出
願人の米国特許第４１６７７６５号に記載されているよ
うな、周知のワトラス・サスペンションである。この形
式のサスペンションはまた、変換器キャリアをジンバル
で取り付け、潤滑液上に載ったキャリアの横揺れ縦揺れ
を可能にする。
【００１０】図３は、本発明の液体軸受接触記録実施例
における変換器キャリア２０の側面図及びディスク１６
の断面図である。キャリア２０の後端近くにスキー脚４
０があり、その後縁４４にヘッド４２がある。スキー脚
４０はディスク１６上の液体被膜５０と接触しており、
読取り動作中または書込み動作中、取り付けられたサス
ペンション２４によって与えられるバイアス力によって
接触状態に維持される。
【００１１】図４は、本発明の乾式接触記録実施例にお
ける統合ヘッド・サスペンション２３の側面図及びディ
スク１６の断面図である。統合ヘッド・サスペンション
２３は、図３の液体軸受実施例におけるサスペンション
２４とキャリア２０の両方の機能を果す。ただしそれと
は対照的に、磁極端２７およびコイル２９として示され
ている変換器が、統合ヘッド・サスペンション２３内に
埋め込まれている。ディスク１６表面には液体被膜はな
いので潤滑液だめは必要でなく、ヘッド・サスペンショ
ン２３は、読取り動作中及び書込み動作中にディスク１
６の表面と直接接触する。
【００１２】図５は、本発明のディスク１６の断面図で
ある。ディスク基板６０は、ＮｉＰ表面被覆６２を有す
るＡｌＭｇベース６１を備える。基板は市販のディスク
基板であり、東洋鋼板や日本軽金属などいくつかのベン
ダーから入手できる。ＡｌＭｇは一般に５５８６アルミ
ニウム合金であり、ＮｉＰを厚さ約１０〜１５ミクロン
に無電解めっきする。接触記録の応用分野では、ＮｉＰ
被覆６２の表面が非常に平滑であることが必要である。
したがって、Ａｌ2Ｏ3研磨材による機械的研磨など様々
な既知の技術によって、ＮｉＰ被覆６２を算術平均表面
粗度（Ｒa）が約１０オングストローム未満になるよう
に研磨する。次に基本的にＮｉＯから成る酸化ニッケル
被膜６４を、下記のいずれかの技術によってＮｉＰ被覆
６２上に形成する。ＮｉＯ被膜６４の厚さは、下地層の
核形成を制御するのに十分な厚さである限り、重要では
ない。核制御を制御するのに十分な厚さは、約１０〜３
０オングストロームの範囲にあることがわかっている。
ＮｉＯ被膜６４の形成後に、ディスク１６の残りの周知
の層を、通常の方式でスパッタ付着によって形成する。
これには、厚さ約２００〜１２００オングストロームの
ＣｒまたはＣｒＶ下地層６６、厚さ約１００〜５００オ
ングストロームのＣｏＰｔＣｒやＣｏＮｉの合金などの
Ｃｏ合金磁気層、及び水素の存在下で炭素ターゲットか
らスパッタ付着された、厚さ約２５０オングストローム
の水素化炭素保護層６８が含まれる。後で付着される層
は基板の表面と共形になるので、接触記録式ディスク・
ファイルで必要とされるとおり保護層６８の表面がヘッ
ドに対して極めて平滑な界面を示すように、基板表面
（すなわちＮｉＰ表面被覆６２の表面）は非常に平滑で
ある必要がある。
【００１３】ＮｉＯ被膜６４を形成するための好ましい
工程では、基板６０を洗浄し、チャンバ内に入れて、空
気中で１００〜２００℃の範囲の温度で約２０〜６０分
間加熱する。温度は、非晶質ＮｉＰが結晶化する温度で
ある約２５０℃より低く維持しなければならない。この
酸化工程の結果、ＮｉＰ被覆６２上に基本的にＮｉＯか
ら成る被膜が約１０〜３０オングストロームの厚さに形
成されることがわかった。酸化物被膜のテストによっ
て、明らかに優勢な成分はＮｉＯであることが確認され
たが、ＮｉＯ2やＮｉ2Ｏ3など他の酸化物も存在する可
能性があった。比較のため、洗浄後のＮｉＰ被覆６２の
表面をテストしたところ、厚さ約１５オングストローム
の自然酸化物層があることがわかったが、有意なＮｉＯ
はなかった。
【００１４】ＮｉＯ被膜６４を形成するための代替工程
では、酸素の存在下でのスパッタ・エッチングによって
酸化を実施する。基板６０を真空チャンバに入れ、Ｏ2
を約１０％含有するアルゴン（Ａｒ）雰囲気中でＮｉＰ
表面被覆６２をスパッタ・エッチングする。その後直ち
に、真空を切らずに、後続のディスク層６６、６７、６
８をスパッタ付着する。
【００１５】ＮｉＰ表面被覆の酸化によるディスク保磁
力の改善を図６と図７に示す。図６では、空気中でのア
ニールによって形成されたＮｉＯ被膜を有する超仕上げ
した（Ｒa＝７オングストローム）基板及び前記のＮｉ
Ｏ被膜を有しない同基板上に、Ｃｏ78Ｐｔ8Ｃｒ20磁気
層を有し、残留磁気と厚さの積（Ｍr×ｔ）の値が様々
な値をとるディスクを製造した。図に示すように、１０
０〜２００℃の範囲で６０分間のアニールによって形成
されたＮｉＯ被膜を有するディスクでは、保磁力の顕著
な増大が見られる。たとえば、Ｍr×ｔ＝０．７５ｍｅ
ｍｕ／ｃｍ2のディスクの保磁力は、１５０℃での６０
分間の空気アニールによってＮｉＯ被膜を形成すると、
９００ Ｏｅ（ＮｉＯ被膜なし）から１８５０ Ｏｅに
増加する。図７では、７５０ボルト及び１２５０ボルト
のスパッタ・エッチング電圧で、Ｏ2を１０％含むＡｒ
雰囲気中で１０秒間及び２０秒間スパッタ・エッチング
した超仕上げ基板上に、同様なディスクを製造した。図
に示すように、スパッタ・エッチングした基板を有する
ディスクでは、保磁力の顕著な増大が見られる。たとえ
ば、７５０ボルトで１０秒間スパッタ・エッチングを行
ったとき、保磁力は１０００ Ｏｅから１３００ Ｏｅ
に増大し、１２５０ボルトで行ったときは１０００ Ｏ
ｅから１８５０ Ｏｅに増大する。
【００１６】超仕上げしたＮｉＰ被覆の酸化はディスク
において他の改善をもたらすこともわかった。ＮｉＰを
研磨すると、その表面にいくつかの残留かき傷が残る。
これらのかき傷は磁気異方性をもたらし、かき傷の方向
に沿って保磁力と矩形比が増大する。残留かき傷は記録
トラックの方向と平行に並んでいないので、この異方性
によって望ましくない信号振幅変調が発生する。ＮｉＰ
被覆上にＮｉＯ被膜を形成すると、下地層及び磁気層の
結晶配向が変化して、この変調が大幅に減少する。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、ニッケル・リンの表面
被覆を有するアルミニウム合金基板上にコバルトを主体
とする合金の磁気層を形成した構造の薄膜金属合金磁気
記録ディスクにおいて、ニッケル・リン表面被覆上に酸
化ニッケル被膜を形成し、その上に下地層を形成した上
で磁気層を形成するようにしたので、基板が非常に滑ら
かに作られていても、必要なディスク保磁力を達成する
ことが可能になった。更に下地層及び磁気層の結晶配向
が変化しても、異方性による望ましくない信号振幅変調
が大幅に減少する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】液体軸受接触記録式ディスク・ファイルの主要
構成要素を概略的に示す、部分断面側面図である。
【図２】カバーを外した図１のディスク・ファイルの上
面図である。
【図３】液体軸受接触記録式ディスク・ファイルのヘッ
ド・ディスク界面を示す図である。
【図４】乾式液体軸受接触記録式ディスク・ファイルの
ヘッド・ディスク界面を示す図である。
【図５】種々のディスク層を示す、本発明によるディス
クの断面図である。
【図６】空気アニールによって形成された酸化物被膜を
有するディスクと、それを有しないディスクの、保磁力
とアニール温度の関係を示す図である。
【図７】Ｏ2−アルゴン雰囲気中でのスパッタ・エッチ
ングによって形成された酸化物被膜を有するディスク
と、それを有しないディスクの、保磁力とエッチング電
圧の関係を示す図である。
【符号の説明】
１０ ベース １１ カバー １２ ディスク駆動モータ １３ ガスケット １４ アクチュエータ １６ 磁気記録ディスク １８ ハブ ２０ 変換器キャリア ２２ 剛性アーム ２３ 統合ヘッド・サスペンション ２４ サスペンション ２７ 磁極端 ２９ コイル ３０ 環状潤滑液だめ ４０ スキー脚 ４２ ヘッド ６０ ディスク基板 ６１ ＡｌＭｇベース ６２ ＮｉＰ表面被覆 ６４ ＮｉＯ被膜 ６６ ＣｒＶ下地層 ６８ 水素化炭素保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 タダシ・ヨギ アメリカ合衆国95120 カリフォルニア州 サノゼ アンジュー・クリーク・サーク ル 7100 (72)発明者 アンソニー・ウー アメリカ合衆国95120 カリフォルニア州 サノゼ ブライアー・ランチ・レーン 663 (72)発明者 ダン・エス・パーカー アメリカ合衆国95129 カリフォルニア州 サノゼ レイントリー・ドライブ 847 (56)参考文献 特開 昭60−219638（ＪＰ，Ａ)

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ニッケル・リン表面被覆を有するアルミニ
    ウム合金を含む基板と、 前記ニッケル・リン表面被覆上に形成された酸化ニッケ
    ル被膜と、 前記酸化ニッケル被膜上に形成された下地層と、 前記下地層を覆って形成されたコバルトを主体とする合
    金を含む磁気層とを備える、薄膜金属合金磁気記録ディ
    スク。
  2. 【請求項２】前記下地層がクロムまたはクロムとバナジ
    ウムの合金を含むことを特徴とする、請求項１に記載の
    ディスク。
  3. 【請求項３】前記磁気層を覆って形成された保護層を含
    む、請求項１に記載のディスク。
  4. 【請求項４】前記ニッケル・リン表面被覆が約１０オン
    グストローム未満の算術平均表面粗度を有することを特
    徴とする、請求項１に記載のディスク。
  5. 【請求項５】前記ディスクが約１８００エルステッドよ
    り高い保磁力を有することを特徴とする、請求項１に記
    載のディスク。
  6. 【請求項６】算術平均表面粗度が約１０オングストロー
    ム未満のニッケル・リン表面被覆を有するアルミニウム
    合金を含む基板と、 前記ニッケル・リン表面被覆上に形成された酸化ニッケ
    ル被膜と、 前記酸化ニッケル被膜上にスパッタ付着された下地層
    と、 前記下地層上にスパッタ付着されたコバルトと白金を含
    む磁気層と、 前記磁気層を覆って形成された保護層と、 を備える、薄膜コバルト合金磁気記録ディスク。
  7. 【請求項７】基板表面の算術平均表面粗度（Ｒa）が約
    １０オングストローム未満であるニッケル・リン表面被
    覆を有する、アルミニウム合金のディスク基板を用意す
    るステップと、 前記ニッケル・リン表面被覆上に酸化ニッケル被膜を直
    接形成するステップと、 前記酸化ニッケル被膜上に下地層をスパッタ付着するス
    テップと、 前記下地層上にコバルト合金磁気層をスパッタ付着する
    ステップと、 前記磁気層を覆って保護層を形成するステップと、 を含む、磁気記録ディスクを製造する方法。
  8. 【請求項８】前記酸化ニッケル被膜形成ステップが、酸
    素の存在下で前記ニッケル・リン表面被覆をスパッタ・
    エッチングするステップを含むことを特徴とする、請求
    項７に記載の方法。
  9. 【請求項９】前記酸化ニッケル被膜形成ステップが、酸
    素の存在下で前記基板を加熱するステップを含むことを
    特徴とする、請求項７に記載の方法。
  10. 【請求項１０】前記酸化ニッケル被膜形成ステップが、
    前記酸化ニッケル表面被膜を約２０オングストローム以
    上の厚さに形成するステップを含むことを特徴とする、
    請求項７に記載の方法。
  11. 【請求項１１】前記下地層スパッタ付着ステップが、ク
    ロムまたはクロムとバナジウムの合金の下地層をスパッ
    タ付着するステップを含むことを特徴とする、請求項７
    に記載の方法。
JP5150247A 1992-08-07 1993-06-22 磁気記録ディスク及びその製造方法 Expired - Lifetime JPH07122933B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/926,986 US5302434A (en) 1992-08-07 1992-08-07 Magnetic recording disk for contact recording
US926986 1992-08-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0676279A JPH0676279A (ja) 1994-03-18
JPH07122933B2 true JPH07122933B2 (ja) 1995-12-25

Family

ID=25453990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5150247A Expired - Lifetime JPH07122933B2 (ja) 1992-08-07 1993-06-22 磁気記録ディスク及びその製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5302434A (ja)
JP (1) JPH07122933B2 (ja)
KR (1) KR970005351B1 (ja)
CN (1) CN1062673C (ja)
MY (1) MY107917A (ja)
TW (1) TW234760B (ja)

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6075683A (en) * 1993-04-26 2000-06-13 International Business Machines Corporation Disk drive with passive multiple fly height slider and cooperative disk pattern
JP2834392B2 (ja) * 1993-06-23 1998-12-09 ストアメディア インコーポレーテッド 金属薄膜型磁気記録媒体とその製造方法
US5589263A (en) * 1993-12-28 1996-12-31 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium having a ferromagnetic metal thin film, a dry etched layer, a carbonaceous film, and a lubricant film
US6236542B1 (en) 1994-01-21 2001-05-22 International Business Machines Corporation Substrate independent superpolishing process and slurry
US6042939A (en) * 1995-03-08 2000-03-28 Takahashi; Migaku Magnetic recording medium and method of manufacturing the same
US6804085B1 (en) 1995-03-21 2004-10-12 Seagate Technology, Llc Hard drive system interface between a disk surface and a transducer contacting the surface during communication
US5506017A (en) * 1995-06-07 1996-04-09 Komag Incorporated Method for texturing magnetic media
US5968679A (en) * 1995-11-28 1999-10-19 Hoya Corporation Magnetic recording medium and method of manufacturing the same
US5733370A (en) * 1996-01-16 1998-03-31 Seagate Technology, Inc. Method of manufacturing a bicrystal cluster magnetic recording medium
US5830584A (en) * 1996-01-16 1998-11-03 Seagate Technology, Inc. Bicrystal cluster magnetic recording medium
US5789090A (en) * 1996-02-05 1998-08-04 Stormedia, Inc. Metallic thin-film magnetic recording media
US5825596A (en) * 1996-02-13 1998-10-20 Kabushiki Kaisha Toshiba Hard disk drive
US6218033B1 (en) 1996-02-26 2001-04-17 Akashic Memories Corporation Magnetic recording media having CrTiX underlayers to reduce circumferential/radial anisotropy and methods for their production
US5879783A (en) * 1996-08-05 1999-03-09 Seagate Technology, Inc. Low noise magnetic recording medium and method of manufacturing
JP2856165B2 (ja) * 1996-08-12 1999-02-10 日本電気株式会社 磁気抵抗効果素子及びその製造方法
US5866227A (en) * 1996-08-20 1999-02-02 Seagate Technology, Inc. Magnetic recording medium with partially oxidized seed layer
KR100456166B1 (ko) * 1996-10-17 2004-11-09 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 니켈 알루미늄 또는 철 알루미늄 하부층을 포함하는 자기 기록 매체 및 그 제조 방법
KR100466290B1 (ko) 1997-01-15 2005-01-13 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 자기 기록 매체
US6010795A (en) * 1997-02-26 2000-01-04 Seagate Technology, Inc. Magnetic recording medium comprising a nickel aluminum or iron aluminum underlayer and chromium containing intermediate layer each having (200) dominant crystalographic orientation
US6146754A (en) * 1997-09-08 2000-11-14 Seagate Technology, Inc. Substantially isotropic magnetic recording medium comprising a seedlayer
US6165583A (en) * 1997-09-08 2000-12-26 Seagate Technology, Inc. Surface modification of magnetic recording substrates to control subsequent laser texturing
JP3803180B2 (ja) * 1997-09-25 2006-08-02 富士通株式会社 磁気記録媒体及びその製造方法ならびに磁気ディスク装置
US6174598B1 (en) * 1997-09-30 2001-01-16 Showa Denko Kabushiki Kaisha Magnetic recording medium, non-magnetic alloy film and sputtering target
US6139981A (en) * 1997-10-23 2000-10-31 Seagate Technology, Inc. Magnetic thin film medium with adhesion enhancement layer
US6117570A (en) * 1998-03-19 2000-09-12 Seagate Technology, Inc. Thin film medium with surface-oxidized NiAl seed layer
US6162532A (en) * 1998-07-31 2000-12-19 International Business Machines Corporation Magnetic storage medium formed of nanoparticles
US6348276B1 (en) 1998-09-25 2002-02-19 Seagate Technology Llc Magnetic recording media with a surface-oxidized nial sub-seedlayer
US6620531B1 (en) 1999-12-20 2003-09-16 Seagate Technology Llc Magnetic recording media with oxidized seedlayer for reduced grain size and reduced grain size distribution
US6461958B1 (en) 2000-02-04 2002-10-08 Seagate Technology Llc Polishing memory disk substrates with reclaim slurry
US6727010B2 (en) * 2000-12-27 2004-04-27 Showa Denko Kabushiki Kaisha Magnetic recording medium, production process thereof, magnetic recording and reproducing apparatus, and medium substrate
JP3473847B2 (ja) * 2001-05-11 2003-12-08 富士電機ホールディングス株式会社 磁気記録媒体およびその製造方法
US7064927B2 (en) * 2002-05-13 2006-06-20 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Disk, method for making it free of asperities utilizing a step of exposing a surface of the disk to a gas cluster ion beam and disk drive unit for using the disk
JP4172412B2 (ja) * 2004-04-01 2008-10-29 富士電機デバイステクノロジー株式会社 垂直磁気記録媒体用基板及びそれを用いた垂直磁気記録媒体
US7352524B2 (en) * 2005-11-09 2008-04-01 Tdk Corporation Magnetic disk drive
US7961427B2 (en) * 2007-05-22 2011-06-14 Galleon International Corporation High performance computer hard disk drive with a carbon overcoat and method of improving hard disk performance
US8213117B2 (en) * 2010-06-04 2012-07-03 Tdk Corporation Magnetic head with protective layer and a protective film removal method for the magnetic head
US10967463B2 (en) * 2018-04-11 2021-04-06 The University Of Toledo Sn whisker growth mitigation using NiO sublayers

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS501438A (ja) * 1973-05-11 1975-01-09
JPS5151908A (ja) * 1974-11-01 1976-05-07 Fuji Photo Film Co Ltd
US4167765A (en) * 1978-07-27 1979-09-11 International Business Machines Corporation Transducer suspension mount apparatus
US4621030A (en) * 1982-07-19 1986-11-04 Hitachi, Ltd. Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method thereof
JPS60219638A (ja) * 1984-04-16 1985-11-02 Hitachi Ltd 磁気デイスクの製造方法
US4696845A (en) * 1984-08-27 1987-09-29 Nec Corporation Magnetic storage medium with lubricating coating
JPS6196522A (ja) * 1984-10-18 1986-05-15 Seiko Epson Corp 磁気記録体の製造方法
JPS61246380A (ja) * 1985-04-23 1986-11-01 Nec Corp 磁気デイスク基板の製造方法
JP2633230B2 (ja) * 1985-09-26 1997-07-23 日本電気株式会社 磁気記憶体
JPS63140091A (ja) * 1986-12-02 1988-06-11 Kobe Steel Ltd 磁気デイスク用無電解Ｎｉ−Ｐメツキ基盤の耐食性向上方法
US5047274A (en) * 1987-09-28 1991-09-10 Noboru Tsuya Annodized aluminum substrate for a magnetic recording disk in which pores are filled with a non magnetic material and the surface polished and etched
US5041932A (en) * 1989-11-27 1991-08-20 Censtor Corp. Integrated magnetic read/write head/flexure/conductor structure

Also Published As

Publication number Publication date
KR940002788A (ko) 1994-02-19
US5302434A (en) 1994-04-12
KR970005351B1 (ko) 1997-04-15
CN1062673C (zh) 2001-02-28
JPH0676279A (ja) 1994-03-18
MY107917A (en) 1996-06-29
CN1082750A (zh) 1994-02-23
TW234760B (ja) 1994-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5302434A (en) Magnetic recording disk for contact recording
US5569506A (en) Magnetic recording disk and disk drive with improved head-disk interface
KR100216324B1 (ko) 박막 자기 기록 디스크 및 그 제조방법, 자기 기록 강체 디스크 드라이브, 자기 기록 접촉 시동/정지 강체 디스크 드라이브
US5388017A (en) Disk file with air-bearing slider having skids
US5436047A (en) Thin film magnetic recording disk comprising a metallic disk blank, a substantially non-magnetic Ni-Cr-O film having a textured surface and a magnetic film
JP2002502081A (ja) 多層炭素含有保護オーバーコートを含んで成る磁気記録媒体
JPH08180407A (ja) テキスチャ化磁気記憶ディスクの製造方法
JP2002367153A (ja) クロム・ニッケル・プレシード層を有する薄膜磁気記録ディスク
US5307223A (en) Magnetic recording disk file for contact recording
US5030494A (en) Carbon overcoat for a thin film magnetic recording disk containing discrete clusters of tungsten (W) or tungsten carbide (WC) which project from the surface of the overcoat
US20050106422A1 (en) Thin film with exchange coupling between magnetic grains of the thin film
JP4023408B2 (ja) 垂直磁気記録媒体用基板、垂直磁気記録媒体及びそれらの製造方法
US20060078683A1 (en) Multilayered structure film and method of making the same
US6670032B2 (en) Oriented magnetic medium on a nonmetallic substrate
EP0582412A1 (en) Magnetic recording disk
JP3657196B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置
EP1136987A1 (en) Magnetic recording and reproducing device
JP2001028117A (ja) ディスク媒体
JPH08161736A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JP2621358B2 (ja) 磁気記録媒体
JP2002503009A (ja) パターン基板を有する磁気記録媒体
JP2000348334A (ja) 磁気記録媒体及び磁気ディスク装置
JP3492908B2 (ja) 磁気記録再生方法
US9117476B1 (en) Magnetic media on a plastic substrate
JPH06150300A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法