JPH071241B2 - Ｘ線による被測定物の組成分析方法 - Google Patents
Ｘ線による被測定物の組成分析方法Info
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- JPH071241B2 JPH071241B2 JP60082080A JP8208085A JPH071241B2 JP H071241 B2 JPH071241 B2 JP H071241B2 JP 60082080 A JP60082080 A JP 60082080A JP 8208085 A JP8208085 A JP 8208085A JP H071241 B2 JPH071241 B2 JP H071241B2
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- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
- G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
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Description
【発明の詳細な説明】 『産業上の利用分野』 本考案はＸ線を利用した非破壊測定手段により被測定物
の組成を分析する方法に関する。
の組成を分析する方法に関する。
『従来の技術』 Ｘ線による非破壊測法は各種の分野で利用されている。
Ｘ線には白色Ｘ線、特性Ｘ線があり、例えば医療分野に
おいてＸ線CT装置により断層写真を撮影するとき、白色
Ｘ線を人体に対して放射状に照射し、その透過線を主に
Xe電離箱からなる複数の検出器により測定しているが、
かかる測定法では被測定物の組成を精度よく分析するの
が困難であるとされている。
おいてＸ線CT装置により断層写真を撮影するとき、白色
Ｘ線を人体に対して放射状に照射し、その透過線を主に
Xe電離箱からなる複数の検出器により測定しているが、
かかる測定法では被測定物の組成を精度よく分析するの
が困難であるとされている。
一方、不透明な物体の組成、濃度等につき、アイソトー
プ（Ga Ir Co）などのγ線源を用いて測定分析する方法
も実施されているが、この方法の場合、線源の安定性が
高い反面、半減期、取り扱い上の規制など、制約を受け
るところが多く、そのため工業化がむずかしいとされて
いる。
プ（Ga Ir Co）などのγ線源を用いて測定分析する方法
も実施されているが、この方法の場合、線源の安定性が
高い反面、半減期、取り扱い上の規制など、制約を受け
るところが多く、そのため工業化がむずかしいとされて
いる。
『発明が解決しようとする問題点』 上記に代わるものとして、白色Ｘ線を単色化して被測定
物に照射し、その透過線をＸ線検出器でそ測定する方法
が提案されているが、この種の組成分析法では、一般的
に高い分析精度が要求される。
物に照射し、その透過線をＸ線検出器でそ測定する方法
が提案されているが、この種の組成分析法では、一般的
に高い分析精度が要求される。
高い分析精度を確保するためには、Ｘ線照射時において
Ｘ線源または被測定物のいずれか一方を走査する必要が
生じるが、こうした場合には、走査を要する分だけ測定
時間が長くなり、走査のための設備も大がかりとなる。
Ｘ線源または被測定物のいずれか一方を走査する必要が
生じるが、こうした場合には、走査を要する分だけ測定
時間が長くなり、走査のための設備も大がかりとなる。
上記走査を必要としない組成分析を行なおうとしても、
例えば前述したXe検出器ではその精度が低いためこれが
実行できず、走査方式による非測定物の組成分析では、
その被測定物を製造してい際の、すなわちオンラインで
の組成分析がほとんど不可能となる。
例えば前述したXe検出器ではその精度が低いためこれが
実行できず、走査方式による非測定物の組成分析では、
その被測定物を製造してい際の、すなわちオンラインで
の組成分析がほとんど不可能となる。
測定時間を短縮しながら精度の高い測定を実現するため
には、被測定物に対するＸ線の照射量を多くする必要が
あり、そのためには、Ｘ線ビームを幅1mm以下、長さ5mm
以上に設定するのがよいが、このような縦長のＸ線ビー
ムを回折して単色化し得る単結晶、およびその測定器
は、これらを配置すべきスペースの点で困難性をともな
う。
には、被測定物に対するＸ線の照射量を多くする必要が
あり、そのためには、Ｘ線ビームを幅1mm以下、長さ5mm
以上に設定するのがよいが、このような縦長のＸ線ビー
ムを回折して単色化し得る単結晶、およびその測定器
は、これらを配置すべきスペースの点で困難性をともな
う。
例えばNaIシンチレーションカウンタの場合、最小寸法
のものでも0.5インチはある。
のものでも0.5インチはある。
殊に、二以上の組成からなる光ファイバ用多孔質母材等
の組成を分析するとき、白色Ｘ線の分岐後、これを二種
以上の単色Ｘ線とし、それぞれの透過線を測定すること
になるので、単結晶の数、Ｘ線検出器の数が多くなり、
上記スペースファクタ上の困難度が増す。
の組成を分析するとき、白色Ｘ線の分岐後、これを二種
以上の単色Ｘ線とし、それぞれの透過線を測定すること
になるので、単結晶の数、Ｘ線検出器の数が多くなり、
上記スペースファクタ上の困難度が増す。
本発明は上述した問題点に鑑み、被測定物、Ｘ線源等を
走査せずとも、短時間で被測定物の組成分析が行なえ
る、しかもオンライン制御が可能な組成分析方法を提供
しようとするものである。
走査せずとも、短時間で被測定物の組成分析が行なえ
る、しかもオンライン制御が可能な組成分析方法を提供
しようとするものである。
『問題点を解決するための手段』 本発明のＸ線による被測定物の組成分析方法は、所期の
目的を達成するために、 被測定物の測定部間全域にわたって白色Ｘ線を照射する
ためのＸ線源と、 被測定物を透過した後の透過線（透過白色Ｘ線）を多数
のＸ線ビームに分岐するためのマルチコリメータであっ
て、（５×幅）＜（１×長さ）を満足させる多数の縦長
スリットが幅方向に並んだものと、 マルチコリメータにより分岐された透過線中、低エネル
ギ単色Ｘ線を縦長スリットの長さ方向に回折するための
多数の低エネルギＸ線回折用単結晶と、 マルチコリメータにより分岐された透過線中、強エネル
ギ単色Ｘ線を縦長スリットの幅方向に回折するための多
数の強エネルギＸ線回折用単結晶と、 低エネルギＸ線回折用単結晶を経て入射される低エネル
ギ透過線を測定するためのＸ線検出器と、 強エネルギＸ線回折用単結晶を経て入射される強エネル
ギ透過線を測定するためのＸ線検出器とを備えているこ
と、および、 Ｘ線源から出射される白色Ｘ線の照射領域側に配置され
ている低エネルギ透過線測定用のＸ線検出器と強エネル
ギ透過線測定用のＸ線検出器とが、相対的な高低差をも
ってそのＸ線源とそれぞれ対面していること、 被測定物がＸ線源と各Ｘ線検出器との間において定位置
に配置されていること、 マルチコリメータが被測定物と各Ｘ線検出器との間に配
置されていること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の低エネル
ギ透過線をこれ用のＸ線検出器へ入射させるために、低
エネルギＸ線回折用の各単結晶が、被測定物と低エネル
ギ透過線測定用Ｘ線検出器との間に配置されて縦長スリ
ットの幅方向沿いに並び、かつ、これらマルチコリメー
タ、低エネルギ透過線測定用Ｘ線検出器とそれぞれ対応
していること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の強エネル
ギ透過線をこれ用のＸ線検出器へ入射させるために、強
エネルギＸ線回折用の各単結晶が、被測定物と強エネル
ギ透過線測定用Ｘ線検出器との間に配置されて縦長スリ
ットの幅方向沿いに並び、かつ、これらマルチコリメー
タ、強エネルギ透過線測定用Ｘ線検出器とそれぞれ対応
していること、および、 上記の手段を介して被測定物の組成を分析するときに、 Ｘ線源から出射した白色Ｘ線を被測定物の測定部間全域
に照射すること、 被測定物を透過した後の透過線をマルチコリメータによ
り分岐して、（５×幅）＜（１×長さ）を満足させる多
数の縦長ビームにすること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の低エネル
ギ透過線をこれ用の単結晶により回折して低エネルギ透
過線測定用Ｘ線検出器へ入射させること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の強エネル
ギ透過線をこれ用の単結晶により回折して強エネルギ透
過線測定用Ｘ線検出器へ入射させること、 これら低エネルギ透過線、強エネルギ透過線をそれぞれ
のＸ線検出器により測定して被測定物の組成を分析する
ことを特徴とする。
目的を達成するために、 被測定物の測定部間全域にわたって白色Ｘ線を照射する
ためのＸ線源と、 被測定物を透過した後の透過線（透過白色Ｘ線）を多数
のＸ線ビームに分岐するためのマルチコリメータであっ
て、（５×幅）＜（１×長さ）を満足させる多数の縦長
スリットが幅方向に並んだものと、 マルチコリメータにより分岐された透過線中、低エネル
ギ単色Ｘ線を縦長スリットの長さ方向に回折するための
多数の低エネルギＸ線回折用単結晶と、 マルチコリメータにより分岐された透過線中、強エネル
ギ単色Ｘ線を縦長スリットの幅方向に回折するための多
数の強エネルギＸ線回折用単結晶と、 低エネルギＸ線回折用単結晶を経て入射される低エネル
ギ透過線を測定するためのＸ線検出器と、 強エネルギＸ線回折用単結晶を経て入射される強エネル
ギ透過線を測定するためのＸ線検出器とを備えているこ
と、および、 Ｘ線源から出射される白色Ｘ線の照射領域側に配置され
ている低エネルギ透過線測定用のＸ線検出器と強エネル
ギ透過線測定用のＸ線検出器とが、相対的な高低差をも
ってそのＸ線源とそれぞれ対面していること、 被測定物がＸ線源と各Ｘ線検出器との間において定位置
に配置されていること、 マルチコリメータが被測定物と各Ｘ線検出器との間に配
置されていること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の低エネル
ギ透過線をこれ用のＸ線検出器へ入射させるために、低
エネルギＸ線回折用の各単結晶が、被測定物と低エネル
ギ透過線測定用Ｘ線検出器との間に配置されて縦長スリ
ットの幅方向沿いに並び、かつ、これらマルチコリメー
タ、低エネルギ透過線測定用Ｘ線検出器とそれぞれ対応
していること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の強エネル
ギ透過線をこれ用のＸ線検出器へ入射させるために、強
エネルギＸ線回折用の各単結晶が、被測定物と強エネル
ギ透過線測定用Ｘ線検出器との間に配置されて縦長スリ
ットの幅方向沿いに並び、かつ、これらマルチコリメー
タ、強エネルギ透過線測定用Ｘ線検出器とそれぞれ対応
していること、および、 上記の手段を介して被測定物の組成を分析するときに、 Ｘ線源から出射した白色Ｘ線を被測定物の測定部間全域
に照射すること、 被測定物を透過した後の透過線をマルチコリメータによ
り分岐して、（５×幅）＜（１×長さ）を満足させる多
数の縦長ビームにすること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の低エネル
ギ透過線をこれ用の単結晶により回折して低エネルギ透
過線測定用Ｘ線検出器へ入射させること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の強エネル
ギ透過線をこれ用の単結晶により回折して強エネルギ透
過線測定用Ｘ線検出器へ入射させること、 これら低エネルギ透過線、強エネルギ透過線をそれぞれ
のＸ線検出器により測定して被測定物の組成を分析する
ことを特徴とする。
『作用』 本発明方法の場合、白色Ｘ線を被測定物の測定部間全域
に照射するから、Ｘ線源あるいは被測定物を走査する必
要がなく、その透過線をマルチコリメータにより（５×
幅）＜（１×長さ）のＸ線ビームに分岐するから、測定
時間を短縮し、精度の高い測定を実現するための条件を
も満足させることができ、しかも上記透過線中、低エネ
ルギ単色Ｘ線を単結晶により縦方向（縦長スリットの長
さ方向）に回折するとともに該透過線中の強エネルギ単
色Ｘ線を他の単結晶により横方向（縦長スリットの幅方
向）に回折するから、これと対応する各Ｘ検出器も上下
二段のように複数段に配置でき、Ｘ線検出器を配置する
際のスペースファクタが緩和される。
に照射するから、Ｘ線源あるいは被測定物を走査する必
要がなく、その透過線をマルチコリメータにより（５×
幅）＜（１×長さ）のＸ線ビームに分岐するから、測定
時間を短縮し、精度の高い測定を実現するための条件を
も満足させることができ、しかも上記透過線中、低エネ
ルギ単色Ｘ線を単結晶により縦方向（縦長スリットの長
さ方向）に回折するとともに該透過線中の強エネルギ単
色Ｘ線を他の単結晶により横方向（縦長スリットの幅方
向）に回折するから、これと対応する各Ｘ検出器も上下
二段のように複数段に配置でき、Ｘ線検出器を配置する
際のスペースファクタが緩和される。
なお、上記において、被測定物を透過した後の透過線を
（５×幅）＜（１×長さ）のＸ線ビームに分岐する理由
は、つぎのとおりである。
（５×幅）＜（１×長さ）のＸ線ビームに分岐する理由
は、つぎのとおりである。
Ｘ線検出器を介して被測定物の透過線を測定分析する場
合は、Ｘ線ビーム幅が小さく、しかも、Ｘ線ビーム数が
多いほど、被測定物の分解能が高まるが、その反面、Ｘ
線ビーム幅が小さくなると、Ｘ線検出器への受光量が減
少するために、Ｘ線検出器よる測定精度が低下する。
合は、Ｘ線ビーム幅が小さく、しかも、Ｘ線ビーム数が
多いほど、被測定物の分解能が高まるが、その反面、Ｘ
線ビーム幅が小さくなると、Ｘ線検出器への受光量が減
少するために、Ｘ線検出器よる測定精度が低下する。
本発明においては、Ｘ線ビーム幅を小さくし、Ｘ線ビー
ム数を多くした場合に生じる受光量の不足が、Ｘ線ビー
ムの長さを大きくすることで補償される。
ム数を多くした場合に生じる受光量の不足が、Ｘ線ビー
ムの長さを大きくすることで補償される。
かかる分解能と受光量とを満足させるためのＸ線ビーム
形状は、これの幅：長さの関係であらわした場合に、
（５×幅）＜（１×長さ）を満足させることを要する。
形状は、これの幅：長さの関係であらわした場合に、
（５×幅）＜（１×長さ）を満足させることを要する。
『実施例』 以下、本発明方法の実施例につき、図面を参照して説明
する。
する。
第１図、第２図において、１はＸ線源、２、３はマルチ
コリメータ、４、５は単結晶、６、７はＸ線検出器であ
る。
コリメータ、４、５は単結晶、６、７はＸ線検出器であ
る。
一方のマルチコリメータ２は、幅方向に並んだ多数の縦
長スリット2aを有し、他方のマルチコリメータ３も、幅
方法に並んだ多数の縦長スリット3aを有する。
長スリット2aを有し、他方のマルチコリメータ３も、幅
方法に並んだ多数の縦長スリット3aを有する。
８は不透明な被測定物である。
第１図、第２図において本発明方法を実施するとき、被
測定物７がマルチコリメータ２、３間に配置され、Ｘ線
源１から出射された白色Ｘ線がマルチコリメータ２によ
り絞られて被測定物８の幅方向全域に照射される。
測定物７がマルチコリメータ２、３間に配置され、Ｘ線
源１から出射された白色Ｘ線がマルチコリメータ２によ
り絞られて被測定物８の幅方向全域に照射される。
かかる白色Ｘ線は被測定物７を透過し、その透過線がマ
ルチコリメータ３により多数の縦長ビーム状に分光され
る。
ルチコリメータ３により多数の縦長ビーム状に分光され
る。
ついで、上記透過線のうち、低エネルギ単色Ｘ線は単結
晶４により縦方向、例えば第１図のごとき上方、または
図示しない下方へ回折され、これと対応する位置に配置
されたＸ線検出器６によりそのエネルギ強度が測定され
る。
晶４により縦方向、例えば第１図のごとき上方、または
図示しない下方へ回折され、これと対応する位置に配置
されたＸ線検出器６によりそのエネルギ強度が測定され
る。
一方、上記透過線中の強エネルギ単色Ｘ線は単結晶４を
透過した後、他の単結晶５により横方向に回折され、か
つ、これと対応する位置に配置されたＸ線検出器７によ
りそのエネルギ強度が測定される。
透過した後、他の単結晶５により横方向に回折され、か
つ、これと対応する位置に配置されたＸ線検出器７によ
りそのエネルギ強度が測定される。
こうして各Ｘ線検出器６、７により測定された結果が図
示しない電子計算機に入力され、該計算機により被測定
物８の組成が分析される。
示しない電子計算機に入力され、該計算機により被測定
物８の組成が分析される。
なお、前述したＸ線検出機６、７としてはNaIを積層し
たシンチレーションカウンタが用いられる。
たシンチレーションカウンタが用いられる。
本発明方法において、直径60mmのSiO2−GeO2からなる光
ファイバ用多孔質母材を被測定物とし、これの組成を分
析するとき、下記の条件で実施した。
ファイバ用多孔質母材を被測定物とし、これの組成を分
析するとき、下記の条件で実施した。
〔Ｘ線源１〕 Max160kev、ターゲット＝Ｗ製 放射角＝30度 〔マルチコリメータ２、３〕 幅×長さ＝0.5×10にて分光するもの、分光数30 〔単結晶４〕 Si製、幅×長さ×厚さ＝１×20×１、30個 〔単結晶５〕 Si製、幅×長さ×厚さ＝40×15×1.5、30個 〔Ｘ線検出器６〕 NaI製、口径0.5インチ、30個 〔Ｘ線検出器７〕 NaI製、口径0.5インチ、30個 なお、Ｘ線検出器６、７はフォトマルプリアンプと一体
になったものを使用した。
になったものを使用した。
第１図、第２図で例示した方法を上記の条件により実施
して光ファイバ用多孔質母材の組成を分析するとき、単
結晶５により80kevのエネルギを回折し、単結晶６によ
り200kevのエネルギを回折し、これらを上記Ｘ線検出器
で測定した。
して光ファイバ用多孔質母材の組成を分析するとき、単
結晶５により80kevのエネルギを回折し、単結晶６によ
り200kevのエネルギを回折し、これらを上記Ｘ線検出器
で測定した。
この際の測定時間は数分であった。
なお、組成分布が軸対称である上記光ファイバ用多孔質
母材を分析するとき、コリメータにより分光されたＸ線
間の母材組成をも測定することにより分析精度が高ま
る。
母材を分析するとき、コリメータにより分光されたＸ線
間の母材組成をも測定することにより分析精度が高ま
る。
このような場合は、Ｘ線源を中心にしてその線源以降の
各機器を水平方向へ少量だけ回転移動すればよい。
各機器を水平方向へ少量だけ回転移動すればよい。
各機器を回転させるとき、NaIの口径が0.5インチである
ので、精度は要求されない。
ので、精度は要求されない。
『発明の効果』 以上説明した通り、本発明方法によるときは、Ｘ線源あ
るいは被測定物を走査する必要がないから、被測定物を
オンラインにて分析することができ、透過線をマルチコ
リメータにより所定のＸ線ビームに分岐するから、測定
時間を短縮し、精度の高い測定を実現することができ、
しかも上記透過線を単結晶による縦長スリットの長さ方
向、幅方向に回折するから、これと対応する各Ｘ検出器
も複数段に配置してＸ線検出器を配置する際のスペース
ファクタをも緩和し得る。
るいは被測定物を走査する必要がないから、被測定物を
オンラインにて分析することができ、透過線をマルチコ
リメータにより所定のＸ線ビームに分岐するから、測定
時間を短縮し、精度の高い測定を実現することができ、
しかも上記透過線を単結晶による縦長スリットの長さ方
向、幅方向に回折するから、これと対応する各Ｘ検出器
も複数段に配置してＸ線検出器を配置する際のスペース
ファクタをも緩和し得る。
第１図は本発明方法の一実施例を略示した正面図、第２
図は同上の平面図である。 １……Ｘ線源 ３……マルチコリメータ 3a……縦長スリット ４、５……単結晶 ６、７……Ｘ線検出器 ８……被測定物
図は同上の平面図である。 １……Ｘ線源 ３……マルチコリメータ 3a……縦長スリット ４、５……単結晶 ６、７……Ｘ線検出器 ８……被測定物
Claims (4)
- 【請求項１】被測定物の測定部間全域にわたって白色Ｘ
線を照射するためのＸ線源と、 被測定物を透過した後の透過線（透過白色Ｘ線）を複数
のＸ線ビームに分岐するためのマルチコリメータであっ
て、（５×幅）＜（１×長さ）を満足させる多数の縦長
スリットが幅方向に並んだものと、 マルチコリメータにより分岐された透過線中、低エネル
ギ単色Ｘ線を縦長スリットの長さ方向に回折するための
多数の低エネルギＸ線回折用単結晶と、 マルチコリメータにより分岐された透過線中、強エネル
ギ単色Ｘ線を縦長スリットの幅方向に回折するための多
数の強エネルギＸ線回折用単結晶と、 低エネルギＸ線回折用単結晶を経て入射される低エネル
ギ透過線を測定するためのＸ線検出器と、 強エネルギＸ線回折用単結晶を経て入射される強エネル
ギ透過線を測定するためのＸ線検出器とを備えているこ
と、および、 Ｘ線源から出射される白色Ｘ線の照射領域側に配置され
ている低エネルギ透過線測定用のＸ線検出器と強エネル
ギ透過線測定用のＸ線検出器とが、相対的な高低差をも
ってそのＸ線源とそれぞれ対面していること、 被測定物がＸ線源と各Ｘ線検出器との間において定位置
に配置されていること、 マルチコリメータが被測定物と各Ｘ線検出器との間に配
置されていること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の低エネル
ギ透過線をこれ用のＸ線検出器へ入射させるために、低
エネルギＸ線回折用の各単結晶が、被測定物と低エネル
ギ透過線測定用Ｘ線検出器との間に配置されて縦長スリ
ットの幅方向沿いに並び、かつ、これらマルチコリメー
タ、低エネルギ透過線測定用Ｘ線検出器とそれぞれ対応
していること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の強エネル
ギ透過線をこれ用のＸ線検出器へ入射させるために、強
エネルギＸ線回折用の各単結晶が、被測定物と強エネル
ギ透過線測定用Ｘ線検出器との間に配置されて縦長スリ
ットの幅方向沿いに並び、かつ、これらマルチコリメー
タ、強エネルギ透過線測定用Ｘ線検出器とそれぞれ対応
していること、および、 上記の手段を介して被測定物の組成を分析するときに、 Ｘ線源から出射した白色Ｘ線を被測定物の測定部間全域
に照射すること、 被測定物を透過した後の透過線をマルチコリメータによ
り分岐して、（５×幅）＜（１×長さ）を満足させる多
数の縦長ビームにすること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の低エネル
ギ透過線をこれ用の単結晶により回折して低エネルギ透
過線測定用Ｘ線検出器へ入射させること、 マルチコリメータにより分岐された透過線中の強エネル
ギ透過線をこれ用の単結晶により回折して強エネルギ透
過線測定用Ｘ線検出器へ入射させること、 これら低エネルギ透過線、強エネルギ透過線をそれぞれ
のＸ線検出器により測定して被測定物の組成を分析する
ことを特徴とするＸ線による被測定物の組成分析方法。 - 【請求項２】被測定物が、上下方向にわたる組成分布の
ほぼ等しい二成分系光ファイバ多孔質母材からなる特許
請求の範囲第１項記載のＸ線による被測定物の組成分析
方法。 - 【請求項３】二種類の単色Ｘ線を別個の多層Ｘ線検出器
により測定する特許請求の範囲第１項記載のＸ線による
被測定物の組成分析方法。 - 【請求項４】Ｘ線源から放射状に出射された白色Ｘ線を
被測定物に照射し、かつ、Ｘ線源を中心にしてマルチコ
リメータ、各単結晶を少量回転させる特許請求の範囲第
１項記載のＸ線による被測定物の組成分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60082080A JPH071241B2 (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60082080A JPH071241B2 (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240148A JPS61240148A (ja) | 1986-10-25 |
| JPH071241B2 true JPH071241B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=13764476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60082080A Expired - Lifetime JPH071241B2 (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071241B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2583215B2 (ja) * | 1986-02-28 | 1997-02-19 | 古河電気工業株式会社 | Ｘ線による被測定物の組成分析方法 |
| CN113805242B (zh) * | 2021-08-25 | 2024-07-12 | 浙江大华技术股份有限公司 | 安检机射线源控制方法、装置、计算机设备和存储介质 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622925A (en) * | 1979-08-01 | 1981-03-04 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Analytic measurement method for base material for optical fiber |
-
1985
- 1985-04-17 JP JP60082080A patent/JPH071241B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61240148A (ja) | 1986-10-25 |
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