JPH0712456A - 空気分離装置の運転制御方法及び装置 - Google Patents
空気分離装置の運転制御方法及び装置Info
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Abstract
素濃度を確実に許容範囲内に収める。 【構成】 高圧塔である下塔10と、低圧塔である上塔
12とで原料空気の精製分離を行い、上塔12の中部か
らガス供給通路34を通じて粗アルゴン塔14内にガス
を供給する空気分離装置の運転制御方法及び装置。粗ア
ルゴン塔14の頂部に粗アルゴン凝縮器40を設け、こ
の粗アルゴン凝縮器40への蒸発ガス供給通路42の途
中に流量調節弁46を設ける。上塔12において上記ガ
スの抽出部分もしくはこれよりも数段上の位置での温度
と、この位置よりも上方の位置での温度との差を温度計
48で検出し、制御装置50に入力する。制御装置50
は、上記温度差を目標値に近付けるように上記流量調節
弁46の開度を調節する。
Description
空気から窒素、酸素、アルゴン等を取り出すための空気
分離装置の運転制御方法及び装置に関するものである。
一例を示したものである。図において、下塔(高圧塔)
80下部に導入された原料空気は、この下塔80内で窒
素ガスと富酸素液体空気とに分離される。この下塔80
上部の窒素ガスは上塔(低圧塔)81上部に弁83を介
して移送され、下塔80底部の富酸素液体空気は、粗ア
ルゴン塔85頂部の粗アルゴン凝縮器86により加熱さ
れ、蒸発した後に上記上塔81内に供給される。下塔8
0の塔頂ガスは、上塔81底部の主凝縮器82で凝縮さ
れ、還流液として下塔80の頂部に戻される。
縮熱で塔内蒸発ガスが生成され、大略、上塔81上部で
は酸素及び窒素の精留が行われ、下部では酸素及びアル
ゴンの精留が行われる。そして、上塔81の頂部からは
製品窒素が抽出され、上塔81の下部からは弁84を介
して製品酸素が抽出され、上塔81の所定の高さ位置
(アルゴンピーク位置)からは粗アルゴン塔85への供
給ガスが抽出される。
留され、これにより粗アルゴンが生成される。詳しく
は、粗アルゴン塔85内の蒸発ガスが上記粗アルゴン凝
縮器86内に供給されて上記富酸素液体空気の蒸発熱に
より冷却、凝縮され、これによって粗アルゴン塔還流液
が生成されながら、上記精留が進められる。
上記上塔81から粗アルゴン塔85への供給ガス中の窒
素濃度を規定値以下に抑えることが両塔81,85の安
定運転上非常に重要となる。すなわち、上記供給ガス中
に窒素が規定値を超えて混在すると、粗アルゴン凝縮器
86で窒素が濃縮され、最悪の場合には粗アルゴン塔8
5の運転が不能となるおそれがある。
る手段として、上塔81の理論段数を増やし、窒素ガス
濃度に十分余裕のある位置(すなわち窒素・酸素精留領
域よりも十分下方の位置)から上記供給ガスを抽出する
ことが考えられるが、上塔81の理論段数をむやみに増
やすことは、装置全体の大型化及びコストの増大につな
がるため、好ましくない。逆に、上塔81の理論段数を
なるべく減らし、窒素ガス濃度が規定値以下となる最上
位置から上記供給ガスを抽出する場合には、上塔81や
粗アルゴン塔85の運転状態の変動によって上記供給ガ
ス中の窒素ガス濃度が規定値を超えるおそれがある。ま
た、上記供給ガスの流量を減らすことによってもこの供
給ガス中の窒素濃度を低下させることが可能であるが、
供給ガス流量をむやみに減らすことは粗アルゴン回収率
の低下につながり、やはり好ましくない。
を制御する方法として、特開昭54−13469号公報
には、上塔81において上記供給ガス抜き出し位置より
も上方の2つの位置での温度差を検出し、この温度差が
目標値以下に収まるように(すなわち供給ガス中の窒素
濃度を規定値以下に抑えるように)、下塔80への原料
空気供給量を制御するようにしたものが示されている。
この方法では、上記温度差が目標値を超える場合には上
記原料空気供給量が削減されることになる。また、上記
原料空気供給量に代え、上塔81からの製品酸素抽出量
を制御する方法も知られている。
は、上記温度差を所定の範囲内に収めるように上記供給
ガス流量を制御すべく、下塔80から粗アルゴン塔85
頂部への富酸素液体空気量を制御するようにしたものが
示されている。この方法では、上記温度差が所定範囲を
超える場合には、上記供給ガス流量を減らすべく富酸素
液体窒素供給量が削減されることになる。
469号公報に示されるように原料空気供給量を制御す
る方法の場合、上記原料空気供給量は原料空気圧縮機の
容量によって決まる量であって自由に調節できる範囲が
狭いため、この原料空気供給量の調節だけで粗アルゴン
塔85への供給ガス中の窒素濃度を十分に制御すること
は困難である。同様に、酸素ガス抽出量を制御する方法
においても、この酸素ガス抽出量は酸素ガスの使用側で
その発生量が決められているために自由に増減できる範
囲が狭く(通常は5〜10%程度)、この酸素ガス抽出
量の調節だけでも上記供給ガス中の窒素濃度を十分に制
御することはできない。
されるように、上記供給ガスの流量を制御すべく、粗ア
ルゴン塔85頂部への富酸素液体空気流量を調節する方
法では、この富酸素液体空気流量を変化させてからこれ
に対応して実際に粗アルゴン塔85への供給ガス流量が
変化するまでにかなりの遅れ時間が存在するため、制御
応答性が悪く、正確な制御を行うのは困難である。この
不都合は、上記富酸素液体空気流量に代えて上記富酸素
液体空気の組成や圧力、液面等を調節する方法において
も同様に発生する。
ら粗アルゴン塔への供給ガス中における窒素濃度をより
確実に許容範囲内に収めることができる空気分離装置の
運転制御方法及び装置を提供することを目的とする。
料空気を富酸素液体と窒素ガスとに精留分離する高圧塔
と、この高圧塔から供給される富酸素液体を液体酸素と
窒素ガスとに精留分離する低圧塔と、この低圧塔の中部
から抽出されたガスをアルゴンと酸素とに精留分離する
粗アルゴン塔とを備え、この粗アルゴン塔の頂部に、こ
の粗アルゴン塔内の蒸発ガスを凝縮させて粗アルゴン塔
の還流液を生成する粗アルゴン凝縮器が設けられた空気
分離装置において、上記低圧塔における粗アルゴン塔へ
の供給ガスの抜き出し位置もしくはこれよりも上の位置
であって上記抜き出し位置と実質上温度の異ならない位
置における該温度とこの位置よりも上方の位置であって
上記抜き出し位置と温度の異なる位置における該温度と
の差を検出し、この温度差を予め設定された目標値に保
つように上記粗アルゴン凝縮器へのガスの供給量を制御
する運転制御方法である。
運転制御装置であって、上記空気分離装置において、上
記低圧塔における粗アルゴン塔への供給ガスの抜き出し
位置もしくはこれよりも上の位置であって上記抜き出し
位置と実質上温度の異ならない位置における該温度とこ
の位置よりも上方の位置であって上記抜き出し位置と温
度の異なる位置における該温度との差を検出する温度差
検出手段と、上記粗アルゴン凝縮器への蒸発ガス供給量
を変化させる流量可変手段と、上記温度差検出手段で検
出された温度差を予め設定された目標値に保つように上
記流量可変手段の作動を制御する流量制御手段とを備え
たものである。
温度差検出手段で検出された温度差が目標値と異なる場
合に、上記流量可変手段が作動してから上記温度差が実
際に変化するまでの遅れ時間に基づき、この温度差を将
来予め設定した軌跡に沿って上記目標値に近付けるため
の上記流量可変手段の作動量を演算し、この作動量に基
づいて上記流量可変手段を作動させるものが好適であ
る。
における粗アルゴン塔への供給ガスの抜き出し位置等に
おける温度とこの位置よりも上方の位置における温度と
の差の検出により、粗アルゴン塔への供給ガス中の窒素
含有状況が把握される。すなわち、上記温度差が大きい
ほど、供給ガス抽出位置直上での窒素の精留が進んでお
らず、よって供給ガス中の窒素濃度が高いことが把握で
きる。
値に保つように上記粗アルゴン凝縮器への蒸発ガスの供
給量を制御することにより、上記供給ガス中の窒素濃度
を許容範囲内に収めることができる。具体的に、上記温
度差が上記目標値よりも高い場合、すなわち供給ガス中
の窒素濃度が高い場合には、粗アルゴン凝縮器への蒸発
ガスの供給量を減らすことにより、上記低圧塔から粗ア
ルゴン塔内への供給ガス流量を減らすことができ、その
分、低圧塔において上記供給ガス抽出位置よりも上方の
領域(すなわち窒素・酸素精留領域)での窒素ガス蒸気
流量を増やして供給ガス中の窒素濃度を削減することが
できる。しかも、上記粗アルゴン塔頂部への富酸素液体
空気供給量等を変化させる方法に比べ、上記粗アルゴン
凝縮器への蒸発ガスの供給量を変化させてから実際に粗
アルゴン塔内への供給ガス流量が変化するまでの遅れ時
間は大幅に短縮されるので、その分制御応答性も良くな
る。
アルゴン塔各段における液保有量に対応して遅れ時間は
発生するが、ここで、上記遅れ時間に基づき、上記温度
差が目標値と異なる場合にこの温度差が将来予め設定し
た軌跡に沿って上記目標値に近付づくための流量可変手
段の作動量(すなわち粗アルゴン凝縮器への蒸発ガスの
供給流量の変化量)を演算するようにした装置によれ
ば、上記遅れ時間をも見越して、上記温度差を迅速に目
標値へ近付けるための流量可変手段の作動量が決められ
るので、制御応答性はさらに良好となる。
る。
塔)10、上塔(低圧塔)12、及び粗アルゴン塔14
を備えている。
が接続され、その途中に流量調節弁18が設けられてお
り、下塔10内で原料空気から富酸素液体空気及び窒素
ガスが精留分離されるようになっている。
素ガスから高純度酸素及び高純度窒素を精留分離するも
のであり、従って、窒素の沸点と酸素の沸点との間の沸
点をもつアルゴンの濃度最大位置は上塔12の中部に存
在している。この上塔12の底部には主凝縮器20が設
置され、その入口側が通路22を介して上記下塔10の
塔頂に接続され、出口側が通路24を介して下塔10の
上部に接続されている。上塔12の上部には通路26を
介して前記下塔10の上部が接続され、この通路26の
途中に弁28が設けられている。
し通路29が接続され、上塔12の下部には製品酸素抜
き出し通路30が接続されており、この製品酸素抜き出
し通路30の途中に弁32が設けられている。そして、
この上塔12において、上記アルゴン濃度最大位置に対
応する位置が、ガス供給通路34を介して前記粗アルゴ
ン塔14の下部に接続されており、この粗アルゴン塔1
4の底部が液体酸素返送通路36を介して上塔12の中
部に接続されている。
ら供給ガスから粗アルゴンを精留分離するものであり、
その塔頂に液体空気蒸発室37を有し、この液体空気蒸
発室37が富酸素液体空気供給通路38を介して上記下
塔10の底部に接続されるとともに、蒸発ガス供給通路
39を介して上塔12の上部に接続されている。上記液
体空気蒸発室37内には、粗アルゴン凝縮器40が収容
されており、この粗アルゴン凝縮器40の入口側及び出
口側が、蒸発ガス供給通路42及び返送通路44をそれ
ぞれ介して粗アルゴン塔14上部に接続されている。
ガス供給通路42の途中に、流量調節弁(流量可変手
段)46が設けられている。また、上塔12には、上記
ガス供給通路34の接続位置もしくはこれよりも棚段に
して1段上の位置(以下、第1の高さ位置と称する。)
の温度と、この第1の高さ位置よりも棚段にして十数段
上の位置(以下、第2の高さ位置と称する。)の温度と
の差を検出する温度計(温度差検出手段)48が設けら
れ、この温度計48は、制御装置50に電気的に接続さ
れている。この制御装置50は、上記温度計48により
検出される温度差を目標値に保つように上記流量調節弁
46の開度を制御するものである(詳細後述)。
が、原料空気通路16を通じて下塔10内に導入され、
この原料空気は、窒素ガスと富酸素液体空気とに精留分
離される。
て上塔12の上部に供給される。また、上記富酸素液体
空気は、富酸素液体空気供給通路38を通じて粗アルゴ
ン塔14塔頂の液体空気蒸発室37内に導入され、粗ア
ルゴン凝縮器40により加熱され、蒸発した後に蒸発ガ
ス供給通路39を通じて上塔12の上部に供給される。
この上塔12で、液体酸素と窒素ガスとの精留分離が行
われ、両者の沸点の間の沸点をもつアルゴンは、その濃
度が上塔12の中部でピークとなる。
抜き出し通路29を通じ、酸素は製品酸素抜き出し通路
30を通じ、それぞれ系外へ導出される。さらに、上塔
12の中部からは、酸素及びアルゴンの濃縮ガスがガス
供給通路34を通じて粗アルゴン塔14の下部に導入さ
れ、この粗アルゴン塔14で酸素及び粗アルゴンの精留
分離が行われる。具体的には、粗アルゴン塔14内の上
昇ガス(粗アルゴンガス)が蒸発ガス供給通路42及び
流量調節弁46を通じて粗アルゴン凝縮器40内に導入
され、上記液体空気蒸発室37内での富酸素液体空気の
蒸発潜熱により冷却され、凝縮される。そして、この凝
縮液が返送通路44を通じて粗アルゴン塔14上部に還
流液として供給されることにより、精留が進められる。
運転状態が変動すると、上塔12からガス供給通路34
を通じて粗アルゴン塔14内に供給される供給ガス中の
窒素濃度にも変動が生じ、この窒素濃度が規定値を超え
ると窒素ガスが上記粗アルゴン凝縮器40内で濃縮され
て正常な運転を妨げるおそれがあるが、この装置では、
制御装置50が温度計48による検出温度差を通じて装
置の運転状態を把握し、これに応じて流量調節弁46の
開閉動作を制御することにより、上記供給ガス中の窒素
濃度は良好な範囲に保たれることになる。
い場合には、上塔12においてガス供給通路34が接続
されている部分よりも上方の領域で余裕のある運転が行
われておらず、その分上記温度計48による検出温度差
は大きくなり、逆に供給ガス中の窒素濃度が低い場合に
は、上記検出温度差も小さくなる。従って、この温度差
を監視することにより、装置の運転状況を間接的に把握
できることになる。
が目標範囲を上回る場合(すなわち供給ガス中の窒素濃
度が高い場合)には、流量調節弁46に制御信号を出力
し、その開度を減少させる。これにより、粗アルゴン凝
縮器40内への粗アルゴン塔上昇ガスの供給量が削減さ
れ、これに伴って上塔12から粗アルゴン塔14への供
給ガス流量も減少するので、この供給ガスの抽出位置よ
りも上方の領域における上塔12内の気液比(上昇ガス
流量と還流液量との比)が増加し、その分上記供給ガス
中の窒素濃度が低減される。逆に、上記検出温度差が目
標範囲を下回る場合(すなわち供給ガス中の窒素濃度が
低い場合)には、上記制御装置50により流量調節弁4
6の開度が拡大され、粗アルゴン凝縮器40内への粗ア
ルゴン塔上昇ガスの供給量が増やされることにより、上
塔12から粗アルゴン塔14への供給ガス流量が増やさ
れ、この供給ガスの抽出位置よりも上方の領域における
上塔12内の気液比が減少して、その分上記供給ガス中
の窒素濃度が高まる。
計48の検出する温度差に基づいて制御装置50により
粗アルゴン凝縮器40への蒸発ガス供給流量を制御する
だけで、ガス供給通路34を流れる供給ガス中の窒素濃
度を常時適正な範囲に抑えることができ、良好な運転を
維持することができる。
発ガス供給流量の変化に対してガス供給通路34内のガ
ス流量は比較的素早く反応するので、従来のように液体
空気蒸発室37への富酸素液体空気供給量等を制御する
場合に比べ、制御応答性を高めることができる。また、
原料空気供給流量や製品酸素抽出流量を操作する場合に
比べ、上記蒸発ガス供給流量の調節可能範囲が広いた
め、実際の運転状況に十分対応した制御を行うことがで
きる。
器40への供給ガス流量を操作しても、上塔12及び粗
アルゴン塔14における各段での液保有量に対応して応
答遅れが生じる。この場合、フィードバックゲイン等の
制御ゲインを小さく設定すると、偏差をゼロにするまで
に長い時間がかかり、逆に制御ゲインを大きく設定する
と制御内容が不安定になる不都合が発生するが、以下に
説明するようないわゆるシナリオ制御を実行することに
より、上記応答遅れをカバーしてより的確な運転制御を
実現することが可能である。
せて参照しながら順を追って説明する。
れる。
調節弁46の開度、Y1はガス供給通路34を流れる供
給ガスの流量であり、F1は、プロセスゲインK1、む
だ時間L1、及び一次遅れの時定数T1により与えられ
る関数である。
同定される。
量(=Y1)、Y2は温度計48で検出される供給ガス
の流量であり、F2は、プロセスゲインK2、むだ時間
L2、及び一次遅れの時定数T2により与えられる関数
である。
の関係、X2とY2との関係について適用する。以下、
入力(操作量)X1,X2を共通してX、出力(プロセ
ス応答)Y1,Y2を共通してYと表現して説明を進め
る。
された時間幅Δtをもつパルス信号の列からなるものと
し、これに対してプロセス応答は図3下段に示されるよ
うに上記パルス信号が発信されてからむだ時間L経過後
に生じ、かつプロセス応答の大きさはパルス信号の大き
さ(レベル)に比例するものとする。なお、上記時間幅
(パルス幅)Δtは、むだ時間L及び時定数Tに基づい
て定めれば良い。
よりも過去のパルス列58を調べ、これらのパルス列が
過去に発信され、かつ最後のパルス列(現時点で発信さ
れているパルス列)のレベルと同レベルの信号を将来発
信し続ける(破線60)と仮定した時に制御出力が将来
どのような時間的軌道に沿って目標値に近づくかを予想
する。この予想軌道は、過去及び現在の各パルス信号に
対応するプロセス応答(図3下段)を求め、これらのプ
ロセス応答を順次重ね合せていくことにより得られる。
近付けるための目標軌道(シナリオ)を決定する。この
シナリオの具体的な設定要領は特に問わないが、例とし
ては、偏差、すなわち現在のプロセス値と制御目標値と
の差を上記むだ時間Lの複数倍(この実施例では3倍)
の時間で0にするような軌跡等を設定するのが好まし
い。
決定に際しては、各時点でのプロセス応答はこの時点よ
りもむだ時間Lだけ過去の入力パルスが最も大きく影響
することに着目して行う。具体的には、上述の要領で決
定したシナリオと、過去のパルス列に基づく将来の予想
軌道との差を求めればよい。この差が、現時点での操作
パルスのレベルを増減すべき量となる。このようにして
得られた操作信号を将来的に入力することにより、図5
に示すように、実際のプロセス応答をシナリオ62にほ
ぼ近い軌道61に沿わせることができる。
御を行うことにより、制御偏差はより迅速かつ確実にゼ
ロに近づくことになり、制御応答性がさらに高められ
る。
をそれぞれ下塔10及び上塔12として上下に配した装
置を示したが、本発明では、高圧塔及び低圧塔が水平方
向に並べて配置されたものであっても良い。
な構造は問わず、棚段式精留塔であっても良いし、充填
塔であってもよい。
ルゴン塔への供給ガスの抜き出し位置もしくはこの位置
と実質上温度の変わらない位置における該温度とこの位
置よりも上方の位置における温度との差の検出により、
粗アルゴン塔への供給ガス中の窒素含有状況を正確に把
握し、この検出温度差を予め設定された目標値に保つべ
く、上記粗アルゴン凝縮器への蒸発ガスの供給量を制御
することにより上記粗アルゴン塔への供給ガス流量を増
減させるようにしたものであるので、従来のように原料
空気供給流量や製品酸素抽出流量を変化させる場合に比
べて上記蒸発ガス供給量をより大きな幅で変化させるこ
とが可能であり、従来に比べてより柔軟な制御を行うこ
とができるとともに、上記粗アルゴン凝縮器の周囲への
富酸素液体空気供給流量を制御する場合等に比べてより
高い応答性で上記供給ガス中の窒素濃度を正確に制御す
ることができる効果がある。
ルゴン塔各段における液保有量に対応して上記遅れ時間
は発生することになるが、上記遅れ時間に基づき、上記
温度差が目標値と異なる場合にこの温度差が将来予め設
定した軌跡に沿って上記目標値に近付づくための流量可
変手段の作動量(すなわち粗アルゴン凝縮器への蒸発ガ
スの供給流量の変化量)を演算するようにした装置によ
れば、上記遅れ時間をも見越して、上記温度差を迅速に
目標値へ近付けるための流量可変手段の作動量が決めら
れるので、制御応答性をさらに高めることができる効果
がある。
フローシートである。
である。
ラフである。
である。
ロセス応答の軌道との関係を示すグラフである。
Claims (3)
- 【請求項1】 導入された原料空気を富酸素液体と窒素
ガスとに精留分離する高圧塔と、この高圧塔から供給さ
れる富酸素液体を液体酸素と窒素ガスとに精留分離する
低圧塔と、この低圧塔の中部から抽出されたガスをアル
ゴンと酸素とに精留分離する粗アルゴン塔とを備え、こ
の粗アルゴン塔の頂部に、この粗アルゴン塔内の上昇ガ
スを凝縮させて粗アルゴン塔の還流液を生成する粗アル
ゴン凝縮器が設けられた空気分離装置において、上記低
圧塔における粗アルゴン塔への供給ガスの抜き出し位置
もしくはこれよりも上の位置であって上記抜き出し位置
と実質上温度の異ならない位置における該温度とこの位
置よりも上方の位置であって上記抜き出し位置と温度の
異なる位置における該温度との差を検出し、この温度差
を予め設定された目標値に保つように上記粗アルゴン凝
縮器へのガスの供給量を制御することを特徴とする空気
分離装置の運転制御方法。 - 【請求項2】 導入された原料空気を富酸素液体と窒素
ガスとに精留分離する高圧塔と、この高圧塔から供給さ
れる富酸素液体を液体酸素と窒素ガスとに精留分離する
低圧塔と、この低圧塔の中部から抽出されたガスをアル
ゴンと酸素とに精留分離する粗アルゴン塔とを備え、こ
の粗アルゴン塔の頂部に、この粗アルゴン塔内の蒸発ガ
スを凝縮させて粗アルゴン塔の還流液を生成する粗アル
ゴン凝縮器が設けられた空気分離装置において、上記低
圧塔における粗アルゴン塔への供給ガスの抜き出し位置
もしくはこれよりも上の位置であって上記抜き出し位置
と実質上温度の異ならない位置における該温度とこの位
置よりも上方の位置であって上記抜き出し位置と温度の
異なる位置における該温度との差を検出する温度差検出
手段と、上記粗アルゴン凝縮器へのガス供給量を変化さ
せる流量可変手段と、上記温度差検出手段で検出された
温度差を予め設定された目標値に保つように上記流量可
変手段の作動を制御する流量制御手段とを備えたことを
特徴とする空気分離装置の運転制御装置。 - 【請求項3】 請求項2記載の空気分離装置の運転制御
装置において、上記流量制御手段を、上記温度差検出手
段で検出された温度差が目標値と異なる場合に、上記流
量可変手段が作動してから上記温度差が実際に変化する
までの遅れ時間に基づき、この温度差を将来予め設定し
た軌跡に沿って上記目標値に近付けるための上記流量可
変手段の作動量を演算し、この作動量に基づいて上記流
量可変手段を作動させるように構成したことを特徴とす
る空気分離装置の運転制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15071493A JP2714527B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 空気分離装置の運転制御方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15071493A JP2714527B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 空気分離装置の運転制御方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712456A true JPH0712456A (ja) | 1995-01-17 |
| JP2714527B2 JP2714527B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=15502806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15071493A Expired - Lifetime JP2714527B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 空気分離装置の運転制御方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2714527B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113074515A (zh) * | 2020-01-06 | 2021-07-06 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 空气分离系统 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6364707B2 (ja) | 2012-05-28 | 2018-08-01 | 株式会社湯山製作所 | 薬剤払出装置および薬剤払出方法 |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP15071493A patent/JP2714527B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113074515A (zh) * | 2020-01-06 | 2021-07-06 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 空气分离系统 |
| EP3845848A1 (en) * | 2020-01-06 | 2021-07-07 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Air separation system |
| JP2021110466A (ja) * | 2020-01-06 | 2021-08-02 | 日本エア・リキード合同会社 | 空気分離システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2714527B2 (ja) | 1998-02-16 |
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