JPH07128263A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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- JPH07128263A JPH07128263A JP5297362A JP29736293A JPH07128263A JP H07128263 A JPH07128263 A JP H07128263A JP 5297362 A JP5297362 A JP 5297362A JP 29736293 A JP29736293 A JP 29736293A JP H07128263 A JPH07128263 A JP H07128263A
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- rays
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 １つの装置で、蛍光Ｘ線分析およびＸ線回折
分析の両方を行い得るＸ線分析装置を提供する。 【構成】 ロジウムＲｈをターゲット材とするＸ線管３
を用いて蛍光Ｘ線分析を行うとともに、試料１に含まれ
る結晶によって回折されたＲｈＬα線を取り出して、分
光することにより、Ｘ線回折分析を行う。
分析の両方を行い得るＸ線分析装置を提供する。 【構成】 ロジウムＲｈをターゲット材とするＸ線管３
を用いて蛍光Ｘ線分析を行うとともに、試料１に含まれ
る結晶によって回折されたＲｈＬα線を取り出して、分
光することにより、Ｘ線回折分析を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、試料からの蛍光Ｘ線
および回折Ｘ線に基づいて試料の分析を行うＸ線分析装
置に関するものである。
および回折Ｘ線に基づいて試料の分析を行うＸ線分析装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置およびＸ線回折分析装
置は、ともにＸ線分析装置の一種である。蛍光Ｘ線分析
装置は、試料に励起Ｘ線を照射し、試料の原子を励起す
ることで、試料に含まれる元素固有の蛍光Ｘ線を検出し
て、試料の組成や膜厚などの分析を行う装置である。一
方、Ｘ線回折分析装置は、試料にＸ線を照射し、試料の
結晶構造（格子）で回折された回折Ｘ線を検出すること
で、試料の結晶構造を分析する装置である。
置は、ともにＸ線分析装置の一種である。蛍光Ｘ線分析
装置は、試料に励起Ｘ線を照射し、試料の原子を励起す
ることで、試料に含まれる元素固有の蛍光Ｘ線を検出し
て、試料の組成や膜厚などの分析を行う装置である。一
方、Ｘ線回折分析装置は、試料にＸ線を照射し、試料の
結晶構造（格子）で回折された回折Ｘ線を検出すること
で、試料の結晶構造を分析する装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、試料を分析す
る場合、試料の組成または結晶構造の一方のみを分析す
ることが多く、組成および結晶構造の双方を分析するこ
とは少ない。しかし、セメント原料のクリンカなどで
は、その品質管理上、組成および結晶構造の両方を知る
必要がある。したがって、１つのＸ線分析装置で、蛍光
Ｘ線分析およびＸ線回折分析を可能とすることは有意義
である。
る場合、試料の組成または結晶構造の一方のみを分析す
ることが多く、組成および結晶構造の双方を分析するこ
とは少ない。しかし、セメント原料のクリンカなどで
は、その品質管理上、組成および結晶構造の両方を知る
必要がある。したがって、１つのＸ線分析装置で、蛍光
Ｘ線分析およびＸ線回折分析を可能とすることは有意義
である。
【０００４】しかし、従来は、以下に説明する理由によ
り、１つの装置で２種類の分析を行うことはなされてい
なかった。Ｘ線の回折条件は、下記のブラッグの式によ
り与えられる。 ２ｄsin θ＝ｎλ ｄ：結晶の面間隔 θ：回折角 λ：回折されるＸ線の波長 ｎ：反射の次数（１，２，３…） ここで、クリンカ中のＣａＯの結晶の面間隔ｄは、2.40
56Åであり、用いるＸ線Ｂ１の波長λを1.5418Å（Ｃｕ
Ｋα線）とすると、回折角θは18.69 °になる。したが
って、図３（a)のように、反射型のＸ線回折を行う場合
には、試料１への入射角α（α＝θ）を比較的小さな角
度に設定する。
り、１つの装置で２種類の分析を行うことはなされてい
なかった。Ｘ線の回折条件は、下記のブラッグの式によ
り与えられる。 ２ｄsin θ＝ｎλ ｄ：結晶の面間隔 θ：回折角 λ：回折されるＸ線の波長 ｎ：反射の次数（１，２，３…） ここで、クリンカ中のＣａＯの結晶の面間隔ｄは、2.40
56Åであり、用いるＸ線Ｂ１の波長λを1.5418Å（Ｃｕ
Ｋα線）とすると、回折角θは18.69 °になる。したが
って、図３（a)のように、反射型のＸ線回折を行う場合
には、試料１への入射角α（α＝θ）を比較的小さな角
度に設定する。
【０００５】一方、図３（ｂ）に示すように、蛍光Ｘ線
分析装置では、試料１に照射される励起Ｘ線Ｂ１の強度
を大きくして蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を大きくするために、
励起Ｘ線Ｂ１の入射角αが９０°程度の大きな角度に設
定される。
分析装置では、試料１に照射される励起Ｘ線Ｂ１の強度
を大きくして蛍光Ｘ線Ｂ２の強度を大きくするために、
励起Ｘ線Ｂ１の入射角αが９０°程度の大きな角度に設
定される。
【０００６】このように、Ｘ線回折と蛍光Ｘ線分析で
は、試料１に入射させるＸ線Ｂ１の入射角αが大きく異
なっているので、１つの装置で２種類の分析を行うこと
はなされていない。
は、試料１に入射させるＸ線Ｂ１の入射角αが大きく異
なっているので、１つの装置で２種類の分析を行うこと
はなされていない。
【０００７】なお、図３（ｃ）のように、Ｘ線回折にお
いて、入射角αを大きくすることも考えられる。しか
し、こうすると、回折Ｘ線Ｂ３を試料１の表面に取り出
す透過型のＸ線回折となり、一方、試料１の厚さは一般
に２mm〜３mm程度であるから、十分な強度の回折Ｘ線Ｂ
３を取り出すことができないので、入射角αを大きくす
ることはできない。
いて、入射角αを大きくすることも考えられる。しか
し、こうすると、回折Ｘ線Ｂ３を試料１の表面に取り出
す透過型のＸ線回折となり、一方、試料１の厚さは一般
に２mm〜３mm程度であるから、十分な強度の回折Ｘ線Ｂ
３を取り出すことができないので、入射角αを大きくす
ることはできない。
【０００８】この発明は、かかる課題に鑑みてなされた
もので、１つの装置で、蛍光Ｘ線分析およびＸ線回折分
析の両方を行い得るＸ線分析装置を提供することを目的
とする。
もので、１つの装置で、蛍光Ｘ線分析およびＸ線回折分
析の両方を行い得るＸ線分析装置を提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、蛍光Ｘ線分析装置の基本的構成に加
え、試料に照射するＸ線に含まれる波長の長い特性Ｘ線
であって試料により回折されて反射された特性Ｘ線を分
光する分光素子と、この分光素子によって回折された波
長の長い特性Ｘ線を検出する回折Ｘ線検出器とを備えて
いる。
に、この発明は、蛍光Ｘ線分析装置の基本的構成に加
え、試料に照射するＸ線に含まれる波長の長い特性Ｘ線
であって試料により回折されて反射された特性Ｘ線を分
光する分光素子と、この分光素子によって回折された波
長の長い特性Ｘ線を検出する回折Ｘ線検出器とを備えて
いる。
【００１０】
【作用】この発明によれば、特性Ｘ線のうち波長の長い
特性Ｘ線を用いてＸ線回折分析を行うので、回折角が大
きくなる。そのため、Ｘ線を大きな入射角度で試料に入
射させても、試料の表面から回折Ｘ線を取り出すことが
可能となる。
特性Ｘ線を用いてＸ線回折分析を行うので、回折角が大
きくなる。そのため、Ｘ線を大きな入射角度で試料に入
射させても、試料の表面から回折Ｘ線を取り出すことが
可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面にしたがっ
て説明する。図１において、試料１は、セメント原料の
クリンカで、ＣａＯの多結晶を含んでいる。Ｘ線分析装
置は、Ｘ線管（照射装置）３と、フィルタ装置２と、第
１および第２の分光素子４Ａ，４Ｂと、第１および第２
の測定器５Ａ，５Ｂを備えている。
て説明する。図１において、試料１は、セメント原料の
クリンカで、ＣａＯの多結晶を含んでいる。Ｘ線分析装
置は、Ｘ線管（照射装置）３と、フィルタ装置２と、第
１および第２の分光素子４Ａ，４Ｂと、第１および第２
の測定器５Ａ，５Ｂを備えている。
【００１２】上記フィルタ装置２は、Ｘ線管３の出射窓
の近傍に設けられており、図２に示すように、複数のフ
ィルタ２ａ，２ｂ、透過窓２１およびコリメータ２０を
備えている。各フィルタ２ａ，２ｂ、透過窓２１および
コリメータ２０は、０点を中心に回転して、図１の励起
Ｘ線Ｂ１の光路に挿入される。上記各フィルタ２ａ，２
ｂ（図２）は、互いに異なる元素を含んでおり、蛍光Ｘ
線分析の際に用いられ、Ｘ線Ｂ１のうちバックグラウン
ドとなる所定の波長の成分を吸収するものである。一
方、上記コリメータ２０（図２）は、Ｘ線Ｂ１を平行光
にして、試料１に入射するＸ線Ｂ１の角度の拡がりを小
さくするものである。第１および第２の測定器５Ａ，５
Ｂは、それぞれ、蛍光Ｘ線検出器８Ａおよび回折Ｘ線検
出器８Ｂと、第１および第２計数回路部９Ａ，９Ｂとを
備えている。
の近傍に設けられており、図２に示すように、複数のフ
ィルタ２ａ，２ｂ、透過窓２１およびコリメータ２０を
備えている。各フィルタ２ａ，２ｂ、透過窓２１および
コリメータ２０は、０点を中心に回転して、図１の励起
Ｘ線Ｂ１の光路に挿入される。上記各フィルタ２ａ，２
ｂ（図２）は、互いに異なる元素を含んでおり、蛍光Ｘ
線分析の際に用いられ、Ｘ線Ｂ１のうちバックグラウン
ドとなる所定の波長の成分を吸収するものである。一
方、上記コリメータ２０（図２）は、Ｘ線Ｂ１を平行光
にして、試料１に入射するＸ線Ｂ１の角度の拡がりを小
さくするものである。第１および第２の測定器５Ａ，５
Ｂは、それぞれ、蛍光Ｘ線検出器８Ａおよび回折Ｘ線検
出器８Ｂと、第１および第２計数回路部９Ａ，９Ｂとを
備えている。
【００１３】Ｘ線管３は、試料１の表面に対向して配設
されている。このＸ線管３は、たとえばロジウムＲｈを
ターゲット材としており、ＲｈＫα線，ＲｈＫβ線およ
びＲｈＬα線などの互いに波長の異なる複数種類の特性
Ｘ線を含むＸ線Ｂ１を出射するものである。Ｘ線Ｂ１を
受けた試料１は、原子が励起されて、試料１に含まれて
いる元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生するとともに、Ｃａ
Ｏの多結晶により、Ｘ線Ｂ１の一部を回折Ｘ線Ｂ３とし
て回折する。
されている。このＸ線管３は、たとえばロジウムＲｈを
ターゲット材としており、ＲｈＫα線，ＲｈＫβ線およ
びＲｈＬα線などの互いに波長の異なる複数種類の特性
Ｘ線を含むＸ線Ｂ１を出射するものである。Ｘ線Ｂ１を
受けた試料１は、原子が励起されて、試料１に含まれて
いる元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２を発生するとともに、Ｃａ
Ｏの多結晶により、Ｘ線Ｂ１の一部を回折Ｘ線Ｂ３とし
て回折する。
【００１４】上記両分光素子４Ａ，４ＢおよびＸ線検出
器８Ａ，８Ｂは、たとえば真空雰囲気やヘリウムのよう
な希ガスの雰囲気に保持された分光室に収納されてお
り、全てのＸ線Ｂ１，Ｂ２，Ｂ２１，Ｂ３は、かかる雰
囲気内を通過する。第１の分光素子４Ａは、図示してい
ないが複数個設けられており、試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ
２および回折Ｘ線Ｂ３のうち、測定しようとする元素の
蛍光Ｘ線Ｂ２１を分光する。一方、第２の分光素子４Ｂ
は、試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ２および回折Ｘ線Ｂ３のう
ち、波長の長い特性Ｘ線であるＲｈＬα線（回折Ｘ線Ｂ
３）を分光する。これら第１および第２の分光素子４
Ａ，４Ｂで分光された蛍光Ｘ線Ｂ２１および回折Ｘ線Ｂ
３は、それぞれ、第１および第２のＸ線検出器８Ａ，８
Ｂに入射する。なお、回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）の取
出角βは、測定対象であるＣａＯの多結晶の格子面間隔
ｄおよび検出する回折Ｘ線Ｂ３の波長から上記ブラッグ
の式に従って算出された２θ（１４５．６９°）に基づ
いて設定される。たとえば、Ｘ線Ｂ１の入射角αを９０
°とすると、取出角βは５５．６９°になる。
器８Ａ，８Ｂは、たとえば真空雰囲気やヘリウムのよう
な希ガスの雰囲気に保持された分光室に収納されてお
り、全てのＸ線Ｂ１，Ｂ２，Ｂ２１，Ｂ３は、かかる雰
囲気内を通過する。第１の分光素子４Ａは、図示してい
ないが複数個設けられており、試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ
２および回折Ｘ線Ｂ３のうち、測定しようとする元素の
蛍光Ｘ線Ｂ２１を分光する。一方、第２の分光素子４Ｂ
は、試料１からの蛍光Ｘ線Ｂ２および回折Ｘ線Ｂ３のう
ち、波長の長い特性Ｘ線であるＲｈＬα線（回折Ｘ線Ｂ
３）を分光する。これら第１および第２の分光素子４
Ａ，４Ｂで分光された蛍光Ｘ線Ｂ２１および回折Ｘ線Ｂ
３は、それぞれ、第１および第２のＸ線検出器８Ａ，８
Ｂに入射する。なお、回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）の取
出角βは、測定対象であるＣａＯの多結晶の格子面間隔
ｄおよび検出する回折Ｘ線Ｂ３の波長から上記ブラッグ
の式に従って算出された２θ（１４５．６９°）に基づ
いて設定される。たとえば、Ｘ線Ｂ１の入射角αを９０
°とすると、取出角βは５５．６９°になる。
【００１５】上記第１および第２のＸ線検出器８Ａ，８
Ｂは、それぞれ、入射した蛍光Ｘ線Ｂ２１および回折Ｘ
線Ｂ３（ＲｈＬα線）を検出して、検出出力ｅ１，ｅ２
を第１および第２計数回路部９Ａ，９Ｂに出力する。第
１および第２計数回路部９Ａ，９Ｂは、それぞれ、検出
出力ｅ１，ｅ２をカウントして、蛍光Ｘ線Ｂ２１および
回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）の強度を測定信号ｘ１，ｘ
２として第１および第２の演算器６Ａ，６Ｂに出力す
る。第１および第２の演算器６Ａ，６Ｂは、それぞれ、
上記測定信号ｘ１，ｘ２を受けて、蛍光Ｘ線Ｂ２１およ
び回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）の測定強度に基づいて、
試料中の元素の濃度およびＣａＯの結晶状態を求める。
Ｂは、それぞれ、入射した蛍光Ｘ線Ｂ２１および回折Ｘ
線Ｂ３（ＲｈＬα線）を検出して、検出出力ｅ１，ｅ２
を第１および第２計数回路部９Ａ，９Ｂに出力する。第
１および第２計数回路部９Ａ，９Ｂは、それぞれ、検出
出力ｅ１，ｅ２をカウントして、蛍光Ｘ線Ｂ２１および
回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）の強度を測定信号ｘ１，ｘ
２として第１および第２の演算器６Ａ，６Ｂに出力す
る。第１および第２の演算器６Ａ，６Ｂは、それぞれ、
上記測定信号ｘ１，ｘ２を受けて、蛍光Ｘ線Ｂ２１およ
び回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）の測定強度に基づいて、
試料中の元素の濃度およびＣａＯの結晶状態を求める。
【００１６】つぎに、分析方法について説明する。ま
ず、蛍光Ｘ線分析を行う際には、図２のフィルタ２ａ，
２ｂまたは透過窓２１を選択して、図１のＸ線管３の出
射窓に対向させる。つづいて、Ｘ線管３から拡がりのあ
るＸ線Ｂ１を励起Ｘ線として試料１に照射する。Ｘ線Ｂ
１を受けた試料１は、ＲｈＫα線やＲｈＫβ線などによ
って原子が励起されて、元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２が発生
する。蛍光Ｘ線Ｂ２は、第１の分光素子４Ａにより測定
対象の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２１が回折されて、蛍光Ｘ線検
出器８Ａで検出され、周知の蛍光Ｘ線分析がなされる。
これにより、試料１の組成の分析がなされる。
ず、蛍光Ｘ線分析を行う際には、図２のフィルタ２ａ，
２ｂまたは透過窓２１を選択して、図１のＸ線管３の出
射窓に対向させる。つづいて、Ｘ線管３から拡がりのあ
るＸ線Ｂ１を励起Ｘ線として試料１に照射する。Ｘ線Ｂ
１を受けた試料１は、ＲｈＫα線やＲｈＫβ線などによ
って原子が励起されて、元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２が発生
する。蛍光Ｘ線Ｂ２は、第１の分光素子４Ａにより測定
対象の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２１が回折されて、蛍光Ｘ線検
出器８Ａで検出され、周知の蛍光Ｘ線分析がなされる。
これにより、試料１の組成の分析がなされる。
【００１７】つぎに、Ｘ線回折分析を行う際には、図２
のコリメータ２０を選択して、図１のＸ線管３の出射窓
に対向させる。つづいて、Ｘ線管３からコリメータ２０
を通して平行なＸ線Ｂ１を試料１に照射する。Ｘ線Ｂ１
を受けた試料１は、蛍光Ｘ線Ｂ２を発生するとともに、
試料１に含まれる結晶の格子で、Ｘ線Ｂ１を種々の方向
に回折させる。回折Ｘ線Ｂ３は、２θが所定の角度に設
定されているので、試料１中に含まれる結晶の格子との
関係上、所定の波長の特性Ｘ線（たとえばＲｈＬα線）
のみが、第２の分光素子４Ｂに向かう。第２の分光素子
４Ｂは、入射した蛍光Ｘ線Ｂ２および回折Ｘ線Ｂ３のう
ち、ブラッグの式に従って、回折Ｘ線（ＲｈＬα線）Ｂ
３のみを分光する。分光されたＲｈＬα線Ｂ３は、回折
Ｘ線検出器８Ｂで検出され、周知のＸ線回折分析がなさ
れる。これにより、試料１の結晶構造を知ることができ
る。
のコリメータ２０を選択して、図１のＸ線管３の出射窓
に対向させる。つづいて、Ｘ線管３からコリメータ２０
を通して平行なＸ線Ｂ１を試料１に照射する。Ｘ線Ｂ１
を受けた試料１は、蛍光Ｘ線Ｂ２を発生するとともに、
試料１に含まれる結晶の格子で、Ｘ線Ｂ１を種々の方向
に回折させる。回折Ｘ線Ｂ３は、２θが所定の角度に設
定されているので、試料１中に含まれる結晶の格子との
関係上、所定の波長の特性Ｘ線（たとえばＲｈＬα線）
のみが、第２の分光素子４Ｂに向かう。第２の分光素子
４Ｂは、入射した蛍光Ｘ線Ｂ２および回折Ｘ線Ｂ３のう
ち、ブラッグの式に従って、回折Ｘ線（ＲｈＬα線）Ｂ
３のみを分光する。分光されたＲｈＬα線Ｂ３は、回折
Ｘ線検出器８Ｂで検出され、周知のＸ線回折分析がなさ
れる。これにより、試料１の結晶構造を知ることができ
る。
【００１８】このように、このＸ線分析装置は、Ｘ線管
３から出射されたＸ線Ｂ１のうち、波長の長い特性Ｘ線
であるＲｈＬα線を第２の分光素子４Ｂにより分光する
から、前述のブラッグの式から分かるように、２θが大
きくなる。そのため、Ｘ線管３からのＸ線Ｂ１の入射角
αが大きくても回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）を試料１の
表面側に取り出すことができる。したがって、Ｘ線管３
を試料１に対向させる蛍光Ｘ線分析装置を用いて、Ｘ線
回折分析を行うことができる。
３から出射されたＸ線Ｂ１のうち、波長の長い特性Ｘ線
であるＲｈＬα線を第２の分光素子４Ｂにより分光する
から、前述のブラッグの式から分かるように、２θが大
きくなる。そのため、Ｘ線管３からのＸ線Ｂ１の入射角
αが大きくても回折Ｘ線Ｂ３（ＲｈＬα線）を試料１の
表面側に取り出すことができる。したがって、Ｘ線管３
を試料１に対向させる蛍光Ｘ線分析装置を用いて、Ｘ線
回折分析を行うことができる。
【００１９】ところで、ＲｈＬα線のように波長の長い
Ｘ線は、空気などにより吸収される。そのため、通常、
大気で分析を行うＸ線回折装置の場合には、ＲｈＬα線
などの波長の長いＸ線を用いてＸ線回折分析を行うこと
はできない。これに対し、このＸ線分析装置は、一般の
蛍光Ｘ線分析装置を流用するものであるから、Ｘ線Ｂ
１，Ｂ２，Ｂ３が真空雰囲気内や希ガスの雰囲気内を通
過するので、波長の長いＲｈＬα線であっても吸収され
るおそれがない。したがって、Ｘ線Ｂ１に含まれる波長
の長い特性Ｘ線を用いてＸ線回折分析を行うことができ
る。
Ｘ線は、空気などにより吸収される。そのため、通常、
大気で分析を行うＸ線回折装置の場合には、ＲｈＬα線
などの波長の長いＸ線を用いてＸ線回折分析を行うこと
はできない。これに対し、このＸ線分析装置は、一般の
蛍光Ｘ線分析装置を流用するものであるから、Ｘ線Ｂ
１，Ｂ２，Ｂ３が真空雰囲気内や希ガスの雰囲気内を通
過するので、波長の長いＲｈＬα線であっても吸収され
るおそれがない。したがって、Ｘ線Ｂ１に含まれる波長
の長い特性Ｘ線を用いてＸ線回折分析を行うことができ
る。
【００２０】なお、上記実施例では、図２のフィルタ装
置２にコリメータ２０を設けて、蛍光Ｘ線分析とＸ線回
折分析とを別々に行ったが、必ずしも、コリメータ２０
を設ける必要はない。たとえば、Ｘ線回折に関する精度
が低くてもよい場合などは、Ｘ線回折を行う際にＸ線Ｂ
１を平行光にする必要はなく、この場合、フィルタ２
ａ，２ｂまたは透過窓２１を用いて蛍光Ｘ線分析とＸ線
回折分析とを同時に行うことができる。
置２にコリメータ２０を設けて、蛍光Ｘ線分析とＸ線回
折分析とを別々に行ったが、必ずしも、コリメータ２０
を設ける必要はない。たとえば、Ｘ線回折に関する精度
が低くてもよい場合などは、Ｘ線回折を行う際にＸ線Ｂ
１を平行光にする必要はなく、この場合、フィルタ２
ａ，２ｂまたは透過窓２１を用いて蛍光Ｘ線分析とＸ線
回折分析とを同時に行うことができる。
【００２１】また、上記実施例では、波長の長い特性Ｘ
線として、図１のＸ線管３から発生したＲｈＬα線を用
いたが、必ずしもＸ線管３から発生した特性Ｘ線を用い
る必要はない。たとえば、Ｘ線管３からのＸ線Ｂ１で図
２のフィルタ２ａ，２ｂの原子が励起されて発生した蛍
光Ｘ線であって、上記Ｘ線管３からのＬ線よりも波長の
長い、たとえばジルコニウムのＬ線のような特性Ｘ線を
用いて、Ｘ線回折分析を行ってもよい。この場合、フィ
ルタ装置２およびＸ線管３によって、照射装置が構成さ
れる。
線として、図１のＸ線管３から発生したＲｈＬα線を用
いたが、必ずしもＸ線管３から発生した特性Ｘ線を用い
る必要はない。たとえば、Ｘ線管３からのＸ線Ｂ１で図
２のフィルタ２ａ，２ｂの原子が励起されて発生した蛍
光Ｘ線であって、上記Ｘ線管３からのＬ線よりも波長の
長い、たとえばジルコニウムのＬ線のような特性Ｘ線を
用いて、Ｘ線回折分析を行ってもよい。この場合、フィ
ルタ装置２およびＸ線管３によって、照射装置が構成さ
れる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、特性Ｘ線のうち波長の長い特性Ｘ線を用いてＸ線回
折分析を行うので、回折角が大きくなる。そのため、Ｘ
線を大きな入射角度で試料に入射させても、試料の表面
から回折Ｘ線を取り出すことが可能となる。したがっ
て、励起Ｘ線を大きな入射角で試料に入射させる蛍光Ｘ
線分析装置を用いて、Ｘ線回折分析を行うことができ
る。
ば、特性Ｘ線のうち波長の長い特性Ｘ線を用いてＸ線回
折分析を行うので、回折角が大きくなる。そのため、Ｘ
線を大きな入射角度で試料に入射させても、試料の表面
から回折Ｘ線を取り出すことが可能となる。したがっ
て、励起Ｘ線を大きな入射角で試料に入射させる蛍光Ｘ
線分析装置を用いて、Ｘ線回折分析を行うことができ
る。
【図１】この発明の一実施例を示すＸ線分析装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図２】フィルタ装置の斜視図である。
【図３】Ｘ線の入射角と取出角の関係を示す正面図であ
る。
る。
１…試料、３…Ｘ線管、４Ａ…第１の分光素子、４Ｂ…
第２の分光素子、８Ａ…蛍光Ｘ線検出器、８Ｂ…回折Ｘ
線検出器、Ｂ１…Ｘ線、Ｂ２，Ｂ２１…蛍光Ｘ線、Ｂ３
…回折Ｘ線。
第２の分光素子、８Ａ…蛍光Ｘ線検出器、８Ｂ…回折Ｘ
線検出器、Ｂ１…Ｘ線、Ｂ２，Ｂ２１…蛍光Ｘ線、Ｂ３
…回折Ｘ線。
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに波長の異なる複数種類の特性Ｘ線
を含むＸ線を試料に照射する照射装置と、 上記試料から発生した蛍光Ｘ線を分光する第１の分光素
子と、 この第１の分光素子によって分光された蛍光Ｘ線を検出
する蛍光Ｘ線検出器と、 上記特性Ｘ線のうち波長の長い特性Ｘ線であって上記試
料により回折されて反射された特性Ｘ線を分光する第２
の分光素子と、 この第２の分光素子によって分光された波長の長い特性
Ｘ線を検出する回折Ｘ線検出器とを備えたＸ線分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29736293A JP3160135B2 (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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