JPH0712846A - Contact probe - Google Patents

Contact probe

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Publication number
JPH0712846A
JPH0712846A JP15857493A JP15857493A JPH0712846A JP H0712846 A JPH0712846 A JP H0712846A JP 15857493 A JP15857493 A JP 15857493A JP 15857493 A JP15857493 A JP 15857493A JP H0712846 A JPH0712846 A JP H0712846A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plunger
barrel
tip
axial direction
contact probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP15857493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akihiko Koeda
秋彦 小枝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP15857493A priority Critical patent/JPH0712846A/en
Publication of JPH0712846A publication Critical patent/JPH0712846A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
    • G01R1/06722Spring-loaded

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a contact probe having self-cleaning function for removing adhered flux or oxides thoroughly. CONSTITUTION:The contact probe comprises hollow plungers 1a, 1c, 1e extending axially, plungers 1b, 1d, 1f inserted into the hollow plungers 1a, 1c, 1e and projecting slightly therefrom, and springs 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f for urging the plungers axially upward.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、コンタクトプローブに
関し、特に電子素子が実装されたプリント基板(以下、
これを実装基板という)であって、フラックスや酸化被
膜の多い無洗浄の実装基板の電気的特性を検査する場合
に適用して有用なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact probe, and more particularly to a printed circuit board (hereinafter
This is referred to as a mounting board), and is useful when applied to the case of inspecting the electrical characteristics of a non-cleaning mounting board having a large amount of flux and oxide film.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント基板にIC等の電子素子を実装
した実装基板に対しては、実装後に、インサーキットテ
ストやファンクションテストが行なわれる。インサーキ
ットテストとは各電子素子が所要の特性、例えば抵抗や
インダクタンスやキャパシタンスを有しているかどうか
を調べるテストであり、ファンクションテストとは実装
基板に形成された電気回路が所要の入出力特性を有して
いるかどうかを調べるテストである。
2. Description of the Related Art An in-circuit test and a function test are performed on a mounting board in which an electronic element such as an IC is mounted on a printed board. The in-circuit test is a test for checking whether or not each electronic element has a required characteristic, for example, resistance, inductance, or capacitance, and the function test is a test for checking the input / output characteristics required by the electric circuit formed on the mounting board. It is a test to check whether or not it has.

【0003】このようなインサーキットテストやファン
クションテストを行うためには、フィクスチャータイプ
の検査装置が用いられる。
To perform such an in-circuit test or a function test, a fixture type inspection device is used.

【0004】図3は、フィクスチャータイプの検査装置
の斜視図、図4は、フィクスチャータイプの検査装置に
よる検査状態を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a fixture type inspection apparatus, and FIG. 4 is a perspective view showing an inspection state by the fixture type inspection apparatus.

【0005】図3に示すように、フィクスチャータイプ
の検査装置は、上フィクスチャー11及び下フィクスチ
ャー12を有する。このうち上フィクスチャー11は、
四角い板状の部材であって、その四隅に位置決め孔13
を有するとともに、その下面の中央部には多数(100
0〜2000本程度)のコンタクトプローブ14を有し
ており、昇降機構(図示せず)によって上下動する。下
フィクスチャー12は、四角い板状の部材であって、そ
の上面の四隅には位置決めピン15を有するとともに中
央部には多数(1000〜2000本程度)のコンタク
トプローブ16及び基板位置決めピン17を有してお
り、またその下面が装置のベース18に固定されてい
る。
As shown in FIG. 3, the fixture type inspection apparatus has an upper fixture 11 and a lower fixture 12. Of these, the upper fixture 11 is
It is a square plate-shaped member and has positioning holes 13 at its four corners.
And a large number (100
It has 0 to 2000 contact probes 14 and moves up and down by an elevating mechanism (not shown). The lower fixture 12 is a square plate-shaped member, and has positioning pins 15 at the four corners of its upper surface and a large number (about 1000 to 2000) of contact probes 16 and substrate positioning pins 17 at the center. In addition, its lower surface is fixed to the base 18 of the device.

【0006】次に、図4に基づき上述のフィクスチャー
タイプの検査装置による実装基板の検査手順を説明す
る。同図に示すように、実装基板20は、2個の基準孔
23が形成されている基板21にIC等の電子素子22
をはんだによって実装したものである。そこでまず基板
位置決めピン17を基準孔23に嵌入して実装基板20
の位置を決める。次に位置決めピン15が位置決め孔1
3に嵌入するように位置合せをしつつ、上フィクスチャ
ー11を降下させる。その結果実装基板20の上面の検
査点にコンタクトプローブ14の先端(下端)が接触
し、実装基板20の下面の検査点にコンタクトプローブ
16の先端(上端)が接触する。つまりコンタクトプロ
ーブ14,16は、その先端が前記検査点に接触するよ
うに配置されている。このような接触状態にした後、各
コンタクトプローブ14,16を介して、前記検査点の
各々に電圧をかけたり電流を通したりして各種検査を行
う。検査終了後は上フィクスチャー11が上昇し、実装
基板20が取り外される。
Next, the procedure for inspecting the mounting board by the above-mentioned fixture type inspection apparatus will be described with reference to FIG. As shown in the figure, the mounting substrate 20 includes an electronic element 22 such as an IC on a substrate 21 in which two reference holes 23 are formed.
Is mounted by soldering. Therefore, first, the board positioning pin 17 is inserted into the reference hole 23 to mount the board 20.
Determine the position of. Next, the positioning pin 15 is positioned in the positioning hole 1.
The upper fixture 11 is lowered while aligning so that the upper fixture 11 fits in the position 3. As a result, the tip (lower end) of the contact probe 14 contacts the inspection point on the upper surface of the mounting board 20, and the tip (upper end) of the contact probe 16 contacts the inspection point on the lower surface of the mounting board 20. That is, the contact probes 14 and 16 are arranged so that the tips thereof contact the inspection point. After such a contact state, various inspections are performed by applying a voltage or passing a current to each of the inspection points via the contact probes 14 and 16. After the inspection is completed, the upper fixture 11 rises and the mounting board 20 is removed.

【0007】図5は、従来技術に係るコンタクトプロー
ブの縦断面図である。同図に示すように、従来技術に係
るコンタクトプローブは、プランジャー31,バレル2
及びスプリング33を有する。これらのうちバレル2
は、上端が開口した容器であって、その内部には狭窄部
を有する。プランジャー31は、円柱状の部材であっ
て、その軸方向の途中には肩部を有する。またプランジ
ャー31は、バレル2内に、軸方向へ移動可能に収納さ
れ、その肩部がバレル2の前記狭窄部に当接することに
より軸方向の位置が規制されてその先端部がバレル2の
前記開口から突出している。また図6の斜視図に示すよ
うに、プランジャー31の前記先端部には、数個の尖端
31aを有するとともに、尖端31aと尖端31aの間
には鋭角に切込まれた谷部31bを有している。すなわ
ちプランジャー31の前記先端部は、王冠状に形成され
た、いわゆるクラウン形である。
FIG. 5 is a vertical sectional view of a contact probe according to the prior art. As shown in the figure, the contact probe according to the conventional technique includes a plunger 31 and a barrel 2.
And a spring 33. Barrel 2 of these
Is a container having an open upper end, and has a narrowed portion inside thereof. The plunger 31 is a columnar member, and has a shoulder part in the middle of its axial direction. The plunger 31 is housed in the barrel 2 so as to be movable in the axial direction, and its shoulder portion abuts against the narrowed portion of the barrel 2 so that the axial position thereof is regulated, and the tip portion of the plunger 31 is of the barrel 2. It projects from the opening. As shown in the perspective view of FIG. 6, the tip of the plunger 31 has several tips 31a, and an acutely cut valley 31b between the tips 31a. is doing. That is, the tip portion of the plunger 31 has a so-called crown shape formed in a crown shape.

【0008】スプリング33は、バレル2内にあって、
その下端がプランジャー31の底部に接続されるととも
に、上端がバレル2の内側の底面に接続されている。す
なわちスプリング33は、プランジャー31に対し軸方
向に沿って上向きの力(以下、単に上向きの力という)
を与えている。
The spring 33 is in the barrel 2 and
The lower end is connected to the bottom of the plunger 31 and the upper end is connected to the inner bottom surface of the barrel 2. That is, the spring 33 exerts an upward force on the plunger 31 along the axial direction (hereinafter, simply referred to as an upward force).
Is giving.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来技術に
係るコンタクトプローブは、そのプランジャー31の尖
端31aが実装基板の検査点に接触する。その際、実装
基板の検査点からフラックスや酸化被膜(以下、フラッ
クス等という)が剥離するが、このフラックス等は、谷
部31bからこぼれ落ちることによって除去される。つ
まりプランジャー31は、フラックス等がこぼれ落ちや
すいように谷部31bを鋭角にしたいわゆるセルフクリ
ーニング形である。
In the contact probe according to the prior art as described above, the tip 31a of the plunger 31 contacts the inspection point of the mounting board. At that time, the flux and the oxide film (hereinafter referred to as flux) peel off from the inspection point of the mounting board, but the flux and the like are removed by spilling from the valley portion 31b. That is, the plunger 31 is of a so-called self-cleaning type in which the valley portion 31b has an acute angle so that flux and the like are easily spilled.

【0010】しかしながら、無洗浄の実装基板のように
フラックス等が多い場合には、剥離したフラックス等が
完全には除去されずにプランジャー31の先端部に付着
したままになってしまう。従って接触不良を生起する虞
があるためブラッシング等によりプランジャー31の先
端部をクリーニングする必要があった。
However, when there is a large amount of flux or the like as in a non-cleaned mounting substrate, the separated flux and the like is not completely removed and remains attached to the tip of the plunger 31. Therefore, it is necessary to clean the tip portion of the plunger 31 by brushing or the like because there is a risk of contact failure.

【0011】本発明は、上記従来技術に鑑み、付着した
フラックス等を完全に除去することができるようなセル
フクリーニング機能を有するコンタクトプローブを提供
することを目的とする。
In view of the above-mentioned prior art, it is an object of the present invention to provide a contact probe having a self-cleaning function capable of completely removing attached flux and the like.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の構成は、軸方向の一端が開口するバレル内に、軸方
向へ移動可能に収納され、肩部がバレルの狭窄部に当接
することにより軸方向の位置が規制されて先端部が前記
開口から突出するとともに、その中央部に軸方向に伸び
る貫通孔を有する第1のプラジャと、該第1のプラジャ
に対し軸方向に沿ってその先端に向かう方向に力を加え
る第1の弾性部材と、前記第1のプラジャの前記貫通孔
に軸方向へ移動可能に挿通された部材であって、その先
端が前記第1のプラジャの先端より突出した第2のプラ
ジャと、該第2のプラジャに対し軸方向に沿ってその先
端に向かう方向に力を加える第2の弾性部材とを有する
ことを特徴とする。
The structure of the present invention for achieving the above object is movably accommodated in an axial direction in a barrel having one axial end opened, and a shoulder portion abuts a narrowed portion of the barrel. This restricts the position in the axial direction so that the tip portion projects from the opening, and has a first plug having a through hole extending in the axial direction at the center thereof, and an axial direction with respect to the first plug. A first elastic member that applies a force in a direction toward the tip thereof, and a member that is inserted through the through hole of the first plunger so as to be movable in the axial direction, and the tip thereof is the tip of the first plunger. It is characterized by having a more protruding second plug and a second elastic member for applying a force to the second plug in a direction toward the tip end along the axial direction.

【0013】[0013]

【作用】上記構成の本発明によれば、実装基板から剥離
したフラックス等は、第2のプランジャーが検査点に接
離する際軸方向へ移動することにより完全に除去され
る。
According to the present invention having the above-mentioned structure, the flux and the like separated from the mounting substrate are completely removed by moving in the axial direction when the second plunger comes in contact with and separates from the inspection point.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。なお、従来技術と同一部分には同一符号を付
して重複する説明は省略する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the same parts as those of the conventional technique are denoted by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.

【0015】図1(a)は、本発明の第1の実施例に係
るコンタクトプローブの縦断面図である。同図に示すよ
うに第1の実施例に係るコンタクトプローブは、プラン
ジャー1a,1b、バレル2及びスプリング3a,3b
を有する。
FIG. 1A is a vertical sectional view of a contact probe according to the first embodiment of the present invention. As shown in the figure, the contact probe according to the first embodiment includes a plunger 1a, 1b, a barrel 2 and springs 3a, 3b.
Have.

【0016】これらのうちプランジャー1aは、図5に
示すプランジャー31と同様に先端部がクラウン形のプ
ランジャーである。なお、プランジャー1aは、その中
央部に軸方向に伸びる貫通孔を有するとともに、両端が
開口し、軸方向の途中には肩部を有する。またプランジ
ャー1aは、バレル2内に、軸方向へ移動可能に収納さ
れ、その肩部がバレル2の狭窄部に当接することにより
軸方向の位置が規制されてその先端部がバレル2の開口
から突出している。プランジャー1bは、T形の部材、
すなわち尖塔形の垂直部と該垂直部の下端に形成された
平板状でしかも外形がバレル2の内形よりも少し小さな
水平部とから成る部材である。しかも、プランジャー1
bの前記垂直部は、プランジャー1aの前記中心部に軸
方向へ移動可能に挿通されている。また通常時は、スプ
リング1aとスプリング1bとの弾性力がバランスして
プランジャー1bの先端は、プランジャー1aの先端よ
りも少し突出した位置に占位している。
Of these, the plunger 1a is a plunger having a crown-shaped tip like the plunger 31 shown in FIG. The plunger 1a has a through hole extending in the axial direction at the center thereof, both ends open, and a shoulder portion in the middle of the axial direction. Further, the plunger 1a is accommodated in the barrel 2 so as to be movable in the axial direction, and its shoulder portion abuts on the narrowed portion of the barrel 2 so that the axial position is regulated and the tip portion thereof is opened in the barrel 2. Protruding from. The plunger 1b is a T-shaped member,
That is, it is a member having a spire-shaped vertical portion and a flat portion formed at the lower end of the vertical portion and having an outer shape slightly smaller than the inner shape of the barrel 2. Moreover, Plunger 1
The vertical portion of b is axially movably inserted through the central portion of the plunger 1a. Further, normally, the elastic forces of the spring 1a and the spring 1b are balanced, and the tip of the plunger 1b is located at a position slightly protruding from the tip of the plunger 1a.

【0017】スプリング3aは、バレル2内にあって、
その上端がプランジャー1bの前記水平部の下面に接続
され、その下端がバレル2の内側の底面に接続されてい
る。しかもスプリング3aは、プランジャー1bに対し
上向の力を与えている。スプリング3bは、バレル2内
にあって、その上端がプランジャー1aの下端に接続さ
れ、その下端がプランジャー1bの前記水平部の上面に
接続されている。しかもスプリング3bは、プランジャ
ー1aに対し上向きの力を与えている。
The spring 3a is in the barrel 2 and
The upper end is connected to the lower surface of the horizontal portion of the plunger 1b, and the lower end is connected to the inner bottom surface of the barrel 2. Moreover, the spring 3a gives an upward force to the plunger 1b. The spring 3b is inside the barrel 2, and has its upper end connected to the lower end of the plunger 1a and its lower end connected to the upper surface of the horizontal portion of the plunger 1b. Moreover, the spring 3b gives an upward force to the plunger 1a.

【0018】図1(b)は、本発明の第2の実施例に係
るコンタクトプローブの縦断面図である。同図に示すよ
うに第2の実施例に係るコンタクトプローブは、プラン
ジャー1c,1d、バレル2及びスプリング3c,3d
を有する。
FIG. 1B is a vertical sectional view of a contact probe according to the second embodiment of the present invention. As shown in the figure, the contact probe according to the second embodiment has a plunger 1c, 1d, a barrel 2 and springs 3c, 3d.
Have.

【0019】これらのうちプランジャー1cは、図5に
示すプランジャー31と同様に先端部がクラウン形のプ
ランジャーである。なおプランジャー1cは、その中央
部に軸方向に伸びる貫通孔を有するとともに上端が開口
している。更にプランジャー1cは、軸方向の途中に肩
部を有し、その貫通孔には狭窄部を有する。またプラン
ジャー1cは、バレル2内に軸方向へ移動可能に収納さ
れ、その肩部がバレル2の狭窄部に当接することにより
軸方向の位置が規制されてその先端部がバレル2の開口
から突出している。プランジャー1dは、概ねT形の部
材、すなわち円柱状の下部と、該下部の上端に続く肩部
と、該肩部に続く尖塔形の上部とからなる部材である。
Of these, the plunger 1c is a plunger having a crown-shaped tip like the plunger 31 shown in FIG. The plunger 1c has a through hole extending in the axial direction at the center thereof and an open upper end. Further, the plunger 1c has a shoulder part in the middle of the axial direction, and has a narrowed part in its through hole. Further, the plunger 1c is housed in the barrel 2 so as to be movable in the axial direction, and its shoulder portion abuts on the narrowed portion of the barrel 2 so that the axial position thereof is regulated, and the tip end portion thereof is opened from the opening of the barrel 2. It is protruding. The plunger 1d is a substantially T-shaped member, that is, a member having a cylindrical lower portion, a shoulder portion continuing to the upper end of the lower portion, and a spire-shaped upper portion continuing to the shoulder portion.

【0020】また、プランジャー1dは、プランジャー
1c内に、軸方向へ移動可能に挿通され、その肩部がプ
ランジャー1cの前記狭窄部に当接することにより軸方
向の位置が規制されてその先端がプランジャー1dの先
端よりも少し突出した位置に占位している。
Further, the plunger 1d is inserted into the plunger 1c so as to be movable in the axial direction, and its shoulder portion abuts against the narrowed portion of the plunger 1c so that its axial position is regulated. The tip is occupying a position slightly protruding from the tip of the plunger 1d.

【0021】スプリング3cは、バレル2内にあって、
その上端がプランジャー1cの外側の底面に接続され、
その下端がバレル2の内側の底面に接続されている。し
かもスプリング3cは、プランジャー1cに対し上向き
の力を与えている。スプリング3dは、プランジャー1
c内にあって、その上端がプランジャー1dの下端に接
続され、その下端がプランジャー1cの内側の底面に接
続されている。しかもスプリング3dは、プランジャー
1dに対し上向きの力を与えている。なおスプリング3
dは、スプリング3cに比べ弾性力が弱い。すなわちプ
ランジャー1dの先端にのみ荷重が加わった場合には、
プランジャー1dのみが下がりプランジャー1cも同時
に下がることはない。
The spring 3c is in the barrel 2 and
The upper end is connected to the outer bottom surface of the plunger 1c,
Its lower end is connected to the inner bottom surface of the barrel 2. Moreover, the spring 3c gives an upward force to the plunger 1c. The spring 3d is the plunger 1
In c, the upper end is connected to the lower end of the plunger 1d, and the lower end is connected to the inner bottom surface of the plunger 1c. Moreover, the spring 3d gives an upward force to the plunger 1d. Spring 3
The elastic force of d is weaker than that of the spring 3c. That is, when a load is applied only to the tip of the plunger 1d,
Only the plunger 1d is lowered and the plunger 1c is not lowered at the same time.

【0022】図1(d)は、本発明の第3の実施例に係
るコンタクトプローブの縦断面図である。同図に示すよ
うに第3の実施例に係るコンタクトプローブは、プラン
ジャー1e,1f、バレル2及びスプリング3e,3f
を有する。
FIG. 1D is a vertical sectional view of a contact probe according to the third embodiment of the present invention. As shown in the figure, the contact probe according to the third embodiment has a plunger 1e, 1f, a barrel 2 and springs 3e, 3f.
Have.

【0023】これらのうちプランジャー1e及びプラン
ジャー1fは、図1(b)に示すプランジャー1c及び
プランジャー1dと形状及びその相互の関係が同様であ
る。但し、プランジャー1eには、底面がなく下端も開
口しており、この点だけが相異している。
Of these, the plunger 1e and the plunger 1f have the same shape and mutual relationship as the plunger 1c and the plunger 1d shown in FIG. 1 (b). However, the plunger 1e does not have a bottom surface and the lower end is also open, and this point is the only difference.

【0024】スプリング3eは、バレル2内にあって、
その上端がプランジャー1eの下端に接続され、その下
端がバレル2の内側の底面に接続されている。しかもス
プリング3eは、プランジャー1eに対し上向きの力を
与えている。スプリング3fは、バレル2内にあって、
その上端がプランジャー1fの下端に接続され、その下
端がバレル2の内側の底面に接続されている。しかもス
プリング3fは、プランジャー1fに対し上向きの力を
与えている。
The spring 3e is in the barrel 2 and
The upper end is connected to the lower end of the plunger 1e, and the lower end is connected to the inner bottom surface of the barrel 2. Moreover, the spring 3e gives an upward force to the plunger 1e. The spring 3f is inside the barrel 2,
Its upper end is connected to the lower end of the plunger 1f, and its lower end is connected to the inner bottom surface of the barrel 2. Moreover, the spring 3f gives an upward force to the plunger 1f.

【0025】上記実施例によれば、図2に示すように実
装基板5の検査点であるテストランド4にコンタクトプ
ローブが接してしる時には、内側のプランジャー1b,
1d,1fが外側のプランジャー1a,1c,1eより
も突出している分だけバレル2内へ大きくへこみ、これ
らの先端位置が揃う。その後コンタクトプローブがテス
トランド4から離れた時には、再び元の状態、すなわち
プランジャー1b,1d,1fの先端がプランジャー1
a,1c,1eの先端よりも少し突出した状態となる。
According to the above embodiment, when the contact probe contacts the test land 4 which is the inspection point of the mounting board 5 as shown in FIG. 2, the inner plunger 1b,
The protrusions 1d and 1f project further than the outer plungers 1a, 1c, and 1e, so that they are largely dented into the barrel 2 and their tip positions are aligned. After that, when the contact probe separates from the test land 4, the original state again, that is, the tips of the plungers 1b, 1d and 1f are moved to the plunger 1.
It is in a state of slightly protruding from the tips of a, 1c, and 1e.

【0026】かくしてプランジャー1b,1d,1f
は、プランジャー1a,1c,1eに対し相対的に軸方
向へ移動することになり、その際これらの先端部に付着
したフラックス等を除去する。なお図2は、第3の実施
例である図1(c)の先端部の状態のみを示している
が、第1及び第2の実施例である図1の(a)及び
(b)についても同様である。
Thus, the plungers 1b, 1d, 1f
Moves in the axial direction relative to the plungers 1a, 1c, 1e, and at that time, the flux and the like adhering to the tips thereof are removed. Note that FIG. 2 shows only the state of the tip portion of FIG. 1 (c) which is the third embodiment, but regarding (a) and (b) of FIG. 1 which is the first and second embodiments. Is also the same.

【0027】なお、プランジャー1a〜1fは、耐久性
のあるベリリウム銅、炭素工具鋼などの材料を用いる。
The plungers 1a to 1f are made of durable materials such as beryllium copper and carbon tool steel.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに、本発明は、フラックス等を完全に除去することが
でき、実装基板に対しコンタクトプローブの接触不良を
生起する虞がなく、安定した接触を得ることができる。
As described in detail in connection with the above embodiments, the present invention can completely remove flux and the like, and there is no possibility of contact failure of the contact probe with respect to the mounting board, which is stable. You can get contact.

【0029】また実装基板は、従来フロンによって洗浄
されていたが、環境保護のためフロンの使用が制限され
るに伴い無洗浄化の傾向にある。本発明は、このような
フラックス等の多い無洗浄の実装基板に対して非常に有
効であり、前記無洗浄化の一助となる。
The mounting board has been conventionally cleaned with chlorofluorocarbon, but it tends to be non-cleaning as the use of fluorocarbon is restricted for environmental protection. The present invention is very effective for such a non-cleaning mounted substrate containing a large amount of flux and the like, and contributes to the non-cleaning.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は本発明の実施例に係るコンタクトプロー
ブの縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional view of a contact probe according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明の実施例に係るコンタクトプロ
ーブの先端部を抽出して示す縦断面図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing an extracted tip portion of a contact probe according to an embodiment of the present invention.

【図3】図3は、フクスチャータイプの検査装置の斜視
図である。
FIG. 3 is a perspective view of a fixture type inspection device.

【図4】図4は、フクスチャータイプの検査装置による
検査状態を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an inspection state by a fixture type inspection device.

【図5】図5は、従来技術に係るコンタクトプローブの
縦断面図である。
FIG. 5 is a vertical cross-sectional view of a contact probe according to the related art.

【図6】図6は、従来技術に係るコンタクトプローブの
先端部の斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view of a tip portion of a contact probe according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a,1b,1c,1d,1e,1f プランジャー 2 バレル 3a,3b,3c,3d,3e,3f スプリング 1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f Plunger 2 barrel 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f Spring

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 軸方向の一端が開口するバレル内に、軸
方向へ移動可能に収納され、肩部がバレルの狭窄部に当
接することにより軸方向の位置が規制されて先端部が前
記開口から突出するとともに、その中央部に軸方向に伸
びる貫通孔を有する第1のプランジャーと、 該第1のプランジャーに対し軸方向に沿ってその先端に
向かう方向に力を加える第1の弾性部材と、 前記第1のプランジャーの前記貫通孔に軸方向へ移動可
能に挿通された部材であって、その先端が前記第1のプ
ランジャーの先端より突出した第2のプランジャーと、 該第2のプランジャーに対し軸方向に沿ってその先端に
向かう方向に力を加える第2の弾性部材とを有すること
を特徴とするコンタクトプローブ。
1. A barrel movably in the axial direction is housed in a barrel having one end in the axial direction opened, and a shoulder portion abuts on a narrowed portion of the barrel to regulate the axial position, and the tip portion is opened. A first plunger having a through-hole extending in the axial direction at the center thereof and projecting from the first plunger, and a first elasticity for applying a force to the first plunger in the axial direction toward the tip thereof. A member; and a second plunger that is inserted through the through hole of the first plunger so as to be movable in the axial direction and has a tip protruding from the tip of the first plunger. And a second elastic member that applies a force to the second plunger in a direction toward the tip thereof along the axial direction.
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