JPH0712846A - コンタクトプローブ - Google Patents

コンタクトプローブ

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JPH0712846A
JPH0712846A JP15857493A JP15857493A JPH0712846A JP H0712846 A JPH0712846 A JP H0712846A JP 15857493 A JP15857493 A JP 15857493A JP 15857493 A JP15857493 A JP 15857493A JP H0712846 A JPH0712846 A JP H0712846A
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JP
Japan
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plunger
barrel
tip
axial direction
contact probe
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Withdrawn
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JP15857493A
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English (en)
Inventor
Akihiko Koeda
秋彦 小枝
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0712846A publication Critical patent/JPH0712846A/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G01R1/06722—Spring-loaded

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 付着したフラックスや酸化被膜を完全に除去
することができるようなセルフクリーニング機能を有す
るコンタクトプローブを提供する。 【構成】 軸方向に亘ってその中心部が中空なプランジ
ャー１ａ，１ｃ，１ｅと、プランジャー１ａ，１ｃ，１
ｅの前記中心部に挿通されその先端がプランジャー１
ａ，１ｃ，１ｅの先端よりも少し突出したプランジャー
１ｂ，１ｄ，１ｆと、これらのプランジャーに対し、軸
方向に沿って上向きの力を与えるスプリング３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ等を有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンタクトプローブに
関し、特に電子素子が実装されたプリント基板（以下、
これを実装基板という）であって、フラックスや酸化被
膜の多い無洗浄の実装基板の電気的特性を検査する場合
に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板にＩＣ等の電子素子を実装
した実装基板に対しては、実装後に、インサーキットテ
ストやファンクションテストが行なわれる。インサーキ
ットテストとは各電子素子が所要の特性、例えば抵抗や
インダクタンスやキャパシタンスを有しているかどうか
を調べるテストであり、ファンクションテストとは実装
基板に形成された電気回路が所要の入出力特性を有して
いるかどうかを調べるテストである。
【０００３】このようなインサーキットテストやファン
クションテストを行うためには、フィクスチャータイプ
の検査装置が用いられる。
【０００４】図３は、フィクスチャータイプの検査装置
の斜視図、図４は、フィクスチャータイプの検査装置に
よる検査状態を示す斜視図である。
【０００５】図３に示すように、フィクスチャータイプ
の検査装置は、上フィクスチャー１１及び下フィクスチ
ャー１２を有する。このうち上フィクスチャー１１は、
四角い板状の部材であって、その四隅に位置決め孔１３
を有するとともに、その下面の中央部には多数（１００
０〜２０００本程度）のコンタクトプローブ１４を有し
ており、昇降機構（図示せず）によって上下動する。下
フィクスチャー１２は、四角い板状の部材であって、そ
の上面の四隅には位置決めピン１５を有するとともに中
央部には多数（１０００〜２０００本程度）のコンタク
トプローブ１６及び基板位置決めピン１７を有してお
り、またその下面が装置のベース１８に固定されてい
る。
【０００６】次に、図４に基づき上述のフィクスチャー
タイプの検査装置による実装基板の検査手順を説明す
る。同図に示すように、実装基板２０は、２個の基準孔
２３が形成されている基板２１にＩＣ等の電子素子２２
をはんだによって実装したものである。そこでまず基板
位置決めピン１７を基準孔２３に嵌入して実装基板２０
の位置を決める。次に位置決めピン１５が位置決め孔１
３に嵌入するように位置合せをしつつ、上フィクスチャ
ー１１を降下させる。その結果実装基板２０の上面の検
査点にコンタクトプローブ１４の先端（下端）が接触
し、実装基板２０の下面の検査点にコンタクトプローブ
１６の先端（上端）が接触する。つまりコンタクトプロ
ーブ１４，１６は、その先端が前記検査点に接触するよ
うに配置されている。このような接触状態にした後、各
コンタクトプローブ１４，１６を介して、前記検査点の
各々に電圧をかけたり電流を通したりして各種検査を行
う。検査終了後は上フィクスチャー１１が上昇し、実装
基板２０が取り外される。
【０００７】図５は、従来技術に係るコンタクトプロー
ブの縦断面図である。同図に示すように、従来技術に係
るコンタクトプローブは、プランジャー３１，バレル２
及びスプリング３３を有する。これらのうちバレル２
は、上端が開口した容器であって、その内部には狭窄部
を有する。プランジャー３１は、円柱状の部材であっ
て、その軸方向の途中には肩部を有する。またプランジ
ャー３１は、バレル２内に、軸方向へ移動可能に収納さ
れ、その肩部がバレル２の前記狭窄部に当接することに
より軸方向の位置が規制されてその先端部がバレル２の
前記開口から突出している。また図６の斜視図に示すよ
うに、プランジャー３１の前記先端部には、数個の尖端
３１ａを有するとともに、尖端３１ａと尖端３１ａの間
には鋭角に切込まれた谷部３１ｂを有している。すなわ
ちプランジャー３１の前記先端部は、王冠状に形成され
た、いわゆるクラウン形である。
【０００８】スプリング３３は、バレル２内にあって、
その下端がプランジャー３１の底部に接続されるととも
に、上端がバレル２の内側の底面に接続されている。す
なわちスプリング３３は、プランジャー３１に対し軸方
向に沿って上向きの力（以下、単に上向きの力という）
を与えている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来技術に
係るコンタクトプローブは、そのプランジャー３１の尖
端３１ａが実装基板の検査点に接触する。その際、実装
基板の検査点からフラックスや酸化被膜（以下、フラッ
クス等という）が剥離するが、このフラックス等は、谷
部３１ｂからこぼれ落ちることによって除去される。つ
まりプランジャー３１は、フラックス等がこぼれ落ちや
すいように谷部３１ｂを鋭角にしたいわゆるセルフクリ
ーニング形である。
【００１０】しかしながら、無洗浄の実装基板のように
フラックス等が多い場合には、剥離したフラックス等が
完全には除去されずにプランジャー３１の先端部に付着
したままになってしまう。従って接触不良を生起する虞
があるためブラッシング等によりプランジャー３１の先
端部をクリーニングする必要があった。
【００１１】本発明は、上記従来技術に鑑み、付着した
フラックス等を完全に除去することができるようなセル
フクリーニング機能を有するコンタクトプローブを提供
することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の構成は、軸方向の一端が開口するバレル内に、軸方
向へ移動可能に収納され、肩部がバレルの狭窄部に当接
することにより軸方向の位置が規制されて先端部が前記
開口から突出するとともに、その中央部に軸方向に伸び
る貫通孔を有する第１のプラジャと、該第１のプラジャ
に対し軸方向に沿ってその先端に向かう方向に力を加え
る第１の弾性部材と、前記第１のプラジャの前記貫通孔
に軸方向へ移動可能に挿通された部材であって、その先
端が前記第１のプラジャの先端より突出した第２のプラ
ジャと、該第２のプラジャに対し軸方向に沿ってその先
端に向かう方向に力を加える第２の弾性部材とを有する
ことを特徴とする。
【００１３】
【作用】上記構成の本発明によれば、実装基板から剥離
したフラックス等は、第２のプランジャーが検査点に接
離する際軸方向へ移動することにより完全に除去され
る。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。なお、従来技術と同一部分には同一符号を付
して重複する説明は省略する。
【００１５】図１（ａ）は、本発明の第１の実施例に係
るコンタクトプローブの縦断面図である。同図に示すよ
うに第１の実施例に係るコンタクトプローブは、プラン
ジャー１ａ，１ｂ、バレル２及びスプリング３ａ，３ｂ
を有する。
【００１６】これらのうちプランジャー１ａは、図５に
示すプランジャー３１と同様に先端部がクラウン形のプ
ランジャーである。なお、プランジャー１ａは、その中
央部に軸方向に伸びる貫通孔を有するとともに、両端が
開口し、軸方向の途中には肩部を有する。またプランジ
ャー１ａは、バレル２内に、軸方向へ移動可能に収納さ
れ、その肩部がバレル２の狭窄部に当接することにより
軸方向の位置が規制されてその先端部がバレル２の開口
から突出している。プランジャー１ｂは、Ｔ形の部材、
すなわち尖塔形の垂直部と該垂直部の下端に形成された
平板状でしかも外形がバレル２の内形よりも少し小さな
水平部とから成る部材である。しかも、プランジャー１
ｂの前記垂直部は、プランジャー１ａの前記中心部に軸
方向へ移動可能に挿通されている。また通常時は、スプ
リング１ａとスプリング１ｂとの弾性力がバランスして
プランジャー１ｂの先端は、プランジャー１ａの先端よ
りも少し突出した位置に占位している。
【００１７】スプリング３ａは、バレル２内にあって、
その上端がプランジャー１ｂの前記水平部の下面に接続
され、その下端がバレル２の内側の底面に接続されてい
る。しかもスプリング３ａは、プランジャー１ｂに対し
上向の力を与えている。スプリング３ｂは、バレル２内
にあって、その上端がプランジャー１ａの下端に接続さ
れ、その下端がプランジャー１ｂの前記水平部の上面に
接続されている。しかもスプリング３ｂは、プランジャ
ー１ａに対し上向きの力を与えている。
【００１８】図１（ｂ）は、本発明の第２の実施例に係
るコンタクトプローブの縦断面図である。同図に示すよ
うに第２の実施例に係るコンタクトプローブは、プラン
ジャー１ｃ，１ｄ、バレル２及びスプリング３ｃ，３ｄ
を有する。
【００１９】これらのうちプランジャー１ｃは、図５に
示すプランジャー３１と同様に先端部がクラウン形のプ
ランジャーである。なおプランジャー１ｃは、その中央
部に軸方向に伸びる貫通孔を有するとともに上端が開口
している。更にプランジャー１ｃは、軸方向の途中に肩
部を有し、その貫通孔には狭窄部を有する。またプラン
ジャー１ｃは、バレル２内に軸方向へ移動可能に収納さ
れ、その肩部がバレル２の狭窄部に当接することにより
軸方向の位置が規制されてその先端部がバレル２の開口
から突出している。プランジャー１ｄは、概ねＴ形の部
材、すなわち円柱状の下部と、該下部の上端に続く肩部
と、該肩部に続く尖塔形の上部とからなる部材である。
【００２０】また、プランジャー１ｄは、プランジャー
１ｃ内に、軸方向へ移動可能に挿通され、その肩部がプ
ランジャー１ｃの前記狭窄部に当接することにより軸方
向の位置が規制されてその先端がプランジャー１ｄの先
端よりも少し突出した位置に占位している。
【００２１】スプリング３ｃは、バレル２内にあって、
その上端がプランジャー１ｃの外側の底面に接続され、
その下端がバレル２の内側の底面に接続されている。し
かもスプリング３ｃは、プランジャー１ｃに対し上向き
の力を与えている。スプリング３ｄは、プランジャー１
ｃ内にあって、その上端がプランジャー１ｄの下端に接
続され、その下端がプランジャー１ｃの内側の底面に接
続されている。しかもスプリング３ｄは、プランジャー
１ｄに対し上向きの力を与えている。なおスプリング３
ｄは、スプリング３ｃに比べ弾性力が弱い。すなわちプ
ランジャー１ｄの先端にのみ荷重が加わった場合には、
プランジャー１ｄのみが下がりプランジャー１ｃも同時
に下がることはない。
【００２２】図１（ｄ）は、本発明の第３の実施例に係
るコンタクトプローブの縦断面図である。同図に示すよ
うに第３の実施例に係るコンタクトプローブは、プラン
ジャー１ｅ，１ｆ、バレル２及びスプリング３ｅ，３ｆ
を有する。
【００２３】これらのうちプランジャー１ｅ及びプラン
ジャー１ｆは、図１（ｂ）に示すプランジャー１ｃ及び
プランジャー１ｄと形状及びその相互の関係が同様であ
る。但し、プランジャー１ｅには、底面がなく下端も開
口しており、この点だけが相異している。
【００２４】スプリング３ｅは、バレル２内にあって、
その上端がプランジャー１ｅの下端に接続され、その下
端がバレル２の内側の底面に接続されている。しかもス
プリング３ｅは、プランジャー１ｅに対し上向きの力を
与えている。スプリング３ｆは、バレル２内にあって、
その上端がプランジャー１ｆの下端に接続され、その下
端がバレル２の内側の底面に接続されている。しかもス
プリング３ｆは、プランジャー１ｆに対し上向きの力を
与えている。
【００２５】上記実施例によれば、図２に示すように実
装基板５の検査点であるテストランド４にコンタクトプ
ローブが接してしる時には、内側のプランジャー１ｂ，
１ｄ，１ｆが外側のプランジャー１ａ，１ｃ，１ｅより
も突出している分だけバレル２内へ大きくへこみ、これ
らの先端位置が揃う。その後コンタクトプローブがテス
トランド４から離れた時には、再び元の状態、すなわち
プランジャー１ｂ，１ｄ，１ｆの先端がプランジャー１
ａ，１ｃ，１ｅの先端よりも少し突出した状態となる。
【００２６】かくしてプランジャー１ｂ，１ｄ，１ｆ
は、プランジャー１ａ，１ｃ，１ｅに対し相対的に軸方
向へ移動することになり、その際これらの先端部に付着
したフラックス等を除去する。なお図２は、第３の実施
例である図１（ｃ）の先端部の状態のみを示している
が、第１及び第２の実施例である図１の（ａ）及び
（ｂ）についても同様である。
【００２７】なお、プランジャー１ａ〜１ｆは、耐久性
のあるベリリウム銅、炭素工具鋼などの材料を用いる。
【００２８】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに、本発明は、フラックス等を完全に除去することが
でき、実装基板に対しコンタクトプローブの接触不良を
生起する虞がなく、安定した接触を得ることができる。
【００２９】また実装基板は、従来フロンによって洗浄
されていたが、環境保護のためフロンの使用が制限され
るに伴い無洗浄化の傾向にある。本発明は、このような
フラックス等の多い無洗浄の実装基板に対して非常に有
効であり、前記無洗浄化の一助となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施例に係るコンタクトプロー
ブの縦断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施例に係るコンタクトプロ
ーブの先端部を抽出して示す縦断面図である。
【図３】図３は、フクスチャータイプの検査装置の斜視
図である。
【図４】図４は、フクスチャータイプの検査装置による
検査状態を示す斜視図である。
【図５】図５は、従来技術に係るコンタクトプローブの
縦断面図である。
【図６】図６は、従来技術に係るコンタクトプローブの
先端部の斜視図である。
【符号の説明】
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ プランジャー ２ バレル ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ スプリング

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 軸方向の一端が開口するバレル内に、軸
    方向へ移動可能に収納され、肩部がバレルの狭窄部に当
    接することにより軸方向の位置が規制されて先端部が前
    記開口から突出するとともに、その中央部に軸方向に伸
    びる貫通孔を有する第１のプランジャーと、 該第１のプランジャーに対し軸方向に沿ってその先端に
    向かう方向に力を加える第１の弾性部材と、 前記第１のプランジャーの前記貫通孔に軸方向へ移動可
    能に挿通された部材であって、その先端が前記第１のプ
    ランジャーの先端より突出した第２のプランジャーと、 該第２のプランジャーに対し軸方向に沿ってその先端に
    向かう方向に力を加える第２の弾性部材とを有すること
    を特徴とするコンタクトプローブ。
JP15857493A 1993-06-29 1993-06-29 コンタクトプローブ Withdrawn JPH0712846A (ja)

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JP15857493A JPH0712846A (ja) 1993-06-29 1993-06-29 コンタクトプローブ

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JP15857493A JPH0712846A (ja) 1993-06-29 1993-06-29 コンタクトプローブ

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1486789A3 (en) * 2003-06-09 2005-09-07 Alps Electric Co., Ltd. Contact probe
JP2006184061A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Fujitsu Ltd 電気的接続部品及びその製造方法
EP1717591A4 (en) * 2004-02-04 2012-05-02 Nhk Spring Co Ltd NEEDLE-RELATED LINK, CONDUCTIVE CONTACT AND CONDUCTIVE CONTACT UNIT
JP2016038206A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 株式会社アイエスシーＩｓｃ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． ポゴピン用プローブ部材
JP2016038207A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 株式会社アイエスシーＩｓｃ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． ポゴピン用プローブ部材
US9310395B2 (en) 2013-04-18 2016-04-12 Isc Co., Ltd. Probe member for pogo pin
JP2017102073A (ja) * 2015-12-04 2017-06-08 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
US9726693B2 (en) 2013-04-18 2017-08-08 Isc Co., Ltd. Probe member for pogo pin
WO2021235704A1 (ko) * 2020-05-22 2021-11-25 (주)아이윈솔루션 초 고전류용 포고핀

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7116123B2 (en) 2003-06-09 2006-10-03 Alps Electric Co., Ltd. Contact probe, probe socket, electrical characteristic measuring device, and method for pushing the contact probe against object to be measured
US7288952B2 (en) 2003-06-09 2007-10-30 Apls Electric Co., Ltd. Contact probe, probe socket, electrical characteristic measuring device, and method for pushing the contact probe against object to be measured
US7463045B2 (en) 2003-06-09 2008-12-09 Alps Electric Co., Ltd. Method for pushing a contact probe against object to be measured
EP1486789A3 (en) * 2003-06-09 2005-09-07 Alps Electric Co., Ltd. Contact probe
EP1717591A4 (en) * 2004-02-04 2012-05-02 Nhk Spring Co Ltd NEEDLE-RELATED LINK, CONDUCTIVE CONTACT AND CONDUCTIVE CONTACT UNIT
JP2006184061A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Fujitsu Ltd 電気的接続部品及びその製造方法
US9310395B2 (en) 2013-04-18 2016-04-12 Isc Co., Ltd. Probe member for pogo pin
US9726693B2 (en) 2013-04-18 2017-08-08 Isc Co., Ltd. Probe member for pogo pin
JP2016038206A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 株式会社アイエスシーＩｓｃ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． ポゴピン用プローブ部材
JP2016038207A (ja) * 2014-08-05 2016-03-22 株式会社アイエスシーＩｓｃ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． ポゴピン用プローブ部材
JP2017102073A (ja) * 2015-12-04 2017-06-08 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
CN106847720A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 瑞萨电子株式会社 半导体装置的制造方法
CN106847720B (zh) * 2015-12-04 2022-01-11 瑞萨电子株式会社 半导体装置的制造方法
WO2021235704A1 (ko) * 2020-05-22 2021-11-25 (주)아이윈솔루션 초 고전류용 포고핀
KR20220143545A (ko) * 2020-05-22 2022-10-25 (주)아이윈솔루션 초 고전류용 포고핀

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