JPH0712961Y2 - 光トラップ - Google Patents
光トラップInfo
- Publication number
- JPH0712961Y2 JPH0712961Y2 JP3498588U JP3498588U JPH0712961Y2 JP H0712961 Y2 JPH0712961 Y2 JP H0712961Y2 JP 3498588 U JP3498588 U JP 3498588U JP 3498588 U JP3498588 U JP 3498588U JP H0712961 Y2 JPH0712961 Y2 JP H0712961Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- optical trap
- light
- present
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 パーティクルカウンタ等に使用され、光をとり込んで内
部で減衰させる光トラップに関し、従来に比し容易に製
造でき、かつ丈夫な光トラップを提供することを目的と
し、 端部を閉じた直管の内部に、一部に光透過部を有する板
を管の軸に対し傾けて配置した構成とする。
部で減衰させる光トラップに関し、従来に比し容易に製
造でき、かつ丈夫な光トラップを提供することを目的と
し、 端部を閉じた直管の内部に、一部に光透過部を有する板
を管の軸に対し傾けて配置した構成とする。
本考案はクリーンルーム内の清浄度を測定する場合等に
使用されるパーティクルカウンタの光トラップに関す
る。半導体の製造においては、空気中に浮遊する塵芥に
より製造の歩留りに大きな影響を受ける。従ってこれら
の設備では空気中の塵芥粒子の大きさ、数を正確に計数
するパーティクルカウンタが要求されている。
使用されるパーティクルカウンタの光トラップに関す
る。半導体の製造においては、空気中に浮遊する塵芥に
より製造の歩留りに大きな影響を受ける。従ってこれら
の設備では空気中の塵芥粒子の大きさ、数を正確に計数
するパーティクルカウンタが要求されている。
第５図は一般のパーティクルカウンタの原理説明図で、
第４図は従来の光トラップの構造を示す。
第４図は従来の光トラップの構造を示す。
第５図において被測定空気６はガラス又は金属で作られ
た管１内を通過する間に空気中に浮遊するパーティクル
の大きさおよび数が測定される。管１の側面からレーザ
光２を管内に入射すると管内の空気中に浮遊するパーテ
ィクルにレーザ光が当って光が散乱する。この散乱光を
散乱光集光レンズ４で集光し検知器３で検出する。この
検出器３ではパーティクルの数を光のパルスの数として
とらえ、パーティクルの大きさは光パルスのパルス高さ
により検出し、どの位の大きさの粒子がどの位の数浮遊
しているか判別している。
た管１内を通過する間に空気中に浮遊するパーティクル
の大きさおよび数が測定される。管１の側面からレーザ
光２を管内に入射すると管内の空気中に浮遊するパーテ
ィクルにレーザ光が当って光が散乱する。この散乱光を
散乱光集光レンズ４で集光し検知器３で検出する。この
検出器３ではパーティクルの数を光のパルスの数として
とらえ、パーティクルの大きさは光パルスのパルス高さ
により検出し、どの位の大きさの粒子がどの位の数浮遊
しているか判別している。
ところでレーザ光２が直進した反対側の管壁には、レー
ザ光が管壁に衝突して散乱光となって誤って検知器３に
とらわれないように、光トラップ５が設けられている。
ザ光が管壁に衝突して散乱光となって誤って検知器３に
とらわれないように、光トラップ５が設けられている。
この光トラップ５は第３図に示すようにホーン形状をし
ており、このホーンは内部が黒く塗られており入口から
入った光はホーン形光トラップ５の内部で何回も反射す
る内に次第に吸収されてしまう。
ており、このホーンは内部が黒く塗られており入口から
入った光はホーン形光トラップ５の内部で何回も反射す
る内に次第に吸収されてしまう。
上記従来のホーン形光トラップであると、曲管で、しか
も次第に細くなる形状であり極めて製造が難しく、又真
空装置等で使用する場合はホーンの先端でリークしやす
いという問題が発生する。本発明はこのような従来の問
題点を解消するもので、製造容易でしかも丈夫な光トラ
ップを提供することを目的とする。
も次第に細くなる形状であり極めて製造が難しく、又真
空装置等で使用する場合はホーンの先端でリークしやす
いという問題が発生する。本発明はこのような従来の問
題点を解消するもので、製造容易でしかも丈夫な光トラ
ップを提供することを目的とする。
上記本考案の目的は本考案によると、端部を閉じた直管
の内部に、一部に光透過部を有する板を該管の軸に対し
傾けて配置した事を特徴とする光トラップにより達成さ
れる。
の内部に、一部に光透過部を有する板を該管の軸に対し
傾けて配置した事を特徴とする光トラップにより達成さ
れる。
本考案は、従来と異なり直管を使用しているので製造が
容易であり、又構造も丈夫である。
容易であり、又構造も丈夫である。
第１図は本考案の実施例による光トラップの側面図を示
す。第１図において７はガラス又は金属の直管であり、
その端部は球状に閉じられていて、管７の内部には楕円
形のガラス板８が管の軸に対して45°以下となるように
傾けて接着している。なお管７の内壁面は黒色にしてお
く。
す。第１図において７はガラス又は金属の直管であり、
その端部は球状に閉じられていて、管７の内部には楕円
形のガラス板８が管の軸に対して45°以下となるように
傾けて接着している。なお管７の内壁面は黒色にしてお
く。
ガラス板８は第２図の平面図に示す如く、半分以上を黒
い塗料９で塗っておく。
い塗料９で塗っておく。
入射して来た光６はガラス板８の上半分の透明部分を通
過して端部の球状部で反射し、さらに反射光はガラス板
８の下半分の塗料９と管壁間を反射を繰り返し減衰して
しまう。
過して端部の球状部で反射し、さらに反射光はガラス板
８の下半分の塗料９と管壁間を反射を繰り返し減衰して
しまう。
第３図は本考案の他の実施例による光トラップの側面図
を示す。第３図の光トラップは端部を斜めにした形状で
あり、第１図の実施例のものより製造が容易になってい
る。その他の点では第１図の実施例と同じである。
を示す。第３図の光トラップは端部を斜めにした形状で
あり、第１図の実施例のものより製造が容易になってい
る。その他の点では第１図の実施例と同じである。
以上の実施例ではガラス板７は楕円形状であるが透明部
分を切り落した形状でもよく、材料は金属でもよい。
分を切り落した形状でもよく、材料は金属でもよい。
又塗料９および管の内壁は使用するレーザの波長に応じ
て黒色以外の吸収色に塗装することも可能である。
て黒色以外の吸収色に塗装することも可能である。
以上説明したように本考案によると、製造容易、かつ丈
夫な光トラップを実現できる利点がある。
夫な光トラップを実現できる利点がある。
第１図は本考案の実施例による光トラップの側面図，第
２図はガラス板の平面図，第３図は本考案の他の実施例
による光トラップの側面図，第４図は従来のホーン形光
トラップ斜視図，第５図はパーティクルカウンタの原理
説明図を示す。 図において、６は入射光、7,10は直管、８はガラス板、
９は黒色塗料。
２図はガラス板の平面図，第３図は本考案の他の実施例
による光トラップの側面図，第４図は従来のホーン形光
トラップ斜視図，第５図はパーティクルカウンタの原理
説明図を示す。 図において、６は入射光、7,10は直管、８はガラス板、
９は黒色塗料。
Claims (1)
- 【請求項１】端部を閉じた直管（７）の内部に、一部に
光透過部を有する板（８）を該管の軸に対し傾けて配置
した事を特徴とする光トラップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3498588U JPH0712961Y2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 光トラップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3498588U JPH0712961Y2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 光トラップ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139201U JPH01139201U (ja) | 1989-09-22 |
| JPH0712961Y2 true JPH0712961Y2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=31261648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3498588U Expired - Lifetime JPH0712961Y2 (ja) | 1988-03-16 | 1988-03-16 | 光トラップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712961Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-03-16 JP JP3498588U patent/JPH0712961Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01139201U (ja) | 1989-09-22 |
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