JPH07130910A - 厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物 - Google Patents
厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物Info
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- JPH07130910A JPH07130910A JP27830893A JP27830893A JPH07130910A JP H07130910 A JPH07130910 A JP H07130910A JP 27830893 A JP27830893 A JP 27830893A JP 27830893 A JP27830893 A JP 27830893A JP H07130910 A JPH07130910 A JP H07130910A
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- Japan
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- glass
- thick film
- pyrochlore
- glass composition
- conductive particles
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/24—Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions, i.e. for use as seals between dissimilar materials, e.g. glass and metal; Glass solders
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 パイロクロア型導電粉末を焼成中に分解する
ことなしに安定に保持できるガラスフリットを含む厚膜
用抵抗ペーストのガラス組成物を提供する。 【構成】 重量％でＰｂＯ ３５〜６５，ＳｉＯ2 ２
５〜５０，Ａｌ2 Ｏ3１〜１０，Ｂ2 Ｏ3 ０．１〜
５，Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯ≦８，ＣａＯ ０．５〜１０，Ｍ
ｇＯ ０〜１０を合計９０％以上含有する。
ことなしに安定に保持できるガラスフリットを含む厚膜
用抵抗ペーストのガラス組成物を提供する。 【構成】 重量％でＰｂＯ ３５〜６５，ＳｉＯ2 ２
５〜５０，Ａｌ2 Ｏ3１〜１０，Ｂ2 Ｏ3 ０．１〜
５，Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯ≦８，ＣａＯ ０．５〜１０，Ｍ
ｇＯ ０〜１０を合計９０％以上含有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は厚膜用抵抗ペーストのガ
ラス組成物に関する。
ラス組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】ハイブリッドＩＣ、チップ抵抗、抵抗ネ
ットワーク等の電子部品に利用されている厚膜用抵抗ペ
ーストは特公昭５６−２８３６３号、特公昭５７−３８
１６３号に示されているように、ＲｕＯ2 とガラスを反
応させてパイロクロア型導電結晶粒子を析出させるもの
が知られている。しかし、焼成中にガラス中の酸化鉛成
分とＲｕＯ2 とを、 ２ＰｂＯ＋２ＲｕＯ2 →Ｐｂ2 Ｒｕ2 Ｏ6 のように化学反応によってパイロクロア型導電粒子を析
出させる方法は、ガラス組成に強い制約条件がある。不
適切なガラス組成を選択すると、この目的とするパイロ
クロア型導電粒子が析出しない場合が数多くある。
ットワーク等の電子部品に利用されている厚膜用抵抗ペ
ーストは特公昭５６−２８３６３号、特公昭５７−３８
１６３号に示されているように、ＲｕＯ2 とガラスを反
応させてパイロクロア型導電結晶粒子を析出させるもの
が知られている。しかし、焼成中にガラス中の酸化鉛成
分とＲｕＯ2 とを、 ２ＰｂＯ＋２ＲｕＯ2 →Ｐｂ2 Ｒｕ2 Ｏ6 のように化学反応によってパイロクロア型導電粒子を析
出させる方法は、ガラス組成に強い制約条件がある。不
適切なガラス組成を選択すると、この目的とするパイロ
クロア型導電粒子が析出しない場合が数多くある。
【０００３】また、ガラス組成の制約のために、この導
電粒子とガラスとの複合材料の熱膨張係数を大幅に低下
させたり、粘性流動温度を変えたりする操作はほとんど
できない。すなわちこの反応系は極めてガラス組成の設
計余裕度が少ない系であることが確認されている。
電粒子とガラスとの複合材料の熱膨張係数を大幅に低下
させたり、粘性流動温度を変えたりする操作はほとんど
できない。すなわちこの反応系は極めてガラス組成の設
計余裕度が少ない系であることが確認されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題を解決するために、パイロクロア型導電粉末とガラ
スフリットを個別に設計した後に、混合して、両材料を
均一分散させて、導電粒子とガラスとの複合材料の熱膨
張係数を調整させたり、粘性流動温度を変えたりする操
作ができる。使用されるガラスフリットはパイロクロア
型導電粉末を焼成中に分解することなく、安定に保持し
ておく組成であることを特徴として、厚膜用抵抗ペース
トのガラス組成物を提供することにある。
問題を解決するために、パイロクロア型導電粉末とガラ
スフリットを個別に設計した後に、混合して、両材料を
均一分散させて、導電粒子とガラスとの複合材料の熱膨
張係数を調整させたり、粘性流動温度を変えたりする操
作ができる。使用されるガラスフリットはパイロクロア
型導電粉末を焼成中に分解することなく、安定に保持し
ておく組成であることを特徴として、厚膜用抵抗ペース
トのガラス組成物を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、重量百分率でＰｂＯ ３５〜６５、ＳｉＯ
2 ２５〜５０、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０、Ｂ2 Ｏ3
０．１〜５、Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯ≦８、ＣａＯ ０．５〜
１０、ＭｇＯ ０〜１０を合計で９０％以上含有する点
に特徴がある。
するために、重量百分率でＰｂＯ ３５〜６５、ＳｉＯ
2 ２５〜５０、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０、Ｂ2 Ｏ3
０．１〜５、Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯ≦８、ＣａＯ ０．５〜
１０、ＭｇＯ ０〜１０を合計で９０％以上含有する点
に特徴がある。
【０００６】
【作用】本発明で用いることのできるパイロクロア型導
電粉末は平均粒径０．１〜０．０１μｍのＰｂ2 Ｒｕ2
Ｏ7-X 、Ｂｉ2 Ｒｕ2 Ｏ7 、ＢｉＰｂＲｕ2 Ｏ6.5 、Ｐ
ｂ2 Ｉｒ2 Ｏ6 等のものであり、無機ガラス質フリット
としては平均粒径１〜５μｍのＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ａｌ
2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ3 、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ａｌ2 Ｏ3 −Ｂ
2 Ｏ3 −ＲＯ（Ｒ＝Ｃａ、Ｚｎ、Ｍｇ）等のものが挙げ
られる。
電粉末は平均粒径０．１〜０．０１μｍのＰｂ2 Ｒｕ2
Ｏ7-X 、Ｂｉ2 Ｒｕ2 Ｏ7 、ＢｉＰｂＲｕ2 Ｏ6.5 、Ｐ
ｂ2 Ｉｒ2 Ｏ6 等のものであり、無機ガラス質フリット
としては平均粒径１〜５μｍのＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ａｌ
2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ3 、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ａｌ2 Ｏ3 −Ｂ
2 Ｏ3 −ＲＯ（Ｒ＝Ｃａ、Ｚｎ、Ｍｇ）等のものが挙げ
られる。
【０００７】化学反応を応用して、焼成中にパイロクロ
ア型導電粒子を析出させる方法は、ガラス成分中に７０
ｗｔ％以上の酸化鉛（ＰｂＯ）が必要である。そのため
に導電粉末とガラスとの複合材料としての焼結抵抗体は
熱膨張係数が９６％アルミナ基板の約７０×１０-7／℃
に比較して、８０×１０-7／℃以上に達してしまう。
ア型導電粒子を析出させる方法は、ガラス成分中に７０
ｗｔ％以上の酸化鉛（ＰｂＯ）が必要である。そのため
に導電粉末とガラスとの複合材料としての焼結抵抗体は
熱膨張係数が９６％アルミナ基板の約７０×１０-7／℃
に比較して、８０×１０-7／℃以上に達してしまう。
【０００８】このような熱膨張係数の差の大きい材料を
アルミナ基板に抵抗素子として焼結すると厚膜抵抗体側
に強い残留引張応力が負荷されることになる。このよう
な強い引張応力状態にある脆性焼結体に抵抗値調整を果
たすためにレーザートリムをすると焼結体に多くのクラ
ックが入る。そのために精密な抵抗値コントロールがで
きなかったり、時間の経過とともに抵抗値が変動する弊
害が発生したりする。
アルミナ基板に抵抗素子として焼結すると厚膜抵抗体側
に強い残留引張応力が負荷されることになる。このよう
な強い引張応力状態にある脆性焼結体に抵抗値調整を果
たすためにレーザートリムをすると焼結体に多くのクラ
ックが入る。そのために精密な抵抗値コントロールがで
きなかったり、時間の経過とともに抵抗値が変動する弊
害が発生したりする。
【０００９】パイロクロア型導電材料の一つであるＰｂ
2 Ｒｕ2 Ｏ6 の熱膨張係数は９５×１０-7／℃とアルミ
ナ基板のそれと比較してはるかに大きい。導電材料とガ
ラスフリットの均一混合した複合材料としての抵抗体の
熱膨張係数を、望ましくはアルミナ基板以下に、低下す
るためにはガラス組成デザインを工夫する必要がある。
2 Ｒｕ2 Ｏ6 の熱膨張係数は９５×１０-7／℃とアルミ
ナ基板のそれと比較してはるかに大きい。導電材料とガ
ラスフリットの均一混合した複合材料としての抵抗体の
熱膨張係数を、望ましくはアルミナ基板以下に、低下す
るためにはガラス組成デザインを工夫する必要がある。
【００１０】これらの問題点を解決するために、本発明
はあらかじめ熱膨張係数、軟化点などの希望する諸特性
を正確にコントロールしたガラスフリットを別個に作っ
ておき、後で導電粉末を所定量添加して、均一混合する
ことを目的とした。現在工業的に広く採用されている抵
抗ペーストの焼成条件は最高温度８５０℃で約９分間で
ある。
はあらかじめ熱膨張係数、軟化点などの希望する諸特性
を正確にコントロールしたガラスフリットを別個に作っ
ておき、後で導電粉末を所定量添加して、均一混合する
ことを目的とした。現在工業的に広く採用されている抵
抗ペーストの焼成条件は最高温度８５０℃で約９分間で
ある。
【００１１】特に分解しやすい複合酸化物であるパイロ
クロア導電粒子は、この焼成中に抵抗特性を発揮するた
めに、ガラスから変質作用を受けてはならない。
クロア導電粒子は、この焼成中に抵抗特性を発揮するた
めに、ガラスから変質作用を受けてはならない。
【００１２】特に反応法によるパイロクロア導電粒子の
析出にはガラス成分中のＢ2 Ｏ3 、ＺｎＯ組成の含有量
の上限に強い制約条件がある。これらの組成が一定限度
以上ガラス中に含有すると導電粒子は析出しなくなる。
しかしガラスフリットを予め準備しておく個別設計法で
は前法に比較して、多くのＢ2 Ｏ3 、ＺｎＯ組成がガラ
ス中に含有してもパイロクロア導電粒子を分解すること
はない。だがガラス中である限度以上の含有量になる
と、導電粒子をやはり分解してしまう。この含有量の範
囲を決定したのが本発明の骨子の一つである。ガラス中
でＢ2 Ｏ3 の主な役割りは、ガラスの溶融性を向上させ
る、熱膨張係数を低下させる、厚膜焼結体の靱性強度を
増進させる等の優れた作用がある。
析出にはガラス成分中のＢ2 Ｏ3 、ＺｎＯ組成の含有量
の上限に強い制約条件がある。これらの組成が一定限度
以上ガラス中に含有すると導電粒子は析出しなくなる。
しかしガラスフリットを予め準備しておく個別設計法で
は前法に比較して、多くのＢ2 Ｏ3 、ＺｎＯ組成がガラ
ス中に含有してもパイロクロア導電粒子を分解すること
はない。だがガラス中である限度以上の含有量になる
と、導電粒子をやはり分解してしまう。この含有量の範
囲を決定したのが本発明の骨子の一つである。ガラス中
でＢ2 Ｏ3 の主な役割りは、ガラスの溶融性を向上させ
る、熱膨張係数を低下させる、厚膜焼結体の靱性強度を
増進させる等の優れた作用がある。
【００１３】またＺｎＯ成分も同じように、ガラスの溶
融性を向上させる、熱膨張係数を低下させる、厚膜抵抗
体のノイズ特性を好転させる等の効果がある。
融性を向上させる、熱膨張係数を低下させる、厚膜抵抗
体のノイズ特性を好転させる等の効果がある。
【００１４】従って、特性の優れた厚膜用抵抗焼結体を
作るためにはガラスフリットの組成を厳密に設計してお
く必要がある。
作るためにはガラスフリットの組成を厳密に設計してお
く必要がある。
【００１５】本発明ではパイロクロア導電粒子のガラス
中での熱安定性を評価した方法は次のようである。パイ
ロクロア導電粉末２５ｗｔ％と種々のガラスフリット７
５ｗｔ％を湿式法で均一分散混合し、この乾燥混合粉末
をアルミナ坩堝に入れて、８５０℃で２時間焼結する強
制試験を実施した。この焼結体を粉砕して、Ｘ線回折法
（ＸＲＤ）によってパイロクロア導電粒子の安定性を調
査した。もし分解していれば、導電粒子の一部がＲｕＯ
2 に解離していることになる。この焼成試験方法によっ
て得た粉末をＸＲＤで解析し、少しでもＲｕＯ2 が検出
されれば、パイロクロア導電粒子を分解するガラス組成
として不適当と判断した。
中での熱安定性を評価した方法は次のようである。パイ
ロクロア導電粉末２５ｗｔ％と種々のガラスフリット７
５ｗｔ％を湿式法で均一分散混合し、この乾燥混合粉末
をアルミナ坩堝に入れて、８５０℃で２時間焼結する強
制試験を実施した。この焼結体を粉砕して、Ｘ線回折法
（ＸＲＤ）によってパイロクロア導電粒子の安定性を調
査した。もし分解していれば、導電粒子の一部がＲｕＯ
2 に解離していることになる。この焼成試験方法によっ
て得た粉末をＸＲＤで解析し、少しでもＲｕＯ2 が検出
されれば、パイロクロア導電粒子を分解するガラス組成
として不適当と判断した。
【００１６】ＰｂＯが３５ｗｔ％未満ではガラスの軟化
点が高過ぎて所定の温度で焼結できなくなる。６５ｗｔ
％を越えるとガラスの熱膨張係数が大きくなり過ぎる。
点が高過ぎて所定の温度で焼結できなくなる。６５ｗｔ
％を越えるとガラスの熱膨張係数が大きくなり過ぎる。
【００１７】ＳｉＯ2 が２５ｗｔ％未満では厚膜抵抗体
の強度、化学的耐久性が悪くなる。５０ｗｔ％を越える
とガラスの軟化点が高くなり過ぎる。
の強度、化学的耐久性が悪くなる。５０ｗｔ％を越える
とガラスの軟化点が高くなり過ぎる。
【００１８】Ａｌ2 Ｏ3 が１ｗｔ％未満になるとガラス
の耐候性が劣化する。１０ｗｔ％を越えるとガラスの軟
化点が高くなり過ぎる。
の耐候性が劣化する。１０ｗｔ％を越えるとガラスの軟
化点が高くなり過ぎる。
【００１９】Ｂ2 Ｏ3 が０．１ｗｔ％未満ではガラスの
溶融性が低下する。また厚膜焼結体の靱性強度が弱くな
る。５ｗｔ％を越えるとパイロクロア導電粒子を焼成中
に分解してしまう。Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯが８ｗｔ％を越え
るとパイロクロア導電粒子を一部ＲｕＯ2に分解して、
抵抗特性を充分に発揮できなくなる。
溶融性が低下する。また厚膜焼結体の靱性強度が弱くな
る。５ｗｔ％を越えるとパイロクロア導電粒子を焼成中
に分解してしまう。Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯが８ｗｔ％を越え
るとパイロクロア導電粒子を一部ＲｕＯ2に分解して、
抵抗特性を充分に発揮できなくなる。
【００２０】ＣａＯが０．５ｗｔ％未満になると厚膜抵
抗体の耐候性がわるくなる。またＴＣＲを上昇させる効
果が減じる。１０ｗｔ％を越えると熱膨張係数が高過ぎ
て、アルミナ基板に厚膜抵抗体を焼結した時に膜強度が
弱くなる。
抗体の耐候性がわるくなる。またＴＣＲを上昇させる効
果が減じる。１０ｗｔ％を越えると熱膨張係数が高過ぎ
て、アルミナ基板に厚膜抵抗体を焼結した時に膜強度が
弱くなる。
【００２１】ＭｇＯが１０ｗｔ％を越えると厚膜抵抗体
のノイズ特性がわるくなる。
のノイズ特性がわるくなる。
【００２２】なお、本発明において上記成分以外にもＢ
ａＯ、ＳｒＯ、ＣｕＯ、ＭｎＯ、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｇｄ2 Ｏ
3 、Ｅｕ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＧｅＯ2 、Ｔ
ｉＯ2 、ＺｒＯ2 等の成分を１種あるいは２種以上１０
ｗｔ％まで含有させることもできる。
ａＯ、ＳｒＯ、ＣｕＯ、ＭｎＯ、Ｓｍ2 Ｏ3 、Ｇｄ2 Ｏ
3 、Ｅｕ2 Ｏ3 、Ｎｄ2 Ｏ3 、Ｙ2 Ｏ3 、ＧｅＯ2 、Ｔ
ｉＯ2 、ＺｒＯ2 等の成分を１種あるいは２種以上１０
ｗｔ％まで含有させることもできる。
【００２３】１０ｗｔ％を越えるとガラスが分相した
り、熱膨張係数が急増するために好ましくない。以上の
組成を有するガラスはパイロクロア導電粒子を焼成中に
安定に保持しておき、また熱膨張係数が５０〜７５×１
０-7／℃であり、厚膜用抵抗ペーストのガラスに適した
組成である。
り、熱膨張係数が急増するために好ましくない。以上の
組成を有するガラスはパイロクロア導電粒子を焼成中に
安定に保持しておき、また熱膨張係数が５０〜７５×１
０-7／℃であり、厚膜用抵抗ペーストのガラスに適した
組成である。
【００２４】
【実施例】表１に示すように、それぞれの組成の酸化物
を合計１ｋｇになるように精秤し、混合素原料を混合機
で１〜２時間混合する。混合の終了した粉末を白金坩堝
に入れて、抵抗加熱炉中で１２００〜１３００℃の温度
で１〜２時間溶融する。途中で数回、白金パドルで溶融
ガラスを攪拌し、ガラスの均質性を充分高めてやる。
を合計１ｋｇになるように精秤し、混合素原料を混合機
で１〜２時間混合する。混合の終了した粉末を白金坩堝
に入れて、抵抗加熱炉中で１２００〜１３００℃の温度
で１〜２時間溶融する。途中で数回、白金パドルで溶融
ガラスを攪拌し、ガラスの均質性を充分高めてやる。
【００２５】ガラスが清澄したら、ローラークウェンチ
機に溶融ガラスを流出させて、室温中で急冷する。ガラ
スの熱膨張係数、転移点、屈伏点の測定には、徐冷操作
の終わった、脈理、泡のないガラスを使う。
機に溶融ガラスを流出させて、室温中で急冷する。ガラ
スの熱膨張係数、転移点、屈伏点の測定には、徐冷操作
の終わった、脈理、泡のないガラスを使う。
【００２６】表１にそれぞれのガラスの熱膨張係数（室
温〜４００℃）、転移点および屈伏点を記す。室温に冷
えたガラスを耐摩耗性の優れているボールミルでエチル
アルコールやイソプロパノール等の有機溶剤を適当量加
えて、７２時間湿式微粉砕をする。
温〜４００℃）、転移点および屈伏点を記す。室温に冷
えたガラスを耐摩耗性の優れているボールミルでエチル
アルコールやイソプロパノール等の有機溶剤を適当量加
えて、７２時間湿式微粉砕をする。
【００２７】スラリー状になった懸濁液を容器に移し
て、温度６０〜１２０℃の防爆型乾燥炉中で有機溶剤を
揮散させて、平均粒径約２μｍの乾燥ガラスフリットを
得る。
て、温度６０〜１２０℃の防爆型乾燥炉中で有機溶剤を
揮散させて、平均粒径約２μｍの乾燥ガラスフリットを
得る。
【００２８】次にこのガラスフリット７５ｗｔ％と平均
粒径約０．０５μｍのパイロクロア型導電粉末Ｐｂ2 Ｒ
ｕ2 Ｏ6.5 ２５ｗｔ％を合計６０．０ｇ秤量し、この混
合粉末を５．０ｍｍφの安定化ジルコニアボール１４３
０ｇを充填してある容量０．８ｍｌの小型強制攪拌ミル
（アトリションミル）に入れ、分散剤として純水を１２
５ｍｌ加え、回転数４００ｒｐｍで５．０時間湿式混合
分散する。
粒径約０．０５μｍのパイロクロア型導電粉末Ｐｂ2 Ｒ
ｕ2 Ｏ6.5 ２５ｗｔ％を合計６０．０ｇ秤量し、この混
合粉末を５．０ｍｍφの安定化ジルコニアボール１４３
０ｇを充填してある容量０．８ｍｌの小型強制攪拌ミル
（アトリションミル）に入れ、分散剤として純水を１２
５ｍｌ加え、回転数４００ｒｐｍで５．０時間湿式混合
分散する。
【００２９】アトリションミルとは固定された円筒形の
ミル内に腕の付いた攪拌棒が埋めこまれていて、これが
円筒に入れられたボールと砕料とを攪拌し、ボールどう
しの衝撃や摩擦などの力で微粉砕、混合するものであ
る。従来型の回転式ボールミルに比較して、短時間内に
効率的に微粉砕、混合を行なえる特徴を持つ。
ミル内に腕の付いた攪拌棒が埋めこまれていて、これが
円筒に入れられたボールと砕料とを攪拌し、ボールどう
しの衝撃や摩擦などの力で微粉砕、混合するものであ
る。従来型の回転式ボールミルに比較して、短時間内に
効率的に微粉砕、混合を行なえる特徴を持つ。
【００３０】アトリションミルによるガラスの粉砕効果
を評価すると次のようになった。アトリション処理する
前の原料ガラスフリットは平均粒径１．９μｍ、最大粒
径１０．６μｍであるが、アトリションミルで前記条件
で５時間処理すると平均粒径０．８μｍ、最大粒径３．
７μｍとなり、微粉砕化効果が極めて高い。
を評価すると次のようになった。アトリション処理する
前の原料ガラスフリットは平均粒径１．９μｍ、最大粒
径１０．６μｍであるが、アトリションミルで前記条件
で５時間処理すると平均粒径０．８μｍ、最大粒径３．
７μｍとなり、微粉砕化効果が極めて高い。
【００３１】
【表１】
【００３２】乾燥の終わったこの混合粉末をアルミナル
ツボに入れて、温度８５０℃の電気炉中で２時間焙焼
し、空気中または水中で急冷させる。この焙焼体を平均
粒径１０μｍ程度になるよう粗粉砕し、その後前述した
と同様な方法で、７２時間ボールミルで平均粒径２μｍ
になるよう湿式微粉砕を行う。
ツボに入れて、温度８５０℃の電気炉中で２時間焙焼
し、空気中または水中で急冷させる。この焙焼体を平均
粒径１０μｍ程度になるよう粗粉砕し、その後前述した
と同様な方法で、７２時間ボールミルで平均粒径２μｍ
になるよう湿式微粉砕を行う。
【００３３】微粉砕した乾燥焙焼粉を７０ｗｔ％、有機
ビヒクルとしてエチルセルローズのターピネオール溶液
を３０ｗｔ％加えてスリーロール混練機で混練を行い、
得たペーストを９６％アルミナ基板上にスクリーン印刷
して、最高温度１２５℃で２５分間、電気炉中で乾燥
後、空気雰囲気式ベルト焼成炉でピーク温度８５０℃、
ピーク時間９分間で焼成させ、厚膜抵抗体を作った。な
お、厚膜焼結抵抗体の平均膜厚は１０μｍにした。
ビヒクルとしてエチルセルローズのターピネオール溶液
を３０ｗｔ％加えてスリーロール混練機で混練を行い、
得たペーストを９６％アルミナ基板上にスクリーン印刷
して、最高温度１２５℃で２５分間、電気炉中で乾燥
後、空気雰囲気式ベルト焼成炉でピーク温度８５０℃、
ピーク時間９分間で焼成させ、厚膜抵抗体を作った。な
お、厚膜焼結抵抗体の平均膜厚は１０μｍにした。
【００３４】また電気特性はＲ（シート抵抗値）、ＴＣ
Ｒ（抵抗温度係数、ＨＴＣＲ：＋２５〜＋１２５℃、Ｃ
ＴＣＲ：−５５〜＋２５℃、ｐｐｍ／℃）、電流ノイズ
（ｄＢ）について測定を行った。
Ｒ（抵抗温度係数、ＨＴＣＲ：＋２５〜＋１２５℃、Ｃ
ＴＣＲ：−５５〜＋２５℃、ｐｐｍ／℃）、電流ノイズ
（ｄＢ）について測定を行った。
【００３５】表２にそれぞれの抵抗体の抵抗特性と焙焼
中のパイロクロア型導電粒子の安定性をＸＲＤによって
解析した結果を記す。
中のパイロクロア型導電粒子の安定性をＸＲＤによって
解析した結果を記す。
【００３６】電極はＡｇ−Ｐｄペースト（住友金属鉱山
製Ｃ−４３１１）を使用し、抵抗体の評価パターンは
１．０×１．０ｍｍで行った。
製Ｃ−４３１１）を使用し、抵抗体の評価パターンは
１．０×１．０ｍｍで行った。
【００３７】また８５０℃で２時間焙焼した粉末をＸ線
回折法（ＸＲＤ）で評価すると、ガラス組成の不適切な
ものは複合酸化物としてのパイロクロア型導電粒子がガ
ラス流動によって、一部分解作用を受けてＲｕＯ2 に変
質していることが確認される。変質を受けているもの
は、電流ノイズ特性が極めて不安定で測定ができなかっ
た。またＴＣＲ特性も大きく負側へ移行して行き、ＴＣ
Ｒ修正剤で修正できない範囲まで低下してしまう。
回折法（ＸＲＤ）で評価すると、ガラス組成の不適切な
ものは複合酸化物としてのパイロクロア型導電粒子がガ
ラス流動によって、一部分解作用を受けてＲｕＯ2 に変
質していることが確認される。変質を受けているもの
は、電流ノイズ特性が極めて不安定で測定ができなかっ
た。またＴＣＲ特性も大きく負側へ移行して行き、ＴＣ
Ｒ修正剤で修正できない範囲まで低下してしまう。
【００３８】
【表２】
【００３９】またパイロクロア型導電粒子を焼成中に安
定に保持できるガラス組成と、反対に分解を促進するガ
ラス組成で１０ＭΩ／□、１ＭΩ／□、１００ｋΩ／□
の３種類のペーストを作り、焼成温度（８００℃、８５
０℃、９００℃の三水準で保持時間はそれぞれ９分間に
統一する）に依って抵抗値がどのように変動するか調べ
た。
定に保持できるガラス組成と、反対に分解を促進するガ
ラス組成で１０ＭΩ／□、１ＭΩ／□、１００ｋΩ／□
の３種類のペーストを作り、焼成温度（８００℃、８５
０℃、９００℃の三水準で保持時間はそれぞれ９分間に
統一する）に依って抵抗値がどのように変動するか調べ
た。
【００４０】その結果、表３に示すように、前者の方が
はるかに変動が少ないことが確認できた。特に９００℃
の焼成時の抵抗値の変化にガラス組成効果による差が出
ている。焼成温度に依る抵抗値の変動が少ないほど、焼
成温度に鈍感で優れた抵抗特性の一つと言える。
はるかに変動が少ないことが確認できた。特に９００℃
の焼成時の抵抗値の変化にガラス組成効果による差が出
ている。焼成温度に依る抵抗値の変動が少ないほど、焼
成温度に鈍感で優れた抵抗特性の一つと言える。
【００４１】
【表３】
【００４２】
【発明の効果】本発明の実施によりパイロクロア型導電
粉末を焼成中に分解することなしに安定に保持できるガ
ラスフリットを含む厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物
が提供できその効果は大である。
粉末を焼成中に分解することなしに安定に保持できるガ
ラスフリットを含む厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物
が提供できその効果は大である。
Claims (1)
- 【請求項１】 重量百分率でＰｂＯ ３５〜６５、Ｓｉ
Ｏ2 ２５〜５０、Ａｌ2 Ｏ3 １〜１０、Ｂ2 Ｏ3
０．１〜５、Ｂ2 Ｏ3 ＋ＺｎＯ≦８、ＣａＯ０．５〜１
０、ＭｇＯ ０〜１０を合計で９０％以上含有すること
を特徴とする厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27830893A JPH07130910A (ja) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | 厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27830893A JPH07130910A (ja) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | 厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07130910A true JPH07130910A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17595535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27830893A Pending JPH07130910A (ja) | 1993-11-08 | 1993-11-08 | 厚膜用抵抗ペーストのガラス組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07130910A (ja) |
-
1993
- 1993-11-08 JP JP27830893A patent/JPH07130910A/ja active Pending
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