JPH07133131A - 光ファイバ母材の製法 - Google Patents

光ファイバ母材の製法

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JPH07133131A
JPH07133131A JP27548093A JP27548093A JPH07133131A JP H07133131 A JPH07133131 A JP H07133131A JP 27548093 A JP27548093 A JP 27548093A JP 27548093 A JP27548093 A JP 27548093A JP H07133131 A JPH07133131 A JP H07133131A
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Yoshihiro Ouchi
義博 大内
Masahiro Horikoshi
雅博 堀越
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 燃料として安価で取扱いが容易な天然ガスを
用いて、火炎中でガラス微粒子を合成し、基材上に堆積
して光ファイバ母材を製造する際に、天然ガスに起因す
るカーボンが混入したスートの発生がなく、カーボンに
よる光ファイバ母材の汚染を防止する。 【構成】 多重管バーナ11での酸素ガスの流路14,
16,18を複数とし、該バーナ11の最外側にそのう
ちの1つの酸素ガス流路18を配し、これら酸素ガス流
路14,16,18の間の流路15,17に天然ガスま
たは天然ガスと酸素ガスとの混合ガスを流す。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバの製造に
用いられる光ファイバ母材の製法に関する。
【0002】
【従来の技術】光ファイバ母材を製造する方法に外付け
法、VAD法などがある。これらの製法は、多重管構造
の石英ガラス製バーナを使用し、これにSiCl4 、G
eCl4 などのガラス原料ガス、アルゴンなどのセパレ
ートガス、燃料としての水素ガス、酸化剤としての酸素
ガスを多重管バーナのそれぞれの層に供給し、火炎中で
熱酸化反応等によってガラス微粒子を合成し、合成され
たガラス微粒子を基材上に堆積して多孔質プリフォーム
を製造し、これを透明ガラス化して光ファイバ母材とす
るものである。
【0003】ところで、近時燃料として水素ガスにかわ
って安価で取扱いの容易なメタンを主成分とする天然ガ
スを用いる検討がなされている。この天然ガスを燃料と
してガラス微粒子を合成するものとしては、図3に示す
ような従来の水素ガスを燃料とする四重管バーナ1をそ
のまま使用し、ガラス原料ガスをその最内層の第1層2
に、水素ガスに代えて天然ガスを第2層3に、アルゴン
ガスを第3層4に、酸素ガスを最外側の第4層5に供給
する方法が検討された。
【0004】しかし、この方法では、天然ガスの主成分
であるメタン中の炭素が不完全燃焼し、カーボンが混入
したスートが生成し、これがガラス微粒子中に取り込ま
れ、得られる光ファイバ母材がカーボンで汚染される欠
点があった。カーボンが取り込まれると、光ファイバ母
材中にカーボンを起因とする泡が生じ、この泡によっ
て、光ファイバの機械的・光学的特性が損なわれる。こ
のため、天然ガス、酸素ガスの流量を変更したり、上記
四重管バーナ1の第2層3に酸素ガスを最外側の第4層
5に天然ガスを供給したりするなどの対策を講じたもの
の上記カーボンが混入したスートの発生を防止すること
はできなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】よって、この発明にお
ける課題は、燃料として天然ガスを用いて、火炎中でガ
ラス微粒子を合成し、堆積させて光ファイバ母材を製造
する場合に、カーボンが混入したスートの発生がなく、
カーボンによる光ファイバ母材の汚染が防止できるよう
にすることである。
【0006】
【課題を解決するための手段】かかる課題は、多重管バ
ーナでの酸素ガスの流路を複数とし、これら酸素ガスの
流路の間の流路に天然ガスを流すようにすることで解決
される。
【0007】
【作用】上記構成によって、天然ガスと酸素ガスとの混
合が十分に行われ、酸素不足が解消され、不完全燃焼が
防止される。天然ガスの主成分であるメタンは水素に比
べて拡散係数が小さく、酸素との混合が難しく、このた
め不完全燃焼が生じることが本発明者によって判明し
た。したがって、上記構成をとることによって不完全燃
焼が防止できる。
【0008】以下、この発明を詳しく説明する。図1
は、この発明の光ファイバ母材の製法に用いられる多重
管バーナの例を示すもので、このバーナ11は、同心円
状の七重管構造となっており、その最内側から順次第1
層12、第2層13、第3層14、第4層15、第5層
16、第6層17および第7層18の合計7つの流路1
2,13…18が形成されている。そして、第1層12
には、SiCl4 、GeCl4 などのガラス原料ガスが
図示しないガラス原料ガス供給手段から、第2層13に
はアルゴンガスが図示しないアルゴンガス供給手段か
ら、第3層14、第5層16および第7層18にはそれ
ぞれ酸素ガスが図示しない酸素ガス供給手段から、さら
に、第4層15および第6層17には天然ガスと酸素ガ
スとの混合ガスが図示しない混合ガス供給手段から供給
されるようになっている。
【0009】このような構造の七重管バーナ11を用い
て、光ファイバ母材を製造するには、例えば第1層12
にSiCl4 を単位時間当り1部(容量部,以下同
じ)、第2層13にアルゴンを0.1〜1.5部、第3
層14に酸素ガスを0.1〜2部、第4層15に天然ガ
スと酸素ガスとの混合ガスを0.5〜5部、第5層16
に酸素ガスを2〜10部、第6層17に天然ガスと酸素
ガスとの混合ガスを0.5〜5部、第7層18に酸素ガ
スを1〜10部供給し、点火、燃焼させて、火炎中で、
SiO2 微粒子を合成し、基材上に堆積させる。第4層
15および第6層17へ供給される天然ガスと酸素ガス
との混合ガスの混合比は容積比で20:1〜2:1と
し、第4層15および第6層17において、その混合比
を変えてもよいし、同じであってもよい。
【0010】このような製法によれば、天然ガスが流れ
る流路15,17がいずれも酸素ガスの流れる流路1
4,16,18に挟まれた状態となっており、かつ天然
ガスはバーナ11に入る以前に酸素ガスと混合されてい
るので、火炎中での天然ガスと酸素との混合が、メタン
の拡散係数が小さいにもかかわらず良好となり、天然ガ
スが完全燃焼するようになり、天然ガスの不完全燃焼に
よるカーボンが混入したスートの発生がなくなり、得ら
れる光ファイバ母材がカーボンで汚染されることがなく
なる。
【0011】また、上述の例ではバーナ11の第4層1
5および第6層17に供給される天然ガスと酸素ガスと
の混合ガスは、予め混合されたのちバーナ11に供給さ
れているが、バーナ11まで別々に供給し、バーナ11
の第4層15および第6層17の流路内で混合してもよ
い。
【0012】図2は、この発明の製法に用いられる多重
管バーナの他の例を示すもので、この例のバーナ21で
は最内側の第1層22がガラス原料ガス用の流路となっ
ており、この第1層22の外側の第1層22に対して同
心円状に設けられた第2層23がアルゴンガス用の流路
となっている。また、この第2層23の外側には酸素ガ
スを流す複数本の細管24…が同心円状に列をなして、
二層にわたって設けられている。
【0013】そして、これら二層の細管24…の外方の
最外側には、酸素ガスを流す円筒状の第4層25が設け
られ、第2層23と第4層25との間の細管24…を除
く空隙は、天然ガスと酸素ガスとの混合ガスを流す第3
層26となっている。この構造の多重管バーナ21で
は、細管24…の2つの列が実質的に2つの円筒状の酸
素ガス供給用の流路となり、8層構造の多重管バーナと
見做すことができる。
【0014】この多重管バーナ21における各種ガスの
供給量は、例えば第1層22に単位時間当りSiCl4
を1部、第2層23にアルゴンを0.1〜1.5部、細
管24…全体に酸素ガスを4〜20部、第3層26に天
然ガスと酸素ガスの混合ガスを1〜10部、第4層25
に酸素ガスを1〜10部とされる。天然ガスと酸素ガス
との混合比は先の例と同様である。
【0015】そして、この例のバーナ21を用いるもの
では、第3層26の断面積の大きい混合ガスの流れの中
に、多数本の細管24…からの酸素ガスが第3層26全
体にわたって均一に噴出されるため、天然ガスと酸素ガ
スとの混合が先のものより一層良好となって、天然ガス
の完全燃焼がより完璧なものとなる。
【0016】また、上述の2つの例では、ともに天然ガ
スと酸素ガスとを混合して多重管バーナに供給している
が、製造条件等によっては、天然ガスのみを供給しても
よい。以下、具体例を示す。
【0017】(実施例1)図1に示した構造の七重管バ
ーナを使用し、第1層にSiCl4 200ml/分、第
2層にアルゴン100ml/分、第3層に酸素ガス10
0ml/分、第4層に天然ガスと酸素ガスとの混合ガス
(混合比10:1)200ml/分、第5層に酸素ガス
400ml/分、第6層に天然ガスと酸素ガスとの混合
ガス(混合比10:1)200ml/分、第7層に酸素
ガス800ml/分を供給し、VAD法で多孔質プリフ
ォームを製造し、これを透明ガラス化して光ファイバ母
材とした。得られた光ファイバ母材を観察したところ、
カーボンが起因している泡は存在しなかった。また、バ
ーナの火炎を目視で観察したところ、不完全燃焼炎は確
認されなかった。
【0018】(実施例2)実施例1において、第4層に
天然ガスのみを200ml/分、第6層に天然ガスのみ
を200ml/分供給する以外は同様にして光ファイバ
母材を製造した。得られた光ファイバ母材中のカーボン
が起因している泡の個数は、100cm3当り1〜2個
であった。また、バーナの不完全燃焼炎は認められなか
った。
【0019】(比較例)図3に示す四重管バーナを使用
し、その第1層にSiCl4 200ml/分、第2層に
天然ガス400ml/分、第3層にアルゴン100ml
/分、第4層に酸素ガス1300ml/分を供給し、V
AD法により光ファイバ母材を製造した。得られた光フ
ァイバ母材中のカーボンが起因している泡の個数は10
0cm3当り100〜200個であった。また不完全燃
焼炎が観察された。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の光ファ
イバ母材の製法によれば、ガラス微粒子合成のための燃
料として天然ガスを用いても、天然ガスに起因するカー
ボンが混入したスートの発生が防止でき、カーボンによ
り光ファイバ母材が汚染されることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明に用いられる多重管バーナの例を示
す概略断面図である。
【図2】 この発明に用いられる多重管バーナの他の例
を示す概略断面図である。
【図3】 従来使用されていた多重管バーナを示す概略
断面図である。
【符号の説明】
11…多重管バーナ、14,16,18…酸素ガス流
路、15,17…天然ガスと酸素ガスと混合ガス流路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多重管バーナにガラス原料ガス、天然ガ
    ス、酸素ガスを供給して火炎中でガラス微粒子を合成
    し、このガラス微粒子を基材上に堆積してゆく光ファイ
    バ母材の製法であって、 多重管バーナの酸素ガスが流れる酸素流路を複数とし、
    これら酸素流路の間の流路に天然ガスを流すことを特徴
    とする光ファイバ母材の製法。
  2. 【請求項2】 上記多重管バーナの天然ガスが流される
    流路に、天然ガスと酸素ガスとの混合ガスを流すことを
    特徴とする請求項1記載の光ファイバ母材の製法。
JP27548093A 1993-11-04 1993-11-04 光ファイバ母材の製法 Pending JPH07133131A (ja)

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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1186917A3 (en) * 2000-09-05 2004-01-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Co-flow diffusion flame burner device for fabricating of optical waveguide
EP1140715A4 (en) * 1998-09-22 2005-10-05 Corning Inc BURNER FOR THE PRODUCTION OF BALLS OF MELTED SILICATED GLASS
JP2010286175A (ja) * 2009-06-11 2010-12-24 Taiyo Nippon Sanso Corp 無機質球状化粒子製造用バーナ及び無機質球状化粒子製造装置、並びに無機質球状化粒子の製造方法
JP2012193878A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Osaka Gas Co Ltd 管状火炎バーナ
JP2013119488A (ja) * 2011-12-06 2013-06-17 Asahi Glass Co Ltd バーナーとそれを備えたガラス溶融炉、燃焼炎の生成方法、溶融ガラスの製造方法およびガラス物品の製造方法
JP2016080287A (ja) * 2014-10-20 2016-05-16 大陽日酸株式会社 溶融バーナ、溶融バーナ装置、粉体溶融方法、及びガラスの製造方法
US10618833B2 (en) 2015-12-18 2020-04-14 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a synthetic quartz glass grain
US10676388B2 (en) 2015-12-18 2020-06-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass
US10730780B2 (en) 2015-12-18 2020-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11492285B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1140715A4 (en) * 1998-09-22 2005-10-05 Corning Inc BURNER FOR THE PRODUCTION OF BALLS OF MELTED SILICATED GLASS
EP1186917A3 (en) * 2000-09-05 2004-01-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Co-flow diffusion flame burner device for fabricating of optical waveguide
JP2010286175A (ja) * 2009-06-11 2010-12-24 Taiyo Nippon Sanso Corp 無機質球状化粒子製造用バーナ及び無機質球状化粒子製造装置、並びに無機質球状化粒子の製造方法
JP2012193878A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Osaka Gas Co Ltd 管状火炎バーナ
JP2013119488A (ja) * 2011-12-06 2013-06-17 Asahi Glass Co Ltd バーナーとそれを備えたガラス溶融炉、燃焼炎の生成方法、溶融ガラスの製造方法およびガラス物品の製造方法
JP2016080287A (ja) * 2014-10-20 2016-05-16 大陽日酸株式会社 溶融バーナ、溶融バーナ装置、粉体溶融方法、及びガラスの製造方法
US10730780B2 (en) 2015-12-18 2020-08-04 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US10676388B2 (en) 2015-12-18 2020-06-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Glass fibers and pre-forms made of homogeneous quartz glass
US10618833B2 (en) 2015-12-18 2020-04-14 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a synthetic quartz glass grain
US11053152B2 (en) 2015-12-18 2021-07-06 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
US11339076B2 (en) 2015-12-18 2022-05-24 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass
US11492282B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven
US11492285B2 (en) 2015-12-18 2022-11-08 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate
US11708290B2 (en) 2015-12-18 2023-07-25 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven
US11952303B2 (en) 2015-12-18 2024-04-09 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Increase in silicon content in the preparation of quartz glass

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