JPH0713569B2 - インクリメンタルロータリーエンコーダ - Google Patents

インクリメンタルロータリーエンコーダ

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JPH0713569B2
JPH0713569B2 JP2210547A JP21054790A JPH0713569B2 JP H0713569 B2 JPH0713569 B2 JP H0713569B2 JP 2210547 A JP2210547 A JP 2210547A JP 21054790 A JP21054790 A JP 21054790A JP H0713569 B2 JPH0713569 B2 JP H0713569B2
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disc
disk
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アルフォンス・エルンスト
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ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシャフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング
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    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G—PHYSICS
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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/33—Director till display
    • G05B2219/33337—For each axis a processor, microprocessor
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B2219/30—Nc systems
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Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の分野） 本発明はエンコーダ軸が１つのインクリメンタル角度目
盛と少なくとも１つの参照符号を有する第１ディスクと
結合されており、ディスクには減速伝動装置を介して少
なくとも第２のディスクが連結されている、インクリメ
ンタルロータリーエンコーダに関する。
（従来の技術） ヨーロッパ特許出願明細書0300183号からインクリメン
タル角度目盛及び参照符号を有するディスクを備えたイ
ンクリメンタルロータリーエンコーダが公知であり、こ
のディスクに二段のアブソリュートエンコーダが減速伝
動装置によって連結されており、アブソリュートエンコ
ーダは参照符号から得られる参照信号によってインクリ
メンタルロータリーエンコーダの各回転を検出する。。
論理ユニットはインクリメンタルロータリーエンコーダ
の参照信号から追加的な参照信号を発生し、追加的な参
照信号は回転数に相応してインクリメンタルロータリー
エンコーダの参照信号に対するアブソリュートエンコー
ダの信号からずれている。インクリメンタルロータリー
エンコーダのインクリメンタル信号、アブソリュートエ
ンコーダのアブソリュート信号及び両参照信号からプロ
セッサはアブソリュート角度測定値を検出する。
このインクリメンタルロータリーエンコーダは、比較的
高いコストを必要とし、即ち二段の10ビットアブソリュ
ートエンコーダでは例えば11の光電要素と信号形成器が
必要とされる。
西独国特許公開後方3416090号にはインクリメンタル角
度目盛と第１の参照符号とを有する第１のディスクが記
載されており、この第１のディスクに第２の参照符号を
備えた第２のディスクが減速伝動装置を介して連結され
ている。減速は、第１のディスクと共にエンコーダ軸の
各回転に対して両参照符号から得られた２つの参照符号
の間に所定のずれが生じるように選択されている。第１
のディスクのインクリメンタル信号と各回転数のに対す
る両参照信号の間の所定のずれとからアブソリュート角
度測定値が検出される。しかしこのインクリメンタルロ
ータリーエンコーダは両参照信号の間の位相ずれの精度
が減速伝動装置の精度に依存し、その結果減速伝動装置
のための高いコストか又は第１のディスクの判別可能な
僅かな数の回転が必要とされるという欠点を有する。
（発明の課題） 本発明は冒頭に記載した種類のインクリメンタルロータ
リーエンコーダを、構造が簡単でかつインクリメンタル
角度目盛を有するディスクを備えたエンコーダ軸の大き
な回転数の明確な検出を可能にするように構成すること
を課題とする。
（課題の解決のための手段） 本発明の課題は、インクリメンタルロータリーエンコー
ダ、そのエンコーダ軸がインクリメンタル角度目盛と少
なくとも１つの参照マークを有する第１のディスクと結
合しており、第１ディスクには減速伝導装置を介して少
なくとも１つの第２のディスクが連結している、インク
リメンタルロータリーエンコーダにおいて、第１ディス
ク上に第１の参照マーク及び少なくとも１つの第２の参
照マークが、そして第２ディスク上にはスパイラル状の
参照走査フィールドが設けられており、第１ディスクと
第２ディスクは相互に平行で、相互に偏心しており、第
１参照マークから第１参照信号がそして第２参照マーク
から第２参照信号が発生され、そしてインクリメンタル
角度目盛によって、第１参照信号と第２参照信号との間
のずれが検出され、その際このずれがエンコーダ軸の回
転数を付与することを特徴とする前記インクリメンタル
ロータリーエンコーダによって解決される。
（発明の効果） 本発明によって得られる利点は特に、簡単な構成によっ
て、例えば工作機械の往復台の縦送りの測定の際にイン
クリメンタル角度目盛を有するディスクを備えたエンコ
ーダ軸の大きな回転数の明確な検出に基づいて高い測定
安定性をもって多くの測定が可能にされ、その結果この
インクリメンタルロータリーエンコーダは高い製造品質
をもって汎用されることができる、ことにある。
他の有利な構成は他の請求項から把握される。
（実施例） （構成） 第１図は２つのディスクS1a、S2aを備えた第１のインク
リメンタルロータリーエンコーダの縦断面図を示し、そ
のハウジングGaは、図示しない第１の対象物、例えば工
作機械の機械ベッドに固定されている。ハウジングGaの
内方にはエンコーダ軸としての第１の軸W1aが軸受Laに
よって回転可能に支承されておりかつ図示しない第２の
対象物、例えば工作機械の機械往復台のスピンドルと結
合される。第１の軸W1aはその周縁に目盛ピッチＣのイ
ンクリメンタル角度目盛Taを有する第１のディスクS1a
を有する。インクリメンタル角度目盛TaにはディスクS1
a上に参照符号Raが固定して付設されている。第２図に
は両ディスクS1a、S2aが図式的に示されている。インク
リメンタル角度目盛Taは単一線としてそして参照符号Ra
は従来の方法で線群によっても形成されることができ
る。
インクリメンタル角度目盛Ta及びディスクS1aの参照符
号Raは第１の走査ユニットA1aによって走査され、第１
走査ユニットは平行な光路を有する第１の照明ユニット
B1aとインクリメンタル角度目盛Taの走査のために走査
板APa上の相互にずらされた２つの目盛走査フィールドT
F1a、TF2a並びに第１の光電要素板PP1a上の２つの所属
の目盛光電要素TP1a、TP2aを有し、第１光電要素板PP1a
は第１の走査ユニットA1aに対して第１のディスクS1aの
回転の際にインクリメンタル角度目盛TaのピッチＣに相
応するピッチＣの相互に90゜位相のずれた２つの走査信
号AS1a、AS2aを発生し、インクリメンタル角度目盛は第
3a図、第3b図において第１のディスクS1aを備えたエン
コーダ軸W1aの回転角度φ1aの関数として表されそして
インクリメンタル角度目盛から公知の方法で角度測定値
及び第１のディスクS1aを有するエンコーダ軸W1aの回転
方向が検出される。第１の走査ユニットA1aは追加的
に、参照符号Raの走査のために走査板APa上並びに第１
の光電要素板PP1a上に所属の第１の参照光電要素RP1aを
有し、参照光電要素は第１のディスクS1aの一回転当た
り１つの第１の参照信号RS1aを発生し、参照信号は第3c
図に第１ディスクS1aを備えたエンコーダ回転軸W1aの回
転角φ1aの関数として表される。
第１ディスクS1aの他の参照符号R2aは平行の光路を有す
る第２の照明ユニットB2a、第２ディスクS2a上のスパイ
ラル状の参照走査フィールドRF2a並びに第２の光電要素
板PP2aに所属の第２の参照光電要素RP2aを有し、第２の
参照光電要素RP2aは第１のディスクS1aの一回転当たり
１つの第２の参照符号RS2aを発生し、これは第3d図にお
いて第１のディスクS1aを備えたエンコーダ軸W1aの回転
角φ1aの関数として表される。第１のディスクS1a上の
第１の参照符号R1aと他の参照符号R2aについて、第１の
参照符号R1aが第１の参照走査フィールドRF1aによって
そして他の参照符号R2aが他の参照走査フィールドRF2a
の後続の走査範囲から走査される。
第２のディスクS2aは第２軸W2a上に固定され、第２軸は
ハウジングGaの内方に回転可能に支承されておりかつ第
１の軸W1aから減速比ia＝32の減速伝動装置UGaを介して
駆動される。第１のディスクS1aの各一回転により第２
のディスクS2aは1/32回転され、その結果第１ディスクS
1aの参照符号は第２ディスクS2aのスパイラル状の第２
の参照走査フィールドRF2aの後続の走査範囲から走査さ
れる。第２のディスクS2aの一回転の際スパイラル状の
参照走査フィールドRF2aの32の走査範囲が第１のディス
クS1aの参照符号の走査のために連続的に順次走査され
る。スパイラル状の第２の参照走査フィールドRF2aの32
の走査範囲は第２のディスクS2a上のインクリメンタル
角度目盛Taの目盛ピッチＣに相応したぞれぞれラジアル
方向のずれを有する。第２のディスクS2aの出発点と中
心Maを結ぶ線は第１ディスクS1aの走査された参照符号R
2aの中心線MLaの接線TGaと一致するので、第１のディス
クS1aと第２のディスクS2aとの間の減速伝動装置UGaに
比較的大きな遊隙があっても発生された第２の参照信号
RS2aのインクリメンタル角度目盛Taに対する位置は影響
を受けない。
この第１のインクリメンタルロータリーエンコーダの全
測定範囲は第１のディスクS1aを有するエンコーダ軸W1a
のｎ＝32回転である。第１の参照信号RS1aの発生は、第
１のディスクS1aが完全に一回転を行うことを示すが、
開始点からの回転数ｋ（ｋ＝１、２、・・・ｎ）がいく
つであるかは示さない。第１のディスクS1aのｋ番目の
回転の際第２の参照符号RS2aはエンコーダ軸W1a（第３
図左）のこのｋ番目の回転を表す第１の参照信号RS1aに
対してずれｋ・Ｃをそして第１のディスクS1aのｋ＋１
番目の回転の際にエンコーダ軸W1a（第３図の右）のｋ
＋１番目の回転を表すずれ（ｋ＋１）・Ｃを有する。第
１の参照信号RS1aとｋ番目の第２参照信号RS2aとの間の
このずれｋ・Ｃはスパイラル状の第２の参照走査フィー
ルドRF2aの隣接した走査範囲の間の目盛ピッチＣのラジ
アル方向のずれによって生じる。第１のディスクS1aの
回転方向に従って数ｋは第１のディスクS1aを有するエ
ンコーダ軸W1aの一回転当たり値１だけ増大し又は減少
する。第１のディスクS1a及び第２のディスクS2aは光路
の方向に相互密接して配設されておりかつ相互に平行に
偏心してずらされている。
参照信号R2a及び参照走査フィールドRF1a、RF2aが第２
図による単一線によっては形成されず、むしろランダム
分布を有する線群から成る場合、狭くかつ急勾配の参照
信号RS1a、RS2aが発生しそして走査ユニットA1a、A2aの
平行な光束がそれぞれレンズによって集束される場合に
より小さい参照光電要素RP1a、RP2aが使用されることが
できるという利点を有する。
インクリメンタル角度目盛Taの走査信号AS1a、AS2aから
及び各回転数に対する参照符号R1aとR2aとの間のずれか
らアブソリュート角度測定値が検出される。
第４図は４つのディスクS1b〜S4bを備えた第２のインク
リメンタルロータリーエンコーダの縦断面図を示し、そ
のハウジングGbはステータとして図示しない対象物、例
えば工作機械の機械ベッドに固定されている。ハウジン
グGbの内方にはエンコーダ軸として第１の軸W1bが軸受L
bによって回転可能に支承されておりかつ工作機械の機
械往復台のスピンドルと結合している。工作機械の機械
往復台１の軸W1bはその周縁に目盛ピッチＣのインクリ
メンタル角度目盛Tbを有する第１のディスクS1bを有す
る。インクリメンタル角度目盛Tbに対して同心に第１の
参照符号トラック上に単一の第１の参照符号R1bがそし
て第２の参照符号トラック32上には第２の参照符号R2b
が第１のディスクS1bの周囲に渡って等しい間隔で設け
られている。第５図において４つのディスクS1b〜S4bが
図式的に表されている。インクリメンタル角度目盛Tbは
線目盛としてそして参照符号R1b、R2bはそれぞれ単一線
として表される。しかし参照符号R1b、R2bは線群として
も形成される。参照符号R1b、R2bはインクリメンタル角
度目盛Tbに固定して付設されている。
インクリメンタル角度目盛Tb及び第１のディスクS1bの
第１の参照符号R1bは第１の走査ユニットA1bによって走
査され、走査ユニットは平行な光路を有する第１の照明
ユニットB1bを、そしてインクリメンタル角度目盛Tbの
走査のために走査板TP1b、TP2b上に２つの相互にずらさ
れた目盛走査フィールドTF1b、TF2bを並びに第の光電要
素板PP1b上に所属の２つの目盛光電要素TP1bTP2bを有
し、第１の光電要素板は第１の走査ユニットA1bに対す
る第１のディスクS1bの回転の際に90゜だけ相互に位相
がずれ、インクリメンタル角度目盛の目盛ピッチＣに相
応するピッチＣの相互に90゜位相のずらされた走査信号
AS1b、AS2bを発生し、これは第6a図、第6b図において第
１のディスクS1bを有するエンコーダ軸W1bの回転角度φ
1bの関数として表されかつそれから公知の方法で角度測
定値及び第１のディスクS1a、S2aの回転方向が検出され
る。第１の走査ユニットA1bは第１の参照符号R1bの走査
に加えて走査板APb上に第１の参照走査フィールドRF1b
を並びに第１の参照光電要素板PP1b上に所属の第１の参
照光電要素RP1bを有し、第１の参照光電要素RP1bは第１
のディスクS1a、S2aの一回転当たり第１の参照信号RS1b
を発生し、この信号は第6C図において第１のディスクS1
bを有するエンコーダ軸W1bの回転角度φ1bの関数として
表される。
第１のディスクS1bの32の第２参照符号R2bは第２走査ユ
ニットA2bによって走査され、第２走査ユニットA2bは平
行な光路を有する第２の照明ユニットB2b及び32の参照
走査フィールドRF2bは第２ディスクS2b上に並びに第２
の光電要素板PP2b上には所属の第２の参照光電要素RP2b
を有し、第２参照光電要素は第１のディスクS1a、S1bの
一回転当たり32の第２の参照信号RS2bを発生し、第２の
参照信号は第6d図において第１のディスクS1bを有する
エンコーダ軸W1bの回転角度φ1bの関数として表され
る。
第２ディスクS2bが第２軸W2b上に固定され、第２軸はハ
ウジングGbの内方に回転可能に支承されておりかつ第１
の軸W1bによって第１の減速比i1b＝32の第１の減速伝動
装置UG1bを介して駆動される。第１のディスクS1bの各
一回転に従って第２のディスクS2bは1/32回転し、その
結果第１のディスクS1bの32の第２参照符号R2bが第２の
ディスクS2bの後続の第２の参照走査フィールドRF2bに
よって走査される。これら32の第２の参照走査フィール
ドRF2bはインクリメンタル角度目盛Tbの目盛ピッチＣに
相応したラジアル方向のずれをもってスパイラル状に配
設されている。第２ディスクSbの中心点Mbが第１ディス
クS1bの第２の参照符号R2bの中心線MLbの接線TGb上に位
置するので、第１のディスクS1bと第２のディスクS2bの
間の第１の減速伝動装置UG1bに比較的大きな遊隙がある
場合でも、インクリメンタル角度目盛Tbに対して発生さ
れた第２の参照信号RS2bの位置は影響を受けない。
この第２のインクリメンタルロータリーエンコーダの全
測定範囲は第１のディスクS1bを有するエンコーダ軸W1b
のｎ回転を可能にする。第１の参照符号RS1bは、第１の
ディスクS1bが完全な一回転を行うが、開始点からｋ番
目（ｋ＝１、２、・・・ｎ）であることは示さない。第
１のディスクS1bの第１の回転の際第２の参照符号R2bは
32の第２の参照信号RS2bの発生のために第２の参照走査
フィールドRF2bによって走査され、第２の参照信号は第
１の参照信号RS2bに対するずれ１・Ｃを有する。第１の
ディスクS1bのｋ番目の回転の際32の第２の参照符号RF2
bは32の第２の参照符号RS2bを発生するためにｋ番目の
第２の参照走査フィールドRS2bによって走査され、その
うち１つが第１の参照信号RS1bに対してｋ・ｃの位相ず
れを有する。第１の参照信号RS1bとｋ番目の参照信号RS
2bとの間のこのずれｋ・ｃは隣接した第２の参照走査フ
ィールドRF2bの間の目盛ピッチＣのラジアル方向のずれ
によって生じる。
第１のディスクS1bのｋ番目の回転の際に発生する32の
第２の参照符号RS2b、RS1bから第１の参照信号RS1bに対
するずれｋ・ｃを求めるために、第３のディスクS3bは
第１の軸W1b上第１のディスクS1bに対して同心に固定さ
れかつ第３のディスクS3b上180゜に渡って延びているら
せん状の第３の参照符号RS3bを有する。しかし実際に利
用される角度範囲は180゜よりも小さい。この第３の参
照符号R3bの走査のために第３の走査ユニットA3bが設け
られており、これは平行な光路を有する第３の照明ユニ
ットB3bを及び第４のディスクS4b上にらせん状の第３の
参照走査フィールドRF3bを並びに第３の光電要素板PP3b
上に所属の第３の参照光電要素RP3bを有し、第３の参照
光電要素は第１のディスクS1bの一回転当たり１つの第
３の参照信号RS3bを発生しこの参照信号は第6e図におい
て第１のディスクS1bを有するエンコーダ軸W1bの回転角
度φ1bの関数として表される。
第４のディスクS4bは第３の軸W3b上に固定されており、
第３の軸はハウジングGbの内方に回転可能に支承されて
おりかつ第２の軸W2bによって第２の減速比i2b＝32で第
２の減速伝動装置UG2bを介して駆動される。第１のディ
スクS1bと第４のディスクS4bとの間に第３の減速比i3＝
i1・i2＝1024が存在する。スパイラル状の第３の参照走
査フィールドRF3bは第１のディスクS1bの1024回転に対
して一回転しかしないのでスパイラル状の参照走査フィ
ールドRF3bと第３の参照光電要素RP3bの幅とから形成さ
れる有効な走査フィールドが512回転の間緩やかにラジ
アル方向に移動するように見える。平行の光路の大きさ
及び第３の参照光電要素RP3bの大きさは有効な走査フィ
ールドのラジアル方向の移動よりも幾分大きい。
この有効な走査フィールド又は第３の参照走査フィール
ドRF3bのラジアル方向の移動に基づいて350゜/i3b＝350
/1024だけエンコーダ軸W1bの各回転に伴って第３の参照
符号RS3bの位置が変わる。第１のディスクS1bのインク
リメンタル角度目盛Tbがｚ＝1024の目盛ピッチＣを有す
る場合、第３の参照信号RS3bは第１のディスクS1bを有
するエンコーダ軸W1bの一回転に対してインクリメンタ
ル角度目盛Tbの目盛ピッチＣだけ変わる。しかし第３の
参照信号RS3bの位置は両減速伝動装置UG1bにおける遊隙
に基づいて幾分の不安全性を伴う。
従ってアンド回路によって第２の参照信号RS2b及び第３
の参照信号RS3bは第２の参照信号RS2r（第6f図）に合成
され、この信号は第１のディスクS1bのｋ番目の回転を
表すために第１の参照信号RS1bに対してずれｋ・Ｃ（第
３図の左）又は第１のディスクS1bのｋ＋１番目の回転
を表すために第１のディスクS1bに対してずれ（ｋ＋
１）・Ｃ（第３図の右）を有する。第１のディスクS1b
の回転方向に従って第１のディスクS1bを有するエンコ
ーダ軸W1bの一回転当たりの値１だけ数ｋが増大し又は
減少する。
第１の参照信号RS1bと合成された第２の参照信号RS2rは
オア回路を介しても第6g図による第４の信号RS4bに合成
されることができる。図示しない評価装置では第１のデ
ィスクS1bのｋ番目の回転に対して数ｋが検出される。
第１のディスクS1bと第２のディスクS2bと同様に第３の
ディスクS3bと第４のディスクS4bは光路の方向において
相互に密接して配設されており、第１のディスクS1b及
び第２のディスクS2bは相互に平行に偏心して配設され
ている。
参照符号R1b、R2b、R3b及び参照走査フィールドRF1b、F
2b、RF3bは第５図による単一線によっては形成されず、
ランダム分布を伴う線群から成る場合、狭くかつ急勾配
の参照信号RS1b、RS2b、RS3bが発生されかつ他の利点と
して、より小さい参照光電要素RP1b、RP2b、RH3bが生
じ、より小さい参照光電要素RP1b、RP2b、RH3bは、走査
ユニットA1b、A2b、A3bの平行な光束がそれぞれレンズ
によって集められる場合にも使用されることができる。
第３のディスクS3bと第４のディスクS4bとの間の両減速
伝動装置UG1b、UG2bにおける遊隙は比較的大きくされ得
る。そのわけはスパイラル状の参照走査フィールドRF3b
は非常に偏平になりかつ−第６図による信号グラフから
明らかなように−位置に対する比較的広い公差と第３の
参照信号RS3bの幅を可能にするからである。
図示しない方法で32の第２の参照走査フィールドRF2bが
第２のディスクS2b上単一のスパイラル状の参照走査フ
ィールドに統合されることもできる。
スパイラル状の第３の参照走査フィールドRF3bは180゜
に渡って延びるので、この場合スパイラル状の第３の参
照走査フィールドRF3bは180゜に渡っても延びる。従っ
てエンコーダの明らかな機能は第３のディスクS3bの1/2
回転にわたってのみ得られ、その結果第１のディスクS1
b、従ってエンコーダ軸W1bの識別可能な回転の数ｎはｎ
＜z/2（ｚ＝インクリメンタル角度目盛Tbの目盛ピッチ
Ｃの数）である。両減速比i1b、i2bについては次の式が
得られる。
i1b・i2b＞ｚ インクリメンタル角度目盛Tbの走査信号AS1b、AS2b及び
第１の参照信号RS1b、RS2bと合成された第２の参照信号
RS1b、RS2bとの間のずれとからアブソリュート角度測定
値が得られる。
第７図において３つのディスクを有する第３のインクリ
メンタルロータリーエンコーダが示され、その際第３の
ディスクS3bの第３の参照符号R3b2は第３のディスクS1b
上に同心に配設されている。第４図による第３のディス
クS3bは省略される。他の要素は第４図による要素に相
応しており従って同一の符号を有するが、添字ｂはｃに
変えられる。この第３のエンコーダは非常に簡単化され
た構成を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図中符号は２つのディスクを備えた第１のインクリ
メンタルロータリーエンコーダの縦断面図、第２図は２
つのディスクの図式図、第３図は第１の信号ダイヤグラ
ム、第４図は４つのディスクを備えた第２のインクリメ
ンタルロータリーエンコーダの縦断面図、第５図は４つ
のディスクの図式図、第６図は第２の信号ダイヤグラ
ム、そして第７図は３つのディスクを備えた第３のイン
クリメンタルロータリーエンコーダの縦断面図である。 図中符号 Ｒ……参照符号 RF2……スパイラル状の参照走査フィールド RS1……第１参照信号 S1……第１ディスク S2……第２ディスク W1……エンコーダ軸

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】インクリメンタルロータリーエンコーダ、
    そのエンコーダ軸がインクリメンタル角度目盛と少なく
    とも１つの参照マークを有する第１のディスクと結合し
    ており、第１ディスクには減速伝導装置を介して少なく
    とも１つの第２のディスクが連結している、インクリメ
    ンタルロータリーエンコーダにおいて、 第１ディスク（S1）上に第１の参照マーク（R2）及び少
    なくとも１つの第２の参照マーク（R2）が、そして第２
    ディスク（S2）上にはスパイラル状の参照走査フィール
    ド（RF2）が設けられており、第１ディスク（S1）と第
    ２ディスク（S2）は相互に平行で、相互に偏心してお
    り、第１参照マーク（R1）から第１参照信号（RS1）が
    そして第２参照マーク（RS2）から第２参照信号（RS2）
    が発生され、そしてインクリメンタル角度目盛（Ｔ）に
    よって、第１参照信号（RS1）と第２参照信号（RS2）と
    の間のずれが検出され、その際このずれがエンコーダ軸
    （W1）の回転数（ｋ）を付与することを特徴とする前記
    インクリメンタルロータリーエンコーダ。
  2. 【請求項２】第１ディスク（S1）と第２ディスク（S2）
    との間に、減速比ｉが存在し、そして第２ディスク
    （S2）上に相互にラジアル方向のずれを有するｉ個の参
    照走査フィールド（RF2）が設けられている、請求項１
    記載のインクリメンタルロータリーエンコーダ。
  3. 【請求項３】第１ディスク（S1）上、インクリメンタル
    角度目盛（Tb）及び第１参照マーク（R1b）の他に、第
    ２ディスク（S2b）上のi1b個のラジアル方向に相互にず
    らされた第２参照走査フィールド（RF2b）によって走査
    されるi1b個の等間隔の第２参照マーク（R2b）が設けら
    れており、その際第１ディスク（S1b）と第２ディスク
    （S2b）との間に第１減速比i1bが存在し、そして第１デ
    ィスク（S1b）と結合した第３ディスク（S3b）上に、第
    ４ディスク（S4b）上のスパイラル状の第３参照走査フ
    ィールド（RF3b）によって走査されるスパイラル状の第
    ３参照マーク（R3b）が設けられており、その際第２デ
    ィスク（S2b）と第４ディスク（S4b）との間に第２減速
    比i2bが存在する、請求項１記載のインクリメンタルロ
    ータリーエンコーダ。
  4. 【請求項４】第２ディスク（S2）上の第２参照走査フィ
    ールド（RF2b）がインクリメンタル角度目盛（Ｔ）の目
    盛周期（Ｃ）だけラジアル方向に相互にずらされてい
    る、請求項２又は３記載のインクリメンタルロータリー
    エンコーダ。
  5. 【請求項５】スパイラル状の第３参照マーク（R3b）と
    スパイラル状の第３参照走査フィールド（RF3b）とが同
    一の勾配を有する、請求項３記載のインクリメンタルロ
    ータリーエンコーダ。
  6. 【請求項６】第２の参照マーク（R2b）の走査の際に得
    られる第２の参照信号（RS2b）及び第３の参照マーク
    （R3b）の走査の際に得られる第３の参照信号（RS3b）
    から連係部材によって統合された第２参照信号（RS2b）
    が得られる、請求項３記載のインクリメンタルロータリ
    ーエンコーダ。
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