JPH0713685B2 - 交叉導波路型光スイッチ - Google Patents
交叉導波路型光スイッチInfo
- Publication number
- JPH0713685B2 JPH0713685B2 JP59190931A JP19093184A JPH0713685B2 JP H0713685 B2 JPH0713685 B2 JP H0713685B2 JP 59190931 A JP59190931 A JP 59190931A JP 19093184 A JP19093184 A JP 19093184A JP H0713685 B2 JPH0713685 B2 JP H0713685B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- refractive index
- crossed
- optical switch
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/31—Digital deflection, i.e. optical switching
- G02F1/313—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure
- G02F1/3137—Digital deflection, i.e. optical switching in an optical waveguide structure with intersecting or branching waveguides, e.g. X-switches and Y-junctions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光回路素子に係り、特に、交叉した導波路をも
つ光スイッチに関するものである。
つ光スイッチに関するものである。
現在実用化されている光スイッチはミラーを動かすなど
の機械的な切り換え方式が一般的で、その小型化及び集
積化が困難であり、また、個別部品を高精度で組立，調
整する技術が必要となる。本発明者等は先に提案した電
気光学結晶に形成した交叉導波路型光スイッチが小型，
低電圧駆動が可能で、かつ消光比の良好なことを見出し
ている〔特開昭59−60425号光スイッチ〕。
の機械的な切り換え方式が一般的で、その小型化及び集
積化が困難であり、また、個別部品を高精度で組立，調
整する技術が必要となる。本発明者等は先に提案した電
気光学結晶に形成した交叉導波路型光スイッチが小型，
低電圧駆動が可能で、かつ消光比の良好なことを見出し
ている〔特開昭59−60425号光スイッチ〕。
第５図は従来の交叉導波路型光スイッチの導波路の構造
を説明するための要部模式図で、例えばニオブ酸リチウ
ム（LiNbO3）等の電気光学結晶からなる基板１の表面に
帯状のチタン薄膜層２を直線的に交叉するように形成
し、これを例えば1040℃で５時間熱処理を行なうことに
より、チタン薄膜層２が基板１に拡散し、基板１より屈
折率が大で直線的に交叉した導波路３が形成される。
を説明するための要部模式図で、例えばニオブ酸リチウ
ム（LiNbO3）等の電気光学結晶からなる基板１の表面に
帯状のチタン薄膜層２を直線的に交叉するように形成
し、これを例えば1040℃で５時間熱処理を行なうことに
より、チタン薄膜層２が基板１に拡散し、基板１より屈
折率が大で直線的に交叉した導波路３が形成される。
第６図は既に提案した交叉導波路型光スイッチの構造を
説明するための要部模式図で、２つの光導波路の交叉部
分に導波路の幅より狭い長方形の電極４が設けられ、そ
の長辺は２つの光導波路の光入射側部分31及び32の端辺
がなす交叉角頂点Ｐと光出射側部分33及び34の端辺がな
す交叉角頂点Ｑを結んだ線に対して平行で、かつ該線に
関して上下対称となっている。
説明するための要部模式図で、２つの光導波路の交叉部
分に導波路の幅より狭い長方形の電極４が設けられ、そ
の長辺は２つの光導波路の光入射側部分31及び32の端辺
がなす交叉角頂点Ｐと光出射側部分33及び34の端辺がな
す交叉角頂点Ｑを結んだ線に対して平行で、かつ該線に
関して上下対称となっている。
上記構成の導波路型光スイッチでは、電極４に印加され
る電圧の極性と大きさに応じて、電極４に対向する屈折
率変化領域の屈折率は増加（＋Δｎ効果）あるいは減少
（−Δｎ効果）する。
る電圧の極性と大きさに応じて、電極４に対向する屈折
率変化領域の屈折率は増加（＋Δｎ効果）あるいは減少
（−Δｎ効果）する。
しかして光導波路上に伝播される光は、周知の如く導波
路上での光分布の状態が異なる０次（基本）,1次,2次,3
次等各モードに分けられており、高次になるにしたがっ
て伝播速度も大となる。しかも各モード共にそのモード
の伝播を可能とする導波路上では形状を変化しながら伝
播し、かつ導波路上の各点では時間の変化にしたがって
位相も変化し、伝播速度の差により各モード間に位相差
が生じる。
路上での光分布の状態が異なる０次（基本）,1次,2次,3
次等各モードに分けられており、高次になるにしたがっ
て伝播速度も大となる。しかも各モード共にそのモード
の伝播を可能とする導波路上では形状を変化しながら伝
播し、かつ導波路上の各点では時間の変化にしたがって
位相も変化し、伝播速度の差により各モード間に位相差
が生じる。
そして交叉導波路における入射側の１本の導波路に、例
えば基本モードの光が入射されて出射側に伝播する場
合、導波路上におけるモードの形状は、交叉導波路の入
射側の２本の導波路に基本モードと１次モードの光を共
に入射し、出射側に伝播させる場合の合成波に相当す
る。
えば基本モードの光が入射されて出射側に伝播する場
合、導波路上におけるモードの形状は、交叉導波路の入
射側の２本の導波路に基本モードと１次モードの光を共
に入射し、出射側に伝播させる場合の合成波に相当す
る。
即ち出射側の１本の導波路では２つのモードの波形が同
一方向となれば相加され出射し、他の１本の導波路では
モードの波形が互いに逆方向であれば相殺され出射され
ない。
一方向となれば相加され出射し、他の１本の導波路では
モードの波形が互いに逆方向であれば相殺され出射され
ない。
出射側の２本の導波路で２つのモードの波形が共に相加
されれば、いづれの導波路からも光出力が得られること
になる。
されれば、いづれの導波路からも光出力が得られること
になる。
そして第６図に示す交叉導波路型光スイッチでは、電極
４に印加される電圧の極性と大きさに応じて電極に対向
するす屈折率変化領域の屈折率は増加、あるいは減少す
ることは既述の通りであり、屈折率を変化すれば伝播速
度は変化し、これは各モードにおける位相変化の速さが
変わることになり、モード間の位相差も変化する。
４に印加される電圧の極性と大きさに応じて電極に対向
するす屈折率変化領域の屈折率は増加、あるいは減少す
ることは既述の通りであり、屈折率を変化すれば伝播速
度は変化し、これは各モードにおける位相変化の速さが
変わることになり、モード間の位相差も変化する。
従って第６図の如き交叉導波路型光スイッチでは、例え
ば無信号時には直進光出力と分岐光出力とは等しくな
り、屈折率を増加させるように信号電圧を印加すると、
正方向での、所定屈折率においては、分岐光出力が極大
となり、直進光出力は極小となる。
ば無信号時には直進光出力と分岐光出力とは等しくな
り、屈折率を増加させるように信号電圧を印加すると、
正方向での、所定屈折率においては、分岐光出力が極大
となり、直進光出力は極小となる。
一方屈折率を減少させるように信号電圧を印加すると、
負方向での所定の屈折率では直進光出力は極大となり、
分岐光出力は極小となる。
負方向での所定の屈折率では直進光出力は極大となり、
分岐光出力は極小となる。
このように導波路上では屈折率の増減によって光は位相
と共に正弦関数的に変化するので、交叉導波路型光スイ
ッチの動作原理からも明らかな如く、光導波路および電
極の設計条件，信号電圧の大きさ，その極性を種々異な
るように設定することによって、前述とは異なり０電圧
状態において直進出力状態とすることも、分岐出力状態
とすることも、あるいは無出力状態とすることも可能と
なり、このことは容易に理解されうることである。
と共に正弦関数的に変化するので、交叉導波路型光スイ
ッチの動作原理からも明らかな如く、光導波路および電
極の設計条件，信号電圧の大きさ，その極性を種々異な
るように設定することによって、前述とは異なり０電圧
状態において直進出力状態とすることも、分岐出力状態
とすることも、あるいは無出力状態とすることも可能と
なり、このことは容易に理解されうることである。
しかしながら上記従来の交叉導波路型光スイッチにあっ
ては、通常それぞれミクロンメートルの単位となってい
る２つの光導波路の交叉部分に長方形の細い電極が、そ
の長辺を２つの光導波路の光入射側部分の端辺がなす交
叉角頂点Ｐと、光出射側部分の端辺がなす交叉角頂点Ｑ
を結んだ線上に、入出力導波路の幅より細く設けられて
いるために、導波路の交叉部での電極の位置合わせに精
度を要し、導波路の幅が細い光スイッチでは、この様な
構造を達成することが困難である。
ては、通常それぞれミクロンメートルの単位となってい
る２つの光導波路の交叉部分に長方形の細い電極が、そ
の長辺を２つの光導波路の光入射側部分の端辺がなす交
叉角頂点Ｐと、光出射側部分の端辺がなす交叉角頂点Ｑ
を結んだ線上に、入出力導波路の幅より細く設けられて
いるために、導波路の交叉部での電極の位置合わせに精
度を要し、導波路の幅が細い光スイッチでは、この様な
構造を達成することが困難である。
特に交叉導波路型光スイッチでは、交叉導波路の位置で
交叉点の位置とその左右両側の各位置での導波路の幅が
それぞれ異なっているので、導波路内で電極のある部分
と電極外の位置とでは屈折率の変化が異なり、入射光と
出射光間の光進路の制御が複雑となる。
交叉点の位置とその左右両側の各位置での導波路の幅が
それぞれ異なっているので、導波路内で電極のある部分
と電極外の位置とでは屈折率の変化が異なり、入射光と
出射光間の光進路の制御が複雑となる。
一方交叉部の形状に合わせて電極を配置することも考え
られるが、微細形状の導波路の交叉部のくびれ部分の電
極の位置合わせに多少でも位置ズレが生ずると、電極の
近傍は特に電界強度変化が大であるので、大きな特性変
動を起こすという問題がある。
られるが、微細形状の導波路の交叉部のくびれ部分の電
極の位置合わせに多少でも位置ズレが生ずると、電極の
近傍は特に電界強度変化が大であるので、大きな特性変
動を起こすという問題がある。
上記問題点は本発明により、電気光学結晶よりなる基板
上で基板より屈折率が大である２本の導波路が直線的に
交叉する交叉導波路構成において、導波路及びその近傍
の基板を含む領域の屈折率変化制御用の信号電圧の印加
される電極が、交叉角頂点を結んだ線に対し平行な上下
対称形状を備え、かつその電極面が交叉部及びその近傍
から離れた位置で交叉部を含む基板上に配置されること
を特徴とする交叉導波路型光スイッチによって解決され
る。
上で基板より屈折率が大である２本の導波路が直線的に
交叉する交叉導波路構成において、導波路及びその近傍
の基板を含む領域の屈折率変化制御用の信号電圧の印加
される電極が、交叉角頂点を結んだ線に対し平行な上下
対称形状を備え、かつその電極面が交叉部及びその近傍
から離れた位置で交叉部を含む基板上に配置されること
を特徴とする交叉導波路型光スイッチによって解決され
る。
上記導波路型光スイッチにおいては、２つの光導波路の
交叉部及びその近傍を含む全体に屈折率変化を制御する
屈折率変化手段を設ける。
交叉部及びその近傍を含む全体に屈折率変化を制御する
屈折率変化手段を設ける。
即ち交叉部の交叉角頂点を結んだ線に対し、上下対称で
導波路及びその近傍の基板を含む領域に電極を設け、電
界を印加するか、その領域の全体の温度を上昇させて屈
折率を変化させる電極が設けられるので、導波路の交叉
部での電極の位置合わせに高い精度を必要とせず、電極
に印加する電圧の極性と大きさを選択することにより、
入射光を直進あるいは分岐して出射できる。
導波路及びその近傍の基板を含む領域に電極を設け、電
界を印加するか、その領域の全体の温度を上昇させて屈
折率を変化させる電極が設けられるので、導波路の交叉
部での電極の位置合わせに高い精度を必要とせず、電極
に印加する電圧の極性と大きさを選択することにより、
入射光を直進あるいは分岐して出射できる。
しかも屈折率の変化でスイッチ動作を実現するものであ
り、通常一定電圧でスイッチし、屈折率の変化のばらつ
きの少ないことが重要となるので、入出力部を除いた電
極面が交叉部及びその近傍から離れるようにしている。
り、通常一定電圧でスイッチし、屈折率の変化のばらつ
きの少ないことが重要となるので、入出力部を除いた電
極面が交叉部及びその近傍から離れるようにしている。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例の電気光学効果を利用した交
叉導波路型光スイッチの構造を説明するための要部模式
図で、例えば、Ｙ−Cutニオブ酸リチウム（LiNbO3）等
の電気光学結晶からなる基板１の表面に従来と同様の方
法で２つの直線的に交叉する、基板１より屈折率の高い
導波路３が形成され、その上に２つの光導波路の交叉部
及びその近傍を含む全体に屈折率変化制御用信号電圧に
よる電界が形成されるように交叉角頂点間を結んだ線に
対し、入出力部５′を除いて電極５が上下対称に設けら
れ、しかも入出力部５′を除いて電極面が交叉部及びそ
の近傍から離されている。
叉導波路型光スイッチの構造を説明するための要部模式
図で、例えば、Ｙ−Cutニオブ酸リチウム（LiNbO3）等
の電気光学結晶からなる基板１の表面に従来と同様の方
法で２つの直線的に交叉する、基板１より屈折率の高い
導波路３が形成され、その上に２つの光導波路の交叉部
及びその近傍を含む全体に屈折率変化制御用信号電圧に
よる電界が形成されるように交叉角頂点間を結んだ線に
対し、入出力部５′を除いて電極５が上下対称に設けら
れ、しかも入出力部５′を除いて電極面が交叉部及びそ
の近傍から離されている。
かかる電極５に信号電圧を印加することにより、例えば
矢印Ｘ方向から入射する光は矢印Ｙの方向に直進、ある
いは矢印Ｚの方向に分岐され、信号電圧を印加しない場
合直進出射と同時に分岐出射とすることも出来る。
矢印Ｘ方向から入射する光は矢印Ｙの方向に直進、ある
いは矢印Ｚの方向に分岐され、信号電圧を印加しない場
合直進出射と同時に分岐出射とすることも出来る。
熱光学効果を利用する場合、屈折率変化が上記電気光学
効果を利用した交叉導波路型光スイッチよりも大きくで
きるので、性能のよい交叉導波路型光スイッチが得られ
る。
効果を利用した交叉導波路型光スイッチよりも大きくで
きるので、性能のよい交叉導波路型光スイッチが得られ
る。
第２図，第３図及び第４図は熱光学効果を利用した交叉
導波路型光スイッチの構造を説明するための要部平面図
と導波路交叉部Ａ−Ａ′の断面図、及び斜視図であり、
例えばSiの基板11上に熱酸化したSiO2膜12を形成し、そ
の上に、２つの導波路が直線的に交叉するようにTixSi
1-xO2の導波路13が設けられ、その上をSiO2膜14の保護
層が覆っている。さらにそのSiO2膜14上に交叉部及びそ
の近傍を含む全体を覆うように屈折率変化手段として抵
抗体（例えばTi）の電極15が形成され、入出力部15′に
接続されている。なお、SiO2膜14はTixSi1-xO2の導波路
13より屈折率が小さく導波効果を高めるとともに、上部
の電極15との光学的絶縁も兼ねている。
導波路型光スイッチの構造を説明するための要部平面図
と導波路交叉部Ａ−Ａ′の断面図、及び斜視図であり、
例えばSiの基板11上に熱酸化したSiO2膜12を形成し、そ
の上に、２つの導波路が直線的に交叉するようにTixSi
1-xO2の導波路13が設けられ、その上をSiO2膜14の保護
層が覆っている。さらにそのSiO2膜14上に交叉部及びそ
の近傍を含む全体を覆うように屈折率変化手段として抵
抗体（例えばTi）の電極15が形成され、入出力部15′に
接続されている。なお、SiO2膜14はTixSi1-xO2の導波路
13より屈折率が小さく導波効果を高めるとともに、上部
の電極15との光学的絶縁も兼ねている。
電極15は交叉角頂点間を結んだ線に対し入出力部15′を
除いて上下対称で、しかも入出力部を除いて電極面は交
叉部及びその近傍から離されており、この電極に信号電
圧を印加することにより、電極15下の交叉部の温度が上
昇し、その結果屈折率変化領域（交叉部）の屈折率は増
加（＋Δｎ効果）を示し、従って電極15に信号電圧を印
加することにより、矢印Ｘ方向から入射する光を矢印Ｙ
の方向に直進、あるいは矢印Ｚの方向に分岐させる。
除いて上下対称で、しかも入出力部を除いて電極面は交
叉部及びその近傍から離されており、この電極に信号電
圧を印加することにより、電極15下の交叉部の温度が上
昇し、その結果屈折率変化領域（交叉部）の屈折率は増
加（＋Δｎ効果）を示し、従って電極15に信号電圧を印
加することにより、矢印Ｘ方向から入射する光を矢印Ｙ
の方向に直進、あるいは矢印Ｚの方向に分岐させる。
このように構成されたスイッチでは、交叉部の屈折率の
増加とともに直進側に出射する状態と、分岐側に出射す
る状態が交互に起きるため、温度の上昇を電流で制御す
ることにより良好なスイッチが構成できる。
増加とともに直進側に出射する状態と、分岐側に出射す
る状態が交互に起きるため、温度の上昇を電流で制御す
ることにより良好なスイッチが構成できる。
以上説明したように本発明によれば、導波路において、
交叉部の交叉角頂点間を結んだ線に対し上下対称に、導
波路及びその近傍の基板を含む領域の屈折率変化を制御
する信号電圧の印加される電極が設けられ、交叉部及び
その近傍での屈折率変化にばらつきがないように、その
電極面は入出力部を除いて交叉部及び其の近傍から離さ
れている。
交叉部の交叉角頂点間を結んだ線に対し上下対称に、導
波路及びその近傍の基板を含む領域の屈折率変化を制御
する信号電圧の印加される電極が設けられ、交叉部及び
その近傍での屈折率変化にばらつきがないように、その
電極面は入出力部を除いて交叉部及び其の近傍から離さ
れている。
即ち交叉部及びその近傍を含む全体に電界を印加する
か、交叉部及びその近傍を含む全体の温度を上昇させて
屈折率を均等に変化させる電極を設けるようにしている
ので、交叉部と電極の位置合わせに高い精度を必要とせ
ず、従って小型，集積化された導波路型光スイッチが容
易に製作できる効果がある。
か、交叉部及びその近傍を含む全体の温度を上昇させて
屈折率を均等に変化させる電極を設けるようにしている
ので、交叉部と電極の位置合わせに高い精度を必要とせ
ず、従って小型，集積化された導波路型光スイッチが容
易に製作できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の電気光学効果を利用した交
叉導波路型光スイッチの構造を説明するための要部模式
図、 第２図，第３図及び第４図は熱光学効果を利用した交叉
導波路型光スイッチの構造を説明するための要部平面図
と導波路交叉部の断面図及び斜視図、 第５図は従来の交叉導波路型光スイッチの導波路の構造
を説明するための要部模式図、 第６図は従来の交叉導波路型光スイッチの構造を説明す
るための要部模式図である。 図において、 1,11は基板、２はチタン薄膜層、3,13は光導波路、4,5,
15は電極、５′,15′は電極に対する入出力部、12,14は
SiO2膜、31,32は光入射側部分、33,34は光出射側部分、
PQは光導波路の交叉角頂点、 をそれぞれ示す。
叉導波路型光スイッチの構造を説明するための要部模式
図、 第２図，第３図及び第４図は熱光学効果を利用した交叉
導波路型光スイッチの構造を説明するための要部平面図
と導波路交叉部の断面図及び斜視図、 第５図は従来の交叉導波路型光スイッチの導波路の構造
を説明するための要部模式図、 第６図は従来の交叉導波路型光スイッチの構造を説明す
るための要部模式図である。 図において、 1,11は基板、２はチタン薄膜層、3,13は光導波路、4,5,
15は電極、５′,15′は電極に対する入出力部、12,14は
SiO2膜、31,32は光入射側部分、33,34は光出射側部分、
PQは光導波路の交叉角頂点、 をそれぞれ示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中島 啓幾 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭53−96853（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−95330（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−93431（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−142320（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】電気光学結晶よりなる基板上で基板より屈
折率が大である２本の導波路が直線的に交叉する交叉導
波路構成において、導波路及びその近傍の基板を含む領
域の屈折率変化制御用の信号電圧の印加される電極が、
交叉角頂点を結んだ線に対し平行な上下対称形状を備
え、かつその電極面が交叉部及びその近傍から離れた位
置で交叉部を含む基板上に配置されることを特徴とする
交叉導波路型光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59190931A JPH0713685B2 (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 交叉導波路型光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59190931A JPH0713685B2 (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 交叉導波路型光スイッチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6167838A JPS6167838A (ja) | 1986-04-08 |
| JPH0713685B2 true JPH0713685B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=16266063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59190931A Expired - Fee Related JPH0713685B2 (ja) | 1984-09-11 | 1984-09-11 | 交叉導波路型光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713685B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62270926A (ja) * | 1986-05-20 | 1987-11-25 | Fujitsu Ltd | 全反射型光変調素子 |
| JPH0642547A (ja) * | 1992-06-12 | 1994-02-15 | Murata Mach Ltd | スライドフォーク用モータのトルクリミッタ |
| JP2003005232A (ja) | 2001-04-18 | 2003-01-08 | Ngk Insulators Ltd | 光デバイス |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2379086A1 (fr) * | 1977-01-31 | 1978-08-25 | Thomson Csf | Dispositif optique de transmission guidee a commande electrique |
| JPS5895330A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光スイツチ |
| JPS5993431A (ja) * | 1982-11-19 | 1984-05-29 | Fujitsu Ltd | 光スイツチ |
-
1984
- 1984-09-11 JP JP59190931A patent/JPH0713685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6167838A (ja) | 1986-04-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7336854B2 (en) | Optical switch, optical modulator and wavelength variable filter | |
| CN112014983B (zh) | 一种基于铌酸锂波导的电光开关及其制作方法 | |
| JP5467414B2 (ja) | 光機能導波路 | |
| JPH08166565A (ja) | 光制御デバイス | |
| EP0105693B1 (en) | Bipolar voltage controlled optical switch using intersecting waveguide | |
| JPH0713685B2 (ja) | 交叉導波路型光スイッチ | |
| CN213092051U (zh) | 一种基于铌酸锂波导的电光开关 | |
| JPH0447805B2 (ja) | ||
| JPH045174B2 (ja) | ||
| JPS61231522A (ja) | 光制御型光スイツチ装置 | |
| JP2739405B2 (ja) | 電界センサ | |
| JPH05297332A (ja) | 光変調器 | |
| JP2566923B2 (ja) | 光スイツチ | |
| JPH0361932B2 (ja) | ||
| JPH0760236B2 (ja) | 光スイツチ素子 | |
| JPH063508B2 (ja) | 光スイツチ装置 | |
| JPS63221306A (ja) | 導波型光制御デバイス | |
| JPH0785152B2 (ja) | 導波路光スイツチ | |
| JPS6269247A (ja) | 光スイツチ | |
| JPS58121024A (ja) | 光スイツチ | |
| JPS59214020A (ja) | 光スイツチ | |
| JPH0576017B2 (ja) | ||
| JPH0449098B2 (ja) | ||
| JPH0377493B2 (ja) | ||
| JPS6151775B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |