JPH0713781Y2 - エアーフィルター装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、クリーンルームの天井・壁等に固定して用い
られるエアーフィルター装置に関する。

（従来の技術） 半導体製造工業、電子工業、精密機械工業、病院手術
室、バイオテクノロジー、製薬工業等の分野において
は、高度に清浄化されたクリーンルームが必要とされ
る。このためにこれらの分野では、空気吹き出し口に清
浄空気を供給するためのエアーフィルター装置が用いら
れている。このエアーフィルター装置は、高性能エアー
フィルター（HEPAフィルター）を内蔵しており、クリー
ンルーム内の天井などに固定される。このエアーフィル
ターは、例えば0.3μmDOP粒子に対する濾過効率が99.97
％以上という高性能を有する。天井等に取付けられるエ
アーフィルター装置では、取付部周辺からの外気のリー
クを完全に防止する必要がある。通常、フィルター枠体
に気密状に取り付けられたエアーフィルターは、更に外
部枠体に気密状に固定され、該外部枠体がクリーンルー
ムの天井・壁等に気密状に取付けられる。

第３図に従来のエアーフィルター装置の斜視図を示す。
第４図に第３図のエアーフィルター装置の断面図を示
す。このエアーフィルター装置は、エアーフィルター１
の気流透過面を除く四周面を囲繞するフィルター枠体41
を有する。フィルター枠体41は４つのフィルター枠材1
1、11、…が接合されて構成されている。各フィルター
枠材11は、それぞれ同様の断面形状をしている。各フィ
ルター枠材11の端面は長手方向に対して45度の傾斜をな
している。各フィルター枠材11の端面同士は、連結部材
37a及び37bによって接合され、相隣するフィルター枠材
11、11同士は90度の角度をなし、フィルター枠体41は額
縁状をなしている。連結部材37a及び37bはＬ字状に屈曲
した形状を有している。連結部材37a及び37bのそれぞれ
の直交する半体部分が相隣する各フィルター枠体11、11
の係合部28a及び28b内にそれぞれ嵌入し、各フィルター
枠材11、11が接合されている。

フィルター枠体41は外部枠体２によって保持されてい
る。外部枠体２は４つの外部枠材20、20、…が連結部材
36a、36a…及び36b、36b…によって接合されて構成され
ている。各外部枠材20は、同様の断面形状をしている。
各外部枠材20の端面は長手方向に対して45度の傾斜をな
しており、各外部枠材20の端面同士が接合されると、相
隣する外部枠材20、20同士は90度の角度をなし、４つの
外部枠材20、20、…にて額縁状の外部枠体２とされる。
相隣する外部枠材20、20を連結する連結部材36a及び36b
はＬ字状に屈曲しており、それぞれの直交する方向に延
びる各半体部分が、相隣する各外部枠材20、20のそれぞ
れの係合部27a、及び27b内にそれぞれ嵌入している。

額縁状のフィルター枠体41は、エアーフィルター１とは
気密状に取付けられる。該エアーフィルター枠11の上部
には、断面凹状の溝部11aが形成されており、該溝部11a
内にシール材12が装入されている。

各外部枠材20は、エアーフィルター１の気流透過面を除
く四周面の１つと平行する主側面24と、該主側面24の上
端面から内側方（エアーフィルター１側方）に延出する
中間水平面23と、該中間水平面23の内側端部から上方
（エアーフィルター１の気流流入方向とは反対方向）へ
延出する上部側面22と、該上部側面22の上端面から内側
方へ延出する上部水平面21と、前記主側面24の下端面か
ら外側方へ延出する鍔部25と、該鍔部25の外側端面から
上方へ延出する取付面26とを有している。該取付面26の
側面とクリーンルームの天井４の下面とによって形成さ
れる隅部にコーキング材29が装填されている。

外部枠体２の気流流入口を形成する上部側面22は下方に
延出され、該シール形成部22aが溝部11aのシール材12内
に挿入されている。エアーフィルター枠11の溝部11a
と、該溝部11a内に装入されたシール材12と、該シール
材12に挿入された外部枠体２のシール形成部22aとによ
って、シール部35が形成されている。シール部35は、エ
アーフィルター１の気流流入面と外部枠体２とを気密状
にシールしている。

このエアーフィルター装置では、外部枠体２の主側面24
および中間水平面23、並びにエアーフィルター枠11によ
って、空間30が形成されている。空間30はエアーフィル
ター１の気流送出側のクリーンルーム内に通じている。
また、空間30はエアーフィルター１の気流流入側の空間
とは、シール部35によって分離されている。

（考案が解決しようとする課題） 上述のエアーフィルター装置は空間30を有するため、こ
の空間30に空気が滞留し易くなっている。空気30に汚れ
た空気が滞留すると、クリーンルームは高度に清浄化さ
れた状態となり得ない。また、フィルター枠体41を構成
する各フィルター枠材11の接続部の気密性が不十分であ
ると、エアーフィルター１の気流流入側の空気が、エア
ーフィルター１を透過することなく、空間30を介してク
リーンルーム内に流入し、クリーンルームの清浄度を低
下させるという問題点がある。

また、外部枠体２を構成する各外部枠材20の接続部の気
密性が不十分であると、クリーンルーム外の空気がクリ
ーンルーム内に流入し、クリーンルームの清浄度を低下
させるという問題点もある。また、シール部35のリーク
試験は、シール部下方の周辺の空気を吸引し、サンプリ
ングした空気中の浮遊粒子濃度を計測することによって
行われる。従って、空間30の空気の清浄度が低く浮遊粒
子が多いと、実際のリークの有無、リーク量の多少が判
らなくなる。即ち、リークテストが不正確となり、再現
性が悪くなる。

更に、天井４と外部枠材20の取付面26の側面とは、コー
キング材によってコーキングされるが、コーキング材29
はコーキング部分に付着することにより保持されている
ため不安定であり、気密性の点で信頼性が低いという問
題点もある。

本考案はこのような問題点を解決するものであり、本考
案の目的は、空気の滞留する空間をクリーンルーム側に
有さず、フィルター枠材または外部枠材の接続部の気密
性が不十分な場合にも、エアーフィルター透過前の空気
またはクリーンルーム外の空気がクリーンルム内に流入
することのないエアーフィルター装置を提供することで
ある。本考案の他の目的は、正確なリーク試験を行い得
るエアーフィルター装置を提供することである。本考案
の更に他の目的は、外部枠体と天井との間にコーキング
を安定的に且つ確実に保持し得るエアーフィルター装置
を提供することである。

（課題を解決するための手段） 本考案のエアーフィルター装置は、エアーフィルターの
気流透過面を除く全周面を気密状態で固定しており、そ
の外周面の気流送出側部分の全周に亘って設けられた溝
部を有するフィルター枠体と、該フィルター枠体の気流
透過面を除く全周面を取り囲んでおり、その外周面の気
流流出側部分に設けられた鍔部を有する外部枠体と、該
フィルター枠体の溝部内に装入されたシール材と、該外
部枠体の内周面の全周に、該シール材に先端が挿入され
て該シール材とは気密状態になるように突出したシール
形成部と、該外部枠体の鍔部に、該外部枠体の内周側に
延出して該フィルター枠体の該溝部を保持するように取
り付けられた保持具と、を具備しており、そのことによ
って上記目的が達成される。

また、前記外部枠体の鍔部の外周縁部に、コーキング材
を装填し得るように外方へ延出するコーキング材保持部
が設けられている構成とすることもできる。

（実施例） 本考案を実施例について以下に説明する。

第１図に本考案のエアーフィルター装置の一実施例の断
面図を示す。本実施例のエアーフィルター装置の斜視図
を第２図に示す。本実施例のエアーフィルター装置は、
エアーフィルター51の気流透過面を除く全周面を気密状
態で固定する４つのフィルター枠材61、61…を接合した
フィルター枠体91を有する。各フィルター枠材61は、そ
れぞれ同様の断面形状をしている。各フィルター枠材61
の端面は長手方向に対して45度の傾斜をなしている。各
フィルター枠材61の端面同士は、連結部材88a及び88bに
よって接合され、相隣するフィルター枠材61、61同士は
90度の角度をなし、フィルター枠体91は額縁状をなして
いる。連結部材88a及び88bはＬ字状に屈曲した形状を有
している。連結部材88a及び88bのそれぞれの直交する反
対部分が相隣する各フィルター枠材91、91の係合部89a
及び89b内にそれぞれ嵌入し、各フィルター枠材91、91
が接合されている。

フィルター枠体91の気流透過面を除く全周面を取り囲む
外部枠体52が、４つの外部枠材70、70…を接合すること
によって構成される。これらの外部枠材70、70…は連結
部材86a、86a…及び86b、86b…によって接合されてい
る。各外部枠材70は、同様の断面形状をしている。各外
部枠材70の端面は長手方向に対して45度の傾斜をなして
おり、各外部枠材70の端面同士が接合されると、相隣す
る外部枠材70、70同士は90度の角度をなし、４つの外部
枠材70、70、…にて額縁状の外部枠体52とされる。相隣
する外部枠材70、70を連結する連結部材86a及び86bはＬ
字状に屈曲しており、それぞれの直交する方向に延びる
各半体部分が、相隣する各外部枠材70、70のそれぞれの
係合部87a、及び87b内にそれぞれ嵌入している。

額縁状のフィルター枠体91は、エアーフィルター51とは
気密状に取付けられる。エアーフィルター枠体91に於け
る気流送出側の外周面には、断面凹状の溝部61aが形成
されている。該溝部61a内にはシール材62が装入されて
いる。

各外部枠材70は、エアーフィルター51の気流透過面を除
く四周面の１つとそれぞれ平行する４つの主側面74と、
各主側面74の上端面から内側方（エアーフィルター51側
方）に延出する中間水平面73と、該中間水平面73の内側
端部から上方へ（気流の上流側方向）へ延出する上部側
面72と、該上部側面72の上端面から内側方へ延出する上
部水平面71とを有している。

また、外部枠材70はその主側面74の下部から内側方に延
出され、更に下方に延出されたシール形成部74aを有し
ている。シール形成部74aは外部枠体52の内周面の全周
に形成されている。シール形成部74aの先端は溝部61aの
シール材62内とは気密状態となるように突出している。
エアーフィルター枠61の溝部61aと、該溝部61a内に装入
されたシール材62と、該シール材62に挿入された外部枠
材70のシール形成部74aとによって、シール部85が形成
されている。シール部85により、エアーフィルター51の
気流流入面と外部枠体52とを気密状にシールしている。

外部枠体52の外周面の気流流出側部分には、鍔部75が設
けられている。鍔部75の下面には、保持具78がビス83に
よって取り付けられている。保持具78の外部枠体52の内
周側に延出した部分には、フィルター枠体91の溝部61a
が保持されている。

また、各外部枠材70の鍔部75は、該鍔部75の外側端面か
ら上方へ延出する取付面76と、該取付面76の外側に鍔部
75が延出された縁部77とを有している。取付面76の上端
面が天井54に突き当てられる。取付面76および縁部77と
によって断面がＬ字状のコーキング保持部82が構成され
ている。該取付面76の側面と縁部77とクリーンルームの
天井54の下面とによって構成される凹部にコーキング材
79が装填される。

本実施例のエアーフィルター装置では、外部枠体52の主
側面74および中間水平面73、並びにエアーフィルター枠
61によって形成される空間80は、エアーフィルター51の
気流流入側に通じている。また、空間80はエアーフィル
ター51の気流送出側の空間とは、シール部85によって分
離されている。従って、本実施例のエアーフィルター装
置では、クリーンルーム側に空気の滞留する空間は存在
しない。

また、フィルター枠体91を構成する各フィルター枠材61
相互間の接続部の気密性が不十分な場合にも、空間80は
エアーフィルター51の気流流入側と同じ気圧下にあるた
め、この接続部から空気が漏れることはない。また、外
部枠体52を構成する各外部枠材70の接続部の気密性が不
十分な場合にも、空間80はエアーフィルター51に流入さ
れる気流によって加圧状態にあるため、クリーンルーム
外の空気が空間80に流入することもない。またシール部
85がエアーフィルター51の気流送出側に設けられてお
り、従来のような空気の滞留する空間がクリーンルーム
内にないので、シール部85のリークテストを正確且つ再
現性良く実施することができる。

更に本実施例のエアーフィルター装置では、外部枠体52
の周囲にコーキング保持部82が設けられ、コーキング材
が押し付けられているので、コーキング材を安定的にし
かも確実に保持することができ、気密性の点で高い信頼
性が実現される。

（考案の効果） 本考案のエアーフィルター装置には、クリーンルーム内
に空気の滞留する空間は存在しない。また、各フィルタ
ー枠材または各外部枠材相互間の接続部の気密性が不十
分な場合にも、エアーフィルターの気流流入側の汚れた
空気が直接クリーンルーム内に流入することもない。ク
リーンルーム内からリーク試験を正確に行うこともでき
る。更に本考案のエアーフィルター装置は、外部枠体の
周囲のコーキング保持部に確実にコーキング材を装填す
ることができるので、気密性の点で高い信頼性を有して
いる。従って、本考案のエアーフィルター装置を用いれ
ば、高度に浄化された清浄空間を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のエアーフィルター装置の一実施例を示
す断面図、第２図は第１図のエアーフィルター装置の斜
視図、第３図は従来のエアーフィルター装置の斜視図、
第４図は第３図のエアーフィルター装置の断面図であ
る。 51…エアーフィルター、52…外部枠体、61…フィルター
枠材、61a…溝部、62…シール材、70…外部枠材、74a…
シール形成部、76…取付面、77…縁部、82…コーキング
保持部、85…シール部、91…フィルター枠体。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】エアーフィルターの気流透過面を除く全周
   面を気密状態で固定しており、その外周面の気流送出側
   部分の全周に亘って設けられた溝部を有するフィルター
   枠体と、 該フィルター枠体の気流透過面を除く全周面を取り囲ん
   でおり、その外周面の気流流出側部分に設けられた鍔部
   を有する外部枠体と、 該フィルター枠体の溝部内に装入されたシール材と、 該外部枠体の内周面の全周に、該シール材に先端が挿入
   されて該シール材とは気密状態になるように突出したシ
   ール形成部と、 該外部枠体の鍔部に、該外部枠体の内周側に延出して該
   フィルター枠体の該溝部を保持するように取り付けられ
   た保持具と、 を具備するエアーフィルター装置。
2. 【請求項２】前記外部枠体の鍔部の外周縁部に、コーキ
   ング材を装填し得るように外方へ延出するコーキング材
   保持部が設けられている、請求項１に記載のエアーフィ
   ルター装置。