JPH07137842A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH07137842A JPH07137842A JP31132793A JP31132793A JPH07137842A JP H07137842 A JPH07137842 A JP H07137842A JP 31132793 A JP31132793 A JP 31132793A JP 31132793 A JP31132793 A JP 31132793A JP H07137842 A JPH07137842 A JP H07137842A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track
- carrier
- electromagnet
- magnetic levitation
- magnetic field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被搬送物を昇降搬送することのできる磁気浮
上搬送装置を提供する。 【構成】 少なくともその一部に非磁性且つ良導体から
成る二次導体を有した搬送台１６と、搬送台１６の搬送
路となる軌道と、軌道の表面部分に軌道の長手方向に並
べて配設された多数の電磁石１２と、電磁石１２に交流
電流を流すことによって交番磁界を発生させると共にこ
れによって搬送台の二次導体に誘導される渦電流で反発
する交番磁界を発生させて搬送台を軌道上に浮上させる
制御装置１５と、を備え、軌道を互いに段差をもって連
接された複数の軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１
Ｄから構成し、位置検出器１７で搬送台１６の位置を検
出すると共に浮上量検出器１８で搬送台１６の浮上量を
検出しつつ、制御装置１５で電磁石１２に給電する交流
電流の量を任意に調整して、搬送台１６を段差のある軌
道に沿って昇降させつつ搬送する。
上搬送装置を提供する。 【構成】 少なくともその一部に非磁性且つ良導体から
成る二次導体を有した搬送台１６と、搬送台１６の搬送
路となる軌道と、軌道の表面部分に軌道の長手方向に並
べて配設された多数の電磁石１２と、電磁石１２に交流
電流を流すことによって交番磁界を発生させると共にこ
れによって搬送台の二次導体に誘導される渦電流で反発
する交番磁界を発生させて搬送台を軌道上に浮上させる
制御装置１５と、を備え、軌道を互いに段差をもって連
接された複数の軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１
Ｄから構成し、位置検出器１７で搬送台１６の位置を検
出すると共に浮上量検出器１８で搬送台１６の浮上量を
検出しつつ、制御装置１５で電磁石１２に給電する交流
電流の量を任意に調整して、搬送台１６を段差のある軌
道に沿って昇降させつつ搬送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は反発する磁気力によっ
て、搬送台を軌道上に浮上させて搬送する誘導反発型の
磁気浮上搬送装置に関し、特に、段差を設けた軌道上で
搬送台を昇降させる装置に関する。
て、搬送台を軌道上に浮上させて搬送する誘導反発型の
磁気浮上搬送装置に関し、特に、段差を設けた軌道上で
搬送台を昇降させる装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体製造工程におけるウエハ
の搬送装置では、搬送されるウエハが塵埃や飛散した油
によって汚染されてしまわないようにすることが要求さ
れる。このため、塵埃や油の飛散が生じ易い機械的な構
造部分をできるだけ避けた搬送装置が都合が良く、ウエ
ハを載置する搬送台を誘導反発する磁気力で軌道上に浮
上させて搬送する磁気浮上方式の搬送装置の使用が検討
されている。この磁気浮上方式の搬送装置は、搬送台に
非磁性且つ良導体から成る二次導体（金属板）を設けて
おき、軌道に設けた電磁石に交流電流を流すことによっ
て交番磁界を発生させ、これによって搬送台の二次導体
に誘導される渦電流で反発する交番磁界を発生させて搬
送台を軌道上に浮上させて搬送するものである。
の搬送装置では、搬送されるウエハが塵埃や飛散した油
によって汚染されてしまわないようにすることが要求さ
れる。このため、塵埃や油の飛散が生じ易い機械的な構
造部分をできるだけ避けた搬送装置が都合が良く、ウエ
ハを載置する搬送台を誘導反発する磁気力で軌道上に浮
上させて搬送する磁気浮上方式の搬送装置の使用が検討
されている。この磁気浮上方式の搬送装置は、搬送台に
非磁性且つ良導体から成る二次導体（金属板）を設けて
おき、軌道に設けた電磁石に交流電流を流すことによっ
て交番磁界を発生させ、これによって搬送台の二次導体
に誘導される渦電流で反発する交番磁界を発生させて搬
送台を軌道上に浮上させて搬送するものである。
【０００３】ここで、例えば製造設備のレイアウト上の
必要性等の事情から、搬送台を単に水平移動させるだけ
でなく上下方向へ昇降させる必要がある。このような搬
送台の昇降は従来では図７或いは図８に示すような装置
で行っていた。図７に示す搬送装置は、搬送台１の搬送
路となる軌道を段差をもって設置した軌道単位２Ａ、２
Ｂ、２Ｃから構成し、軌道単位２Ａ、２Ｃの間に位置す
る軌道単位２Ｂをエレベータ装置３で昇降させるように
したものであり、各軌道単位２Ａ、２Ｂ、２Ｃの表面部
分に設けられている電磁石４への交流電流量は一定で、
軌道上での搬送台１の浮上高さは常に一定となるように
したものである。この搬送装置では、例えば軌道単位２
Ａから軌道単位２Ｃ側へ搬送台１を上昇させて搬送しよ
うとする場合には、エレベータ装置３で軌道単位２Ｂを
軌道単位２Ａと同じ高さにしておき、搬送台１を磁気浮
上により軌道単位２Ａ上から軌道単位２Ｂ上へ移動さ
せ、エレベータ装置３で軌道単位２Ｂを軌道単位２Ｃと
同じ高さに上昇させた後、軌道単位２Ｂ上の搬送台１を
磁気浮上により軌道単位２Ｃ上へ移動させる。
必要性等の事情から、搬送台を単に水平移動させるだけ
でなく上下方向へ昇降させる必要がある。このような搬
送台の昇降は従来では図７或いは図８に示すような装置
で行っていた。図７に示す搬送装置は、搬送台１の搬送
路となる軌道を段差をもって設置した軌道単位２Ａ、２
Ｂ、２Ｃから構成し、軌道単位２Ａ、２Ｃの間に位置す
る軌道単位２Ｂをエレベータ装置３で昇降させるように
したものであり、各軌道単位２Ａ、２Ｂ、２Ｃの表面部
分に設けられている電磁石４への交流電流量は一定で、
軌道上での搬送台１の浮上高さは常に一定となるように
したものである。この搬送装置では、例えば軌道単位２
Ａから軌道単位２Ｃ側へ搬送台１を上昇させて搬送しよ
うとする場合には、エレベータ装置３で軌道単位２Ｂを
軌道単位２Ａと同じ高さにしておき、搬送台１を磁気浮
上により軌道単位２Ａ上から軌道単位２Ｂ上へ移動さ
せ、エレベータ装置３で軌道単位２Ｂを軌道単位２Ｃと
同じ高さに上昇させた後、軌道単位２Ｂ上の搬送台１を
磁気浮上により軌道単位２Ｃ上へ移動させる。
【０００４】図８に示す搬送装置は、搬送台５の搬送路
となる軌道を段差をもって離間して設置した軌道単位６
Ａ、６Ｂから構成し、これら軌道単位の間に一方の軌道
単位から搬送台５（或いは、被搬送物のみ）を受け取っ
て他方の軌道単位へ載せ換える昇降・回転機能を有した
ロボット７を設置したものであり、各軌道単位６Ａ、６
Ｂの表面部分に設けられている電磁石８への交流電流量
は一定で、軌道上での搬送台５の浮上高さは常に一定と
なるようにしたものである。この搬送装置では、例えば
軌道単位６Ａから軌道単位６Ｂ側へ搬送台５を上昇させ
て搬送しようとする場合には、ロボット７の回転テーブ
ル９を軌道単位６Ａと同じ高さにしておき、搬送台５を
軌道単位６Ａ上から回転テーブル９上へ移動させ、回転
テーブル９を軌道単位６Ｂと同じ高さに上昇させた後、
回転テーブル９上の搬送台５を軌道単位６Ｂ上へ移動さ
せる。
となる軌道を段差をもって離間して設置した軌道単位６
Ａ、６Ｂから構成し、これら軌道単位の間に一方の軌道
単位から搬送台５（或いは、被搬送物のみ）を受け取っ
て他方の軌道単位へ載せ換える昇降・回転機能を有した
ロボット７を設置したものであり、各軌道単位６Ａ、６
Ｂの表面部分に設けられている電磁石８への交流電流量
は一定で、軌道上での搬送台５の浮上高さは常に一定と
なるようにしたものである。この搬送装置では、例えば
軌道単位６Ａから軌道単位６Ｂ側へ搬送台５を上昇させ
て搬送しようとする場合には、ロボット７の回転テーブ
ル９を軌道単位６Ａと同じ高さにしておき、搬送台５を
軌道単位６Ａ上から回転テーブル９上へ移動させ、回転
テーブル９を軌道単位６Ｂと同じ高さに上昇させた後、
回転テーブル９上の搬送台５を軌道単位６Ｂ上へ移動さ
せる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の磁
気浮上搬送装置にあっては、エレベータ装置３やロボッ
ト７といった機械的な昇降機能部分を有したものである
ため、塵埃や油の飛散が生じ易い機械的な構造部分をで
きるだけ避けるという、磁気浮上搬送装置の利点を十分
に発揮させたものではなかった。また、機械的な機構を
有しているため、給油や磨耗部品の交換等の定期的な保
守管理が必要であり、磁気浮上搬送装置のランニングコ
ストを上昇させていた。
気浮上搬送装置にあっては、エレベータ装置３やロボッ
ト７といった機械的な昇降機能部分を有したものである
ため、塵埃や油の飛散が生じ易い機械的な構造部分をで
きるだけ避けるという、磁気浮上搬送装置の利点を十分
に発揮させたものではなかった。また、機械的な機構を
有しているため、給油や磨耗部品の交換等の定期的な保
守管理が必要であり、磁気浮上搬送装置のランニングコ
ストを上昇させていた。
【０００６】本発明は上記従来の事情に鑑みなされたも
ので、磁気浮上搬送方式の特徴を十分に発揮させること
によって、塵埃や油の飛散といった被搬送物の汚染要因
の発生を有効に防止して、被搬送物を清浄な状態で昇降
搬送することを実現し、更には、装置のランニングコス
トも低減することができる磁気浮上搬送装置を提供する
ことを目的とする。
ので、磁気浮上搬送方式の特徴を十分に発揮させること
によって、塵埃や油の飛散といった被搬送物の汚染要因
の発生を有効に防止して、被搬送物を清浄な状態で昇降
搬送することを実現し、更には、装置のランニングコス
トも低減することができる磁気浮上搬送装置を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置は、少なくともその一部に非磁性且つ良導体から成る
二次導体を有した搬送台と、搬送台の搬送路となる軌道
と、軌道の表面部分に当該軌道の長手方向に並べて配設
された多数の電磁石と、電磁石に交流電流を流すことに
よって交番磁界を発生させると共にこれによって搬送台
の二次導体に誘導される渦電流で反発する交番磁界を発
生させて搬送台を軌道上に浮上させる制御装置とを備え
た磁気浮上搬送装置において、前記軌道はそれぞれが搬
送台の長さより長い寸法を有し互いに段差をもって連接
された複数の軌道単位から構成され、前記制御装置は電
磁石に給電する交流電流の量を任意に調整できるもので
あることを特徴とする。
置は、少なくともその一部に非磁性且つ良導体から成る
二次導体を有した搬送台と、搬送台の搬送路となる軌道
と、軌道の表面部分に当該軌道の長手方向に並べて配設
された多数の電磁石と、電磁石に交流電流を流すことに
よって交番磁界を発生させると共にこれによって搬送台
の二次導体に誘導される渦電流で反発する交番磁界を発
生させて搬送台を軌道上に浮上させる制御装置とを備え
た磁気浮上搬送装置において、前記軌道はそれぞれが搬
送台の長さより長い寸法を有し互いに段差をもって連接
された複数の軌道単位から構成され、前記制御装置は電
磁石に給電する交流電流の量を任意に調整できるもので
あることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の磁気浮上搬送装置では、制御装置で軌
道表面部分の設けられた電磁石に給電する交流電流の量
を調整して搬送台の浮上量を軌道単位の連設部の段差以
上にし、各軌道単位間で搬送台を順次昇降搬送すること
により、搬送台を各段差を総じた高さで上下方向へ昇降
させつつ搬送する。更に、位置検出器からの情報に基づ
いて交流電流量の調整を行うことにより、搬送台の位置
に応じた正確な制御を行う。
道表面部分の設けられた電磁石に給電する交流電流の量
を調整して搬送台の浮上量を軌道単位の連設部の段差以
上にし、各軌道単位間で搬送台を順次昇降搬送すること
により、搬送台を各段差を総じた高さで上下方向へ昇降
させつつ搬送する。更に、位置検出器からの情報に基づ
いて交流電流量の調整を行うことにより、搬送台の位置
に応じた正確な制御を行う。
【０００９】なお、本発明の磁気浮上搬送装置は、半導
体製造工程における清浄な真空内でのウエハ搬送装置と
して利用できる他、例えば、食品等の衛生管理の厳しい
搬送装置、高温又は低温雰囲気中での搬送装置等種々な
搬送装置に広く適用することができる。
体製造工程における清浄な真空内でのウエハ搬送装置と
して利用できる他、例えば、食品等の衛生管理の厳しい
搬送装置、高温又は低温雰囲気中での搬送装置等種々な
搬送装置に広く適用することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１１】図１に示すように、磁気浮上搬送装置の軌
道は軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄを連接し
て構成されており、これら軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１
１Ｃ、１１Ｄの連接部には段差が形成されて、軌道単位
１１Ａ側から軌道単位１１Ｄにかけて順次位置が高くな
っている。各軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ
の表面部分に当該軌道の長手方向に並べて多数の電磁石
１２が配設されており、各電磁石１２は磁極１３とこれ
に巻回された励磁コイル１４とを備えている。
道は軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄを連接し
て構成されており、これら軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１
１Ｃ、１１Ｄの連接部には段差が形成されて、軌道単位
１１Ａ側から軌道単位１１Ｄにかけて順次位置が高くな
っている。各軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ
の表面部分に当該軌道の長手方向に並べて多数の電磁石
１２が配設されており、各電磁石１２は磁極１３とこれ
に巻回された励磁コイル１４とを備えている。
【００１２】各電磁石の励磁コイル１４は制御装置１５
に接続されており、制御装置１５から交流電流が制御さ
れて給電される。ウエハ等の被搬送物を載置して軌道上
を浮上搬送される搬送台１６は各軌道単位１１Ａ、１１
Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄの長手方向の長さより短い寸法（す
なわち各軌道単位は搬送台１６の長さより長い寸法）で
あり、搬送台１６は各軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１
Ｃ、１１Ｄ上に完全に収まるようになっている。また、
搬送台１６は、本実施例では平板状に図示されている
が、図示の部分全体が二次導体となっていなくても、搬
送台１６は、例えば底面部分等のように少なくともその
一部に非磁性且つ良導体から成る二次導体を有していれ
ばよい。
に接続されており、制御装置１５から交流電流が制御さ
れて給電される。ウエハ等の被搬送物を載置して軌道上
を浮上搬送される搬送台１６は各軌道単位１１Ａ、１１
Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄの長手方向の長さより短い寸法（す
なわち各軌道単位は搬送台１６の長さより長い寸法）で
あり、搬送台１６は各軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１
Ｃ、１１Ｄ上に完全に収まるようになっている。また、
搬送台１６は、本実施例では平板状に図示されている
が、図示の部分全体が二次導体となっていなくても、搬
送台１６は、例えば底面部分等のように少なくともその
一部に非磁性且つ良導体から成る二次導体を有していれ
ばよい。
【００１３】各軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１
Ｄの入口部分と出口部分の例えば上方には位置検出器１
７が設けられており、これら位置検出器１７で軌道単位
間の段差或いは軌道の入口若しくは出口にさしかかった
搬送台１６を検知して、この搬送台１６に関する位置情
報を制御装置１５に入力するようになっている。位置検
出器１７には例えば光電センサが用いられるが、搬送台
１６の位置を検出できれば他の形式のセンサを用いるこ
ともできる。
Ｄの入口部分と出口部分の例えば上方には位置検出器１
７が設けられており、これら位置検出器１７で軌道単位
間の段差或いは軌道の入口若しくは出口にさしかかった
搬送台１６を検知して、この搬送台１６に関する位置情
報を制御装置１５に入力するようになっている。位置検
出器１７には例えば光電センサが用いられるが、搬送台
１６の位置を検出できれば他の形式のセンサを用いるこ
ともできる。
【００１４】各軌道単位１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１
Ｄの例えば上方には浮上量検出器１８が設けられてお
り、これら浮上量検出器１８で各軌道単位１１Ａ、１１
Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ上にある搬送台１６の浮上量を検知
して、この搬送台１６の浮上量に関する情報を制御装置
１５に入力するようになっている。浮上量検出器１８に
は例えば光電センサが用いられ、各軌道単位の表面の位
置と検知した搬送台１６の位置とからその浮上量を検出
するが、搬送台１６の浮上量を検出できれば他の形式の
センサを用いることもできる。
Ｄの例えば上方には浮上量検出器１８が設けられてお
り、これら浮上量検出器１８で各軌道単位１１Ａ、１１
Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ上にある搬送台１６の浮上量を検知
して、この搬送台１６の浮上量に関する情報を制御装置
１５に入力するようになっている。浮上量検出器１８に
は例えば光電センサが用いられ、各軌道単位の表面の位
置と検知した搬送台１６の位置とからその浮上量を検出
するが、搬送台１６の浮上量を検出できれば他の形式の
センサを用いることもできる。
【００１５】制御装置１５は位置検出器１７および浮上
量検出器１８から入力される情報に基づいて電磁石の励
磁コイル１４に給電する交流電流の量を任意に調整でき
るものであり、交流電源と制御回路部分とを有してい
る。制御装置１５から電磁石１２に同相の交流電流を流
すことによって静止交番磁界を発生させると、これによ
って搬送台１６に誘導される渦電流で反発する静止交番
磁界を発生し、搬送台１６は軌道上に浮上することとな
る。電磁石１２に異相の交流電流を流すことによって、
移動交番磁界を発生させると、リニア誘導モータの原理
により、搬送台１６は移動交番磁界に従って走行する。
したがって、制御装置１５によって電磁石１２に給電す
る交流電流の量及び位相を任意に調整すると、これに応
じて搬送台１６の浮上量及び移動速度が調整される。
量検出器１８から入力される情報に基づいて電磁石の励
磁コイル１４に給電する交流電流の量を任意に調整でき
るものであり、交流電源と制御回路部分とを有してい
る。制御装置１５から電磁石１２に同相の交流電流を流
すことによって静止交番磁界を発生させると、これによ
って搬送台１６に誘導される渦電流で反発する静止交番
磁界を発生し、搬送台１６は軌道上に浮上することとな
る。電磁石１２に異相の交流電流を流すことによって、
移動交番磁界を発生させると、リニア誘導モータの原理
により、搬送台１６は移動交番磁界に従って走行する。
したがって、制御装置１５によって電磁石１２に給電す
る交流電流の量及び位相を任意に調整すると、これに応
じて搬送台１６の浮上量及び移動速度が調整される。
【００１６】上記構成の磁気浮上搬送装置によれば、次
のようにして搬送台１６を軌道に沿って昇降させつつ搬
送することができる。まず、図２に示すように、搬送台
１６が軌道単位１１Ａ上を浮上搬送されてきてその先端
が軌道単位１１Ｂの段差の近傍に達した所で、図３に示
すように、電磁石１２の励磁コイル１４に給電する交流
電流量を増加させて交番磁界を増大させ、搬送台１６を
この段差より高く浮上させる。そして、図４に示すよう
に搬送台１６を水平方向へ移動させて段差を乗り越えさ
せ、図５に示すように搬送台１６を軌道単位１１Ｂ上へ
移動させ、これによって、搬送台１６を上昇させつつ搬
送する。ここに、図４に示す段差を乗り越える状態で
は、いずれの軌道単位１１Ａ、１１Ｂの交番磁界によっ
ても搬送台１６が同じ高さになるように両軌道単位の交
番磁界の大きさを調整してある。なお、搬送台１６を下
降させつつ搬送する場合には、上記と逆の動作を行えば
よい。
のようにして搬送台１６を軌道に沿って昇降させつつ搬
送することができる。まず、図２に示すように、搬送台
１６が軌道単位１１Ａ上を浮上搬送されてきてその先端
が軌道単位１１Ｂの段差の近傍に達した所で、図３に示
すように、電磁石１２の励磁コイル１４に給電する交流
電流量を増加させて交番磁界を増大させ、搬送台１６を
この段差より高く浮上させる。そして、図４に示すよう
に搬送台１６を水平方向へ移動させて段差を乗り越えさ
せ、図５に示すように搬送台１６を軌道単位１１Ｂ上へ
移動させ、これによって、搬送台１６を上昇させつつ搬
送する。ここに、図４に示す段差を乗り越える状態で
は、いずれの軌道単位１１Ａ、１１Ｂの交番磁界によっ
ても搬送台１６が同じ高さになるように両軌道単位の交
番磁界の大きさを調整してある。なお、搬送台１６を下
降させつつ搬送する場合には、上記と逆の動作を行えば
よい。
【００１７】上記の搬送動作は１つの軌道単位に設けた
全ての電磁石１２の交番磁界を変化させるようにしてい
るが、制御装置１５によって軌道単位を長手方向に複数
に分割した範囲に含まれる電磁石１２毎に交流電流の調
整を行い、１つの軌道単位内でも範囲毎に交番磁界の大
きさ（すなわち搬送台１６の浮上高さ）が異なるように
してもよい。
全ての電磁石１２の交番磁界を変化させるようにしてい
るが、制御装置１５によって軌道単位を長手方向に複数
に分割した範囲に含まれる電磁石１２毎に交流電流の調
整を行い、１つの軌道単位内でも範囲毎に交番磁界の大
きさ（すなわち搬送台１６の浮上高さ）が異なるように
してもよい。
【００１８】なお、図６に示すように、軌道上の搬送台
１６への被搬送物１９の搬入或いは搬出はプロセス装置
等のロボット２０のハンド２１で行う場合が多いが、こ
の際にロボットハンド２１を昇降させることができず、
ハンド２１と被搬送物１９の高さが一致しない場合に
は、制御装置１５によって電磁石１２の交番磁界の大き
さを調整し、搬送台１６の浮上量を調整することで支障
なく被搬送物１９の搬出、搬入を行うことができる。
１６への被搬送物１９の搬入或いは搬出はプロセス装置
等のロボット２０のハンド２１で行う場合が多いが、こ
の際にロボットハンド２１を昇降させることができず、
ハンド２１と被搬送物１９の高さが一致しない場合に
は、制御装置１５によって電磁石１２の交番磁界の大き
さを調整し、搬送台１６の浮上量を調整することで支障
なく被搬送物１９の搬出、搬入を行うことができる。
【００１９】なお、上記実施例では軌道が全体として傾
斜した形となるように各軌道単位を連接して設けたが、
レイアウト上の事情等によっては、軌道が全体として山
形となるように各軌道単位を連接して設けてもよい。
斜した形となるように各軌道単位を連接して設けたが、
レイアウト上の事情等によっては、軌道が全体として山
形となるように各軌道単位を連接して設けてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気浮上
搬送装置によれば、軌道を段差をもって連接された複数
の軌道単位から構成し、搬送台に浮上力を与える電磁石
の磁界を調整することにより搬送台を軌道上を昇降させ
つつ搬送させるようにしたため、搬送装置の構成からエ
レベータ装置やロボットといった塵埃や油の飛散が生じ
易い機械的な昇降機能部分を排除することができ、磁気
浮上搬送装置の利点を十分に発揮させて被搬送物を清浄
な状態で搬送することができる。また、機械的な機構を
排除したことにより、給油や磨耗部品の交換等の定期的
な保守管理を削減でき、磁気浮上搬送装置のランニング
コストも低減することができる。
搬送装置によれば、軌道を段差をもって連接された複数
の軌道単位から構成し、搬送台に浮上力を与える電磁石
の磁界を調整することにより搬送台を軌道上を昇降させ
つつ搬送させるようにしたため、搬送装置の構成からエ
レベータ装置やロボットといった塵埃や油の飛散が生じ
易い機械的な昇降機能部分を排除することができ、磁気
浮上搬送装置の利点を十分に発揮させて被搬送物を清浄
な状態で搬送することができる。また、機械的な機構を
排除したことにより、給油や磨耗部品の交換等の定期的
な保守管理を削減でき、磁気浮上搬送装置のランニング
コストも低減することができる。
【図１】本発明の一実施例に係る磁気浮上搬送装置の側
面断面図。
面断面図。
【図２】磁気浮上搬送装置の動作を説明する断面図。
【図３】磁気浮上搬送装置の動作を説明する断面図。
【図４】磁気浮上搬送装置の動作を説明する断面図。
【図５】磁気浮上搬送装置の動作を説明する断面図。
【図６】磁気浮上搬送装置の使用例を説明する構成図。
【図７】従来の磁気浮上搬送装置の側面断面図。
【図８】従来の磁気浮上搬送装置の側面断面図。
１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ 軌道単位 １２ 電磁石 １３ 磁極 １４ 励磁コイル １５ 制御装置 １６ 搬送台 １７ 位置検出器 １８ 浮上量検出器 １９ 被搬送物
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくともその一部に非磁性且つ良導体
から成る二次導体を有した搬送台と、該搬送台の搬送路
となる軌道と、該軌道の表面部分に当該軌道の長手方向
に並べて配設された多数の電磁石と、該電磁石に交流電
流を流すことによって交番磁界を発生させると共にこれ
によって前記搬送台の二次導体に誘導される渦電流で反
発する交番磁界を発生させて搬送台を軌道上に浮上させ
る制御装置とを備えた磁気浮上搬送装置において、前記
軌道はそれぞれが搬送台の長さより長い寸法を有し互い
に段差をもって連接された複数の軌道単位から構成さ
れ、前記制御装置は電磁石に給電する交流電流の量を任
意に調整できるものであることを特徴とする磁気浮上搬
送装置。 - 【請求項２】 各軌道単位毎に搬送台の位置を検出する
位置検出器を備え、位置検出器からの情報に基づいて制
御装置が軌道単位に含まれる電磁石毎に交流電流量の調
整を行うことを特徴とする請求項１記載の磁気浮上搬送
装置。 - 【請求項３】 各軌道単位毎に搬送台の浮上量を検出す
る浮上量検出器を備え、浮上量検出器からの情報に基づ
いて制御装置が軌道単位に含まれる電磁石毎に交流電流
量の調整を行うことを特徴とする請求項１又は２記載の
磁気浮上搬送装置。 - 【請求項４】 前記制御装置は軌道単位を長手方向に複
数に分割した範囲に含まれる電磁石毎に交流電流の調整
を行うことを特徴とする請求項１乃至３記載の磁気浮上
搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31132793A JPH07137842A (ja) | 1993-11-17 | 1993-11-17 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31132793A JPH07137842A (ja) | 1993-11-17 | 1993-11-17 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07137842A true JPH07137842A (ja) | 1995-05-30 |
Family
ID=18015803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31132793A Pending JPH07137842A (ja) | 1993-11-17 | 1993-11-17 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07137842A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008192718A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法、検査装置、検査方法 |
| JP2014069936A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Avanstrate Inc | ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 |
| WO2019171454A1 (ja) * | 2018-03-06 | 2019-09-12 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 搬送装置、及び搬送路 |
| CN111293855A (zh) * | 2018-12-07 | 2020-06-16 | 佳能株式会社 | 搬送装置以及物品制造方法 |
-
1993
- 1993-11-17 JP JP31132793A patent/JPH07137842A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008192718A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板支持装置、基板支持方法、基板加工装置、基板加工方法、表示装置構成部材の製造方法、検査装置、検査方法 |
| JP2014069936A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Avanstrate Inc | ガラス基板の搬送装置、および、ガラス基板の製造方法 |
| WO2019171454A1 (ja) * | 2018-03-06 | 2019-09-12 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 搬送装置、及び搬送路 |
| CN111293855A (zh) * | 2018-12-07 | 2020-06-16 | 佳能株式会社 | 搬送装置以及物品制造方法 |
| CN111293855B (zh) * | 2018-12-07 | 2023-09-01 | 佳能株式会社 | 搬送装置以及物品制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR910002780B1 (ko) | 자기 부상식 반송시스템 | |
| EP0287838B1 (en) | An apparatus for transporting an electrically conductive wafer | |
| JP3749176B2 (ja) | 一貫搬送キャリヤ及びディレクターを有する搬送装置 | |
| US5417537A (en) | Wafer transport device | |
| CN114080363A (zh) | 具有称重站的电磁输送机 | |
| US5980193A (en) | Magnetically levitated robot and method of increasing levitation force | |
| JPH04150706A (ja) | 交流磁気浮上体の停止方法 | |
| JPH07137842A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| US5064331A (en) | Vertical conveying apparatus | |
| JPS60261302A (ja) | 高真空中の物品搬送装置 | |
| KR102439631B1 (ko) | 자기 부상 이송 장치 | |
| JPH0319136B2 (ja) | ||
| JPH07117849A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JP3209844B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JP2005187142A (ja) | 搬送方向変換装置及びこれを用いたローラ搬送システム | |
| JPH07176593A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS63133803A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPS6392205A (ja) | 真空装置用磁気浮上搬送装置 | |
| JPH05252610A (ja) | 交流磁気浮上搬送装置 | |
| JPH03243524A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH06102425B2 (ja) | 搬送装置の方向変換装置 | |
| JP2976504B2 (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPH01299120A (ja) | 真空内の磁気浮上搬送制御方式 | |
| JPH0537773U (ja) | 交流磁気浮上搬送装置 | |
| JPH04117111A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 |