JPH07139885A - 炉の温度測定方法 - Google Patents
炉の温度測定方法Info
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- JPH07139885A JPH07139885A JP28686993A JP28686993A JPH07139885A JP H07139885 A JPH07139885 A JP H07139885A JP 28686993 A JP28686993 A JP 28686993A JP 28686993 A JP28686993 A JP 28686993A JP H07139885 A JPH07139885 A JP H07139885A
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- Japan
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- thermometer
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N platinum rhodium Chemical compound [Rh].[Pt] PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炉内の温度を熱電対温度計により常温から高
温まで精度よく測温することができる炉の温度測定方法
を提供すること。 【構成】 高温用の熱電対温度計２と低温用の熱電対温
度計３とを炉壁１の近接位置に取り付けておく。低温時
には低温用の熱電対温度計３の出力のみを信号選択器８
により取り出す。温度が上昇した時には低温用の熱電対
温度計３を炉壁１内に後退させるとともに、両方の熱電
対温度計２、３の出力のうち高位側のみを高位信号選択
器９により選択して取り出す。
温まで精度よく測温することができる炉の温度測定方法
を提供すること。 【構成】 高温用の熱電対温度計２と低温用の熱電対温
度計３とを炉壁１の近接位置に取り付けておく。低温時
には低温用の熱電対温度計３の出力のみを信号選択器８
により取り出す。温度が上昇した時には低温用の熱電対
温度計３を炉壁１内に後退させるとともに、両方の熱電
対温度計２、３の出力のうち高位側のみを高位信号選択
器９により選択して取り出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、炉内が1600℃以上の高
温となる炉に適した炉の温度測定方法に関するものであ
る。
温となる炉に適した炉の温度測定方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に炉の温度測定には熱電対温度計が
使用されているが、低温から高温まで精度よく測温でき
る熱電対温度計は知られていない。例えば、ある種類の
白金ロジウム温度計は1600℃以上の高温では測定精度が
低下し、また別の種類の白金ロジウム温度計は1600〜18
00℃では高い測定精度が得られるが、400 ℃以下では測
定精度が低下する。このため、常温から1600℃以上の高
温まで炉温を制御したいような場合、前者の熱電対温度
計を取り付けておくと1600℃以上の部分で測定精度が低
下し、後者の熱電対温度計を取り付けておくと400 ℃以
下の部分で測定精度が低下するという問題があった。ま
た２種類の熱電対温度計を切り替えて使用することも考
えられるが、切り替えの際に不可避的に温度表示が不連
続となり、制御系を混乱させる原因となっていた。
使用されているが、低温から高温まで精度よく測温でき
る熱電対温度計は知られていない。例えば、ある種類の
白金ロジウム温度計は1600℃以上の高温では測定精度が
低下し、また別の種類の白金ロジウム温度計は1600〜18
00℃では高い測定精度が得られるが、400 ℃以下では測
定精度が低下する。このため、常温から1600℃以上の高
温まで炉温を制御したいような場合、前者の熱電対温度
計を取り付けておくと1600℃以上の部分で測定精度が低
下し、後者の熱電対温度計を取り付けておくと400 ℃以
下の部分で測定精度が低下するという問題があった。ま
た２種類の熱電対温度計を切り替えて使用することも考
えられるが、切り替えの際に不可避的に温度表示が不連
続となり、制御系を混乱させる原因となっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決して、常温から高温まで精度よく測温す
ることができ、しかも切り替えの際に温度表示が不連続
となることもない炉の温度測定方法を提供するために完
成されたものである。
の問題点を解決して、常温から高温まで精度よく測温す
ることができ、しかも切り替えの際に温度表示が不連続
となることもない炉の温度測定方法を提供するために完
成されたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明は、高温用の熱電対温度計と低温用
の熱電対温度計とを近接位置に取り付けておき、低温時
には低温用の熱電対温度計の出力のみを取り出し、温度
が所定値を越えて上昇した時には低温用の熱電対温度計
を炉壁内に後退させるとともに、両方の熱電対温度計の
出力のうち高位側のみを選択して取り出すことを特徴と
するものである。
めになされた本発明は、高温用の熱電対温度計と低温用
の熱電対温度計とを近接位置に取り付けておき、低温時
には低温用の熱電対温度計の出力のみを取り出し、温度
が所定値を越えて上昇した時には低温用の熱電対温度計
を炉壁内に後退させるとともに、両方の熱電対温度計の
出力のうち高位側のみを選択して取り出すことを特徴と
するものである。
【０００５】
【実施例】以下に本発明を図示の実施例とともに更に詳
細に説明する。図中、１は高温炉の炉壁、２はこの炉壁
１を貫通させて先端を炉内に突出させた高温用の熱電対
温度計、３はその近接位置に取り付けられた低温用の熱
電対温度計である。これらの熱電対温度計２、３間の距
離が離れると、炉内の異なる点の温度を測定することと
なるため、両者は300mm 以内の距離に設置することが好
ましい。なお本実施例では前述したように、高温用の熱
電対温度計２として使用温度が1600℃以上の白金ロジウ
ム温度計が使用され、また低温用の熱電対温度計３とし
て使用温度が1600℃以下の白金ロジウム温度計が使用さ
れている。
細に説明する。図中、１は高温炉の炉壁、２はこの炉壁
１を貫通させて先端を炉内に突出させた高温用の熱電対
温度計、３はその近接位置に取り付けられた低温用の熱
電対温度計である。これらの熱電対温度計２、３間の距
離が離れると、炉内の異なる点の温度を測定することと
なるため、両者は300mm 以内の距離に設置することが好
ましい。なお本実施例では前述したように、高温用の熱
電対温度計２として使用温度が1600℃以上の白金ロジウ
ム温度計が使用され、また低温用の熱電対温度計３とし
て使用温度が1600℃以下の白金ロジウム温度計が使用さ
れている。
【０００６】この高温用の熱電対温度計２は炉内への突
出量を一定として固定してあるが、低温用の熱電対温度
計３はエアシリンダ４によって図示のように突出位置と
後退位置との間を移動できるように支持されている。こ
のエアシリンダ４の動作は電磁弁５とスピードコントロ
ーラ６とによって制御されており、突出位置と後退位置
との間を10〜30秒をかけてゆっくりと移動するようにし
てある。これは急激な温度変化による破損を防止するた
めである。また７はプロセスコントローラ、８と９は信
号選択器である。
出量を一定として固定してあるが、低温用の熱電対温度
計３はエアシリンダ４によって図示のように突出位置と
後退位置との間を移動できるように支持されている。こ
のエアシリンダ４の動作は電磁弁５とスピードコントロ
ーラ６とによって制御されており、突出位置と後退位置
との間を10〜30秒をかけてゆっくりと移動するようにし
てある。これは急激な温度変化による破損を防止するた
めである。また７はプロセスコントローラ、８と９は信
号選択器である。
【０００７】
【作用】次に本発明の炉の温度測定方法を順を追って説
明する。まず炉内が低温のときは、プロセスコントロー
ラ７が電磁弁５に指示を送って低温用の熱電対温度計３
を鎖線で示す位置まで突出させてある。このために両方
の熱電対温度計２、３から出力が生ずるが、プロセスコ
ントローラ７により制御されている信号選択器８の作用
により、低温用の熱電対温度計３の出力のみが選択され
て取り出される。従ってこの状態では低温用の熱電対温
度計３による精度の高い測温が可能となる。
明する。まず炉内が低温のときは、プロセスコントロー
ラ７が電磁弁５に指示を送って低温用の熱電対温度計３
を鎖線で示す位置まで突出させてある。このために両方
の熱電対温度計２、３から出力が生ずるが、プロセスコ
ントローラ７により制御されている信号選択器８の作用
により、低温用の熱電対温度計３の出力のみが選択され
て取り出される。従ってこの状態では低温用の熱電対温
度計３による精度の高い測温が可能となる。
【０００８】次に炉温が上昇して低温用の熱電対温度計
３の適正測温範囲を越えると、プロセスコントローラ７
が電磁弁５に指示を送り、低温用の熱電対温度計３をゆ
っくりと後退させる。これと同時に信号選択器８がオフ
となり、信号選択器９がオンとなる。この信号選択器９
は高位信号選択器であり、高温用の熱電対温度計２の出
力と低温用の熱電対温度計３の出力とを比較し、高位側
のみを選択する。
３の適正測温範囲を越えると、プロセスコントローラ７
が電磁弁５に指示を送り、低温用の熱電対温度計３をゆ
っくりと後退させる。これと同時に信号選択器８がオフ
となり、信号選択器９がオンとなる。この信号選択器９
は高位信号選択器であり、高温用の熱電対温度計２の出
力と低温用の熱電対温度計３の出力とを比較し、高位側
のみを選択する。
【０００９】このため、信号選択器９がオンとなった瞬
間には高温用の熱電対温度計２の出力と低温用の熱電対
温度計３の出力のいずれかが選択されるが、低温用の熱
電対温度計３は炉壁内に後退するためにその出力は次第
に低下し、高温用の熱電対温度計２の出力のみが選択さ
れることとなる。このため、炉内の温度は高温用の熱電
対温度計２によって精度良く測定されることとなる。
間には高温用の熱電対温度計２の出力と低温用の熱電対
温度計３の出力のいずれかが選択されるが、低温用の熱
電対温度計３は炉壁内に後退するためにその出力は次第
に低下し、高温用の熱電対温度計２の出力のみが選択さ
れることとなる。このため、炉内の温度は高温用の熱電
対温度計２によって精度良く測定されることとなる。
【００１０】なお、両方の熱電対温度計２、３を移動さ
せる方式も考えられるが、可動部分が多くなるために本
発明のように片側を固定とする方が有利である。また低
温用の熱電対温度計３は完全に炉壁１から外部へ引き抜
くのではなく、実施例のように炉壁１の内部まで後退さ
せれば十分である。その理由は外部へ引き抜くと熱衝撃
が大きくなり破損の恐れがあるためである。
せる方式も考えられるが、可動部分が多くなるために本
発明のように片側を固定とする方が有利である。また低
温用の熱電対温度計３は完全に炉壁１から外部へ引き抜
くのではなく、実施例のように炉壁１の内部まで後退さ
せれば十分である。その理由は外部へ引き抜くと熱衝撃
が大きくなり破損の恐れがあるためである。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の炉の温
度測定方法によれば、低温用の熱電対温度計と高温用の
熱電対温度計とを使い分けることにより、炉内の温度を
常温から高温まで精度よく測温することができる。しか
も一方を固定したので可動部分が少なくて済みトラブル
を生じにくいうえ、切り替えの際には高位信号選択器を
利用して高温側の出力のみを選択するようにしたので、
温度表示の不連続性を最小限とすることができる。よっ
て本発明は従来の問題点を解決した炉の温度測定方法と
して、業界に寄与するところはきわめて大である。
度測定方法によれば、低温用の熱電対温度計と高温用の
熱電対温度計とを使い分けることにより、炉内の温度を
常温から高温まで精度よく測温することができる。しか
も一方を固定したので可動部分が少なくて済みトラブル
を生じにくいうえ、切り替えの際には高位信号選択器を
利用して高温側の出力のみを選択するようにしたので、
温度表示の不連続性を最小限とすることができる。よっ
て本発明は従来の問題点を解決した炉の温度測定方法と
して、業界に寄与するところはきわめて大である。
【図１】本発明の実施例を説明する断面図である。
１ 炉壁 ２ 高温用の熱電対温度計 ３ 低温用の熱電対温度計 ８ 信号選択器 ９ 信号選択器
Claims (1)
- 【請求項１】 高温用の熱電対温度計と低温用の熱電対
温度計とを近接位置に取り付けておき、低温時には低温
用の熱電対温度計の出力のみを取り出し、温度が所定値
を越えて上昇した時には低温用の熱電対温度計を炉壁内
に後退させるとともに、両方の熱電対温度計の出力のう
ち高位側のみを選択して取り出すことを特徴とする炉の
温度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28686993A JP3254320B2 (ja) | 1993-11-16 | 1993-11-16 | 炉の温度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28686993A JP3254320B2 (ja) | 1993-11-16 | 1993-11-16 | 炉の温度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07139885A true JPH07139885A (ja) | 1995-06-02 |
| JP3254320B2 JP3254320B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=17710061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28686993A Expired - Fee Related JP3254320B2 (ja) | 1993-11-16 | 1993-11-16 | 炉の温度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3254320B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012109520A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-06-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理装置の温度制御方法、及び基板処理装置の加熱方法 |
-
1993
- 1993-11-16 JP JP28686993A patent/JP3254320B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012109520A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-06-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理装置の温度制御方法、及び基板処理装置の加熱方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3254320B2 (ja) | 2002-02-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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