JPH07145442A - 軟磁性合金圧密体およびその製造方法 - Google Patents

軟磁性合金圧密体およびその製造方法

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JPH07145442A
JPH07145442A JP6011980A JP1198094A JPH07145442A JP H07145442 A JPH07145442 A JP H07145442A JP 6011980 A JP6011980 A JP 6011980A JP 1198094 A JP1198094 A JP 1198094A JP H07145442 A JPH07145442 A JP H07145442A
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amorphous alloy
alloy
compact
powder
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JP6011980A
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Akinobu Kojima
章伸 小島
Katsuaki Hanya
勝章 半谷
Shoji Yoshida
昌二 吉田
Teruhiro Makino
彰宏 牧野
Takeshi Masumoto
健 増本
Akihisa Inoue
明久 井上
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Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本願発明は、優秀な軟磁気特性と高い飽和磁
束密度を兼ね備えたバルク状の軟磁性合金圧密体を提供
すること、および、その軟磁性合金圧密体を製造する方
法を提供することを目的とする。 【構成】 本願発明は、ＦｅおよびＢを含み更にＴｉ、
Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種ま
たは２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合
金を主体とする粉粒体が加圧成形されてなり、非晶質合
金相と結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃｃ構造の微細結晶相
が混在されてなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドのコアやパ
ルスモータの磁心などに使用される軟磁性合金圧密体お
よびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁気ヘッドのコアやパルスモー
タの磁心あるいはトランスやチョークコイルなどに用い
られている軟磁性合金に要求される特性は、飽和磁束密
度が高いこと、透磁率が高いこと、低保磁力であるこ
と、薄い形状が得やすいことなどである。従って軟磁性
合金の開発においては、これらの観点から種々の合金系
において材料研究がなされている。従来、前述の用途に
対する材料として、センダスト、パーマロイ、けい素鋼
等の結晶質合金が用いられ、特に最近では、Ｆｅ系やＣ
ｏ系の非晶質合金も使用されるようになってきている。
しかるに、磁気ヘッドの場合、高記録密度化に伴う磁気
記録媒体の高保磁力化に対応するために、より高性能の
磁気ヘッド用磁性材料が望まれている。また、パルスモ
ータ、トランスやチョークコイルなどの場合、小型化、
高周波数化に対応するために、より磁気特性の優れた材
料が望まれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のセン
ダストは、軟磁気特性には優れるものの、飽和磁束密度
が約１１ｋＧ程度と低い欠点があり、パーマロイも同様
に、軟磁気特性に優れる合金組成においては飽和磁束密
度が約８ｋＧと低い欠点があり、けい素鋼は飽和磁束密
度は高いものの、軟磁気特性に劣る欠点がある。
【０００４】一方、Ｃｏ基の非晶質合金は、軟磁気特性
には優れるものの、飽和磁束密度が１０ｋＧ程度と不十
分である。また、Ｆｅ基の非晶質合金は、飽和磁束密度
が高く、１５ｋＧあるいはそれ以上のものが得られる
が、軟磁気特性が不十分な傾向がある。更に、非晶質合
金の熱安定性は十分ではなく、未だ未解決の面がある。
以上のことから従来の材料では、高飽和磁束密度と優れ
た軟磁気特性を兼備することが難しい問題があった。
【０００５】このような背景から本発明者らは、前記の
各課題を解決し得る軟磁性合金として、特開平５ー９３
２４９号、特開平４ー３３３５４６号、特願平３ー７８
６１３号、特願平３ー７８６１４号、特願平５ー１９０
６７４号などの特許出願において、液体急冷法で製造し
たＦｅ-Ｂ系の非晶質軟磁性合金を特許出願している。
これらの特許出願に係る合金は、非晶質相と微細な結晶
相を混在させたものであり、優秀な軟磁気特性と高い飽
和磁束密度と高硬度を兼ね備えるものであった。ところ
が、前記の液体急冷法により得られる軟磁性合金は、製
造した時は薄帯状のものであるがために、それを磁気ヘ
ッドのコアやパルスモータの磁心として利用するために
は、加工が難しい問題があった。
【０００６】そこで本発明者らは、先に特許出願してい
る軟磁性合金について、磁気ヘッドのコアやパルスモー
タの磁心あるいはトランスのコアなどへの適用を考慮
し、前記組成の軟磁性合金を粉末化してから加圧成形す
ることによって所望の形状に成形する試みを行い、本発
明に到達した。
【０００７】本発明は前記事情に鑑みてなされたもので
あり、優秀な軟磁気特性と高い飽和磁束密度を兼ね備え
たバルク状の軟磁性合金圧密体を提供すること、およ
び、その軟磁性合金圧密体を製造する方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記課題を解決するために、ＦｅおよびＢを含み、更にＴ
ｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１
種または２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶
質合金を主体とする粉粒体が加圧成形されてなり、非晶
質合金相と結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃｃ構造の微細結
晶相が混在されてなるものである。
【０００９】請求項２記載の発明は前記課題を解決する
ために、ＦｅおよびＢを含み、更にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種または２種以上
の元素を含むＦｅ-Ｂ系の非晶質合金を主体とする粉粒
体が加圧成形されてなり、熱処理によりｂｃｃ構造の微
細結晶相が主体となるように変質されてなるものであ
る。
【００１０】請求項３記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項１または２記載のＦｅ-Ｂ系の非晶質合
金を主体とする粉粒体を加圧成形した成形体が非晶質単
相であり、熱処理後において、結晶粒径３０ｎｍ以下の
ｂｃｃ構造を主体とした微結晶組織を有するものであ
る。
【００１１】請求項４記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項３に記載の加圧成形体をＦｅ100-d-e Ｍ
d Ｂeなる組成を示す合金から形成したものである。た
だし、ＭはＺｒ，Ｈｆのうち、１種または２種を示し、
６原子％≦d≦９原子％、２原子％≦e≦９原子％であ
る。
【００１２】請求項５記載の発明は前記課題を解決する
ために、ＦｅおよびＢを含み、更にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種または２種以上
の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金を主体とす
る粉粒体に温間押出加工を施して１次成形体を形成し、
この１次成形体を熱処理して非晶質合金相の少なくとも
一部を結晶粒径３０μｍ以下のｂｃｃ構造の微細結晶相
に変質させることを特徴とするものである。
【００１３】請求項６記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項５記載の温間押出加工を行うに際し、Ｆ
ｅ-Ｂ系の非晶質合金の軟化点近傍の温度で粉粒体を軟
化させつつ押出加工するものである。
【００１４】請求項７記載の発明は前記課題を解決する
ために、請求項５または６記載の温間押出加工の圧力を
５００〜１３００ＭＰａ、温間押出加工の温度を３００
〜６００℃の範囲に設定するものである。
【００１５】請求項８記載の発明は前記課題を解決して
成形体の相対密度を上げるために、請求項７記載の温間
押出加工を行うに際し、押出加工圧力を９００〜１３０
０ＭＰａの範囲に設定して成形を行い、成形後の相対密
度を９６％以上とするものである。
【００１６】請求項９記載の発明は前記課題を解決して
軟磁気特性を向上させるために、請求項７記載の温間押
出加工を行うに際し、押出加工圧力を５００〜９００Ｍ
Ｐａの範囲に設定して成形を行い、成形体の保磁力を１
エルステッド以下とするものである。
【００１７】請求項１０記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項５、６、７、８または９記載の１次成
形体に対する熱処理温度を５００〜７００℃に設定する
ものである。
【００１８】請求項１１記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項５、６、７、８、９または１０に記載
のＦｅ-Ｂ系の非晶質合金を主体とする粉粒体を得るに
際し、Ｆｅ-Ｂ系の合金溶湯を急冷して非晶質合金薄帯
を形成し、この非晶質合金薄帯を粉砕して粉砕物を得、
この粉砕物の中から粒径５３μｍ以下の微細粉末を除去
するものである。
【００１９】請求項１２記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項５、６、７、８、９、１０または１１
に記載のＦｅおよびＢを含み、更にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種または２種以上
の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金を主体とす
る粉粒体を得るに際し、Ｆｅ-Ｂ系の合金溶湯を急冷し
て非晶質合金薄帯を形成し、この非晶質合金薄帯を粉砕
して粉砕物を得、この粉砕物の中から粒径５３〜１００
μｍの粉粒体を選択して使用するものである。
【００２０】
【作用】ＦｅおよびＢを含み、更にＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種または２種以上
の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金を主体とす
る粉粒体が加圧成形され、結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃ
ｃ構造の微細結晶粒が析出しているので、軟磁気特性に
優れ、優れた飽和磁束密度のものが得られる。また更
に、この組織状態のものに対して熱処理を施して微細結
晶粒を多く析出させたものにあっては、軟磁気特性が著
しく向上し、飽和磁束密度も十分に高いものが得られ
る。また、非晶質相のまま加圧成形することにより、熱
処理後における微細組織の均一性を向上させることがで
き、高い密度と軟磁気特性を兼ね備えた軟磁性合金圧密
体が得られる。更に、ＦｅＭ（＝Ｚｒ，Ｈｆ）系の組成
とすることにより、結晶化温度を高くすることができ、
非晶質のまま加圧成形が可能になる。
【００２１】次に、本発明の方法によれば、Ｆｅ-Ｂ系
の非晶質合金を主体とする粉粒体に温間押出加工を施し
て１次成形体を形成するので、圧密化を確実に行うこと
ができ、更に熱処理することで、ｂｃｃ構造の微細結晶
粒を多く析出させることにより、熱処理前よりも軟磁気
特性を向上させることができ、飽和磁束密度を高くする
ことができる効果がある。また、Ｆｅ-Ｂ系の非晶質合
金の軟化点を利用してこの軟化点近傍の温度で押し出す
ならば、非晶質合金の軟化現象を利用して押し出すこと
が可能であり、押し出しを円滑に行うことができる。更
に、前記の押出条件として押出圧力を５００〜１３００
ＭＰａ、押出温度を３００〜６００℃に設定すること
で、十分に効率良く確実に押し出しができる。特に、押
出圧力を９００〜１３００ＭＰａに限定した時は、高い
相対密度の成形体が得られ、押出圧力を５００〜９００
ＭＰａに限定した時は、より優れた軟磁気特性を有する
成形体が得られる。更にまた、押出後の熱処理を４００
〜７００℃で行うならば、ｂｃｃ構造の微細結晶相の粗
大化を阻止することができ、微細な結晶相の組織を確実
に得ることができる。
【００２２】一方、粉粒体を製造するに際し、Ｆｅ-Ｂ
系の合金の溶湯から非晶質合金薄帯を製造し、これを粉
砕する場合に、粒径５３μｍ以下の微細粉末を除去する
ならば、粉砕時に非晶質相が結晶質相に変化したもの、
粉砕時に異物が混入したものなどを除去することができ
る。よって、非晶質相の粉粒体のみを確実に押し出しす
ることができ、軟磁気特性の良好な飽和磁束密度の高い
圧密体を確実に得ることができる。また、同様に粉粒体
を製造するに際し、Ｆｅ-Ｂ系の合金の溶湯から非晶質
合金薄帯を製造しこれを粉砕する場合に、粒径５３〜１
００μｍの粉粒体を選択して用いることで、軟磁気特性
の良好な飽和磁束密度の高い圧密体を確実に得ることが
できる。
【００２３】以下に本発明を更に詳細に説明する。本発
明に係る軟磁性合金圧密体を製造するには、後述する所
定組成のＦｅ-Ｂ系の非晶質合金あるいは非晶質相を含
む結晶質合金を溶湯から急冷して薄帯状あるいは粉末状
の状態で得る工程と、前記薄帯状のものは粉砕し、前記
粉末状のものはそのまま、後述する押出加工により圧密
して１次成形体を得る工程と、得られた１次成形体を熱
処理する工程により通常得られる。前記溶湯から非晶質
合金を得る方法は、回転ドラムに溶湯を吹き付けて急冷
する方法でも良いし、溶湯を冷却用気体中に噴出して急
冷し、これにより粉末化するアトマイズ法などを用いて
も良い。
【００２４】本発明において用いる非晶質合金あるいは
非晶質相を含む結晶質合金は、本発明者らが先に、特開
平５ー９３２４９号、特開平４ー３３３５４６号、特願
平３ー７８６１３号、特願平３ー７８６１４号、特願平
５ー１９０６７４号などの特許出願において明らかにし
たものなどである。以下にそれらの非晶質合金あるいは
非晶質相を含む結晶質合金の組成例とそのような組成と
することが好ましい理由について説明する。 組成例１ 次式で示される組成を有するもの。 （Ｆｅ1-a Ｚa）
b Ｂx Ｍy 但し、ＺはＣｏ、Ｎｉのいずれか、または、両方であ
り、ＭはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ
からなる群から選ばれた１種または２種以上の元素であ
り、且つ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか、または両方を含み、
ａ≦０.０５、ｂ≦９３原子％、x＝０.５〜８原子％、y
＝４〜９原子％である。
【００２５】組成例２ 次式で示される組成を有するもの。 Ｆｅb Ｂx Ｍy 但し、ＭはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、
Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、且つ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれかまたは両方を含み、
ｂ≦９３原子％、x＝０.５〜８原子％、y＝４〜９原子
％である。
【００２６】組成例３ 次式で示される組成を有するもの。（Ｆｅ1-a Ｃｏ a）
b Ｂx Ｍy Ｌz 但し、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈf、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍ
ｏ、Ｗからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素
であり、且つ、Ｚｒ、Ｈfのいずれか、又は両方を含
み、Ｌは、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔからな
る群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、a≦
０.０５、b≦９２原子％、x＝０.５〜１６原子％、y＝
４〜１０原子％、z≦４.５原子％である。
【００２７】組成例４ 次式で示される組成を有するもの。 Ｆｅ b Ｂx Ｍy
Ｌz 但し、Ｍは、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈf、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍ
ｏ、Ｗからなる群から選ばれた１種又は２種以上の元素
であり、且つ、Ｚｒ、Ｈfのいずれか、又は両方を含
み、Ｌは、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔからな
る群から選ばれた１種又は２種以上の元素であり、b≦
９２原子％、x＝０.５〜１６原子％、y＝４〜１０原子
％、z≦４.５原子％である。
【００２８】組成例５ 次式で示される組成を有するもの。 （Ｆｅ1-a Ｃ
ｏ a）b Ｂx Ｍ’y Ｌz 但し、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、Ｌは、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、
Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、a≦０.０５、b≦９２原子％、x＝
６.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子
％である。
【００２９】組成例６ 次式で示される組成を有するもの。 Ｆｅ b Ｂx Ｍ’y
Ｌz 但し、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔaの中から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、Ｌは、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ、
Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種
以上の元素であり、b≦９２原子％、x＝６.５〜１８原
子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％である。
【００３０】組成例７ 次式で示される組成を有するもの。（Ｆｅ1-a Ｃｏ a）
b Ｂx Ｍ’y Ｌz Ｑs Ｘ 但し、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた
１種又は２種以上の元素であり、Ｌは、Ｃｕ、Ａｇ、Ａ
ｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は
２種以上の元素であり、Ｑは、ＺｒとＨｆの少なくとも
一方であり、Ｘは、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒ
から選択される元素であり、a≦０.０５、b≦９２原子
％、x＝６.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦
４.５原子％、s＝４〜１０原子％、t≦５原子％であ
る。
【００３１】組成例８ 次式で示される組成を有するもの。 Ｆｅ b Ｂx Ｍ’
y Ｌz Ｑs Ｘt 但し、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、ＬはＣｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｎ
ｉ、Ｐｄ、Ｐｔからなる群から選ばれた１種又は２種以
上の元素であり、ＱはＺｒとＨｆの少なくとも一方であ
り、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉｒの中から選
択される元素であり、b≦９２原子％、x＝６.５〜１８
原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、s＝４〜
１０原子％、t≦５原子％である。
【００３２】組成例９ 次式で示される組成を有するもの。 （Ｆｅ1-a Ｚ a）
b Ｂx Ｍ’y 但し、ＺはＣｏ、Ｎｉのいずれか、または、両方であ
り、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた１種又
は２種以上の元素であり、a≦０.０５、b≦９３原子
％、x＝６.５〜１０原子％、y＝４〜９原子％である。
【００３３】組成例１０ 次式で示される組成を有するもの。 Ｆｅ b Ｂx Ｍ’y 但し、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、b≦９３原子％、x＝６.５
〜１０原子％、y＝４〜９原子％である。
【００３４】組成例１１ 次式で示される組成を有するもの。 （Ｆｅ1-a Ｚ a）
b Ｂx Ｍ’y Ｑs Ｘt 但し、ＺはＣｏ、Ｎｉのいずれか、または、両方であ
り、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた１種ま
たは２種以上の元素であり、Ｑは、ＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、a≦０.０５、b≦９
３原子％、x＝６.５〜１０原子％、y＝４〜９原子％、s
＝４〜１０原子％、t≦５原子％である。
【００３５】組成例１２ 次式で示される組成を有するもの。 Ｆｅ b Ｂx Ｍ’
y Ｑs Ｘt 但し、Ｍ’は、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｔａの中から選ばれた１種
又は２種以上の元素であり、Ｑは、ＺｒとＨｆの少なく
とも一方であり、ＸはＣｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｉ
ｒの中から選択される元素であり、b≦９３原子％、x＝
６.５〜１０原子％、y＝４〜９原子％、s＝４〜１０原
子％、t≦５原子％である。
【００３６】前記組成とすることが好ましい理由 前記組成の合金にはＢが必ず添加されている。Ｂには、
軟磁性合金の非晶質形成能を高める効果、および熱処理
工程において磁気特性に悪影響を及ぼす化合物相の生成
を抑制する効果があると考えられ、このためＢ添加は必
須である。Ｂと同様にＡ１、Ｓｉ、Ｃ、Ｐ等も非晶質形
成元素として一般に用いられており、これらの元素を添
加した場合も本発明と同一とみなすことができる。
【００３７】組成例１、２、３、４の発明の軟磁性合金
において、非晶質相を得やすくするためには、非晶質形
成能の高いＺｒ、Ｈｆのいずれかを含む必要がある。ま
た、Ｚｒ、Ｈｆはその一部を他の４Ａ〜６Ａ族元素のう
ち、Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗと置換することが
できる。ここで、Ｃｒを含めなかったのはＣｒが他の元
素に比べ非晶質形成能が劣っているからである。
【００３８】組成例１、２、９〜１２の発明の軟磁性合
金におけるＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ量のｂは、９３原子％以下
である。これは、ｂが９３原子％を超えると高い透磁率
が得られないためであるが、飽和磁束密度１０ｋＧ以上
を得るためには、ｂが７５原子％以上であることがより
好ましい。
【００３９】組成例３、４の軟磁性合金においては、Ｃ
ｕ、Ｎｉおよびこれらと同族元素のうちから選ばれた少
なくとも１種又は２種以上の元素を０.２〜４.５原子％
含むことが好ましい。添加量が０.２原子％より少ない
と前記の熱処理工程により優れた軟磁気特性を得ること
が難しいが、Ｃｕの濃度が下がればＦｅの濃度が上昇す
るため、必然的に飽和磁束密度が向上する。従って、こ
れらの元素は０.２％以下でも良い。また、これらの元
素の中でもＣｕは特に好適である。Ｃｕ、Ｎｉ等の添加
により、軟磁気特性が著しく改善される機構については
明らかではないが、結晶化温度を示差熱分析法により測
定したところ、Ｃｕ、Ｎｉ等を添加した合金の結晶化温
度は、添加しない合金に比べてやや低い温度であると認
められた。これは前記元素の添加により非晶質相が不均
一となり、その結果、非晶質相の安定性が低下したこと
に起因すると考えられる。また、不均一な非晶質相が結
晶化する場合、部分的に結晶化しやすい領域が多数でき
不均一核生成するため、得られる組織が微細結晶粒組織
となると考えられる。
【００４０】特にＦｅに対する固溶度が著しく低い元素
であるＣｕの場合、相分離傾向があるため、加熱により
ミクロな組成ゆらぎが生じ、非晶質相が不均一となる傾
向がより顕著になると考えられ、組織の微細化に寄与す
るものと考えられる。以上の観点からＣｕ及びその同族
元素、ＮｉおよびＰｄ、Ｐｔ以外の元素でも結晶化温度
を低下させる元素には同様の効果が期待できる。またＣ
ｕのようにＦｅに対する固溶限が小さい元素にも同様の
効果が期待できる。
【００４１】組成例３〜８の軟磁性合金におけるＦｅ、
Ｃｏ量のｂは、９２原子％以下である。これは、ｂが９
２原子％を越えると高い透磁率が得られないためである
が、飽和磁束密度１０kＧ以上を得るためには、ｂが７
５原子％以上であることが好ましい。
【００４２】組成例５〜１２の軟磁性合金において非晶
質相を得やすくするためには、非晶質形成能を有するＴ
ｉ、Ｎｂ、Ｔａの少なくとも１つ、および、Ｂを含む必
要がある。ＴｉとＮｂとＴａには同等の効果があるが、
これらの元素の中でもＮｂとＴａは、融点の高い金属材
料であって熱的に安定であり、製造時に酸化しずらいも
のである。よってこれらの元素を添加している場合は、
製造条件が容易で安価に製造することができ、また、コ
ストの面でも有利である。具体的には、溶湯を急冷する
際に使用するるつぼのノズルの先端部に、不活性ガスを
部分的に供給しつつ大気中で製造もしくは大気中の雰囲
気で製造することができる。ただし、これらの元素は前
記Ｂに比較して非晶質形成能の面では劣るので、組成例
５〜８の軟磁性合金ではＢの量を増加し、６.５〜１８
％とした。
【００４３】組成例５〜８の軟磁性合金においては、Ｃ
ｕ、Ｎｉおよびこれらと同族元素のうちから選ばれた少
なくとも１種又は２種以上の元素を０.２〜４.５原子％
含むことが好ましい。添加量が０.２原子％より少ない
と熱処理後の軟磁気特性が若干劣るが、飽和磁束密度が
若干高くなるのでこれらの元素は０.２原子％以下でも
良い。これらの元素の中でもＣｕは特に好適である。Ｃ
ｕ及びその同族元素、ＮｉおよびＰｄ、Ｐｔ以外の元素
でも結晶化温度を低下させる元素には同様の効果が期待
できる。またＣｕのようにＦｅに対する固溶限が小さい
元素にも同様の効果が期待できる。
【００４４】以上、本発明の軟磁性合金に含まれる合金
元素の限定理由を説明したが、これらの元素以外でも耐
食性を改善するために、Ｃｒ、Ｍｏ、あるいはＲｕ、Ｒ
ｈ、Ｉｒなどの白金族元素を添加することも可能であ
る。これらの元素は、５原子％よりも多く添加すると、
飽和磁束密度の劣化が著しくなるため、添加量は５原子
％以下に抑える必要がある。また、必要に応じて、Ｙ、
希土類元素、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐ
ｂ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｍ
ｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ等の元素を添加することで磁歪を
調整することもできる。その他、Ｈ、Ｎ、Ｏ、Ｓ等の不
可避的不純物については所望の特性が劣化しない程度に
含有していても本発明で用いるＦｅ-Ｂ系軟磁性合金の
組成と同一とみなすことができるのは勿論である。
【００４５】前記の各組成になるように原料を秤量して
混合したならば、それを真空溶融あるいはアーク溶解し
てインゴットを作製し、これをるつぼで溶解するととも
に、るつぼの先端に形成した噴出孔から、回転している
銅ロールなどの金属ロールの表面にキャリアガスととも
に溶湯を吹き付けて急冷し、薄帯状（リボン状）の非晶
質合金を得る。次に、得られた非晶質合金薄帯をロータ
ースピードミル、あるいは、遊星型ボールミルなどの粉
砕機械により粉砕し、粉砕物を得る。得られた粉砕物
は、メッシュを用い、粒径５３μｍ以下のもの、粒径５
３〜１５０μｍのもの、粒径１５０μｍより上のものに
分級する。
【００４６】そして、以下の工程に用いるのは粒径５３
μｍ以上に分級した粉粒体とする。ここで粉粒体とは、
粉体と粒体のどちらか一方、あるいは、両方を混ぜたも
のとする。前記の粒径があまり小さい粉砕物を用いる
と、その中に粉砕機械の刃などを構成するステンレスな
どの金属材料が混入している可能性が高いので好ましく
ない。即ち、前記組成の非晶質合金は極めて硬いので、
これを粉砕した場合に、粉砕機械の刃の一部、あるい
は、非晶質合金と擦れる部分が損耗するなどして分離
し、分離物が粉砕物の中に混入するおそれがある。同時
に、粒径が小さな粉砕物は、粉砕時の機械的作用と摩擦
加熱とによって、その非晶質相部分が結晶質相に変化し
ていることが考えられるので除去することが好ましい。
なお、前記の分級作業は、リボンを粉砕した場合に含ま
れると思われる不純物を除去するために行うが、アトマ
イズ法などにより不純物の混入していない非晶質合金粉
末を得ることができた場合は、その粉末を特に分級しな
くともそのまま以下の工程に使用すれば良い。
【００４７】前記粉粒体を用意したならば、これを押出
機により押し出して圧密する。図１に、この押出工程に
使用する装置の一例を示す。この例の押出装置１は、筒
状のコンテナ２とコンテナ２の出口部に装着されるダイ
ス３とこのダイス３を押さえるダイス押さえ４とを備
え、コンテナ２の内部に押し棒５によりビレット６を押
し込むことができるようになっており、これによりダイ
ス３を介してビレット６を押し出して、押出ビレット゛
６’とすることができ、ビレット６に収容した粉粒体を
押出成形できるようになっている。前記ビレット６は、
例えば図２に示すように、先端を閉じた筒状のケース１
０の内部にコア１１が設けられ、ケース１０の内部に圧
密しようとする粉粒体１２を充填できるように構成され
たもので、ケース１０の後端部は内部キャップ１３と外
部キャップ１４とにより閉じられている。なおここで、
コア１１を特に用いなくとも成形はできるが、良好な押
出成形材を得るためにはコア１１を用いた方が望まし
い。
【００４８】図１に示す押出装置１を用いて押し出しを
行う場合は、コンテナ２の温度を調節して押出温度が前
記各組成の合金の結晶化温度よりも若干低い温度になる
ように設定することが好ましい。具体的には、３００〜
６００℃の範囲が好ましい。これは、本発明者らの研究
により、この系の非晶質合金において、結晶化温度付近
の温度に、非晶質合金を軟化させる軟化点があることを
確認できたことによる。従ってこの軟化点近傍の温度で
押し出すことにより、前記非晶質合金粉粒体の押し出し
を円滑に行うことができる。また、押出圧力は５００〜
１３００ＭＰａとすることが好ましい。このような圧力
が好ましいことは、本発明者らの後述する実験により４
９５ＭＰａの圧力で成形を行った場合に成形不可能であ
ることから明らかになった。また、１３００ＭＰａを超
える圧力を付加すると成型機に負担がかかりすぎる。
【００４９】前記の組成の合金粉粒体を圧密する手段と
して、他に、ＨＩＰ（熱間正水圧プレス）法も考えられ
るが、この方法では通常、８００℃以上の高温で処理す
る必要があるので、このような高温で前記組成の粉粒体
を処理すると、非晶質相の内部に微細結晶相が析出する
場合に結晶粒径の粗大化が生じ、磁気特性が劣化する可
能性がある。従って圧密の手段としては、押出成形の方
が好ましい。
【００５０】押出加工が終了したならば、前記ビレット
６から圧密体を取り出し、圧密体に対して熱処理を施
す。押出加工直後の圧密体は、非晶質相を主体とし、そ
の内部にｂｃｃ構造の微細な結晶相が一部析出した混相
状態になっている。ところが、このままの状態では磁気
ヘッドとして用いる場合の磁気特性の面から不足である
ので、熱処理を施して微細結晶相を多く析出させ、これ
により磁気特性を向上させる。この際の熱処理は、前記
非晶質合金の結晶化温度よりも高い温度、例えば、５５
０〜６５０℃の範囲とすることが好ましい。これによ
り、前記の混相組織をｂｃｃ構造の３０ｎｍ程度以下の
微細な結晶相を多く生じさせた結晶相主体の組織に変質
させることができ、優秀な磁気特性が得られる。前記熱
処理により圧密体の単位体積あたりの飽和磁化、飽和磁
束密度（Ｂｓ）と単位質量あたりの飽和磁化（σｓ）が
向上し、保磁力（Ｈｃ）は低くなる。
【００５１】以上説明したように製造した圧密体にあっ
ては、優れた飽和磁束密度と高い透磁率を有し、保磁力
が低いものである。よってこの圧密体を磁気ヘッドのコ
アとして、あるいは、トランスのコアとして、更には、
パルスモータの磁針等のような磁気部品として広く適用
することができ、従来材に比べて優れた特性の磁気部品
を得ることができる。
【００５２】
【実施例】表１に示す組成になるように、原料を秤量し
て混合し、アーク溶解してインゴットを作製し、これを
るつぼ内で溶解し、るつぼのノズルから回転ロールに吹
き付ける液体急冷法により複数の非晶質合金薄帯試料を
得た。液体急冷法は、雰囲気アルゴンガス圧を３６〜５
６ｃｍＨｇに設定し、銅ロールの回転数を２５００〜３
０００ｒｐｍ、アルゴン噴き出し圧力０.１〜１ｋｇ／
ｃｍ2にそれぞれ設定して各試料の作製を行った。
【００５３】
【表１】
【００５４】また、得られた非晶質合金薄帯試料（リボ
ン）をローラスピードルミルで一次粉砕し、次いで、遊
星型ボールミルにより６時間かけて２次粉砕し、Ａｒ雰
囲気中で粉末化を行った。得られた粉砕物をメッシュに
より粒径５３μｍ以下のものと、粒径５３〜１５０μｍ
のものと、粒径１５０μｍ以上のものに分級した。前記
非晶質合金試料の内、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の非晶質
合金薄帯試料（リボン）とこのリボンから得られた前記
各粒径の試料について、それぞれＸ線回折試験を行った
ところ、図３に示す結果が得られた。
【００５５】図３に示す結果から、薄帯試料および粒径
５３μｍより大きい試料においてはブロードなピークの
み見られ、非晶質組織であることが明かになった。これ
に対し、粒径５３μｍ以下の試料においては、ｂｃｃ相
およびその他の相から生じたと思われるシャープなピー
クが認められた。これは、薄帯試料の粉砕時に用いたロ
ーラースピードミルあるいはボールミルで粉砕する際
に、これらの粉砕機械の内部の金属部分（例えばステン
レス鋼で作製された部分）から生じたステンレス粉など
が混入したためであると思われる。また同時に、５３μ
ｍ以下の微細な大きさまで粉砕された非晶質合金が、粉
砕時の機械的摩擦や加熱などにより一部結晶化を起こし
ているためであると思われる。よって、以降の工程に
は、前記５３〜１５０μｍの粒径の粉粒体を使用した。
また、一部の非晶質合金薄帯に対し、５００℃で１時間
真空熱処理を行った後に粉砕した試料を用いた。これ
は、非晶質合金薄帯に対して結晶化温度以上に加熱して
結晶化することにより、粉砕しやすくすることを狙った
ものである。これは、ｂｃｃ相の方が非晶質相よりも脆
いことを利用し、粉砕作業が容易にできるかどうか試験
したものである。
【００５６】次に、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の非晶質合
金薄帯（リボン）試料と粉末試料についてそれぞれＤＳ
Ｃ曲線（differential scanning caloriemeter：示差熱
分析計による測定値）を得、その結果を図４と図５に示
す。図４と図５に示す結果から、粉末試料のＤＳＣ曲線
は薄帯試料のＤＳＣ曲線とほぼ同等のものであり、結晶
化と思われるピークが見られる。また同時に、前記Ｆｅ
84Ｎｂ7Ｂ9合金の結晶化温度（ｂｃｃ相出現温度）は４
９７℃であることが判明した。以上のことから、非晶質
相の状態でこの組成の合金を固化成形しようとすれば、
結晶化温度の４９７℃以下の温度で成形する必要がある
ことが明かになった。
【００５７】次に、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の非晶質合
金薄帯試料のＴＭＡ（Thermo Mech-anical Analysis）
曲線を求めた結果を図６に示す。Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組
成の非晶質合金薄帯試料は、４５５〜５２２℃の間にお
いて急激に伸びており、軟化していることが明らかであ
る。ここで、先に図４と図５に示したＤＳＣ曲線の結果
と合わせて比較すると、ｂｃｃ相の結晶化が起こる温度
で試料が軟化しており、結晶化温度付近に軟化点がある
ことが判明した。以上のことを考慮すると、押出成形
は、結晶化温度近傍で粉粒体を軟化させてから固化成形
することが有効であることが明かになった。
【００５８】前記のように作製した各試料について、図
１と図２に示す装置を用い、ビレット内を１×１０-4to
rr以下に排気した後に１００トン温間押出プレス機によ
り押出加工を行い、圧密化を試みた。押出温度と速度と
圧力と断面減少率はいずれも表１に示すように設定し
た。押出温度はコンテナおよび試料の温度を示し、押出
速度は押し棒の速度を示し、断面減少率（ＲＡ）は、押
出前のビレットの直径をＤ1、押出後のビレットの直径
をＤ2とすると、ＲＡ＝｛（Ｄ1−Ｄ2）／Ｄ1｝×１００
（％）で表される。また、ビレット材質において、ケー
スの材質を示すＳＳ４１はＪＩＳ規定の鋼材で、Ｐ＜
０.０５％、Ｓ＜０.０５％、残部Ｆｅの組成とした一般
構造用圧延鋼材を示す。更に、コア材質を示すＳ４５Ｃ
はＪＩＳ規定の鋼材で、Ｃ＝０.４２〜０.４８％、Ｓｉ
＝０.１５〜０.３５％、Ｍｎ＝０.６〜０.９％、Ｐ≦
０.０３０％、Ｓ≦０.０３５％、残部Ｆｅとした炭素鋼
鋼材を示し、ＳＫＤ４は、ＪＩＳ規定の鋼材で、Ｃ＝
０.２５〜３.５％、Ｓｉ＝０.４０％以下、Ｍｎ＝０.６
０％以下、Ｐ＝０.０３０％以下、Ｓ＝０.０３０％以
下、Ｃｒ＝２.００〜３.００％、Ｗ＝５.００〜６.００
％、Ｖ＝０.３０〜０.５０％残部Ｆｅとした鋼材を示
す。その結果を表２に示す。
【００５９】
【表２】
【００６０】表２において、◎で示す試料は、得られた
圧密体を顕微鏡観察した結果、気孔がほとんどなく良好
に圧密化されたもので、○で示す試料は、気孔がわずか
に見られるものの十分に圧密化されたもので、△で示す
試料は、気孔が多少存在するものの圧密化できたもの
で、×で示す試料は一応固まっているが圧密不十分なも
のを示す。図２に示す結果から、非晶質合金薄帯をその
まま粉砕して圧密した試料は圧密できたが、非晶質合金
薄帯を一端熱処理してｂｃｃ相とし、粉砕しやくすして
から圧密した試料は、非晶質相のままで圧密した試料と
同じ条件では圧密化できなかった。また、良好な圧密状
態を示すサンプルは、９００ＭＰａ以上の押出圧力で圧
密化した試料である。
【００６１】次に圧密化した試料について、４００〜７
５０℃の範囲の温度でそれぞれ熱処理した結果得られた
試料の磁気特性の測定結果を表３に示し、Ｘ線回折試験
結果を図７に示す。また、比較のために、粉砕する以前
の非晶質合金薄帯試料を熱処理した場合のＸ線回折試験
結果を図８に示す。なお、表３の熱処理温度５５０℃に
おけるＨｃは、未飽和状態の値を示す。
【００６２】
【表３】
【００６３】表３に示す結果から、熱処理温度を６００
℃以上に上げた方が良好な磁気特性が得られることが明
かになり、磁気ヘッド用などとして高密度記録などに対
応する目的に使用できる。ただし、押出直後のものにお
いても、ＢｓとσSとは、従来材料に比べて同程度の特
性を備えているので、使用目的によっては十分に実用に
耐えるものである。例えば、本発明者らが先に行った特
許出願に記載した測定結果から、前記の非晶質合金にｂ
ｃｃ相を析出させた材料は、ビッカース硬度で７００〜
１４００ＤＰＮもの値を示すので、この硬さを利用する
ならば、従来材料と同定度の磁気特性であっても従来材
料よりも硬い圧密材料を提供できる。
【００６４】一方、図７から、圧密化した試料において
は、５００℃以上の熱処理においてｂｃｃ相のピークが
見られ、７５０℃での熱処理後においても、ほぼｂｃｃ
単相であることがわかる。また、４００℃以下の熱処理
においては、ブロードなピークが見られ、非晶質相に近
似した相であることが推察されるが、押出成形を４００
℃で行っていることを考えると、加工時の摩擦発熱によ
り試料の一部では５００℃付近まで温度上昇しているも
のと考えられ、一部ｂｃｃ相が析出しているものと思わ
れる。これに対し、図８に示す粉砕する以前の非晶質合
金薄帯試料においては、４００℃以下の熱処理後におい
てブロードなピークのみ見られ、非晶質相であることが
わかる。また、５００℃以上の熱処理においてｂｃｃ相
の明瞭なピークが見られる。先に示した図４のＤＳＣ曲
線においても４９７℃にｂｃｃ相の結晶化ピークが見ら
れるが、このＸ線回折試験結果と一致している。
【００６５】図９に押出直後の試料のＤＳＣ曲線を示
す。この試料においても４９０℃付近よりｂｃｃ相の析
出と思われる発熱ピークが見られ、非晶質相が存在して
いることがわかる。しかしながら、その反応量は、図５
に示す粉末の場合の反応量に比べて小さいので、すで
に、ある程度の量のｂｃｃ相が析出しているためと思わ
れる。このことから、押出直後の試料は、非晶質相とｂ
ｃｃ相の混相組織であることが明かになった。
【００６６】次に、図１０に、Ｘ線回折ｂｃｃ（１１
０）ピークにより求めた結晶粒径の熱処理温度依存性を
示す。６５０℃、あるいは、７００℃以下の温度では、
Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の押出試料およびＦｅ84Ｎｂ7
Ｂ9なる組成の薄帯試料ともに１０ｎｍ程度の微細な結
晶粒であるが、７５０℃熱処理後は急激なｂｃｃ結晶粒
の成長が見られる。
【００６７】次に、図１１に、前記のように熱処理され
た試料について、熱処理温度と磁気特性の関係を示す。
図１１に示す結果から、熱処理を行うことにより、飽和
磁束密度（Ｂｓ）と（σｓ）が上昇する傾向が見られる
が、これはｂｃｃ相の結晶化に起因するものと見られ
る。
【００６８】次に図１２に、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の
押出試料と、同一組成の押出前の非晶質合金薄帯試料の
保磁力の熱処理温度依存性を示す。図１２に示す結果か
ら、保磁力に関し、６５０℃付近に極小値を示すことが
明かになり、この図から、５００〜７００℃で熱処理す
ることが好ましいことが明かになった。更に、図１３
に、前記各種の試料の押出成形条件と、押出固化させた
試料の最適熱処理温度（６５０℃）における成形状態へ
の影響を測定した結果を示す。この例における押出圧力
の測定結果から、９００〜１２００ＭＰａの広い範囲で
良好な成形体が得られたことが判明した。
【００６９】次に、前記と同等の組成の押出試料におい
て、各圧力で押出成形した合金バルク材の飽和磁束密度
（Ｂｓ）と保磁力（Ｈｃ）と磁気歪（λｓ）を図１４に
示す。押出圧力を変えた試料において、飽和磁束密度の
値に明確な差は見られないが、６５０℃熱処理における
保磁力は押出圧力が低い試料において、比較的低い値を
示している。即ち、低い押出圧力で成形することにより
高い飽和磁束密度を保持したまま、良好な磁気特性を示
す材料を得ることができることが明らかである。
【００７０】図１５は、前記と同じ条件で作製した試料
の平均結晶粒径と熱処理温度の関係を示す。図１０にお
いても、平均結晶粒径の熱処理温度依存性を示している
が、この図１５は、押出条件を変えた試料の結晶粒成長
の差を示したものである。図１５から、押出圧力が高い
試料は、押出圧力が低い試料に比較して結晶粒径の成長
が速いことがわかる。以上のことにより、押出圧力が高
い試料では、押出成形時における加工発熱により合金の
一部が結晶化しており、熱処理により不均一な粒成長を
引き起こしているものと想定できる。よって図１４にお
いて低い押出圧力で成形した試料が良好な磁気特性を発
揮するのはこのことが要因になっているものと思われ
る。
【００７１】図１６は、押出温度４２５℃で押出形成し
たＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の試料について、６５０℃熱
処理後における保磁力および透磁率の押出圧力依存性と
相対密度の押出圧力依存性を示す。押出圧力が低い試料
ほど低い保磁力を示していることが明らかである。透磁
率においては、押出圧力が低い試料において、より高い
値が得られており、低い押出圧力で成形した成形体は、
より良好な軟磁気特性を示すことがわかる。１エルステ
ッド（Ｏｅ）以下の低いＨｃが得られるのは、押出圧力
が９００ＭＰａ以下の範囲である。また、粒径１００μ
ｍ以下の粉末を用いた場合では、粒径５３〜１５０μｍ
の粉末を用いた場合より良好な特性を示すことが明らか
になった。これは、粉末粒径が小さい方が、押出成型時
に加わる剪断応力が小さいために、不均一な結晶化が起
こり難いためであると推定される。以上のことから、用
いる粉末材料の粒径は、５３〜１００μｍの範囲のもの
が好適であるものと思われる。
【００７２】また、図１６に、相対密度と押出圧力の関
係を示した結果からみれば、押出圧力が低くなると相対
密度が低くなっていることが明らかである。また、約９
５０ＭＰａ以上の圧力において約９９％以上の相対密度
が得られる。これは、押し出す際の圧力が低くなると、
成形状態が悪くなるためである。従って、押出圧力が低
すぎると成形材料はもろくなり、成形後の機械加工に耐
えられなくなる。機械加工に耐えられるような成形材を
得るためには、５００ＭＰａ以上の圧力が必要であると
思われる。この理由は、同様な材料を用いて４９５ＭＰ
ａで成形した試料は、成形不可能であったことによる。
なおまた、押出圧力は１３００ＭＰａ以下が好ましい。
押出圧力が高いと、試料の成形状態は良好になるもの
の、圧力が高すぎると押出装置への負担が大きくなり、
押出装置のコンテナおよび押し棒を破損することになる
おそれが高い。押し棒の材質（ＳＫＤ）から鑑みて１３
００ＭＰａ程度が限界と思われる。
【００７３】図１７は、図１６に示す組成の試料に４２
５℃の温度で押出成形した場合の押出圧力と単位質量あ
たりの飽和磁化の関係を示す。押出圧力が上昇するにつ
れて飽和磁化の値が大きくなっていることが明らかであ
る。このように、成形直後における飽和磁化が増加する
のは、成形体中に一部のｂｃｃ相が析出していることを
意味している。押出圧力が高いほど析出しているｂｃｃ
相の体積率が大きいことがわかる。
【００７４】図１８は、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の押出
成形材試料の押出圧力別のＤＳＣ曲線を示す。なお、こ
の図における各ＤＳＣ曲線は、比較のために、各々縦軸
方向に順次上下にずらして整列させた状態で記載してあ
る。よって、圧力の高い試料の方が発熱量が大きいこと
を示しているわけではなく、実際には３つの曲線のスタ
ート地点は同じ発熱量に相当する位置になっている。図
１８に示す押出圧力が高い試料は押出圧力が低い試料に
比べ、ｂｃｃの反応熱量（発熱ピークの山の面積に相当
する）は小さくなり、高温側にシフトする。これによ
り、成形したままの状態において、既に非晶質中に一部
のｂｃｃ相が析出していることが明らかになり、残りの
非晶質部分が結晶化温度の高い状態へ変化していること
が示唆される。押出圧力が高い試料ほど、この傾向が大
きいことは、押出圧力が高い試料ほどｂｃｃ相の析出量
が多いことを意味しており、これは図１７の説明と一致
する。なお、図１８において、６２７℃近傍の発熱ピー
クがｂｃｃの反応熱量を示し、８２７℃近傍の鋭いピー
クを示す発熱はＦｅとＢとの化合物相等の析出によるも
のと思われる。
【００７５】更にここで、図１５を基に先に説明したｂ
ｃｃ相の平均結晶粒径の熱処理温度依存性の関係と、図
１８に示す結果を含めて押出後の加熱状態を推察する。
図１５に示すように、高い圧力で成形した試料におい
て、一部ｂｃｃ相の粒成長が既に起こっていることを考
慮すると、成形したままの状態において生成していた一
部のｂｃｃ相の方が、残りの非晶質相から生成して成長
するｂｃｃ相の方よりも早い段階で成長し、不均一な微
細組織が生成されるものと思われる。図１６に示すよう
に高い押出圧力で成形したバルク状の試料において、軟
磁気特性が優れないのは、この成形したままの状態で既
に生成されていた一部ｂｃｃ相が比較的大きな結晶粒に
成長し、これに加えて後で非晶質相から生成したｂｃｃ
相の微細組織が混在することになるため、組織の不均一
性が増すことに起因しているものと考えられる。
【００７６】図１９は、Ｆｅ82Ｎｂ7Ｂ11なる組成のバ
ルク材試料とＦｅ80Ｚｒ7Ｂ13なる組成のバルク材試料
の磁化（Ｈ800）と透磁率μｅ（３００Ｈｚ）とｂｃｃ
相の平均結晶粒径および同じ組成の薄帯試料の磁歪（λ
ｓ）の値を示すものである。これらの組成では、Ｆｅ84
Ｎｂ7Ｂ9合金と異なり、熱処理後において零磁歪は得ら
れないが、それにもかかわらず、１０００程度の高い透
磁率が得られていることがわかる。
【００７７】図２０は、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成とＦｅ
90Ｚｒ7Ｂ3なる組成のバルク材試料のＤＳＣ曲線を示す
ものである。この図においても図１８と同様に、比較し
易いように各曲線を上下に並べて表示してある。Ｆｅ90
Ｚｒ7Ｂ3なる組成の試料は、Ｆｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の
試料と比較すると、高い結晶化温度を示していることが
わかる。従って同じ条件で押出成形したとき、Ｆｅ90Ｚ
ｒ7Ｂ3合金は、より非晶質に近い状態で固化成形できる
ことがわかる。すなわち、熱処理後の微細結晶相組織生
成を阻害する固化成形時のｂｃｃ相の析出を抑えつつ加
工できる。
【００７８】図２１は、Ｆｅ90Ｚｒ7Ｂ3なる組成のバル
ク材試料の磁化（Ｈ800）と透磁率μｅ（３００Ｈｚ）
とｂｃｃ相の平均結晶粒径および同じ組成の薄帯試料の
磁歪（λｓ）の値を示すものである。これらの組成で
は、熱処理後において、ほぼ零磁歪が得られており、９
００ＭＰａ以上の比較的高い押出圧力で形成されたにも
かかわらず、１８００の高い透磁率が得られている。ま
た、このバルク材成形試料の光学顕微鏡写真を図２２に
示すが、良好な形成状態であることがわかる。この材料
の相対密度は９９％以上であった。
【００７９】図２３は、Ｆｅ90Ｚｒ7Ｂ3なる組成のバル
ク材試料のＤＳＣ曲線を示す。バルク材のｂｃｃ相への
結晶化反応熱量は、急冷薄帯材とほぼ同じであり、Ｆｅ
84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の前記の試料に比べて非晶質に近い
状態で固化成形できていると言える。以上の各試料で得
られた特性を以下の表４にまとめて記載した。
【００８０】
【表４】
【００８１】以上の結果から、高い熱処理温度と低い磁
歪を実現することにより、非晶質に近い状態で固化成形
できる組成として、請求項４に記載した組成が有効であ
る。急冷直後において非晶質相を得るためには、６原子
％≦d、２原子％≦eである必要があり、また熱処理後ｂ
ｃｃ単相で磁歪が零近くになるためには、d≦９原子
％、e≦９原子％であることが必要である。よって、請
求項４に記載した発明においては、６原子％≦d≦９原
子％、２原子％≦e≦９原子％に限定した。
【００８２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｆ
ｅ-Ｍ（＝Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、
Ｗ）-Ｂ系の非晶質合金を主体とする粉粒体が加圧成形
され、結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃｃ構造の微細結晶粒
が析出しているので、軟磁気特性に優れ、優れた飽和磁
束密度のものが得られる。また更に、この組織状態のも
のに対して熱処理を施して微細結晶粒を多く析出させた
ものにあっては、軟磁気特性が著しく向上し、飽和磁束
密度も十分に高いものが得られる。よって、従来よりも
更に高い記録密度の媒体に使用される磁気ヘッド用ある
いはパルスモータの磁心用、トランスのコア用などとし
て好適であり、その場合に種々の形状に容易に対応する
ことができる。また、加圧成形体として、Ｆｅ100-d-e
Ｍd Ｂeなる組成、ただし、ＭはＺｒ，Ｈｆのうち、１
種または２種を示し、６原子％≦d≦９原子％、２原子
％≦e≦９原子％のものを用いることが好ましく、この
組成のものを用いた場合に、非晶質に近い状態で固化成
形することができ、熱処理後に微細組織を得易く、その
場合に、磁歪を零近くにすることができる。
【００８３】次に、本発明の方法によれば、Ｆｅ-Ｍ-Ｂ
系の非晶質合金を主体とする粉粒体に温間押出加工を施
して１次成形体を形成するので、圧密化を満足に行うこ
とができ、これに熱処理することで、ｂｃｃ構造の微細
結晶粒を多く析出させることにより、熱処理前よりも軟
磁気特性を向上させるとこができ、飽和磁束密度を高く
することができる効果がある。また、Ｆｅ-Ｂ系の非晶
質合金の軟化温度を利用してこの軟化温度近傍の温度で
押し出すならば、非晶質合金の軟化を利用して押し出す
ことが可能であり、押出を円滑に行うことができる。更
に、前記の押出条件として押出圧力を９００〜１３００
ＭＰａ、押出温度を３００〜６００℃に設定すること
で、十分に効率良く確実に押し出しができる。更にま
た、押出後の熱処理を５００〜７００℃で行うならば、
ｂｃｃ相の結晶粒の粗大化を阻止することができ、微細
な結晶相の組織を得ることができる。
【００８４】一方、前記の製造方法において、粉粒体を
製造するに際し、Ｆｅ-Ｂ系の合金の溶湯から非晶質合
金薄帯を製造しこれを粉砕する場合に、粒径５３μｍ以
下の微細粉末を除去するならば、粉砕時に非晶質相が結
晶質相に変化したもの、粉砕時に異物が混入したものな
どを除去することができる。よって、非晶質相の粉粒体
のみを確実に押し出しすることができ、軟磁気特性の良
好な飽和磁束密度の高い圧密体を確実に得ることができ
る。また、粒径５３〜１００μｍの粉粒体を選別して使
用するならば、粉砕時に非晶質相が結晶質相に変化した
もの、粉砕時に異物が混入したものなどを除去すること
ができる上に、押出成形時に粉粒体に加わる剪断力を小
さくして不均一な結晶化を起こりにくくできるので、軟
磁気特性の良好な飽和磁束密度の高い圧密体を確実に得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明方法に使用する押出装置の一例を
示す断面図である。
【図２】図２は図１に示す押出装置に使用されるビレッ
トの断面図である。
【図３】図３はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9なる組成の非晶質合金粉
末のＸ線回折試験結果を示す図である。
【図４】図４はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の非晶質合金薄帯
のＤＳＣ曲線を示す図である。
【図５】図５はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の非晶質合金粉末
のＤＳＣ曲線を示す図である。
【図６】図６はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の非晶質合金粉末
のＴＭＡ曲線を示す図である。
【図７】図７はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の押出材の熱処理
温度によるＸ線回折試験結果を示す図である。
【図８】図８はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の非晶質合金薄帯
の熱処理温度によるＸ線回折試験結果を示す図である。
【図９】図９はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の押出材のＤＳＣ
曲線を示す図である。
【図１０】図１０は熱処理温度と結晶粒径の関係を示す
図である。
【図１１】図１２は熱処理温度と飽和磁束密度の関係を
示す図である。
【図１２】図１２は熱処理温度と保磁力の関係を示す図
である。
【図１３】図１３は押出温度および押出圧力と保磁力の
関係を示す図である。
【図１４】図１４は各圧力で押出形成した合金試料の磁
気特性を示す図である。
【図１５】図１５は図１４に示す試料と同等の条件で製
造した試料の熱処理温度と平均結晶粒径を示す図であ
る。
【図１６】図１６は透磁率と保磁力および相対密度の押
出圧力依存性を示す図である。
【図１７】図１７は押出圧力と飽和磁化の関係を示す図
である。
【図１８】図１８はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成の非晶質合金
のＤＳＣ曲線を示す図である。
【図１９】図１９はＦｅ80Ｎｂ7Ｂ13の組成とＦｅ82Ｚ
ｒ7Ｂ11の組成の非晶質合金に対する熱処理温度と磁化
と透磁率と結晶粒径と磁歪定数の関係を示す図である。
【図２０】図２０はＦｅ84Ｎｂ7Ｂ9の組成とＦｅ90Ｚｒ
7Ｂ3の組成の非晶質合金のＤＳＣ曲線を示す図である。
【図２１】図２１はＦｅ90Ｚｒ7Ｂ3の組成の非晶質合金
に対する熱処理温度と磁化と透磁率と結晶粒径と磁歪定
数の関係を示す図である。
【図２２】図２２はＦｅ90Ｚｒ7Ｂ3の組成の非晶質合金
組織顕微鏡写真の模式図である。
【図２３】図２３はＦｅ90Ｚｒ7Ｂ3の組成の非晶質合金
バルク材試料のＤＳＣ曲線を示す図である。
【符号の説明】
１ 押出装置、 ２ コンテナ、 ３ ダイス、 ６ ビレット、 １２ 非晶質合金粉粒体、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２２Ｃ 38/14 45/02 Ａ Ｈ０１Ｆ 1/153 (72)発明者 小島 章伸 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 半谷 勝章 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 吉田 昌二 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 牧野 彰宏 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 (72)発明者 増本 健 宮城県仙台市青葉区上杉３丁目８−22 (72)発明者 井上 明久 宮城県仙台市青葉区川内無番地 川内住宅 11−806

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＦｅおよびＢを含み、更に、Ｔｉ、Ｚ
    ｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種また
    は２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金
    を主体とする粉粒体が加圧成形されてなり、非晶質合金
    相と平均結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃｃ構造の微細結晶
    相が混在されてなることを特徴とする軟磁性合金圧密
    体。
  2. 【請求項２】 ＦｅおよびＢを含み、更に、Ｔｉ、Ｚ
    ｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種また
    は２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金
    を主体とする粉粒体が加圧成形されてなり、熱処理によ
    り平均結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃｃ構造の微細結晶相
    が主体となるように変質されてなることを特徴とする軟
    磁性合金圧密体。
  3. 【請求項３】 請求項１または２記載のＦｅ-Ｂ系の非
    晶質合金を主体とする粉粒体を加圧成形した成形体がほ
    ぼ非晶質単相であり、熱処理後において、平均結晶粒径
    ３０ｎｍ以下のｂｃｃ構造を主体とした微結晶組織を有
    することを特徴とする軟磁性合金圧密体。
  4. 【請求項４】 請求項３に記載の加圧成形体がＦｅ
    100-d-e Ｍd Ｂeなる組成を示す合金からなることを特
    徴とする軟磁性合金圧密体。ただし、ＭはＺｒ，Ｈｆの
    うち、１種または２種を示し、６原子％≦d≦９原子
    ％、２原子％≦e≦９原子％である。
  5. 【請求項５】 ＦｅおよびＢを含み、更に、Ｔｉ、Ｚ
    ｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種また
    は２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金
    を主体とする粉粒体に温間押出加工を施して１次成形体
    を形成し、この１次成形体を熱処理して非晶質合金相の
    少なくとも一部を平均結晶粒径３０ｎｍ以下のｂｃｃ構
    造の微細結晶相に変質させることを特徴とする軟磁性合
    金圧密体の製造方法。
  6. 【請求項６】 請求項５記載の温間押出加工を行うに際
    し、Ｆｅ-Ｂ系の非晶質合金の軟化点近傍の温度で粉粒
    体を軟化させつつ押出加工することを特徴とする軟磁性
    合金圧密体の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記温間押出加工の圧力を５００〜１３
    ００ＭＰａ、温間押出加工の温度を３００〜６００℃の
    範囲に設定することを特徴とする請求項５または６記載
    の軟磁性合金圧密体の製造方法。
  8. 【請求項８】 請求項７記載の温間押出加工を行うに際
    し、押出加工圧力を９００〜１３００ＭＰａの範囲に設
    定して成形を行い、相対密度を９６％以上とすることを
    特徴とする軟磁性合金圧密体の製造方法。
  9. 【請求項９】 請求項７記載の温間押出加工を行うに際
    し、押出加工圧力を５００〜９００ＭＰａの範囲に設定
    して成形を行い、成形体の保磁力を１エルステッド以下
    とすることを特徴とする軟磁性合金圧密体の製造方法。
  10. 【請求項１０】 １次成形体に対する熱処理温度を５０
    ０〜７００℃に設定することを特徴とする請求項５、
    ６、７、８または９記載の軟磁性合金圧密体の製造方
    法。
  11. 【請求項１１】 ＦｅおよびＢを含み、更に、Ｔｉ、Ｚ
    ｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種また
    は２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金
    を主体とする粉粒体を得るに際し、Ｆｅ-Ｂ系の合金溶
    湯を急冷して非晶質合金薄帯を形成し、この非晶質合金
    薄帯を粉砕して粉砕物を得、この粉砕物の中から粒径５
    ３μｍ以下の微細粉末を除去することを特徴とする請求
    項５、６、７、８、９または１０記載の軟磁性合金圧密
    体の製造方法。
  12. 【請求項１２】 ＦｅおよびＢを含み、更に、Ｔｉ、Ｚ
    ｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗのうち、１種また
    は２種以上の元素を含んでなるＦｅ-Ｂ系の非晶質合金
    を主体とする粉粒体を得るに際し、Ｆｅ-Ｂ系の合金溶
    湯を急冷して非晶質合金薄帯を形成し、この非晶質合金
    薄帯を粉砕して粉砕物を得、この粉砕物の中から粒径５
    ３〜１００μｍの粉粒体を選択して使用することを特徴
    とする請求項５、６、７、８、９、１０または１１記載
    の軟磁性合金圧密体の製造方法。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005057230A (ja) * 2003-08-06 2005-03-03 Amotech Co Ltd Ｆｅ系非晶質金属粉末の製造方法およびこれを用いた軟磁性コアの製造方法
JP2005064444A (ja) * 2003-08-14 2005-03-10 Amotech Co Ltd 高周波特性に優れたナノ結晶粒金属粉末の製造方法及びこれを用いた高周波用軟磁性コアの製造方法
JP2010275172A (ja) * 2009-06-01 2010-12-09 Tokai Univ 磁性炭素複合材料の製造方法および磁性炭素複合材料
JP2016181620A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 三菱電機株式会社 カレントトランス用磁心、カレントトランスおよび電力量計
JP2017186625A (ja) * 2016-04-07 2017-10-12 住友電気工業株式会社 焼結体の製造方法、および焼結体
KR20180034532A (ko) 2015-07-31 2018-04-04 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 연자성 압분 자심의 제조 방법 및 연자성 압분 자심
JP2019106414A (ja) * 2017-12-11 2019-06-27 Tdk株式会社 軟磁性圧粉磁心の製造方法および軟磁性圧粉磁心
JP2019135326A (ja) * 2019-04-02 2019-08-15 住友電気工業株式会社 焼結体の製造方法
JP2021150622A (ja) * 2020-03-23 2021-09-27 Tdk株式会社 軟磁性合金粉末、磁気コア、磁性部品および電子機器

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5976274A (en) * 1997-01-23 1999-11-02 Akihisa Inoue Soft magnetic amorphous alloy and high hardness amorphous alloy and high hardness tool using the same
TW455631B (en) * 1997-08-28 2001-09-21 Alps Electric Co Ltd Bulky magnetic core and laminated magnetic core
US6669899B2 (en) * 2002-01-25 2003-12-30 Yonsei University Ductile particle-reinforced amorphous matrix composite and method for manufacturing the same
CN1826669A (zh) * 2003-07-30 2006-08-30 住友电气工业株式会社 软磁性材料、压粉磁芯、变压器磁芯、电机磁芯和制备压粉磁芯的方法
CN1308096C (zh) * 2004-04-12 2007-04-04 北京有色金属研究总院 一种块体非晶合金坯件的加工方法及其所使用的设备
WO2008007345A2 (en) * 2006-07-12 2008-01-17 Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg Method for the production of magnet cores; magnet core and inductive component with a magnet core
DE102007034925A1 (de) * 2007-07-24 2009-01-29 Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von Magnetkernen, Magnetkern und induktives Bauelement mit einem Magnetkern
US9057115B2 (en) * 2007-07-27 2015-06-16 Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg Soft magnetic iron-cobalt-based alloy and process for manufacturing it
CN104148430B (zh) * 2014-08-27 2015-12-23 山东科技大学 一种非晶态合金圆管挤压成形装置及工艺
US10636567B2 (en) * 2016-02-09 2020-04-28 Tohoku Magnet Institute Co., Ltd. Heat treatment apparatus for laminated body of amorphous alloy ribbon and soft magnetic core
JP6237853B1 (ja) * 2016-09-30 2017-11-29 Tdk株式会社 軟磁性合金
JP6226093B1 (ja) * 2017-01-30 2017-11-08 Tdk株式会社 軟磁性合金および磁性部品

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3999216A (en) * 1970-07-30 1976-12-21 Eastman Kodak Company Material for magnetic transducer heads
US4197146A (en) * 1978-10-24 1980-04-08 General Electric Company Molded amorphous metal electrical magnetic components
US4881989A (en) * 1986-12-15 1989-11-21 Hitachi Metals, Ltd. Fe-base soft magnetic alloy and method of producing same
JP2713363B2 (ja) * 1987-06-04 1998-02-16 日立金属 株式会社 Ｆｅ基軟磁性合金圧粉体及びその製造方法
JP2611994B2 (ja) * 1987-07-23 1997-05-21 日立金属株式会社 Ｆｅ基合金粉末およびその製造方法
US5178689A (en) * 1988-05-17 1993-01-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Fe-based soft magnetic alloy, method of treating same and dust core made therefrom
US5192375A (en) * 1988-12-20 1993-03-09 Kabushiki Kaisha Toshiba Fe-based soft magnetic alloy
DE68921856T2 (de) * 1988-12-20 1995-12-07 Toshiba Kawasaki Kk Weichmagnetische auf Fe-basierende Legierung.
US5252148A (en) * 1989-05-27 1993-10-12 Tdk Corporation Soft magnetic alloy, method for making, magnetic core, magnetic shield and compressed powder core using the same

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005057230A (ja) * 2003-08-06 2005-03-03 Amotech Co Ltd Ｆｅ系非晶質金属粉末の製造方法およびこれを用いた軟磁性コアの製造方法
JP2005064444A (ja) * 2003-08-14 2005-03-10 Amotech Co Ltd 高周波特性に優れたナノ結晶粒金属粉末の製造方法及びこれを用いた高周波用軟磁性コアの製造方法
JP2010275172A (ja) * 2009-06-01 2010-12-09 Tokai Univ 磁性炭素複合材料の製造方法および磁性炭素複合材料
JP2016181620A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 三菱電機株式会社 カレントトランス用磁心、カレントトランスおよび電力量計
KR20180034532A (ko) 2015-07-31 2018-04-04 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 연자성 압분 자심의 제조 방법 및 연자성 압분 자심
US12030122B2 (en) 2015-07-31 2024-07-09 Jfe Steel Corporation Method of manufacturing soft magnetic dust core
JP2017186625A (ja) * 2016-04-07 2017-10-12 住友電気工業株式会社 焼結体の製造方法、および焼結体
WO2017175772A1 (ja) * 2016-04-07 2017-10-12 住友電気工業株式会社 焼結体の製造方法、および焼結体
JP2019106414A (ja) * 2017-12-11 2019-06-27 Tdk株式会社 軟磁性圧粉磁心の製造方法および軟磁性圧粉磁心
JP2019135326A (ja) * 2019-04-02 2019-08-15 住友電気工業株式会社 焼結体の製造方法
JP2021150622A (ja) * 2020-03-23 2021-09-27 Tdk株式会社 軟磁性合金粉末、磁気コア、磁性部品および電子機器

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US5509975A (en) 1996-04-23

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